JP6644961B1 - 静電型トランスデューサおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

部品点数を低減しつつ複数箇所に機能するようにすると共に、揮散型接着剤および有機溶媒を用いることなく製造できる静電型トランスデューサを提供する。静電型トランスデューサ１は、エラストマーにより形成された絶縁体シート１１と、絶縁体シート１１の表面側に配列され、絶縁体シート１１自身の融着により絶縁体シート１１に固着され、絶縁体シート１１の面方向に相互に距離を有して配列された複数の第一電極シート１２，１３，１４と、絶縁体シート１１の裏面側に配置され、絶縁体シート１１自身の融着により絶縁体シート１１に固着され、複数の第一電極シート１２，１３，１４に対向する部位および面方向に隣接するそれぞれの第一電極シート１２，１３，１４の間の領域に対向する部位を一体的に形成された１つの第二電極シート１５とを備える。

Description

本発明は、静電型トランスデューサおよびその製造方法に関するものである。

特許第４８１４５９４号公報には、ステアリングホイールの把持部に埋め込まれた複数の力センサについて開示されている。複数の力センサは、リング状の把持部の周方向に独立して配列されている。各力センサは、ステアリングホイールの把持部の円形断面において、芯部、芯部の外周面に貼り付けられた第一導体箔（電極）と、当該第一導体箔の外周面に配置された樹脂部と、樹脂部の外周面に配置された第二導体箔（電極）と、第二導体箔の外周面に貼り付けられた外筒部とを備える。

特許第５３６０２０３号公報には、シートの座面に、臀部の左右それぞれから心電信号を検出する座面電極の構造について開示されている。当該座面電極は、シート部材の上に配置された１つの下部電極と、下部電極の上面に配置された絶縁層と、絶縁層の上面に配置されそれぞれ独立した２つの上部電極と、２つの上部電極の上面に配置された保護層と、保護層の孔の内周面に配置された導電部とを備える。

特許第４８１４５９４号公報に開示の複数の力センサのそれぞれが、静電型センサの電極対としての第一電極（導体箔）および第二電極（導体箔）を備えている。例えば、４つの力センサを設ける場合には、８つの電極が必要となる。さらに、配線は、それぞれの電極の数に応じた数を必要とする。従って、電極数が多いほど、配線の数も多くなり、部品点数、設計自由度の観点において改善の余地がある。

さらに、静電型センサにおいて電極対の一方は、基準電位とすることがある。しかし、特許第４８１４５９４号公報に開示されているように、複数の電極対が全て独立している場合には、基準電位にばらつきが生じるおそれがある。この場合、センサとしての検出精度が低下するおそれがある。また、静電型アクチュエータとして適用する場合においても、電極対の一方を基準電位とすることがある。この場合、複数の静電型アクチュエータにおいて基準電位にばらつきが生じると、アクチュエータとしての動作精度が低下するおそれがある。

また、特許第５３６０２０３号公報に開示の座面電極においては、上部電極が複数であるのに対して、下部電極が共通化されている。従って、部品点数、設計自由度、および、基準電位のばらつきの抑制の観点において、良好である。

また、近年、環境対策として、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）の排出の抑制が求められている。そのため、揮散型接着剤を用いないことが求められ、かつ、有機溶媒も用いないことが求められる。従って、静電型センサや静電型アクチュエータにおいて、電極と他の構成部材との接合においても、揮散型接着剤や有機溶媒を用いないようにすることが求められる。

さらに、電極間の静電容量を用いたトランスデューサ（センサまたはアクチュエータ）においては、誘電層の材料によって、静電容量が異なることが知られている。揮散型接着剤や有機溶媒を用いた場合には、これらの成分が静電容量に影響を及ぼすおそれがある。さらに、揮散型接着剤や有機溶媒が、誘電層の材料そのものに影響を及ぼし、結果として、静電容量に影響を及ぼすおそれがある。その結果、揮散型接着剤や有機溶媒の影響によって、設計どおりの静電容量を得ることができないおそれがある。

本発明は、部品点数を低減しつつ複数箇所に機能するようにすると共に、揮散型接着剤および有機溶媒を用いることなく製造できる静電型トランスデューサおよびその製造方法を提供することを目的の一つとする。

本発明に係る静電型トランスデューサは、エラストマーにより形成された絶縁体シートと、前記絶縁体シートの表面側に配列され、前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着され、前記絶縁体シートの面方向に相互に距離を有して配列された複数の第一電極シートと、前記絶縁体シートの裏面側に配置され、前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着され、前記複数の第一電極シートに対向する部位および前記面方向に隣接するそれぞれの前記第一電極シートの間の領域に対向する部位を一体的に形成された１つの第二電極シートとを備える。

本発明に係る静電型トランスデューサは、複数の第一電極シートと１つの第二電極シートとを備えて構成されている。従って、トランスデューサとして機能する部位は、複数箇所存在するが、第二電極シートは１つとなる。つまり、第一電極シートと第二電極シートとが同数設けられる場合に比べて、第二電極シートの数が少なくなるため、全体として部品点数が少なくなる。そして、第二電極シートに接続される配線の数を少なくすることが可能となる。配線の数が少なくなることで、設計自由度が向上する。

そして、静電容量を構成する電極対の一方が、１つの第二電極シートにより構成されるため、基準電位を利用する場合において、安定した基準電位を利用することができる。その結果、センサとしての検出精度やアクチュエータとしての動作精度を向上させることができる。

さらに、第一電極シートと絶縁体シートとは、絶縁体シート自身の融着により絶縁体シートに固着されている。第二電極シートと絶縁体シートとも、絶縁体シート自身の融着により絶縁体シートに固着されている。従って、静電型トランスデューサは、揮散型接着剤や有機溶媒を用いることなく、第一電極シートおよび第二電極シートを、絶縁体シートに固着することができる。このように、揮散型接着剤や有機溶剤を用いないことにより、環境問題対策として有効であり、静電容量への影響を考慮する必要がなくなる。

また、本発明に係る静電型トランスデューサの製造方法は、前記絶縁体シートの表面側に前記複数の第一電極シートを配列し、加熱および加圧により、前記複数の第一電極シートを前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着させる。当該製造方法により、上述した静電型トランスデューサを容易に製造することができる。従って、製造コストを低減することができる。

第一例のトランスデューサの断面図である。 第一例のトランスデューサの製造方法を示す図である。 第二例のトランスデューサの断面図である。 第三例のトランスデューサの断面図である。 第三例のトランスデューサの製造方法を示す図である。 第四例のトランスデューサの平面図である。 第五例のトランスデューサの平面図である。 第六例のトランスデューサの平面図である。 第七例のトランスデューサの平面図である。 第八例のトランスデューサの平面図である。 第九例のトランスデューサの平面図である。 第十例のトランスデューサの平面図である。 第十一例のトランスデューサの平面図である。 第十二例のトランスデューサの平面図である。

