JP6678468B2

JP6678468B2 - ノズル調整治具

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Publication number: JP6678468B2
Application number: JP2016027788A
Authority: JP
Inventors: 俊中川; 宏彦香西
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2016-02-17
Filing date: 2016-02-17
Publication date: 2020-04-08
Anticipated expiration: 2036-02-17
Also published as: JP2017144511A

Description

本発明は、切削装置に備えられる切削水ノズルや冷却水ノズルの位置を調整することができるノズル調整治具に関する。

例えば、ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハ等の被加工物は、スピンドルに装着され回転可能な切削ブレードを備えた切削装置によって切削され個々のデバイスに分割され、各種電子機器等に利用されている。切削加工において、回転する切削ブレードが被加工物と接触する加工点及びその周囲は、摩擦熱により温度が上昇する。加工点が高温になりすぎると、切削ブレードの異常磨耗、及び被加工物の焼けやチッピングが発生し加工品質が著しく悪化する。これらを防止するために、切削装置には加工点及びその周囲を冷却するための冷却水を供給する冷却水ノズルが設けられている。また、加工点には切削加工により切削屑や切り粉も生じてくるため、この切削屑等を水流により被加工物の上面から除去するための切削水を供給する切削水ノズルも切削装置には備えられている（例えば、特許文献１参照）。

切削装置における冷却水ノズルの配設位置が適切な位置となっていない場合には、加工点が十分に冷却されず、切削ブレードの破損や被加工物の品質劣化を生じさせることになる。また、切削装置における切削水ノズルの配設位置が適切でない場合には、切削屑等が被加工物上面から排出されずに被加工物上面に切削屑等が付着する。

特開２００９−２５５２２２号公報

冷却水ノズルと切削水ノズルとは、いずれもスピンドルを支持するスピンドルハウジングに装着されるホイールカバーに配設されている。例えば、冷却水ノズルは、切削ブレードの切り刃の厚み方向に冷却水を噴射できるように、切削ブレードを挟むようにしてホイールカバーに配設されている。すなわち、冷却水ノズルは、その長手方向が切削ブレードの表面及び裏面に沿うようにホイールカバーに配設され、切削ブレードの面方向に冷却水ノズルの噴射口が複数に整列する状態となる。また、切削水ノズルは、切削ブレードの外周に噴射口が対向するようにホイールカバーに配設されることで、切削ブレードの外周方向から切削ブレードに向かって切削水を噴射できるようになっている。

しかし、切削装置の加工室内は狭く見えづらく、各ノズルの位置を精密に調整することは非常に難しく時間がかかっていた。

また、冷却水ノズルや切削水ノズルの位置によって加工結果、すなわち、被加工物におけるチッピングのサイズ等、切削ブレードにおけるブレードの磨耗量等に多少の差異がでてくるが、複数台の切削装置を用いて各被加工物に同様の切削加工を施したい場合に、各切削ブレードの位置を確認しながら、冷却水ノズルや切削水ノズルを各切削装置のいずれにおいても装置中の同位置に設定することは困難であった。

したがって、切削装置においては、冷却水ノズルや切削水ノズルの位置を、容易かつ正確に所望の位置にあるように調整し、また、複数台の切削装置のいずれにおいても装置中の同位置に冷却水ノズルや切削水ノズルを設定するという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、該切削手段は、該切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着され該スピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、該スピンドルハウジングに装着され該切削ブレードを取り付けるための開口部を備えるホイールカバーと、該ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ該切削ブレードを挟むように該切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され該切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、該ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ該切削ブレードの外周方向から該切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用されるノズル調整治具であって、該ノズル調整治具は、該冷却水ノズルの高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部を少なくとも有し、該チャックテーブル上に該ノズル調整治具を置いた状態で、該冷却水ノズルを該冷却水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、該冷却水ノズルの位置を調整し、該冷却水ノズル位置決め部は、該ノズル調整治具内における位置を調整できることを特徴とするノズル調整治具である。

また、上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、該切削手段は、該切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着され該スピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、該スピンドルハウジングに装着され該切削ブレードを取り付けるための開口部を備えるホイールカバーと、該ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ該切削ブレードを挟むように該切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され該切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、該ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ該切削ブレードの外周方向から該切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用されるノズル調整治具であって、該ノズル調整治具は、該切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部を少なくとも有し、該チャックテーブル上に該ノズル調整治具を置いた状態で、該切削水ノズルを該切削水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、該切削水ノズルの位置を調整し、該切削水ノズル位置決め部は、該ノズル調整治具内における位置を調整できることを特徴とするノズル調整治具である。

前記冷却水ノズルの位置を調整することを特徴とするノズル調整治具は、前記切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部を有し、前記チャックテーブル上に該ノズル調整治具を置いた状態で、前記切削水ノズルを該切削水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、該切削水ノズルの位置を調整できるものとすると好ましい。

