JP6673103B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
このような位置ずれ防止を目的とした従来技術として特許文献1が知られている。この特許文献1には、位置決め用の安全装置が開示されている。この安全装置は、リブの外側に設けられ、軸方向に折り曲げた構造を有する。または、リブの内側に設けられ、軸方向に折り曲げた構造を有する(特許文献1参照)。
また、板金加工で製作された分割ステータの周方向端部同士の重なりを防止するようにしたターボ分子ポンプも知られている(特許文献2参照)。
周方向端部同士の重なりを防止する特許文献2の分割ステータは、径方向を拘束できないので、径方向の位置ずれが生じるとポンプ性能に悪影響を与える。
(2)本発明の好ましい実施の形態の真空ポンプの位置決め部を、外周リブ部がスペーサで挟持される平面から突設された突部とすることができる。
(3)本発明の好ましい実施の形態の真空ポンプの位置決め部を、外周リブ部の表面のうち、スペーサに載置される面から突設する突部とすることができる。
(4)本発明の好ましい実施の形態である上記(3)記載の真空ポンプの突部は、その中央部に外周リブ部の表面から裏面まで貫通する貫通孔を有する筒状体とすることができる。
(5)本発明の好ましい実施の形態である上記(3)記載の真空ポンプの突部を、外周リブ部の表面から裏面まで所定深さを有する窪みを有し、窪みの底部が外周リブ部の裏面から所定高さで突設して形成することができる。
(6)本発明の好ましい実施の形態の真空ポンプは、上記(1)〜(5)までのいずれかに記載の真空ポンプにおいて、位置決め部は、外周リブ部の周方向の両端面の間に、各端面から露出しないように設けられている。
なお、本発明は、磁気軸受式の真空ポンプに限定されることなく、たとえば、永久磁石式の真空ポンプにも適用できる。
なお、図2において、ステータ翼47は、外周リブ部45とは接続部47aで接続され、内周リブ部46とは接続部47bで接続されている。プレス加工で製作されるステータ翼47は、これら接続部47a、47bが外周リブ部45、内周リブ部46の平面に対して捻られている。
なお、本発明のステータはプレス加工で製作されたものに限定されず、切削加工で製作されるステータにも適用できる。また、本発明の真空ポンプは、プレス加工で製作されたステータと、切削加工で製作されるステータの双方を備えるものも含む。
このように、本実施の形態では、上述したように、ターボ分子ポンプ100毎の性能のばらつき、および、分解前後でのターボ分子ポンプ100の性能のばらつきを抑制できるので、ターボ分子ポンプ100の性能を安定化できる。
本実施の形態では、外周リブ部45の内周面と外周面との間の領域に突部70を形成している。したがって、外周リブ部45の内周側の端部や外周側の端部を折り曲げ加工することで突部70を形成する場合のように、外周リブ部45の内周側の端部や外周側の端部に位置決め突部形成用の折り曲げ代を設ける必要がない。これにより、ステータ翼47の半径方向の翼長を確保でき、ステータ翼47の形状に対する制約を緩和でき、ターボ分子ポンプ100の性能を向上できる。また、ステータ翼の外周に位置決め突部を形成するための折り曲げ代を設ける場合、ステータ翼外周面とケーシング内周面との間に不所望な空間が形成されてポンプ性能に悪影響を与える。しかし、本発明にように、外周リブ部45の外周面と内周面との間のステータ表面(平面)に突設する位置決め用突部を形成すれば、ポンプ性能に悪影響を与える空間が生じない。
本実施の形態では、凹部59が円形の断面形状、すなわち丸穴であるので、凹部59の加工が容易で、製造コストの増加を抑制できる。
(1)複数に分割されたステータリング44Aで構成され、ポンプケーシング52内でスペーサ58に上下面を挟持されて固定されるステータ44において、ステータリング44Aの各々は、円弧形状を呈し、スペーサ58と協働して周方向と径方向の位置決めを行う突状の突部70を有する外周リブ部45と、円弧形状を呈し、外周リブ部45の内側に設けられた内周リブ部46と、外周リブ部45と内周リブ部46との間に設けられた複数枚のステータ翼47とを備える。突部70は、外周リブ部45の外周側面と内周側面との間に設けられている。したがって、外周リブ部45の内周側の端部や外周側の端部を折り曲げ加工することで突部70を形成する場合(特許文献1)のように、外周リブ部45の内周側の端部や外周側の端部に位置決め突部形成用の折り曲げ代を設ける必要がない。これにより、ステータ翼47の半径方向の翼長を確保でき、ステータ翼47の形状に対する制約を緩和でき、ターボ分子ポンプ100の性能を向上できる。
