JP2011139233A - 音叉型屈曲水晶振動素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動腕部の両主面には、基部との境界部分から振動腕部の先端に向って延びる溝部が、振動腕部の両主面間で対向するように設けられており、前記溝部は、小溝部と仕切部とから構成されており、前記仕切部は、前記溝部を長さ方向で複数の小溝部に仕切っており、前記小溝部の長さ寸法は、前記水晶片の厚み寸法の2倍以下の寸法であり、振動腕部の一方の主面の溝部に設けられた仕切部は、他方の主面の設けられた対向した溝部における小溝部のV字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられており、振動腕部の他方の主面の溝部に設けられた仕切部は、一方の主面の設けられた対向した溝部における小溝部のV字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられている音叉型屈曲水晶振動素子。
【選択図】図2
Description
図7に示すように、音叉型屈曲水晶振動素子700は、水晶片710と、その水晶片710の表面に設けられた励振用電極720a、720b、720c、720d、720e、720f、720g及び720hと、接続用電極730a及び730bと、周波数調整用金属膜740a及び740bと、導配線パターン750a、750b、750c及び750dとにより概略構成される。
又、基部711、第一の振動腕部712及び第二の振動腕部713には、所定の電極間を電気的に接続させるための導配線パターン750a、750b、750c及び750dが設けられている。
そこで本発明の目的は、CI値を低減し、振動特性が良好な音叉型屈曲水晶振動素子を提供することにある。
基部と前記基部から同一方向に延設した2本の振動腕部とを備えた水晶片と、前記水晶片の表面に、少なくとも励振用電極と接続用電極と周波数調整用金属膜と導配線パターンとが設けられた音叉型屈曲水晶振動素子であって、
前記振動腕部の両主面には、前記基部との境界部分から前記振動腕部の先端に向って延びる溝部が、前記振動腕部の両主面間で対向するように設けられており、
前記溝部は、小溝部と仕切部とから構成されており、
前記仕切部は、前記溝部を長さ方向で複数の小溝部に仕切っており、
前記小溝部の長さ寸法は、前記水晶片の厚み寸法の2倍以下の寸法であり、
前記振動腕部の一方の主面の前記溝部に設けられた前記仕切部は、他方の主面の設けられた対向した前記溝部における前記小溝部のV字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられており、
前記振動腕部の他方の主面の前記溝部に設けられた前記仕切部は、一方の主面の設けられた対向した前記溝部における前記小溝部のV字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられていることを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子である。
例えば、水晶片110の厚み寸法tが0.1mmであった場合、その水晶片110で構成された音叉型屈曲水晶振動素子100のCI値は、小溝部115の長さ寸法Pは0.2mm以下とした場合、65kΩ以下とすることができる。尚、小溝部115の長さ寸法Pを0.2mmより長い0.25mmとした場合は、第一の振動腕部112及び第二の振動腕部113の両主面で対向する小溝部115の間で底が貫通し、CI値は70kΩと高くなる。
図6は、本発明の実施形態に係る音叉型屈曲振動素子を構成する水晶片の変形例を示す。本発明の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子を構成する水晶片の変形例は、第一の振動腕部112及び第二の振動腕部113の一主面に設けられた隣り合う2本の溝部114において、一方の溝部114に設けられた仕切部116が、他方の溝部114に設けられた小溝部115の最底部の位置に対応する位置に設けられている。
したがって、このように水晶片の変形例を構成しても、本発明の実施形態と同様の効果を奏する。
110・・・水晶片
111・・・基部
112・・・第一の振動腕部
113・・・第二の振動腕部
114・・・溝部
115・・・小溝部
116・・・仕切部
120a、120b、120c、120d、120e、120f、120g、120h・・・励振用電極
130a、130b・・・接続用電極
140a、140b・・・周波数調整用金属膜
150a、150b、150c、150d・・・導配線パターン
P・・・小溝部115の長さ寸法
t・・・水晶片110の厚さ寸法
Claims (1)
- 基部と前記基部から同一方向に延設した2本の振動腕部とを備えた水晶片と、
前記水晶片の表面に、少なくとも励振用電極と接続用電極と周波数調整用金属膜と導配線パターンとが設けられた音叉型屈曲水晶振動素子であって、
前記振動腕部の両主面には、前記基部との境界部分から前記振動腕部の先端に向って延びる溝部が、前記振動腕部の両主面間で対向するように設けられており、
前記溝部は、小溝部と仕切部とから構成されており、
前記仕切部は、前記溝部を長さ方向で複数の小溝部に仕切っており、
前記小溝部の長さ寸法は、前記水晶片の厚み寸法の2倍以下の寸法であり、
前記振動腕部の一方の主面の前記溝部に設けられた前記仕切部は、他方の主面の設けられた対向する前記溝部における前記小溝部のV字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられており、
前記振動腕部の他方の主面の前記溝部に設けられた前記仕切部は、一方の主面の設けられた対向する前記溝部における前記小溝部のV字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられている、
ことを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子。
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Cited By (4)
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---|---|---|---|---|
JP2015019138A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶振動素子及びその製造方法 |
JP2015201748A (ja) * | 2014-04-08 | 2015-11-12 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶振動素子及びその製造方法 |
JP2016208551A (ja) * | 2016-09-02 | 2016-12-08 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶振動素子 |
CN109600123A (zh) * | 2017-10-03 | 2019-04-09 | 微晶有限公司 | 小型压电谐振器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004260593A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2007329879A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Kyocera Kinseki Hertz Corp | 音叉型屈曲水晶振動片とその製造方法 |
JP2008136095A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
JP2008252800A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型屈曲水晶振動素子、及びそれを搭載した水晶振動子並びに水晶発振器 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004260593A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2007329879A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Kyocera Kinseki Hertz Corp | 音叉型屈曲水晶振動片とその製造方法 |
JP2008136095A (ja) * | 2006-11-29 | 2008-06-12 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
JP2008252800A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型屈曲水晶振動素子、及びそれを搭載した水晶振動子並びに水晶発振器 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015019138A (ja) * | 2013-07-09 | 2015-01-29 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶振動素子及びその製造方法 |
JP2015201748A (ja) * | 2014-04-08 | 2015-11-12 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶振動素子及びその製造方法 |
JP2016208551A (ja) * | 2016-09-02 | 2016-12-08 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶振動素子 |
CN109600123A (zh) * | 2017-10-03 | 2019-04-09 | 微晶有限公司 | 小型压电谐振器 |
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