前記冷却水ノズル位置決め部を備える前記ノズル調整治具において、前記切削水ノズル位置決め部は、前記ノズル調整治具内における位置を調整できると好ましい。

前記ノズル調整治具は、前記冷却水ノズルの高さ及び角度を調整するための冷却水ノズル位置決め部を有し、前記チャックテーブル上に該ノズル調整治具を置いた状態で、前記冷却水ノズルを該冷却水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、該冷却水ノズルの位置を調整できるものとすると好ましい。

本発明に係るノズル調整治具は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、切削手段は、切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着されスピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、スピンドルハウジングに装着され切削ブレードを取り付けるための開口部を備
えるホイールカバーと、ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ切削ブレードを挟むように切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ切削ブレードの外周方向から切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用され、冷却水ノズルの高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部を少なくとも有することにより、チャックテーブル上にノズル調整治具を置いた状態で、冷却水ノズルを冷却水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、冷却水ノズルの位置を容易に調整することが可能となる。また、冷却水ノズル位置決め部は、ノズル調整治具内における位置を調整できることで、例えば、加工結果が良い場合の切削装置のホイールカバーにおける冷却水ノズルの位置（高さ）に合わせてノズル調整治具の冷却水ノズル位置決め部の高さ位置を調整し、この高さ位置の調整がなされたノズル調整治具を用いて、その他の同型の切削装置の冷却水ノズル位置決め部の高さ位置を調整することで、同型の複数台の切削装置のいずれにおいても、装置中の同じ高さ位置に冷却水ノズルを容易に設定することが可能となる。

本発明に係るノズル調整治具は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、切削手段は、切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着されスピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、スピンドルを収容するスピンドルハウジングに装着され切削ブレードを取り付けるための開口部を備えるホイールカバーと、ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ切削ブレードを挟むように切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ切削ブレードの外周方向から切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用され、切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部を少なくとも有することにより、チャックテーブル上にノズル調整治具を置いた状態で、切削水ノズルを切削水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、切削水ノズルの位置を容易に調整することが可能となる。また、切削水ノズル位置決め部は、ノズル調整治具内における位置を調整できることで、例えば、加工結果が良い場合の切削装置のホイールカバーにおける切削水ノズルの高さ位置及び角度に合わせてノズル調整治具の切削水ノズル位置決め部の高さ位置及び角度を調整し、この高さ位置及び角度の調整がなされたノズル調整治具を用いて、その他の同型の切削装置の切削水ノズル位置決め部の高さ位置及び角度を調整することで、同型の複数台の切削装置のいずれにおいても、装置中の同じ高さ位置及び角度に切削水ノズルを容易に設定することが可能となる。

冷却水ノズルの位置を調整することを特徴とするノズル調整治具は、切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部を有することで、チャックテーブル上にノズル調整治具を置いた状態で、切削水ノズルを切削水ノズル位置決め部の上面に当接させて、切削水ノズルの位置を容易に調整することが可能となる。

冷却水ノズル位置決め部はノズル調整治具内における位置を調整できるものとすることで、例えば、加工結果が良い場合の切削装置のホイールカバーにおける冷却水ノズルの位置（高さ）に合わせてノズル調整治具の冷却水ノズル位置決め部の高さ位置を調整し、この高さ位置の調整がなされたノズル調整治具を用いて、その他の同型の切削装置の冷却水ノズル位置決め部の高さ位置を調整することで、同型の複数台の切削装置のいずれにおいても、装置中の同じ高さ位置に冷却水ノズルを容易に設定することが可能となる。

切削水ノズル位置決め部はノズル調整治具内における位置を調整できるものとすることで、例えば、加工結果が良い場合の切削装置のホイールカバーにおける切削水ノズルの高さ位置及び角度に合わせてノズル調整治具の切削水ノズル位置決め部の高さ位置及び角度を調整し、この高さ位置及び角度の調整がなされたノズル調整治具を用いて、その他の同型の切削装置の切削水ノズル位置決め部の高さ位置及び角度を調整することで、同型の複数台の切削装置のいずれにおいても、装置中の同じ高さ位置及び角度に切削水ノズルを容易に設定することが可能となる。

切削装置の一例を示す斜視図である。スピンドルユニットに切削ブレードを装着する状態を示す斜視図である。ホイールカバーの一例を示す斜視図である。図４（Ａ）は、ノズル調整治具の一例を示す斜視図である。図４（Ｂ）は、ノズル調整治具の一例を示す正面図である。ノズル調整治具により、冷却水ノズルの位置及び切削水ノズルの位置を調整している状態を示す正面図である。