（１．適用対象）
静電型トランスデューサ（以下、「トランスデューサ」と称する）は、例えば、基材と、基材の取付面に取り付けられた静電シートを備える。基材は、任意の部材であって、金属、樹脂、その他の材料により形成される。

また、基材の取付面は、曲面、複合平面、平面と曲面の複合形状などの三次元形状に形成されてもよいし、基材の表面が単一平面形状に形成されてもよい。基材が可撓性を有する材料により形成されている場合に、当該基材の取付面に当該静電シートを取り付けることもできる。また、トランスデューサは、基材を備えることなく、当該静電シート単体として利用することもできる。

静電シートは、電極間の静電容量の変化を利用して、振動や音などを発生させるアクチュエータとして機能させることができる。また、静電シートは、電極間の静電容量の変化を利用して、外部からの押込力などを検出するセンサ、電位を有する導電体の接触または接近を検出するセンサとして機能させることができる。

静電シートがアクチュエータとして機能する場合には、電極に電圧が印加されることにより、電極間の電位に応じて絶縁体が変形し、絶縁体の変形に伴って振動が発生する。静電シートが押込力検出センサとして機能する場合には、外部からの押込力や振動や音などの入力に起因して絶縁体が変形することにより電極間の静電容量が変化し、電極間の静電容量に応じた電圧を検出することで、外部からの押込力などを検出する。また、静電シートが接触接近センサとして機能する場合には、電位を有する導電体の接触または接近により、電極間の静電容量が変化し、変化した電極間の静電容量に応じた電圧を検出することで、当該導電体の接触または接近を検出する。

トランスデューサは、例えば、ポインティングデバイスであるマウスやジョイスティックの表面、車両部品の表面などに適用できる。車両部品としては、アームレスト、ドアノブ、シフトレバー、ステアリングホイール、ドアトリム、センタートリム、センターコンソール、天井などが含まれる。多くの場合、基材は、金属や硬質樹脂などの可撓性を有しない材料により形成されている。そして、トランスデューサは、対象者の状態の検出や対象者への振動などの付与を行うことができる。

また、トランスデューサは、シート座面の表層側に配置されるようにしてもよい。この場合、トランスデューサは、樹脂フィルムなどの可撓性を有する材料により形成された基材に、静電シートを取り付けるように構成してもよい。また、トランスデューサは、基材を備えずに、静電シート単体により構成されるようにしてもよい。

また、トランスデューサの静電シートは、ヒータ機能を有する構成とすることもできる。この場合、トランスデューサは、対象者の状態の検出や対象者への振動などの付与に加えて、対象者への熱の付与を行うことができる。

（２．第一例）
（２−１．第一例のトランスデューサ１の構成）
第一例のトランスデューサ１の構成について、図１を参照して説明する。図１に示すように、トランスデューサ１は、少なくとも静電シート１０を備える。第一例では、トランスデューサ１は、基材２０および基材側融着シート３０を備える場合を例に挙げるが、基材２０および基材側融着シート３０を備えない構成とすることもできる。基材２０は、金属や樹脂などの任意の材料により形成されている。

静電シート１０は、全体として、弾性変形可能である。静電シート１０は、基材２０の取付面に取り付けられている。そして、基材２０の取付面が三次元曲面であっても、静電シート１０は、基材２０の曲面状の取付面に沿って取り付けることができる。特に、静電シート１０を面方向に伸張させながら基材２０の取付面に取り付けることで、静電シート１０にしわが発生することを抑制することができる。

静電シート１０は、少なくとも、絶縁体シート１１、複数の第一電極シート１２，１３，１４、および、１つの第二電極シート１５を備える。絶縁体シート１１は、エラストマーにより形成されている。従って、絶縁体シート１１は、弾性変形可能である。絶縁体シート１１は、例えば、熱可塑性エラストマーにより形成されている。絶縁体シート１１は、熱可塑性エラストマー自身により形成されるようにしてもよいし、熱可塑性エラストマーを素材として加熱することによって架橋されたエラストマーにより形成されるようにしてもよい。

ここで、絶縁体シート１１は、スチレン系、オレフィン系、塩ビ系、ウレタン系、エステル系、アミド系などのエラストマーから、１種以上を選択可能である。例えば、スチレン系エラストマーとしては、ＳＢＳ、ＳＥＢＳ、ＳＥＰＳなどが挙げられる。オレフィン系エラストマーとしては、ＥＥＡ、ＥＭＡ、ＥＭＭＡなどの他、エチレンとαオレフィンとの共重合体（エチレンーオクテン共重合体）などが挙げられる。

絶縁体シート１１は、熱可塑性エラストマー以外のゴム、樹脂を含んでいてもよい。例えば、エチレン−プロピレンゴム（ＥＰＭ、ＥＰＤＭ）などのゴムを含む場合には、絶縁体シート１１の柔軟性が向上する。絶縁体シート１１の柔軟性を向上させるという観点から、絶縁体シートに可塑剤などの柔軟性付与成分を含有させてもよい。

第一電極シート１２，１３，１４は、絶縁体シート１１の表面（図１の上面）側に配列されている。つまり、第一電極シート１２，１３，１４は、絶縁体シート１１の表面側において、絶縁体シート１１の面方向に相互に距離を有して配列されている。第一電極シート１２，１３，１４のそれぞれの部位が、センサの検出領域またはアクチュエータの動作領域として独立して機能する。

また、第一電極シート１２，１３，１４は、導電性を有しつつ、柔軟性および面方向への伸縮性を有する。第一電極シート１２，１３，１４は、例えば、導電性布、導電性エラストマー、貫通孔を有する金属シートなどにより形成されている。また、第一電極シート１２，１３，１４は、柔軟性および伸縮性を有する材料である場合には、貫通孔を有するシート、貫通孔を有しないシートの何れでも適用可能である。第一電極シート１２，１３，１４は、柔軟性および伸縮性を有しない材料である場合には、貫通孔を有することにより当該性質を有するようにすることができる。第一例では、第一電極シート１２，１３，１４として、導電性布を例に挙げる。

導電性布とは、導電性繊維により形成された織物または不織布である。ここで、導電性繊維は、柔軟性を有する繊維の表面を導電性材料により被覆することにより形成される。導電性繊維は、例えば、ポリエチレンなどの樹脂繊維の表面に、銅やニッケルなどをメッキすることにより形成される。

さらに、第一電極シート１２，１３，１４のそれぞれは、絶縁体シート１１自身の融着（熱融着）により絶縁体シート１１に固着されている。つまり、絶縁体シート１１の表面側の一部分が、第一電極シート１２，１３，１４のそれぞれと固着するための融着材料として機能する。従って、第一電極シート１２，１３，１４と絶縁体シート１１とは、揮散型接着剤や有機溶剤を用いることなく固着されている。

