JP5261663B2 - 潤滑剤シール式回転翼形油回転真空ポンプ - Google Patents

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Description

本発明は、ガス入口と、ガス出口と、およびポンプ段ハウジングとを有するポンプ段を備えた潤滑剤シール式回転翼形油回転真空ポンプに関するものである。
潤滑剤シール式回転翼形油回転真空ポンプは、数十年前から、多くの工業分野において、低真空および中真空の発生に使用されて有効である。従来からの真空技術的要求のほかに、今日、最新の回転翼形油回転真空ポンプが備えていなければならないさらに他の特性が存在する。この中には、ポンプにより発生され且つその周囲に放出される運転騒音の低減が含まれている。
欧州特許公開第1696131号は、騒音を遮断するように、回転翼形油回転真空ポンプを外側ハウジング内に配置することを提案している。このような手段の問題点は、外側ハウジングに対する高いコスト費用および密閉された狭い空間内における運転時の過熱危険である。
欧州特許公開第1696131号
したがって、騒音発生を低減させるコスト的に有利な構造を提供することが本発明の課題である。
この課題は請求項1の特徴を有する回転翼形油回転真空ポンプにより解決される。
溝がガス出口への通路の流出口を少なくとも一部包囲し、吸込室から投げ出された潤滑剤をその溝の中に受け取り、これにより吸込室内への落下が阻止される前記溝は、発生する騒音の明らかな低減のために有効である。吸込室からガス出口内へ投げ出された潤滑剤は回転翼形油回転真空ポンプの運転圧力付近で著しく脱気されている。通路およびガス出口もまたほとんどガスを含んでいないので、潤滑剤は蒸発することなくガスによる減速なしにハウジング部分に当たる。吸込室内に落下する潤滑剤は特に大きな騒音を発生させる。本発明の装置により、潤滑剤が流出口を包囲する溝内に受け取られることによって、この落下が阻止される。
従属請求項2−5は本発明の有利な変更態様を提供する。
第1の変更態様は溝の製作に関するものである。このために、ガス出口を、第1の直径を有する円筒室として形成し、および通路を、第2の直径を有して円筒形に形成することが有利である。円筒形は中ぐりにより特に有利に且つ簡単に製作される。
本発明の第2の変更態様を使用することにより、費用のかかるフライス削り加工は必要ではない。第2の変更態様は、通路内にリングを挿入し、リングは一部ガス出口内に突出し、これにより溝が形成されることを提案している。
有利な変更態様において、リングは締付リングを有している。締付リングは、締め付けられた状態において、通路よりも大きい直径を有している。これにより、締付リングを通路内に挿入したのちに押し拡げを行うことにより残留応力が発生し、この残留応力が締付リングの溝内における確実な保持を行う。
他の変更態様は、コスト的に有利に製作されるガス配管に関するものである。この変更態様は、ガス入口と流体結合を形成しているガス配管の中心線は、ポンプ段内に配置されている軸中心線に対して少なくとも部分的に平行でもなく、軸中心線に平行な面内に少なくとも部分的に位置してもいないことにより達成される。ガス配管のこの形態は、さらに、ポンプ入口およびポンプ段入口の最短結合を可能にする。これにより、流動性したがって真空データが改善される。
一実施例により本発明を詳細に説明する。その他の利点も同時に示される。
以下の図において同じ符号は同じ部品を示す。