図１に示す切削装置１は、被加工物を保持するチャックテーブル３０と、チャックテーブル３０に保持された被加工物を切削ブレード６０により切削する切削手段６とを少なくとも具備し、切削手段６は、切削ブレード６０がボス部６１２ｂを有するマウントフランジ６１２を介してスピンドル６１０に装着されスピンドル６１０がスピンドルハウジング６１１によって回転可能に支持されたスピンドルユニット６１と、スピンドルハウジング６１１に装着され切削ブレード６０を取り付けるための開口部６２ａを備えるホイールカバー６２と、ホイールカバー６２に位置を調整可能に取り付けられ切削ブレード６０を挟むように切削ブレード６０の表面６０ａ側及び裏面６０ｂ側に配設され切削ブレード６０へ冷却水を供給する一対の冷却水ノズル６９と、ホイールカバー６２に位置及び角度を調整可能に取り付けられ切削ブレード６０の外周方向から切削ブレード６０に向かって切削水を供給する切削水ノズル６８とを備えている。

チャックテーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材などからなり被加工物を吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は図示しない吸引源に連通し、吸着部３００の露出面であり枠体３０１の上面と面一に形成されている保持面３００ａ上でウエーハＷを吸引保持する。なお、保持面３００ａは、Ｚ軸に対し直交する水平面となっている。チャックテーブル３０は、回転手段３１により回転可能に支持されており、かつ、図示しない切削送り手段によってＸ軸方向での移動が可能となっている。また、チャックテーブル３０の周囲には、チャックテーブル３０の径方向に移動でき被加工物を支持するリングフレーム等を固定する固定クランプ３２が配設されている。なお、チャックテーブル３０は、図示のような円形のポーラスチャックに限定されるものではなく、四角形状のジグ式のチャックテーブル等であってもよい。

図１、２に示すスピンドルユニット６１は、例えば、チャックテーブル３０の保持面３００ａに対して水平に配置された円柱状のスピンドルハウジング６１１と、スピンドルハウジング６１１中に回転可能に支持され軸方向がＸ軸方向に対し水平方向に直交する方向（Ｙ軸方向）であるスピンドル６１０と、スピンドルハウジング６１１から−Ｙ方向に突出したスピンドル６１０の先端部分に着脱可能に装着されたマウントフランジ６１２とを備える。マウントフランジ６１２は、フランジ部６１２ａと、フランジ部６１２ａから厚み方向（Ｙ軸方向）に突出しその側面にネジが設けられたボス部６１２ｂとを備える。

切削ブレード６０は、例えば、電鋳ハブブレードであり、円盤状に形成されたアルミニウム製の基台６００と、基台６００の外周部に固定した切り刃６０１とを備える。なお、切削ブレード６０は、電鋳ハブブレードに限定されるものではなく、ダイヤモンド砥粒等を例えばレジン等の適宜のバインダーで固定し、環状に成型したワッシャー型のブレードであってもよい。

切削ブレード６０が、ボス部６１２ｂに挿入され、ボス部６１２ｂのネジと螺合するナット６１３によって、ナット６１３とフランジ部６１２ａとによりＹ軸方向両側から挟まれることで、切削ブレード６０は、マウントフランジ６１２を介してスピンドル６１０に装着される。そして、スピンドルハウジング６１１内に収容される図示しないモータがスピンドル６１０を回転駆動することに伴って、切削ブレード６０も高速回転する。

図１，３に示すホイールカバー６２は、その略中央部に切削ブレード６０を取り付けるための開口部６２ａを備えており、スピンドルハウジング６１１に装着することで、開口部６２ａに切削ブレード６０を位置付け、切削ブレード６０を上方から覆うことができる。開口部６２ａは、ホイールカバー６２をスピンドルハウジング６１１に装着することで、開口部６２ａの中心がスピンドル６１０のＹ軸方向に延びる軸芯線上に位置するように、すなわち、スピンドル６１０の回転中心と開口部６２ａの中心とが一致するように、ホイールカバー６２において形成されている。

図１，３に示すホイールカバー６２の基部６２ｂには、ブレード破損検出器６２０が接続されている。ブレード破損検出器６２０は、切削ブレード６０の上部を挟み込むように対向配置された発光部６２０ａ及び図示しない受光部を有している。すなわち、図１，３に示す光ファイバー６２０ｃに接続された発光部６２０ａの先端と、同じく光ファイバー６２０ｄに接続された図示しない受光部の先端とが、切削ブレード６０の上部の外周を挟んで対向し光軸がＹ軸方向に向くように位置付けられており、発光部６２０ａから射出された検査光は、切削ブレード６０の切り刃６０１によって部分的に遮光されて受光部に受光される。よって、ブレード破損検出器６２０は、受光部における受光量（透過率）の増加に応じて、切削ブレード６０の全損や欠け等の破損状態を検出する。ブレード破損検出器６２０は、調整ネジ６２０ｅによって切削ブレード６０に対する上下位置が調整され、固定ネジ６２０ｆによって調整された位置で固定される。