ここで、第一電極シート１２，１３，１４のそれぞれの少なくとも一部は、絶縁体シート１１に埋設されている。従って、絶縁体シート１１は、絶縁体シート１１の面方向に隣接するそれぞれの第一電極シート１２，１３，１４の間に、絶縁体シート１１の表面側の一部により構成される電極間絶縁層１１ａ，１１ｂを備えることになる。電極間絶縁層１１ａは、第一電極シート１２，１３の間に位置し、電極間絶縁層１１ｂは、第一電極シート１３，１４の間に位置する。

従って、第一電極シート１２，１３，１４のそれぞれの周面の少なくとも一部は、電極間絶縁層１１ａ，１１ｂ自身の融着により電極間絶縁層１１ａ，１１ｂに固着されている。その結果、絶縁体シート１１と第一電極シート１２，１３，１４のそれぞれとが、より強固に一体化される。さらに、第一電極シート１２，１３，１４が距離を有して配置されているとしても、静電シート１０の表面側に凹凸を生じにくくできる。その結果、トランスデューサ１の表面側の意匠性が良好となる。

また、第一電極シート１２，１３，１４が貫通孔を有する場合には、絶縁体シート１１の表面側の一部は、当該貫通孔にも入り込むようにできる。この場合、第一電極シート１２，１３，１４は、貫通孔に入り込んだ絶縁体シート１１の一部によって固着される。従って、絶縁体シート１１と第一電極シート１２，１３，１４のそれぞれとは、より強固に一体化される。

また、第一電極シート１２，１３，１４のそれぞれの少なくとも一部は、絶縁体シート１１にさらに深く埋没される状態にすることができる。例えば、第一電極シート１２，１３，１４の表面が、凹凸状に形成されている場合には、当該表面の凹状部分が、絶縁体シート１１にさらに深く埋没される状態となる。

この場合において、絶縁体シート１１は、第一電極シート１２，１３，１４の表面側に、絶縁体シート１１の表面側の一部により構成される第一被覆層１１ｃを備えることになる。従って、第一電極シート１２，１３，１４のそれぞれの表面の少なくとも一部は、第一被覆層１１ｃ自身の融着により第一被覆層１１ｃに固着されている。その結果、絶縁体シート１１と第一電極シート１２，１３，１４のそれぞれとが、より強固に一体化される。

１つの第二電極シート１５は、絶縁体シート１１の裏面（図１の下面）側に配置されている。第二電極シート１５は、第一電極シート１２，１３，１４の全てに対向する。つまり、第二電極シート１５は、第一電極シート１２，１３，１４に対向する部位、および、面方向に隣接するそれぞれの第一電極シート１２，１３，１４の間の領域に対向する部位を備えており、これらの全ての部位を一体的に形成されている。

また、第二電極シート１５は、第一電極シート１２，１３，１４と同様に、導電性を有しつつ、柔軟性および面方向への伸縮性を有する。第二電極シート１５は、第一電極シート１２，１３，１４と同様の材料により形成されている。

さらに、第二電極シート１５は、絶縁体シート１１自身の融着（熱融着）により絶縁体シート１１に固着されている。つまり、絶縁体シート１１の裏面側の一部分が、第二電極シート１５と固着するための融着材料として機能する。従って、第二電極シート１５と絶縁体シート１１とは、揮散型接着剤や有機溶媒を用いることなく固着されている。

また、第二電極シート１５が貫通孔を有する場合には、絶縁体シート１１の裏面側の一部は、当該貫通孔に入り込むようにできる。この場合、第二電極シート１５は、貫通孔に入り込んだ絶縁体シート１１の一部によって固着される。従って、絶縁体シート１１と第二電極シート１５とは、より強固に一体化される。

また、第二電極シート１５の少なくとも一部は、絶縁体シート１１にさらに深く埋没される状態にすることができる。例えば、第二電極シート１５の裏面が、凹凸状に形成されている場合には、当該裏面の凹状部分が、絶縁体シート１１にさらに深く埋没される状態となる。

この場合において、絶縁体シート１１は、第二電極シート１５の裏面側に、絶縁体シート１１の裏面側の一部により構成される第二被覆層１１ｄを備えることになる。従って、第二電極シート１５の裏面の少なくとも一部は、第二被覆層１１ｄ自身の融着により第二被覆層１１ｄに固着されている。その結果、絶縁体シート１１と第二電極シート１５とが、より強固に一体化される。

基材側融着シート３０は、絶縁体シート１１と同様の材料により形成されている。基材側融着シート３０は、自身の融着（熱融着）により、基材２０の取付面に固着されると共に、第二電極シート１５の裏面に固着される。

（２−２．第一例のトランスデューサ１の製造方法）
第一例のトランスデューサ１の製造方法について、図２を参照して説明する。図２に示すように、絶縁体シート１１の表面側に、第一電極シート１２，１３，１４を配列し、絶縁体シート１１の裏面側に、第二電極シート１５を配置する（準備工程）。このようにして、積層体を準備する。

続いて、積層体に対して、積層方向に加熱および加圧する（第一加熱加圧工程）。そうすると、絶縁体シート１１の表面が軟化して、第一電極シート１２，１３，１４が絶縁体シート１１の表面から埋没する。そして、絶縁体シート１１の表面が融着材料として機能し、絶縁体シート１１に第一電極シート１２，１３，１４が固着される。さらに、絶縁体シート１１の裏面が軟化して、第二電極シート１５が絶縁体シート１１の裏面から埋没する。そして、絶縁体シート１１の裏面が融着材料として機能し、絶縁体シート１１に第二電極シート１５が固着される。

続いて、基材側融着シート３０の表面を加熱して軟化させた状態で、基材側融着シート３０の表面に、第一加熱加圧工程において一体化された状態の第二電極シート１５の裏面側を加圧する（第二加熱加圧工程）。そうすると、基材側融着シート３０自身の融着によって、第二電極シート１５の裏面側が基材側融着シート３０に固着する。

続いて、基材側融着シート３０の裏面を加熱して軟化させた状態で、基材側融着シート３０の裏面に基材２０の取付面を加圧する（第三加熱加圧工程）。そうすると、基材側融着シート３０自身の融着によって、基材２０の取付面が基材側融着シート３０に固着される。このようにして、トランスデューサ１が製造される。

ここで、絶縁体シート１１の素材に架橋剤を含有させてもよい。この場合、第一加熱加圧工程における加熱によって、絶縁体シート１１の融着による固着と同時に、絶縁体シート１１の架橋を行うこともできる。第一加熱加圧工程後において、絶縁体シート１１は、架橋されたエラストマーにより形成されることになる。

