JP6655133B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
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Description
12 インレットフランジ
14 ポンプインレット
16 ハウジング
18 回転軸
20 ローターシャフト
22 ローターディスク
24 ステーターディスク
26 スペーサーリング
28 吸込み領域
30 矢印
32 予負荷兼スペーサーリング
34 シール領域
36 フローガスインレット
38 冷却媒体インレット
40 冷却媒体アウトレット
42 転がり支承部
44 永久磁石支承部
46 支承半部
48 支承半部
50 永久磁石のリング
52 永久磁石のリング
54 支承間隙
56 緊急用又は安全用支承部
58 スプラッシュスクリュー
60 潤滑媒体チャネル
62 駆動モーター
64 制御ユニット
66 電気的接続部
68 シールガスインレット
70 排出領域、チャンバー
72 ラビリンスシール
74 ポンプアウトレット
76 冷却媒体管
77 シール
78 潤滑媒体ポンプ
80 カバー部
81 シール
82 モーターキャリア
83 シール
84 転がり支承部懸架部
86 電気的展開部
88 被覆
90 下部分
92 モーターステーター
93 モーターローター
94 外装壁部
96 正面壁部
98 貫通開口部
100 カラー部分
102 ラビリンスシール要素
104 カラー部
106 突出部
108 溝
110 貫通開口部
112 シールウェブ
114 接続開口部
116 接続基盤
118 シールリング
120 接続配線
122 キャスティングコンパウンド
124 真空空間
126 圧力室
128 モーター制御基盤
130 供給配線
132 コネクター接続部
134 第二のシールリング
136 第三のシールリング
138 第四のシールリング
140 第五のシールリング
142 切欠き部
144 孔部
Claims (13)
- 真空ポンプ(10)、又はターボ分子ポンプであって、
真空空間(124)を有し、
真空空間(124)内に配置されたモーターローター(93)を有し、そして、
モーターローター(93)を取り囲むモーターステーター(92)を有する真空ポンプ(10)において、
モーターステーター(92)を配するモーターキャリア(82)が設けられ、その外側が部分的に圧力室(126)に隣接し、このモーターキャリアは、圧力室の方に向けられた接続開口部(114)を有し、この接続開口部は、接続基盤(116)によって真空密に密閉されており、そしてこれは、モーターステーター(92)を部分的に取り囲むキャスティングコンパウンド(122)を有し、
少なくとも一つの電気的な接続配線(120)が設けられ、この接続配線が、キャスティングコンパウンド(122)を通って延びており、その一方の端部がモーターステーター(92)に接続されており、そしてその他方の端部が接続基盤(116)のキャスティングコンパウンド(122)の方の側に接続されており、そして、
少なくとも一つの電気的な供給配線(130)が設けられており、この供給配線が、圧力室(126)を通って延びており、そしてその一方の端部が、接続基盤(116)の圧力室の方の側に接続されており、接続基盤(116)が、モーターキャリア(82)の半径方向に延びる壁部部分に取り付けられていることを特徴とする真空ポンプ(10)。 - 少なくとも一つの電気的な供給配線(130)の他方の端部が、モーター制御部と接続されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ(10)。
- 接続基盤(116)が、モーターキャリア(82)の外側に取り付けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ(10)。
- シール要素(118)が、接続基盤(116)と壁部部分の間に設けられていることを特徴とする請求項1から3の少なくとも一項に記載の真空ポンプ(10)。
- モーターキャリア(82)が、軸方向に延びる外装壁部(94)と、半径方向に延びる正面壁部(96)を有し、この中に、貫通開口部(110)が形成されており、この貫通開口部が、真空空間(124)の部分であることを特徴とする請求項1から4の少なくとも一項に記載の真空ポンプ(10)。
- モーターステーター(92)が、真空空間(124)を画成する内部側を除いて、完全にキャスティングコンパウンド(122)によって取り囲まれていることを特徴とする請求項1から5の少なくとも一項に記載の真空ポンプ(10)。
- モーターステーター(92)と、モーターキャリア(82)の壁部によって定義される中間空間が、完全にキャスティングコンパウンド(122)によって満たされていることを特徴とする請求項1から6の少なくとも一項に記載の真空ポンプ(10)。
- モーターキャリア(82)と、モーターキャリア(82)に付設されるラビリンスシール要素(102)が、独立した部材として形成されていることを特徴とする請求項1から7の少なくとも一項に記載の真空ポンプ(10)。
- モーターキャリア(82)が、ラビリンスシール要素(102)内に挿入されていることを特徴とする請求項1から8の少なくとも一項に記載の真空ポンプ(10)。
- 切欠き部(142)が、ラビリンスシール要素(102)内に形成されており、これが圧力室(126)と連通していることを特徴とする請求項1から9の少なくとも一項に記載の真空ポンプ(10)。
- 切欠き部(142)が、接続基盤(116)によって制限されていることを特徴とする請求項10に記載の真空ポンプ(10)。
- 真空空間(124)を取り巻く少なくとも一つのシール要素(138)が、ラビリンスシール要素(102)とモーターキャリア(82)の間の切欠き部の領域に設けられていることを特徴とする請求項10または11に記載の真空ポンプ(10)。
- 真空空間(124)を取り巻く少なくとも一つのシール要素(134)が、モーターキャリア(82)と真空ポンプ(10)の下部分(90)の間に設けられていることを特徴とする請求項1から12の少なくとも一項に記載の真空ポンプ(10)。
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