基部６２ｂの後方側（−Ｘ方向側）には、冷却水ブロック６２１が調整ネジ６２１ｃによりＺ軸方向に移動可能に締結されている。冷却水ブロック６２１には、−Ｙ方向側から見て略Ｌ字形状の一対の冷却水ノズル６９が固定されている。一対の冷却水ノズル６９には、冷却水ブロック６２１を通じて供給ホース６２１ａから冷却水が供給される。一対の冷却水ノズル６９は、冷却水ブロック６２１から下方に延びた後、切削ブレード６０の下部を切削ブレード６０の表面６０ａ側及び裏面６０ｂ側から挟むようにして＋Ｘ方向側に互いに平行に延びている。図３に示すように、一対の冷却水ノズル６９の先端側の切削ブレード６０に相対する位置には、冷却水を噴射するスリット６９ａが複数Ｘ軸方向に整列して設けられており、複数のスリット６９ａによって側方から冷却水が噴射されて、切削ブレード６０と被加工物との加工点の冷却が行われる。

また、冷却水ブロック６２１の下端には、噴射された冷却水を−Ｘ方向側に導く一対の飛沫カバー６２１ｂが、一対の冷却水ノズル６９のＹ軸方向外側に位置するように配設されている。

基部６２ｂの＋Ｘ方向側には、切削水ブロック６２２が、調整ネジ６２２ａによりＹ軸方向にスライド移動可能に締結されている。切削水ブロック６２２には、切削ブレード６０の外周方向から切削ブレード６０に向かって切削水を供給する切削水ノズル６８が配設されている。例えば、切削水ブロック６２２には、連結ブロック６２２ｂが調整ネジ６２２ｃによってＺ軸方向にスライド移動可能に締結されている。調整ネジ６２２ｃは連結ブロック６２２ｂに形成された長孔に挿通されており、調整ネジ６２２ｃを緩めて連結ブロック６２２ｂを長孔に沿って動かすことで、連結ブロック６２２ｂはＺ軸方向にスライド移動できる。連結ブロック６２２ｂの下部には、切削水ノズル６８を支持し調整ネジ６２２ｅを介して矢印Ａ方向に角度調整が可能である切削水ノズル支持具６２２ｄが締結されている。

切削水ノズル６８には、切削水ブロック６２２及び切削水ノズル支持具６２２ｄを通じて供給ホース６２２ｆが連通しており、切削水ノズル６８の先端（切削水噴射口）は切削ブレード６０の切り刃６０１に向かって開口している。切削水ノズル６８は、調整ネジ６２２ｅを緩めて、切削水ノズル支持具６２２ｄを所定の角度に至るように調整した後、調整ネジ６２２ｅを締めることで、切削ブレード６０に対する切削水の外周方向からの噴射角度を定めることができる。切削水ノズル６８によって外周方向から切削ブレード６０に切削水が噴射されることで、回転する切削ブレード６０に切削水が巻き込まれて、加工点に生じる切削屑等と共に−Ｘ方向側に押し出されることで、加工点の洗浄及び冷却が行われる。

図４（Ａ）、（Ｂ）に示すノズル調整治具７は、図１に示す切削装置１のチャックテーブル３０上にノズル調整治具７を置いた状態で、一対の冷却水ノズル６９及び切削水ノズル６８の位置を調整するために用いられる治具である。例えば、ノズル調整治具７は、冷却水ノズル６９の高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部７１と、切削水ノズル６８の高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部７２とを備えている。例えば、冷却水ノズル位置決め部７１及び切削水ノズル位置決め部７２は、半透明のエンプラ樹脂等を所定の形状に成型して各々製造される。

例えば、ノズル調整治具７は、図４（Ａ）、（Ｂ）に示す略直方体形状の基台７ａを備えている。冷却水ノズル６９の高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部７１は、例えば、略直方体状の形状を備えており、その上面７１ａには、Ｘ軸方向に互いに平行に延びる一対の嵌合溝７１０が形成されている。一対の嵌合溝７１０は、一対の冷却水ノズル６９が冷却水ノズル位置決め部７１の上面７１ａに当接された際に、各冷却水ノズル６９がそれぞれの嵌合溝７１０に嵌る状態となるように、Ｙ軸方向における互いの間隔が定められている。なお、冷却水ノズル位置決め部７１の上面７１ａに、一対の嵌合溝７１０が形成されていなくてもよい。