また、絶縁体シート１１の素材に架橋剤を含有させる場合において、第一加熱加圧工程の後に架橋のための追加加熱を行うこともできる（架橋工程）。この場合、絶縁体シート１１の融着による固着の後に、追加加熱によって絶縁体シート１１の架橋を行うこともできる。この場合、追加加熱を行う架橋工程後において、絶縁体シート１１は、架橋されたエラストマーにより形成されることになる。

また、第一加熱加圧工程において、第一電極シート１２，１３，１４と絶縁体シート１１の固着工程と、第二電極シート１５と絶縁体シート１１の固着工程とを、別々に行うようにしてもよい。また、基材側融着シート３０は、第一加熱加圧工程において一体化された状態の第二電極シート１５に固着する前に、基材２０に固着してもよい。また、基材２０が存在しない場合には、基材側融着シート３０も不要とすることもできる。

（２−３．第一例のトランスデューサ１による効果）
第一例のトランスデューサ１は、複数の第一電極シート１２，１３，１４と１つの第二電極シート１５とを備えて構成されている。従って、トランスデューサ１として機能する部位は、複数箇所存在するが、第二電極シート１５は１つとなる。つまり、第一電極シート１２，１３，１４と第二電極シート１５とが同数設けられる場合に比べて、第二電極シート１５の数が少なくなるため、全体として部品点数が少なくなる。そして、第二電極シート１５に接続される配線の数を少なくすることが可能となる。配線の数が少なくなることで、設計自由度が向上する。

そして、静電容量を構成する電極対の一方が、１つの第二電極シート１５により構成されるため、基準電位を利用する場合において、安定した基準電位を利用することができる。その結果、センサとしての検出精度やアクチュエータとしての動作精度を向上させることができる。

さらに、第一電極シート１２，１３，１４と絶縁体シート１１とは、絶縁体シート１１自身の融着によって固着されている。第二電極シート１５と絶縁体シート１１とも、絶縁体シート１１自身の融着によって固着されている。従って、トランスデューサ１は、揮散型接着剤や有機溶媒を用いることなく、第一電極シート１２，１３，１４および第二電極シート１５を、絶縁体シート１１に固着することができる。このように、揮散型接着剤や有機溶剤を用いないことにより、環境問題対策として有効であり、静電容量への影響を考慮する必要がなくなる。

また、加熱および加圧により、第一電極シート１２，１３，１４を絶縁体シート１１自身の融着により絶縁体シート１１に固着させる。また、加熱および加圧により、第二電極シート１５を絶縁体シート１１自身の融着により絶縁体シート１１に固着させる。従って、接着剤の塗布を行う必要がなく、トランスデューサ１を容易に製造することができる。従って、製造コストを低減することができる。

また、絶縁体シート１１を第一電極シート１２，１３，１４に固着させると同時または固着させた後に、絶縁体シート１１を架橋させる場合には、絶縁体シート１１と第一電極シート１２，１３，１４との一体化がより強固な状態となる。第二電極シート１５についても同様である。

（３．第二例のトランスデューサ２）
第二例のトランスデューサ２の構成について、図３を参照して説明する。第二例のトランスデューサ２は、第一例のトランスデューサ１に対して、第一電極シート１２，１３，１４および第二電極シート１５が異なる。第二例では、第一電極シート１２，１３，１４は、導電性エラストマーにより形成されている場合を例に挙げる。導電性エラストマーとは、エラストマー中に導電性フィラーを含有させたものである。

ここで、第一電極シート１２，１３，１４に用いられるエラストマーは、絶縁体シート１１と主成分を同種とする材料により形成されている。すなわち、第一電極シート１２，１３，１４は、スチレン系、オレフィン系、塩ビ系、ウレタン系、エステル系、アミド系などのエラストマーから、１種以上を選択可能である。例えば、スチレン系エラストマーとしては、ＳＢＳ、ＳＥＢＳ、ＳＥＰＳなどが挙げられる。オレフィン系エラストマーとしては、ＥＥＡ、ＥＭＡ、ＥＭＭＡなどの他、エチレンとαオレフィンとの共重合体（エチレンーオクテン共重合体）などが挙げられる。

ただし、第一電極シート１２，１３，１４は、絶縁体シート１１よりも高い軟化点を有するようにされている。これは、絶縁体シート１１自身の融着により第一電極シート１２，１３，１４に固着される際に、絶縁体シート１１が第一電極シート１２，１３，１４より先に軟化することができるようにするためである。

また、第一電極シート１２，１３，１４は、貫通孔を有してもよいし、貫通孔を有しなくてもよい。図３においては、第一電極シート１２，１３，１４は、貫通孔を有する場合を例に挙げる。第一電極シート１２，１３，１４が貫通孔を有する場合には、絶縁体シート１１と第一電極シート１２，１３，１４とが、強固に一体化される。

第二電極シート１５は、第一電極シート１２，１３，１４と同様の材料により形成されている。つまり、第二電極シート１５は、導電性エラストマーにより形成されており、貫通孔を有する。

第二例のトランスデューサ２は、第一例のトランスデューサ１と同様に製造される。ここで、第一加熱加圧工程にて、絶縁体シート１１の表面側に第一電極シート１２，１３，１４を配列した状態において加熱および加圧する。このとき、軟化点が、絶縁体シート１１の方が低いため、絶縁体シート１１が先に軟化する。従って、絶縁体シート１１の表面が軟化して、第一電極シート１２，１３，１４が絶縁体シート１１の表面から埋没する。

このとき、第一電極シート１２，１３，１４の外面が僅かに軟化することで、第一電極シート１２，１３，１４のエラストマーと絶縁体シート１１のエラストマーとが、一体的な結合状態となる。その結果、両者は、より強固な結合状態となる。

また、第二電極シート１５についても、第一電極シート１２，１３，１４と同様である。つまり、第二電極シート１５は、絶縁体シート１１の裏面側の一部分の融着によって、絶縁体シート１１の裏面側に埋没した状態で固着される。さらに、第二電極シート１５の外面が僅かに軟化することで、第二電極シート１５のエラストマーと絶縁体シート１１のエラストマーとが、一体的な結合状態となる。

また、絶縁体シート１１の素材、第一電極シート１２，１３，１４の素材に架橋剤を含有させてもよい。この場合、絶縁体シート１１が架橋されたエラストマーにより形成されることで、絶縁体シート１１と第一電極シート１２，１３，１４との一体化がより強固な状態となる。さらに、第一電極シート１２，１３，１４の素材に架橋剤を含有させることで、第一電極シート１２，１３，１４のエラストマーが、絶縁体シート１１と第一電極シート１２，１３，１４との間で架橋された状態となる。つまり、絶縁体シート１１と第一電極シート１２，１３，１４とを跨いだ架橋によって、絶縁体シート１１と第一電極シート１２，１３，１４との一体化がより強固な状態となる。