図1は、軸中心線による、潤滑剤シール式回転翼形油回転真空ポンプ、以下においては略して真空ポンプの断面図を示す。ガスは、ポンプ入口1を介して真空ポンプ内に到達し、真空ポンプの内部において圧縮され、およびポンプ出口2を介して排出される。ポンプ入口直後のガス流れ内に安全弁3が配置され、安全弁は油圧で作動される。真空ポンプの潤滑剤は、圧力がかけられたとき直ちに、この安全弁を開放させる。ガス配管4は安全弁を第1のポンプ段17の吸込室11と結合しているので、安全弁が開放されている場合、ガスはポンプ入口から吸込室内に到達可能である。ポンプ段はポンプ段ハウジング10内に配置され、ポンプ段ハウジングは、少なくとも一部、潤滑剤タンク30内に存在する潤滑剤により包囲されている。円筒吸込室内において翼板13が回転する。この回転は吸込室11を偏心して貫通する軸15の回転により発生し、軸は各ポンプ段に対してスリットを有し、スリットは翼板を受け入れている。翼板および吸込室の間に三日月形空間が形成され、この空間は翼板の回転により周期的に拡大且つ縮小され、これによりポンプ作用が発生する。圧縮されたガスは、連絡配管16を介して第2のポンプ段18に供給され、および翼板14がその中で回転する第2のポンプ段の吸込室12内においてさらに圧縮され且つそれに続いて排出される。
軸はモータにより駆動される。この例においては、このモータは、軸上に配置されている永久磁石8および固定コイル7を含み、コイルは回転磁界を発生し、これにより軸を回転させる。分離要素5はコイルを軸から密閉分離している。制御電子装置6は電線を介してコイルと結合され且つそれに通電する。本発明は、他のタイプのモータ例えば非同期電動機を有する真空ポンプにも使用される。
軸は、モータおよびポンプ段17の間に配置されている滑り軸受35と、および第2のポンプ段18の、第1のポンプ段から離れた側に位置する軸端上に設けられている端部側滑り軸受36とにより支持される。
モータおよび第1のポンプ段の間に潤滑剤ポンプが配置されている。潤滑剤ポンプは、潤滑剤吸込室24内において回転する翼板23を含み、この場合、この回転は軸15により行われる。この潤滑剤ポンプは潤滑剤を油圧配管31内に供給し、油圧配管は図内に明確に示されているが、図を見る者に対して断面平面の手前に位置している。
潤滑剤ポンプおよびポンプ段の間に、潤滑剤流動抵抗34が配置されている。潤滑剤流動抵抗の役目は、加圧されて潤滑剤ポンプから流出する潤滑剤の、ポンプ段17の方向への流れを抑制することである。この流れは完全に遮断される必要はなく、その理由は、僅かな流れは滑り軸受35を潤滑するために利用可能であるからである。この例においては、潤滑剤流動抵抗は軸内の段として形成され、この段は軸直径の変化により形成される。さらに、軸表面上に、構造例えば溝が設けられていてもよい。この着想は、潤滑剤の流れ方向とは逆方向の供給作用を発生するように、軸の周りをねじ山状に取り囲む溝が設けられることにより改善されることが有利である。
潤滑剤タンク30は多量の潤滑剤を受け入れるように働く。この潤滑剤は、潤滑剤タンクと共に、吸込室、滑り軸受および安全弁内において循環し、且つこれは潤滑の交換に有効である。油圧配管31に続く水平配管部分32aは配管流出口33においてこの潤滑剤タンク内に入り込む。潤滑剤は潤滑剤タンクから流出し、潤滑剤は潤滑剤ポンプにより加圧される。この流れにより、潤滑剤タンク内に存在する潤滑剤は運動させられ、これにより、ポンプ段ハウジング10の表面付近に存在する高温の潤滑剤はそこからポンプ・ハウジング40に移動される。ポンプ・ハウジングは、そこにおいて、受け取られた熱を放出する。これにより、潤滑剤の温度が低下され、および化学的分解過程がほとんど行われないので、潤滑剤の寿命は上昇される。潤滑剤の運動が円形矢印により示されている。