冷却水ノズル位置決め部７１は、例えば、基台７ａの前面（−Ｙ方向側）に配設された取り付けプレート７３に、調整ネジ７１２によりＺ軸方向に移動可能に締結されている。調整ネジ７１２は、冷却水ノズル位置決め部７１の側面からＹ軸方向に貫通して形成された長孔に挿通されており、調整ネジ７１２を緩めて冷却水ノズル位置決め部７１を長孔に沿ってＺ軸方向にスライド移動させることで、基台７ａに対する冷却水ノズル位置決め部７１の高さ位置を変えることができる。なお、調整ネジ７１２の配設箇所は図示の例には限定されず、例えば、冷却水ノズル位置決め部７１にもう一箇所長孔をＹ軸方向に向かって貫通形成し調整ネジ７１２を挿通させ、より正確に冷却水ノズル位置決め部７１を長孔に沿ってＺ軸方向に移動できるようにしてもよい。

切削水ノズル６８の高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部７２は、例えば、全体が略Ｌ字状の形状を備えており、その上面７２ａには、例えば、段差が形成されている。本実施形態においては段差が１段であるが、２段以上あってもよい。このように、上面７２ａの高さ位置に違いを設け、切削水ノズル６８を支持する切削水ノズル支持具６２２ｄの底面を上面７２ａに当接させることにより、切削水ノズル６８の高さ位置を選択できるようになっている。切削水ノズル位置決め部７２の上面７２ａからは、切削水ノズル支持具６２２ｄの角度を上面７２ａと共に規制する規制部７２０が立設されている。

切削水ノズル位置決め部７２は、基台７ａの前面（−Ｙ方向側）に配設された取り付けプレート７４に、調整ネジ７２１により矢印Ｂ方向に角度調整可能に締結されている。調整ネジ７２１は切削水ノズル位置決め部７２の側面に形成された曲長孔に挿通されており、調整ネジ７２１を緩めて切削水ノズル位置決め部７２を曲長孔に沿って移動させることで、切削水ノズル位置決め部７２の基台７ａに対する位置及び角度を変えることができる。また、切削水ノズル位置決め部７２が締結されている取り付けプレート７４が、調整ネジ７４１により基台７ａに対してＺ軸方向に移動可能に締結されていることにより、取り付けプレート７４をＺ軸方向に移動させることで、基台７ａに対する冷却水ノズル位置決め部７１のＺ軸方向における高さ位置を調整できるようになっている。

以下に、図１、及び図４〜５を用いて、ノズル調整治具７により冷却水ノズル６９の高さ位置や切削水ノズル６８の高さ位置及び角度を調整する場合の、調整方法及びノズル調整治具７の各構成の動作について説明する。

まず、一対の冷却水ノズル６９の高さ位置を調整する場合について、以下に説明していく。冷却水ノズル６９の高さ位置を調整するにあたっては、図１に示すホイールカバー６２において、冷却水ノズル６９がどの高さ位置にある場合に良好な加工結果が得られるかを調べる実験をあらかじめ行う。例えば、被加工物のチッピングのサイズが小さくなったり、切削ブレード６０のブレードの磨耗量が極端に多くならなかったりするときの条件を得るための実験を予め行う。そして、ホイールカバー６２における冷却水ノズル６９の適切な高さ位置を決定しておく。このホイールカバー６２における冷却水ノズル６９の適切な高さ位置は、例えば、上記実験において良好な加工結果が得られた場合における、チャックテーブル３０の保持面３００ａから冷却水ノズル６９までのＺ軸方向における距離で定められる。なお、実験は、例えば、切削装置１を用いて、ダミーウエーハに対し切削加工を行うことにより行う。

次いで、ホイールカバー６２における冷却水ノズル６９の適切な高さ位置が決定された切削装置１を用いて、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すノズル調整治具７の調整を行う。すなわち、切削装置１のチャックテーブル３０上にノズル調整治具７を冷却水ノズル位置決め部７１の上面７１ａが上側を向くように置き、冷却水ノズル位置決め部７１の上面７１ａが、先の実験により得られた良好な加工結果が得られた場合における冷却水ノズル６９の適切な高さ位置に至るように、調整ネジ７１２を緩めて冷却水ノズル位置決め部７１を長孔に沿ってＺ軸方向にスライド移動させることで、ノズル調整治具７の調整を行う。

次いで、上述の実験に用いた切削装置１と同型の別の切削装置１の冷却水ノズル６９の高さ位置を調整していく。まず、図１に示すチャックテーブル３０をＸ軸方向に移動させ、切削手段６の下方に位置付ける。さらに、本実施形態においては図５に示すように、位置調整をより行いやすくするために、切削ブレード６０をスピンドル６１０から取り外し、ホイールカバー６２の開口部６２ａが空いている状態にする。なお、図５においては、ホイールカバー６２が装着された状態となっているスピンドルハウジング６１１を備えるスピンドルユニット６１については図示を省略している。また、冷却水ノズル６９の高さ位置の調整時に切削ブレード６０とノズル調整治具７とが接触するおそれがない場合は、切削ブレード６０をスピンドル６１０から取り外さなくてもよい。