また、第二電極シート１５についても、第一電極シート１２，１３，１４と同様に、素材に架橋剤を含有させてもよい。この場合、絶縁体シート１１と第二電極シート１５とを跨いだ架橋によって、絶縁体シート１１と第二電極シート１５との一体化がより強固な状態となる。なお、架橋のための加熱は、第一加熱加圧工程による加熱を利用してもよいし、第一加熱加圧工程の後に追加加熱を行ってもよい。

（４．第三例のトランスデューサ３）
（４−１．第三例のトランスデューサ３の構成）
第三例のトランスデューサ３の構成について、図４を参照して説明する。図４に示すように、トランスデューサ３は、静電シート１０と、基材２０と、静電シート１０の裏面と基材２０の表面との間に配置されたヒータシート４０とを備える。つまり、トランスデューサ３は、センサまたはアクチュエータの機能に加えて、ヒータ機能を有する。

ここで、静電シート１０は、第一例のトランスデューサ１における静電シート１０でもよいし、第二例のトランスデューサ２における静電シート１０でもよい。ただし、静電シート１０を構成する絶縁体シート１１は、ヒータシート４０の熱を静電シート１０の表面に伝達できるようにすることと、耐熱性を確保するために、以下の材料により形成するとよい。

絶縁体シート１１の熱伝導率は、０．３Ｗ／ｍ・Ｋ以上である。好適な熱伝導率は、０．４Ｗ／ｍ・Ｋ以上、さらには０．５Ｗ／ｍ・Ｋ以上である。絶縁体シート１１は、熱伝導率が比較的大きく、かつ絶縁性の無機フィラーを有することが望ましい。絶縁体シート１１の熱伝導率を大きくするために用いる無機フィラー（熱伝導性フィラー）の好適な熱伝導率は、５Ｗ／ｍ・Ｋ以上、好ましくは１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上、より好ましくは２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上である。熱伝導率が比較的大きい無機フィラーとしては、金属系フィラー、例えば、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウムなどが挙げられる。金属系フィラーの他に、窒化ホウ素、炭化ケイ素なども、熱伝導率が比較的大きい無機フィラーとして用いることができる。

また、絶縁体シート１１に難燃性を付与するという観点から、絶縁体シート１１は、難燃性かつ絶縁性の無機フィラーを有することが好ましい。難燃性フィラーとしては、水酸化物フィラー、例えば、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウムなどが挙げられる。水酸化物フィラーの他に、窒化ホウ素なども、難燃性フィラーとして用いることができる。また、難燃性フィラーを、絶縁体シート１１の熱伝導率を大きくするために用いる無機フィラー（熱伝導性フィラー）として兼用させることもできる。

また、絶縁体シート１１の絶縁性を確保するという観点から、絶縁体シート１１の体積抵抗率は、１×１０^１２Ω・ｃｍ以上である。好適な体積抵抗率は、１×１０^１３Ω・ｃｍ以上である。

ヒータシート４０は、静電シート１０の裏面側、すなわち、第二電極シート１５の裏面側に配置されている。ヒータシート４０は、ヒータ線４１と、ヒータ線４１を被覆するヒータ絶縁層４２とを備える。ヒータ線４１は、金属の合金系材料であり、例えば、ニッケルクロム、鉄クロムなどである。ヒータ線４１は、シート状となるように、例えば、線材を往復に形成したり、渦巻き状に巻回したりして形成されている。

ヒータ絶縁層４２は、ヒータ線４１を囲み、ヒータ線４１が露出しないように配置されている。ヒータ絶縁層４２は、絶縁体シート１１と同様の材料により形成されるとよい。さらに、ヒータ絶縁層４２の表面側の一部分が、自身の融着（熱融着）により、第二電極シート１５の裏面に固着される。さらに、ヒータ絶縁層４２の表面側は、絶縁体シート１１の裏面露出面にも、自身の融着により固着される。また、ヒータ絶縁層４２の裏面側の一部分が、自身の融着（熱融着）により、基材２０の取付面に固着される。

（４−２．第三例のトランスデューサ３の製造方法）
第三例のトランスデューサ３の製造方法について、図５を参照して説明する。ヒータ絶縁層４２の第一素材４２ａ、ヒータ線４１、ヒータ絶縁層４２の第二素材４２ｂの順に積層されたヒータシート積層体を準備する（ヒータシート準備工程）。

続いて、ヒータシート積層体を加熱および加圧する（ヒータシート加熱加圧工程）。そうすると、第一素材４２ａおよび第二素材４２ｂのそれぞれが軟化して融着材料として機能し、ヒータ線４１に固着される。さらに、第一素材４２ａと第二素材４２ｂが、相互に固着されて一体化されることで、ヒータ絶縁層４２が形成される。このようにして、ヒータシート４０が形成される。

続いて、静電シート１０とヒータシート４０を準備する（準備工程）。ヒータシート４０の表面を加熱する（ヒータシート加熱工程）。そして、ヒータシート４０の表面側に静電シート１０の裏面側が接するようにして、静電シート１０とヒータシート４０とを加圧する（加圧工程）。そうすると、ヒータ絶縁層４２の表面側が軟化して融着材料として機能し、第二電極シート１５がヒータ絶縁層４２の表面側に固着される。同時に、ヒータ絶縁層４２の表面側は、静電シート１０の絶縁体シート１１の裏面側の露出面にも固着される。

続いて、ヒータシート４０の裏面を加熱して軟化させた状態で、ヒータシート４０の裏面に基材２０の取付面を加圧する（加熱加圧工程）。そうすると、ヒータ絶縁層４２自身の融着によって、基材２０の取付面がヒータ絶縁層４２に固着される。このようにして、トランスデューサ３が製造される。

（４−３．第三例のトランスデューサ３の効果）
トランスデューサ３は、ヒータ機能を有することから、対象者の状態の検出や対象への振動などの付与に加えて、対象者への熱の付与を行うことができる。特に、絶縁体シート１１およびヒータ絶縁層４２の熱伝導率を上記のようにすることで、ヒータ線４１の熱を、静電シート１０の表面に伝達することができる。また、絶縁体シート１１およびヒータ絶縁層４２が難燃性フィラーを有することで、耐熱効果を向上させることができる。

また、ヒータ線４１に電力を供給することに伴って、ヒータ線４１がノイズ発生源となるおそれがある。しかし、第二電極シート１５は、第一電極シート１２，１３，１４のように分離されていないため、ヒータ線４１に対して全範囲においてシールド機能を発揮する。従って、ヒータ線４１に供給される電力によってノイズを発生したとしても、第二電極シート１５がシールド機能を発揮することができる。その結果、トランスデューサ３は、センサとしての検出精度やアクチュエータとしての動作精度を良好とすることができる。