図2に、ガス出口の範囲が軸中心線に対して直角な断面図で示されている。ポンプ段ハウジング10はポンプ段のガス出口51を有し、供給されたガスはガス出口を通って連絡配管16内に到達する。連絡配管は第1の直径を有する内孔として形成されている。カバー53は内孔を閉鎖する。第2の直径を有する内孔として形成されている通路50は吸込室11をガス出口と結合する。通路の端部に、ガス出口内に突出するようにリングが通路内に挿入されている。これにより溝54が形成され、翼板13から通路を通ってガス出口内に投げ飛ばされた潤滑剤はこの溝内に受け取られる。他の形態において、溝は、通路50の流出口の範囲内に、ポンプ段ハウジングの対応形状によって形成されてもよい。有利な変更態様においては、リングは締付リングを有している。締付リングは、締め付けられた状態において、通路よりも大きい直径を有している。これにより、締付リングを通路内に挿入したのちに押し拡げを行うことによって残留応力が発生し、残留応力は通路内における締付リングの確実な保持を行う。
図3はポンプを上から見たときのガス配管4の経路を示し、この場合、ガス配管は部分透視図で示されている。ガス配管は少なくとも部分的に内孔として形成され、そのガス配管中心線42は軸中心線41に対して傾斜し、即ち0°より大きい角度を有している。ガス配管中心線42が同様に示されている図1と合わせて、ガス配管中心線はポンプ段内に配置されている軸中心線に対して少なくとも部分的に平行でもなく、軸中心線に平行な面内に少なくとも部分的に位置してもいないことが明らかである。ガス配管はガス入口1をポンプ段の吸込室11と結合し、吸込室は軸15により貫通される。ガス配管のこの形態は、さらに、ポンプ入口およびポンプ段入口の最短結合を可能にする。これにより、流動性したがって真空データが改善される。
軸中心線による回転翼形油回転真空ポンプの縦断面図である。 線A−A′による回転翼形油回転真空ポンプの縦断面図である。 ガス入口を上から見た、回転翼形油回転真空ポンプの中央部分の部分透視図である。
符号の説明
1 ポンプ入口(ガス入口)
2 ポンプ出口
3 安全弁
4 ガス配管
5 分離要素
6 制御電子装置
7 コイル
8 永久磁石
9 設置面
10 ポンプ段ハウジング
11、12、24 吸込室
13、14、23 翼板
15 軸
16 連絡配管
17、18 ポンプ段
30 潤滑剤タンク
31 油圧配管
32a 水平配管部分
33 配管流出口
34 潤滑剤流動抵抗
35、36 滑り軸受
40 ポンプ・ハウジング
41 軸中心線
42 ガス配管中心線
50 通路
51 ガス出口
52 リング
53 カバー
54 溝

Claims (5)

  1. ガス入口と、ガス出口(51)と、吸込室(11)と、およびポンプ段ハウジング(10)とを有するポンプ段(17)を備えた潤滑剤シール式回転翼形油回転真空ポンプにおいて、
    吸込室(11)およびガス出口の間に配置されている、ガス出口への通路(50)の流出口の周りの少なくとも一部に溝(54)が配置され、この溝内に、吸込室から投げ出された潤滑剤が受け取られ、これにより吸込室内への落下が阻止されることを特徴とする潤滑剤シール式回転翼形油回転真空ポンプ。
  2. ガス出口が第1の直径を有する円筒室を含み、および通路(50)が第2の直径を有して円筒形に形成されていることを特徴とする請求項1の回転翼形油回転真空ポンプ。
  3. 通路の、ガス出口を向く端部にリング(52)が配置され、リングはガス出口内に突出し、これにより、リング(52)およびポンプ段ハウジング(10)の間のガス出口の範囲内に溝(54)が形成されていることを特徴とする請求項2の回転翼形油回転真空ポンプ。
  4. リング(52)が締付リングであることを特徴とする請求項3の回転翼形油回転真空ポンプ。
  5. ガス入口と流体結合を形成しているガス配管(4)のガス配管中心線(42)が、ポンプ段内に配置されている軸中心線(41)に対して少なくとも部分的に平行でもなく、軸中心線に平行な面内に少なくとも部分的に位置してもいないことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかの回転翼形油回転真空ポンプ。
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