、チャックテーブル３０の保持面３００ａ上に、先に調整した冷却水ノズル位置決め部７１を上面７１ａが上側を向くように載置し、上面７１ａ上の一対の嵌合溝７１０が、一対の冷却水ノズル６９の直下に来るように、冷却水ノズル位置決め部７１を位置付ける。この状態において、冷却水ノズル位置決め部７１の上面７１ａの高さ位置は、一対の冷却水ノズル６９の高さを合わせるための適切な高さ位置となっている。

ここで、切削装置１の一対の冷却水ノズル６９の高さ位置が、例えば、冷却水ノズル位置決め部７１の上面７１ａよりも高い位置にあるとする。この場合においては、図５に示す調整ネジ６２１ｃを緩めて、冷却水ブロック６２１を長孔に沿って下方に動かしていき、冷却水ブロック６２１に固定されている一対の冷却水ノズル６９を、冷却水ノズル位置決め部７１の上面７１ａに当接させる。本実施形態においては、各冷却水ノズル６９が、上面７１ａ上の一対の嵌合溝７１０にそれぞれが嵌合する状態となる。

上記のように、ノズル調整治具７は、冷却水ノズル６９の高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部７１を少なくとも有することで、チャックテーブル３０上にノズル調整治具７を置いた状態で、冷却水ノズル６９を冷却水ノズル位置決め部７１の上面７１ａに当接させることで、冷却水ノズル６９の位置を容易に調整することが可能となる。

また、ノズル調整治具７内における冷却水ノズル位置決め部７１の位置を調整できるものとすることで、加工結果が良い場合の切削装置１のホイールカバー６２における冷却水ノズル６９の高さ位置に合わせてノズル調整治具７の冷却水ノズル位置決め部７１の高さ位置を調整し、この高さ位置の調整がなされたノズル調整治具７を用いて、その他の同型の別の切削装置１の冷却水ノズル６９の高さ位置を調整することで、同型の複数台の切削装置１のいずれにおいても、装置中の同じ高さ位置に冷却水ノズル６９を容易に設定することができる。

次に、切削水ノズル６８の高さ位置及び角度を調整する場合について、以下に説明していく。切削水ノズル６８の高さ位置及び角度を調整するにあたっては、図１に示すホイールカバー６２において切削水ノズル６８がどの高さ位置及び角度にある場合に、例えば切削屑等が被加工物上面から十分に除去されている状態となる等の良好な加工結果が得られるかについてのデータを得るための実験を予め行うことで、ホイールカバー６２における切削水ノズル６８の適切な高さ位置及び角度を決定しておく。このホイールカバー６２における切削水ノズル６８の適切な高さ位置は、例えば、上記実験において良好な加工結果が得られた場合における、チャックテーブル３０の保持面３００ａから切削水ノズル６８までのＺ軸方向における距離、すなわち、本実施形態においては、チャックテーブル３０の保持面３００ａから切削水ノズル６８を支持する切削水ノズル支持具６２２ｄの底面までのＺ軸方向における距離で定められる。また、ホイールカバー６２における切削水ノズル６８の適切な角度は、例えば、上記実験において良好な加工結果が得られた場合における、チャックテーブル３０の保持面３００ａに対する切削水ノズル６８の傾斜角度、すなわち、本実施形態においては、チャックテーブル３０の保持面３００ａに対する切削水ノズル６８を支持する切削水ノズル支持具６２２ｄの傾斜角度により定められる。なお、実験は、例えば、切削装置１を用いて、ダミーウエーハに対し切削加工を行うことにより行う。

次いで、ホイールカバー６２における切削水ノズル６８の適切な高さ位置及び角度が決定された切削装置１を用いて、ノズル調整治具７の調整を行う。すなわち、例えば、切削装置１のチャックテーブル３０上にノズル調整治具７を切削水ノズル位置決め部７２の上面７２ａが上側を向くように置き、切削水ノズル位置決め部７２の高いほうの上面７２ａが、先の実験において得られた良好な加工結果が得られた場合における切削水ノズル６８の適切な高さ位置に至るように、調整ネジ７４１を緩めて取り付けプレート７４を長孔に沿ってＺ軸方向にスライド移動させる。また、例えば、図４（Ａ）、（Ｂ）に示す調整ネジ７２１を緩めて切削水ノズル位置決め部７２を曲長孔に沿って移動させることで、切削水ノズル位置決め部７２のチャックテーブル３０の保持面３００ａに対する角度を変える。本実施形態においては、切削水ノズル支持具６２２ｄの底面を切削水ノズル位置決め部７２の上面７２ａに当接させつつ、切削水ノズル支持具６２２ｄの背面６２２ｇに、切削水ノズル位置決め部７２の規制部７２０の前面７２０ａを当接させる。このような調整を行うことで、切削水ノズル位置決め部７２のチャックテーブル３０の保持面３０ａに対する高さ位置及び角度が適切な状態となる。