（５．第四例のトランスデューサ１００）
第四例のトランスデューサ１００について、図６を参照して説明する。図６は、トランスデューサ１００の表面側から見た図を示している。トランスデューサ１００は、長尺状に形成されており、表面における長手方向（第一方向）をＸ方向、表面における短手方向（第二方向）をＹ方向とする。Ｘ方向とＹ方向とは直交する方向である。

トランスデューサ１００は、長尺状の対象物に取り付けられる。例えば、アームレスト、ドアノブ、シフトレバー、ステアリングホイール、ドアトリム、センタートリム、センターコンソールなどは、何れも長尺状かつ三次元曲面形状に形成されている。従って、トランスデューサ１００の長手方向を対象物の長手方向に一致させ、かつ、トランスデューサ１００を対象物の表面に沿うように変形させながら、トランスデューサ１００を対象物に取り付ける。

ここで、トランスデューサ１００の断面形状は、第一例から第三例のトランスデューサ１，２，３の構成を適用される。ただし、図６では、絶縁体シート１０１、複数の第一電極シート１０２ａ，１０２ｂ、および、第二電極シート１０３の平面上の配置を図示しており、基材２０、基材側融着シート３０、ヒータシート４０については図示しない。

トランスデューサ１００は、絶縁体シート１０１、複数の第一電極シート１０２ａ，１０２ｂ、および、第二電極シート１０３に加えて、第一配線１０４、第二配線１０５、および、１つのコネクタ１０６を備える。

絶縁体シート１０１は、Ｘ方向を長手方向とする長尺矩形状に形成されている。複数の第一電極シート１０２ａ，１０２ｂは、略長方形状に形成されている。全ての第一電極シート１０２ａ，１０２ｂは、同一形状に形成されている。複数の第一電極シート１０２ａ，１０２ｂは、絶縁体シート１０１の表面側において、第一電極シート１０２ａ，１０２ｂの長手方向が絶縁体シート１０１の長手方向に一致するように配置されている。

さらに、第一電極シート１０２ａ，１０２ｂは、Ｘ方向に複数個配列されており、かつ、Ｙ方向に複数個配列されている。トランスデューサ１００においては、Ｘ方向に４列の第一電極シート１０２ａ，１０２ｂが配列されており、Ｙ方向に３列の第一電極シート１０２ａ，１０２ｂが配列されている。従って、トランスデューサ１００は、Ｘ方向において複数箇所の検出部位を有し、かつ、Ｙ方向において複数箇所の検出部位を有する。ただし、Ｘ方向およびＹ方向の列数は、適宜変更可能である。

第二電極シート１０３は、絶縁体シート１０１より僅かに小さい長尺矩形状に形成されている。第二電極シート１０３は、絶縁体シート１０１の裏面側において、絶縁体シート１０１の大部分を占める範囲に配置されている。

複数の第一配線１０４は、絶縁体シート１０１の表面側に配置され、複数の第一電極シート１０２ａ，１０２ｂのそれぞれに電気的に接続される。複数の第一配線１０４は、絶縁体シート１０１の外周における１箇所に集合させられている。第二配線１０５は、絶縁体シート１０１の裏面側に配置され、第二電極シート１０３に電気的に接続される。第二配線１０５は、複数の第一配線１０４が集合している箇所に配策されている。つまり、複数の第一配線１０４および少なくとも１つの第二配線１０５が、１箇所に集合している。

コネクタ１０６は、絶縁体シート１０１の外周縁に配置されており、集合させた複数の第一配線１０４および第二配線１０５に電気的に接続される。そして、コネクタ１０６は、他のコネクタ（図示せず）に接続される。

第二電極シート１０３が１個であることで、第二配線１０５の数およびコネクタ１０６のピン数を少なくすることができる。従って、トランスデューサ１００は、配置自由度の向上を図ることができ、かつ、低コスト化を図ることができる。

（６．第五例のトランスデューサ２００）
第五例のトランスデューサ２００について、図７を参照して説明する。トランスデューサ２００は、絶縁体シート１０１、複数の第一電極シート２０２ａ，２０２ｂ、および、第二電極シート１０３を備える。第五例のトランスデューサ２００において、第四例のトランスデューサ１００と実質的に同一の構成は、同一符号を付して説明を省略する。以下の例においても同様である。

トランスデューサ２００における第一電極シート２０２ａ，２０２ｂは、非長尺状、例えば、円形、正多角形などに形成される。全ての第一電極シート２０２ａ，２０２ｂは、同一形状に形成されている。第一電極シート２０２ａ，２０２ｂは、Ｘ方向に複数個配列され、かつ、Ｙ方向に複数個配列されている。これにより、トランスデューサ２００において、高分解能の検出または動作を実現できる。

（７．第六例のトランスデューサ３００）
第六例のトランスデューサ３００について、図８を参照して説明する。トランスデューサ３００は、絶縁体シート１０１、複数の第一電極シート３０２ａ，３０２ｂ，３０２ｃ、および、第二電極シート１０３を備える。

トランスデューサ３００において、第一電極シート３０２ａ，３０２ｂ，３０２ｃは、異形状に形成されている。第一電極シート３０２ａは、長尺状に形成され、第一電極シート３０２ｂ，３０２ｃは、第一電極シート３０２ａより小さな非長尺状に形成されている。第一電極シート３０２ａは、絶縁体シート１０１のＸ方向の一端側に配列されている。第一電極シート３０２ｂは、絶縁体シート１０１のＸ方向の中央に、低密度に配列されている。第一電極シート３０２ｃは、絶縁体シート１０１のＸ方向の他端側に高密度に配列されている。

Ｘ方向の一端側に配列される第一電極シート３０２ａの領域においては、低分解能かつ高感度で、検出また動作を実現できる。また、Ｘ方向の中央に配列される第一電極シート３０２ｂの領域においては、低分解能かつ低感度で、検出または動作を実現できる。Ｘ方向の他端側に配列される第一電極シート３０２ｃの領域においては、高分解能かつ高感度で、検出または動作を実現できる。つまり、第一電極シート３０２ａ，３０２ｂ，３０２ｃの１個当たりの大きさと電極密度によって、分解能と感度を適宜調整できる。

（８．第七例のトランスデューサ４００）
第七例のトランスデューサ４００について、図９を参照して説明する。トランスデューサ４００は、絶縁体シート１０１、複数の第一電極シート４０２ａ，４０２ｂ、および、第二電極シート１０３を備える。

トランスデューサ４００において、第一電極シート４０２ａ，４０２ｂは、菱形形状に形成されている。全ての第一電極シート４０２ａ，４０２ｂは、同一形状に形成されている。第一電極シート４０２ａ，４０２ｂは、Ｘ方向に複数個配列され、かつ、Ｙ方向に２個配列されている。第一電極シート４０２ａ，４０２ｂは、絶縁体シート１０１の短手方向の中央を通る中心線Ｌに対して線対象に配置されている。これにより、トランスデューサ４００において、高分解能の検出または動作を実現できる。

