JP6674218B2 - インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 - Google Patents
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Description
また、S205において、インプリント処理の異常として、基板上に供給すべき樹脂Rの液滴の抜けが検知された場合には、ディスペンサ11(吐出口)に付着しているごみの除去処理を自動的に行うことで、インプリント処理を継続することも可能である。
Claims (18)
- 基板上のインプリント材にモールドを用いてパターンを形成するインプリント装置であって、
前記モールド及び前記基板の少なくとも一方の画像を取得する撮像部と、
インプリント処理の良否を判定する判定部と、を有し、
前記インプリント処理は、前記基板上にインプリント材を供給する第1工程と、前記モールドと前記基板上のインプリント材とを接触させる第2工程と、を含み、
前記判定部は、前記インプリント材が供給された前記基板を前記モールドに対して位置決めした後に前記撮像部によって前記モールドを介して取得された画像に基づいて、前記第1工程における前記インプリント処理の第1基準に関する良否を判定し、前記第2工程における前記インプリント処理の前記第1基準とは異なる第2基準に関する良否を判定し、前記インプリント処理の間の少なくとも、前記インプリント材に前記モールドを前記基板側に凸形状に変形させた状態で接触させている状態と、前記凸形状に変形させた前記モールドを元に戻した状態で前記インプリント材に接触させている状態とで、前記第1基準と前記第2基準とを切り替えながら良否の判定を行うことを特徴とするインプリント装置。 - 前記インプリント処理は、前記基板上の硬化したインプリント材から前記モールドを引き離す第3工程を含み、
前記判定部は、前記第3工程において前記撮像部によって撮像された画像に基づいて、前記インプリント処理の前記第1基準及び前記第2基準とは異なる第3基準に関する良否を判定することを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記撮像部は、前記モールドで反射された光と前記基板で反射された光との干渉縞を含む画像を取得し、
前記判定部は、前記第2工程において、前記干渉縞に基づいて、前記インプリント処理の良否を判定することを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。 - 前記判定部は、前記第2工程において、前記干渉縞に基づいて、前記モールドと前記基板との間に存在する異物の有無を判定することを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。
- 前記判定部は、前記撮像部によって取得された前記画像に含まれる前記干渉縞の位置及び真円度の少なくとも一方に関する情報に基づいて、前記モールドが傾いた状態で前記基板上のインプリント材に接触しているか否かを判定することを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。
- 前記基板上に前記インプリント材の液滴を吐出するディスペンサを更に有し、
前記判定部は、前記撮像部によって取得された前記画像に含まれる前記干渉縞に基づいて、前記ディスペンサから前記基板上に供給すべき前記液滴に抜けがあるか否かを判定することを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 前記判定部は、前記撮像部によって取得された前記画像に含まれる前記干渉縞と、前記ディスペンサから前記基板上に供給すべき前記液滴に抜けがないときに得られる基準干渉縞とを比較し、前記ディスペンサが前記液滴を供給する間に前記基板の移動方向に生じる明暗線の有無を検出し、前記基板上に供給すべき前記液滴に抜けがあるか否かを判定することを特徴とする請求項6に記載のインプリント装置。
- 前記判定部は、前記撮像部によって取得された前記画像に含まれる干渉縞において、前記干渉縞の境界線が前記移動方向と平行な直線に近似しているか否かによって、当該干渉縞における前記明暗線の有無を検出することを特徴とする請求項7に記載のインプリント装置。
- 前記モールドと前記基板上のインプリント材との接触によって生じる力を検出する力センサを更に有し、
前記判定部は、前記力センサで検出される力が閾値を超えたタイミングにおいて、前記インプリント処理の良否を判定することを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 前記モールドと前記基板上のインプリント材との接触によって生じる力を検出する力センサを更に有し、
前記判定部は、前記力センサが前記力を検出したタイミングにおいて、前記インプリント処理の良否を判定することを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 前記モールドに形成されたマークと前記基板に形成されたマークとを検出してアライメント信号を生成するアライメント検出部を更に有し、
前記判定部は、前記アライメント検出部で生成されるアライメント信号が予め設定された期間内で安定したタイミングにおいて、前記インプリント処理の良否を判定することを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。 - 前記判定部は、前記撮像部によって取得された前記画像に含まれる前記干渉縞のサイズが予め定められたサイズよりも大きくなったタイミングにおいて、前記インプリント処理の良否を判定することを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。
- 前記撮像部は、前記モールドで反射された光と前記基板で反射された光との干渉縞を含む画像を取得し、
前記判定部は、前記第3工程において、前記干渉縞に基づいて、前記インプリント処理の良否を判定することを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。 - 前記判定部は、前記干渉縞のサイズが予め定められたサイズよりも小さくなったタイミングにおいて、前記インプリント処理の良否を判定することを特徴とする請求項13に記載のインプリント装置。
- 前記第1基準又は前記第2基準は、前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部に設けられた吐出口から吐出された前記インプリント材の液滴の良否を判定するための基準を含むことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 基板上のインプリント材にモールドを用いてパターンを形成するインプリント装置であって、
前記モールド及び前記基板の少なくとも一方の画像を取得する撮像部と、
インプリント処理の良否を判定する判定部と、を有し、
前記インプリント処理は、前記基板上にインプリント材を供給する第1工程と、前記モールドと前記基板上のインプリント材とを接触させる第2工程と、前記基板上の硬化したインプリント材から前記モールドを引き離す第3工程とを含み、
前記判定部は、前記インプリント材が供給された前記基板を前記モールドに対して位置決めした後に前記撮像部によって前記モールドを介して取得された画像に基づいて、前記第1工程における前記インプリント処理の第1基準に関する良否を判定し、前記第2工程における前記インプリント処理の前記第1基準とは異なる第2基準に関する良否を判定し、前記第3工程における前記インプリント処理の前記第1基準及び前記第2基準とは異なる第3基準に関する良否を判定し、前記インプリント処理の間の少なくとも、前記インプリント材に前記モールドを前記基板側に凸形状に変形させた状態で接触させている状態と、前記凸形状に変形させた前記モールドを元に戻した状態で前記インプリント材に接触させている状態とで、前記第1基準と前記第2基準と前記第3基準とを切り替えながら良否の判定を行うことを特徴とするインプリント装置。 - 基板上のインプリント材にモールドを用いてパターンを形成するインプリント処理を行うインプリント方法であって、
前記インプリント処理は、前記基板上にインプリント材を供給する第1工程と、前記モールドと前記基板上のインプリント材とを接触させる第2工程と、を含み、
前記インプリント方法は、前記インプリント材が供給された前記基板を前記モールドに対して位置決めした後に前記モールド及び前記基板の少なくとも一方を撮像して取得される画像に基づいて、前記第1工程における前記インプリント処理の第1基準に関する良否を判定し、前記第2工程における前記インプリント処理の前記第1基準とは異なる第2基準に関する良否を判定し、前記インプリント処理の間の少なくとも、前記インプリント材に前記モールドを前記基板側に凸形状に変形させた状態で接触させている状態と、前記凸形状に変形させた前記モールドを元に戻した状態で前記インプリント材に接触させている状態とで、前記第1基準と前記第2基準とを切り替えながら良否の判定を行うことを特徴とするインプリント方法。 - 請求項1乃至16のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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