次いで、上述の実験に用いた切削装置１と同型の別の切削装置１の切削水ノズル６８の高さ位置及び角度を調整していく。まず、図１に示すチャックテーブル３０をＸ軸方向に移動させ、切削手段６の下方に位置付ける。次いで、本実施形態においては、図５に示すように、調整をより行いやすくするために、切削ブレード６０をスピンドル６１０から取り外し、ホイールカバー６２の開口部６２ａが空いている状態にする。なお、冷却水ノズル６９の高さ位置の調整時に切削ブレード６０とノズル調整治具７とが接触するおそれがない場合は、切削ブレード６０をスピンドル６１０から取り外さなくてもよい。

また、チャックテーブル３０の保持面３００ａ上に、先に調整した切削水ノズル位置決め部７２を上面７２ａが上側を向くように載置し、高い方の上面７２ａが切削水ノズル６８の直下、すなわち、本実施形態においては、切削水ノズル６８を支持する切削水ノズル支持具６２２ｄの底面の直下に来るように、切削水ノズル位置決め部７２を位置付ける。この状態において、切削水ノズル位置決め部７２の上面７２ａの高さ位置は、切削水ノズル６８の高さを合わせるための適切な高さ位置となっている。

ここで、切削装置１の切削水ノズル６８の高さ位置が、例えば、切削水ノズル位置決め部７２の上面７２ａよりも高い位置にあるとする。この場合においては、図５に示す調整ネジ６２２ｃを緩めて、連結ブロック６２２ｂを長孔に沿って下方に動かしていき、切削水ノズル支持具６２２ｄの底面を、切削水ノズル位置決め部７２の高いほうの上面７２ａに当接させる。この状態において、切削水ノズル支持具６２２ｄの背面６２２ｇ（図５においては、＋Ｘ方向側を向いている面）が、切削水ノズル位置決め部７２の規制部７２０の前面７２０ａ（図５においては、−Ｘ方向側に向いている面）に当接していない場合には、調整ネジ７２１を緩めて、切削水ノズル支持具６２２ｄを曲長孔に沿って動かしていき、切削水ノズル支持具６２２ｄの背面６２２ｇを、切削水ノズル位置決め部７２の規制部７２０の前面７２０ａを当接させる。

上記のように、ノズル調整治具７は、切削水ノズル６８の高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部７２を有することで、チャックテーブル３０上にノズル調整治具７を置いた状態で、切削水ノズル６８を切削水ノズル位置決め部７２の上面７２ａに当接させることで、切削水ノズル６８の高さ位置及び角度を容易に調整することが可能となる。

また、ノズル調整治具７内における切削水ノズル位置決め部７２の位置を調整可能とすることで、加工結果が良い場合の切削装置１のホイールカバー６２における切削水ノズル６８の高さ位置及び角度に合わせてノズル調整治具７の切削水ノズル位置決め部７２の高さ位置及び角度を調整し、この調整がなされたノズル調整治具７を用いて、その他の同型の別の切削装置１の切削水ノズル６８の高さ位置及び角度を調整することで、同型の複数台の切削装置１のいずれにおいても、装置中の同じ高さ位置及び角度に切削水ノズル６８を容易に設定することができる。

なお、本発明に係るノズル調整治具７は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されているノズル調整治具７の各構成の配設位置や大きさ等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

例えば、被加工物がパッケージ基板であり、このパッケージ基板を切削し完全に切断する場合には、パッケージ基板の裏面にダイシングテープを貼着せずに、パッケージ基板の裏面を直にチャックテーブルの保持面に接触させた状態で吸引保持を行い、吸引保持されたパッケージ基板の切削を行っていくことが多い。この場合においては、本実施形態におけるように、加工結果が良い場合の切削装置１のホイールカバー６２における冷却水ノズル６９の位置（高さ）を決定する実験においては、チャックテーブル３０の保持面３００ａから冷却水ノズル６９までのＺ軸方向における距離が基準となってくる。

しかし、被加工物が、半導体ウエーハ等である場合においては、ウエーハに貼着された粘着テープの粘着面の外周部をリングフレームに貼着することで、ウエーハを、粘着テープを介してリングフレームに支持された状態（フレームユニットとなった状態）とし、このフレームユニットの状態で、ウエーハに対する加工を行っていく場合が多い。よって、この場合は、加工結果が良い場合の切削装置１のホイールカバー６２における冷却水ノズル６９の位置（高さ）を決定する実験においては、チャックテーブル３０の保持面３００ａ上に載った状態となっている粘着テープの上面から冷却水ノズル６９までのＺ軸方向における距離が基準となってくる。したがって、この場合においては、チャックテーブル３０上の粘着テープ越しにノズル調整治具７を置いた状態で、ノズル調整治具７による冷却水ノズル６９等の調整が行われる。