（９．第八例のトランスデューサ５００）
第八例のトランスデューサ５００について、図１０を参照して説明する。トランスデューサ５００は、絶縁体シート１０１、複数の第一電極シート５０２ａ，５０２ｂ，５０２ｃ、および、第二電極シート１０３を備える。

トランスデューサ５００における第一電極シート５０２ａ，５０２ｂは、平行四辺形に形成される。平行四辺形の一方の対向辺の距離は、絶縁体シート１０１の短手方向の幅より僅かに短い。平行四辺形の他方の対向辺の距離は、一方の対向辺の距離に比べて短い。平行四辺形の一方の対向辺が、絶縁体シート１０１の短手方向の縁に平行となるように、第一電極シート５０２ａ，５０２ｂは、Ｘ方向に複数個配列されている。ただし、絶縁体シート１０１の長手方向の両端において、第一電極シート５０２ｃは、残り領域の直角三角形に形成されている。

（１０．第九例のトランスデューサ６００）
第九例のトランスデューサ６００について、図１１を参照して説明する。トランスデューサ６００は、絶縁体シート１０１、複数の第一電極シート６０２ａ，６０２ｂ、および、第二電極シート１０３を備える。

トランスデューサ６００において、第一電極シート６０２ａ，６０２ｂは、直角三角形に形成されている。全ての第一電極シート６０２ａ，６０２ｂは、同一形状に形成されている。直角三角形の直角を挟む短辺の長さは、絶縁体シート１０１の短手方向の幅より僅かに短い。直角三角形の当該短辺が、絶縁体シート１０１の短手方向に平行に配置される。

そして、隣り合う２つの第一電極シート６０２ａ，６０２ｂは、直角三角形の斜辺同士が対向する。つまり、隣り合う２つの第一電極シート６０２ａ，６０２ｂは、斜辺の中間点付近を中心として、点対称に配置されている。

つまり、隣接する２つの第一電極シートの一方６０２ａは、絶縁体シート１０１の短手方向の中央を通る中心線Ｌを跨いで配置されている。さらに、隣接する２つの第一電極シートの他方６０２ｂは、絶縁体シート１０１の短手方向の中央を通る中心線Ｌを跨いで配置されている。そして、隣接する２つの第一電極シート６０２ａ，６０２ｂは、相互に、少なくとも一部が絶縁体シート１０１の長手方向に隣接すると共に、少なくとも一部が絶縁体シート１０１の短手方向に隣接する。

（１１．第十例のトランスデューサ７００）
第十例のトランスデューサ７００について、図１２を参照して説明する。トランスデューサ７００は、絶縁体シート１０１、複数の第一電極シート７０２ａ，７０２ｂ、および、第二電極シート１０３を備える。

トランスデューサ７００において、第一電極シート７０２ａ，７０２ｂは、Ｌ字状に形成されている。全ての第一電極シート７０２ａ，７０２ｂは、同一形状に形成されている。Ｌ字状短辺の長さは、絶縁体シート１０１の短手方向の幅より僅かに短い。Ｌ字状の当該短辺が、絶縁体シート１０１の短手方向に平行に配置される。

そして、隣り合う２つの第一電極シート７０２ａ，７０２ｂは、Ｌ字状の長辺の中間点付近を中心として、点対称に配置されている。つまり、第一電極シートの一方７０２ａのＬ字状の長辺の端部と他方７０２ｂのＬ字状の短辺とが、Ｘ方向に対向する。また、第一電極シートの一方７０２ａのＬ字状の短辺と他方７０２ｂのＬ字状の長辺の端部とが、Ｘ方向に対向する。第一電極シートの一方７０２ａのＬ字状の長辺と他方７０２ｂのＬ字状の長辺とが、Ｙ方向に対向する。

つまり、隣接する２つの第一電極シートの一方７０２ａは、絶縁体シート１０１の短手方向の中央を通る中心線Ｌを跨いで配置されている。さらに、隣接する２つの第一電極シートの他方６０２ｂは、絶縁体シート１０１の短手方向の中央を通る中心線Ｌを跨いで配置されている。そして、隣接する２つの第一電極シート７０２ａ，７０２ｂは、相互に、少なくとも一部が絶縁体シート１０１の長手方向に隣接すると共に、少なくとも一部が絶縁体シート１０１の短手方向に隣接する。

（１２．第十一例のトランスデューサ８００）
第十一例のトランスデューサ８００について、図１３を参照して説明する。トランスデューサ８００は、絶縁体シート１０１、複数の第一電極シート８０２ａ，８０２ｂ、および、第二電極シート１０３を備える。

トランスデューサ８００における第一電極シート８０２ａ，８０２ｂは、長方形に形成される。全ての第一電極シート８０２ａ，８０２ｂは、同一形状に形成されている。長方形の短辺の距離は、絶縁体シート１０１の短手方向の幅の２分の１より僅かに短い。長方形の長辺の距離は、絶縁体シート１０１の長手方向の長さの２分の１より僅かに短い。第一電極シート８０２ａ，８０２ｂの長手方向が絶縁体シート１０１の長手方向に一致するように配置されている。

第一電極シート８０２ａ，８０２ｂは、Ｘ方向に２個配列され、かつ、Ｙ方向に２個配列されている。第一電極シート８０２ａ，８０２ｂは、絶縁体シート１０１の短手方向の中央を通る中心線Ｌに対して線対象に配置されている。

（１３．第十二例のトランスデューサ９００）
第十二例のトランスデューサ９００について、図１４を参照して説明する。トランスデューサ９００は、絶縁体シート１０１、複数の第一電極シート９０２ａ，９０２ｂ、および、第二電極シート１０３を備える。

トランスデューサ３００において、第一電極シート９０２ａ，９０２ｂは、異形状に形成されている。第一電極シート９０２ａは、長尺状に形成され、絶縁体シート１０１の短手方向の中央を通る中心線Ｌに沿って配置されている。第一電極シート９０２ｂは、絶縁体シート１０１の短手方向の両端側に、第一電極シート９０２ａに隣り合うように配置されている。