また、従来技術である特許文献1の真空ポンプでは折り曲げ部を有しているので、たとえば、ステータ外周面と、ケーシング内周面との間にステータ肉厚分の無駄な空所が形成されて、真空性能が低下する。しかし、本発明では外周リブ部45の径方向の中間位置に位置決め部を形成しているの、真空性能に悪影響を与えない。
(2)突部70は、外周リブ部45がスペーサ58で挟持される平面から突設された突部である。これにより、スペーサ58に設けられた凹部59に突部70を容易に嵌合させることができるので、ターボ分子ポンプ100の組み立て性が向上する。
(3)突部70は、外周リブ部45の表面のうち、スペーサ58に載置される面から突設する突部である。これにより、スペーサ58に設けられた凹部59に突部70を容易に嵌合させることができるので、ターボ分子ポンプ100の組み立て性が向上する。
(4)突部70は、その中央部に外周リブ部45の表面から裏面まで貫通する貫通孔を有する筒状体である。これにより、たとえばバーリング加工によって板状の外周リブ部45に突部70を容易に形成できるので、製造コストの増加を抑制できる。
(変形例1)上述の説明では、突部70は、たとえばバーリング加工によって形成された無底の突部であった。しかし、突部70は、図4に示すように、有底であってもよい。
図4に示した突部70Aは、外周リブ部45の表面から裏面まで所定深さを有する窪みを有し、窪みの底部が外周リブ部45の裏面から所定高さで突設している。図4に示した突部70Aは、たとえば、エンボス加工によって形成できる。有底の突部70Aを設けたスペーサ44を有するターボ分子ポンプ100は、上述した実施の形態の作用効果と同様の作用効果を奏する。
Claims (6)
- 複数に分割されたステータ要素を有するステータと、
前記ステータの積層方向の位置決めを行うスペーサと、を備え、
前記ステータ要素の各々は、
円弧形状を呈し、前記スペーサと協働して周方向と径方向の位置決めを行う凹状または突状の位置決め部を有する外周リブ部と、
円弧形状を呈し、前記外周リブ部の内側に設けられた内周リブ部と、
前記外周リブ部と前記内周リブ部との間に設けられた複数枚のステータ翼とを備え、
前記位置決め部は、前記外周リブ部の外周側面と内周側面との間であって、かつ、前記ステータ要素それぞれの周方向の両端面の間において、前記スペーサの係合部に係合され、前記ステータ要素の径方向および周方向の移動が規制される真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記位置決め部は、前記外周リブ部が前記スペーサで挟持される平面から突設された突
部である真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記位置決め部は、前記外周リブ部の表面のうち、前記スペーサに載置される面から突
設する突部である真空ポンプ。 - 請求項3に記載の真空ポンプにおいて、
前記突部は、その中央部に前記外周リブ部の前記表面から裏面まで貫通する貫通孔を有
する筒状体である真空ポンプ。 - 請求項3に記載の真空ポンプにおいて、
前記突部は、前記外周リブ部の前記表面から裏面まで所定深さを有する窪みを有し、前
記窪みの底部が前記外周リブ部の裏面から所定高さで突設している真空ポンプ。 - 請求項1から5までのいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記位置決め部は、前記外周リブ部の周方向の両端面の間に、各端面から露出しないように設けられている真空ポンプ。
Priority Applications (1)
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JP2016166991A JP6673103B2 (ja) | 2016-08-29 | 2016-08-29 | 真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018035685A JP2018035685A (ja) | 2018-03-08 |
JP6673103B2 true JP6673103B2 (ja) | 2020-03-25 |
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Family Applications (1)
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Country | Link |
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JP (1) | JP6673103B2 (ja) |
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