また、チャックテーブル３０の保持面３００ａ上がノズル調整治具７の載置により傷付けられることを防ぐために、切削装置１において、チャックテーブル３０の近傍に、チャックテーブル３０の保持面３００ａとＺ軸方向の高さ位置が同一となる保持面を備えた調整用のテーブルを配設することにより、ノズル調整治具７による冷却水ノズル６９等の調整を、この調整用のテーブルで行うものとしてもよい。

１：切削装置
３０：チャックテーブル３００：吸着部３００ａ：保持面３０１：枠体
３１：回転手段３２：固定クランプ
６：切削手段
６０：切削ブレード６０ａ：切削ブレードの表面６０ｂ：切削ブレードの裏面
６００：基台６０１：切り刃
６１：スピンドルユニット６１０：スピンドル６１１：スピンドルハウジング
６１２：マウントフランジ６１２ａ：フランジ部６１２ｂ：ボス部６１３：ナット
６２：ホイールカバー６２ａ：開口部６２ｂ：基部
６２０：ブレード破損検出器６２０ａ：発光部６２０ｃ、６２０ｄ：光ファイバー
６２０ｅ：調整ネジ６２０ｆ：固定ネジ
６２１：冷却水ブロック６２１ａ：供給ホース６２１ｂ：一対の飛沫カバー
６２１ｃ：調整ネジ
６９：一対の冷却水ノズル６９ａ：スリット
６２２：切削水ブロック６２２ａ、６２２ｃ、６２２ｅ：調整ネジ
６２２ｂ：連結ブロック６２２ｄ：切削水ノズル支持具
６２２ｇ：切削水ノズル支持具の背面６２２ｆ：供給ホース
６８：切削水ノズル
７：ノズル調整治具７ａ：基台
７１：冷却水ノズル位置決め部７１ａ：冷却水ノズル位置決め部の上面
７１０：一対の嵌合溝７１２：調整ネジ７３：取り付けプレート
７２：切削水ノズル位置決め部７２ａ：切削水ノズル位置決め部の上面
７２０：規制部７２０ａ：規制部の前面７２１：調整ネジ
７４：取り付けプレート７４１：調整ネジ

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、
該切削手段は、該切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着され該スピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、該スピンドルハウジングに装着され該切削ブレードを取り付けるための開口部を備えるホイールカバーと、該ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ該切削ブレードを挟むように該切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され該切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、該ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ該切削ブレードの外周方向から該切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用されるノズル調整治具であって、
該ノズル調整治具は、
該冷却水ノズルの高さを調整するための冷却水ノズル位置決め部を少なくとも有し、
該チャックテーブル上に該ノズル調整治具を置いた状態で、該冷却水ノズルを該冷却水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、該冷却水ノズルの位置を調整し、
該冷却水ノズル位置決め部は、該ノズル調整治具内における位置を調整できることを特徴とするノズル調整治具。
被加工物を保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削ブレードにより切削する切削手段とを少なくとも具備し、
該切削手段は、該切削ブレードがボス部を有するマウントフランジを介してスピンドルに装着され該スピンドルがスピンドルハウジングによって回転可能に支持されたスピンドルユニットと、該スピンドルハウジングに装着され該切削ブレードを取り付けるための開口部を備えるホイールカバーと、該ホイールカバーに位置を調整可能に取り付けられ該切削ブレードを挟むように該切削ブレードの表面側及び裏面側に配設され該切削ブレードへ冷却水を供給する一対の冷却水ノズルと、該ホイールカバーに位置及び角度を調整可能に取り付けられ該切削ブレードの外周方向から該切削ブレードに向かって切削水を供給する切削水ノズルと、を備える切削装置において使用されるノズル調整治具であって、
該ノズル調整治具は、
該切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部を少なくとも有し、
該チャックテーブル上に該ノズル調整治具を置いた状態で、該切削水ノズルを該切削水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、該切削水ノズルの位置を調整し、
該切削水ノズル位置決め部は、該ノズル調整治具内における位置を調整できることを特徴とするノズル調整治具。
前記ノズル調整治具は、
前記切削水ノズルの高さ及び角度を調整するための切削水ノズル位置決め部を有し、
前記チャックテーブル上に該ノズル調整治具を置いた状態で、前記切削水ノズルを該切削水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、該切削水ノズルの位置を調整する、請求項１に記載のノズル調整治具。
前記切削水ノズル位置決め部は、前記ノズル調整治具内における位置を調整できる請求項３に記載のノズル調整治具。
前記ノズル調整治具は、
前記冷却水ノズルの高さ及び角度を調整するための冷却水ノズル位置決め部を有し、
前記チャックテーブル上に該ノズル調整治具を置いた状態で、前記冷却水ノズルを該冷却水ノズル位置決め部の上面に当接させることで、該冷却水ノズルの位置を調整する、請求項２に記載のノズル調整治具。