１，２，３，１００，２００，３００，４００，５００，６００，７００，８００，９００：静電型トランスデューサ、 １０：静電シート、 １１：絶縁体シート、 １１ａ，１１ｂ：電極間絶縁層、 １１ｃ：第一被覆層、 １１ｄ：第二被覆層、 １２，１３，１４：第一電極シート、 １５：第二電極シート、 ２０：基材、 ３０：基材側融着シート、 ４０：ヒータシート、 ４１：ヒータ線、 ４２：ヒータ絶縁層、 ４２ａ：第一素材、 ４２ｂ：第二素材、 １０１：絶縁体シート、 １０２ａ，１０２ｂ，２０２ａ，２０２ｂ，３０２ａ，３０２ｂ，３０２ｃ，４０２ａ，４０２ｂ，５０２ａ，５０２ｂ，５０２ｃ，６０２ａ，６０２ｂ，７０２ａ，７０２ｂ，８０２ａ，８０２ｂ，９０２ａ，９０２ｂ：第一電極シート、 １０３：第二電極シート、 １０４：第一配線、 １０５：第二配線、 １０６：コネクタ、 Ｌ：中心線

Claims (22)

1. エラストマーにより形成された絶縁体シートと、
   前記絶縁体シートの表面側に配列され、前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着され、前記絶縁体シートの面方向に相互に距離を有して配列された複数の第一電極シートと、
   前記絶縁体シートの裏面側に配置され、前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着され、前記複数の第一電極シートに対向する部位および前記面方向に隣接するそれぞれの前記第一電極シートの間の領域に対向する部位を一体的に形成された１つの第二電極シートと、
   を備える、静電型トランスデューサ。
2. 前記複数の第一電極シートのそれぞれの少なくとも一部は、前記絶縁体シートに埋設され、
   前記絶縁体シートは、前記絶縁体シートの前記面方向に隣接するそれぞれの前記第一電極シートの間に、前記絶縁体シートの一部により構成される電極間絶縁層を備え、
   前記複数の第一電極シートのそれぞれの周面の少なくとも一部は、前記電極間絶縁層自身の融着により前記電極間絶縁層に固着されている、請求項１に記載の静電型トランスデューサ。
3. 前記複数の第一電極シートのそれぞれの少なくとも一部は、前記絶縁体シートに埋没され、
   前記絶縁体シートは、前記第一電極シートの表面側に、前記絶縁体シートの一部により構成される第一被覆層を備え、
   前記複数の第一電極シートのそれぞれの表面の少なくとも一部は、前記第一被覆層自身の融着により前記第一被覆層に固着されている、請求項２に記載の静電型トランスデューサ。
4. 前記複数の第一電極シートは、前記絶縁体シートの表面における第一方向に配列されている、請求項１−３の何れか１項に記載の静電型トランスデューサ。
5. 前記複数の第一電極シートは、さらに、前記絶縁体シートの表面における前記第一方向に直交する第二方向に配列されている、請求項４に記載の静電型トランスデューサ。
6. 前記絶縁体シートおよび前記第二電極シートは、長尺状に形成されており、
   隣接する２つの前記第一電極シートの一方は、前記絶縁体シートの短手方向の中央を通る中心線を跨いで配置され、
   前記隣接する２つの前記第一電極シートの他方は、前記絶縁体シートの短手方向の中央を通る中心線を跨いで配置され、
   前記隣接する２つの前記第一電極シートは、相互に、少なくとも一部が前記絶縁体シートの長手方向に隣接すると共に、少なくとも一部が前記絶縁体シートの短手方向に隣接する、請求項１−５の何れか１項に記載の静電型トランスデューサ。
7. 前記複数の第一電極シートの少なくとも２つは、同一形状に形成されている、請求項１−６の何れか１項に記載の静電型トランスデューサ。
8. 前記複数の第一電極シートの少なくとも２つは、異形状に形成されている、請求項１−７の何れか１項に記載の静電型トランスデューサ。
9. 前記静電型トランスデューサは、さらに、
   前記複数の第一電極シートのそれぞれに電気的に接続される複数の第一配線と、
   前記１つの第二電極シートに電気的に接続される少なくとも１つの第二配線と、
   前記複数の第一配線および前記少なくとも１つの第二配線を集合させる１つのコネクタと、
   を備える、請求項１−８の何れか１項に記載の静電型トランスデューサ。
10. 前記絶縁体シートは、架橋された前記エラストマーにより形成されている、請求項１−９の何れか１項に記載の静電型トランスデューサ。
11. 前記第一電極シートは、
    前記絶縁体シートと主成分を同種とする材料からなり、前記絶縁体シートとの間で架橋されたエラストマーと、
    導電性フィラーと、
    を含んで形成されている、請求項１０に記載の静電型トランスデューサ。
12. 前記絶縁体シートは、スチレン系エラストマーまたはオレフィン系エラストマーにより形成されている、請求項１−１１の何れか１項に記載の静電型トランスデューサ。
13. 前記第一電極シートは、スチレン系エラストマーまたはオレフィン系エラストマーにより形成されており、前記絶縁体シートより高い軟化点を有する、請求項１２に記載の静電型トランスデューサ。
14. 前記静電型トランスデューサは、さらに、前記第二電極シートの裏面側に積層されるヒータシートを備える、請求項１−１３の何れか１項に記載の静電型トランスデューサ。
15. 前記絶縁体シートは、熱伝導率が０．３Ｗ／ｍ・Ｋ以上である、請求項１４に記載の静電型トランスデューサ。
16. 前記絶縁体シートは、熱伝導率が５Ｗ／ｍ・Ｋ以上の熱伝導性フィラーを有する、請求項１５に記載の静電型トランスデューサ。
17. 前記熱伝導性フィラーは、絶縁性の金属系フィラーである、請求項１６に記載の静電型トランスデューサ。
18. 前記絶縁体シートは、難燃性フィラーを有する、請求項１４−１７の何れか１項に記載の静電型トランスデューサ。
19. 前記難燃性フィラーは、水酸化物フィラーである、請求項１８に記載の静電型トランスデューサ。
20. 請求項１−１９の何れか１項に記載の静電型トランスデューサの製造方法であって、
    前記絶縁体シートの表面側に前記複数の第一電極シートを配列し、
    加熱および加圧により、前記複数の第一電極シートを前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着させる、静電型トランスデューサの製造方法。
21. 請求項１０または１１に記載の静電型トランスデューサの製造方法であって、
    前記絶縁体シートの表面側に前記複数の第一電極シートを配列し、
    前記複数の第一電極シートを配列した後に、加熱および加圧を行うことによって、前記複数の第一電極シートを前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着させ、
    前記加熱によって前記融着による固着と同時に前記絶縁体シートの架橋を行う、静電型トランスデューサの製造方法。
22. 請求項１０または１１に記載の静電型トランスデューサの製造方法であって、
    前記絶縁体シートの表面側に前記複数の第一電極シートを配列し、
    前記複数の第一電極シートを配列した後に、加熱および加圧を行うことによって、前記複数の第一電極シートを前記絶縁体シート自身の融着により前記絶縁体シートに固着させ、
    前記固着した後に、追加加熱によって前記絶縁体シートの架橋を行う、静電型トランスデューサの製造方法。

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