JP6643169B2 - 処理装置、検査装置および処理方法 - Google Patents
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Description
Φ(x,y,z)=1/6(Φ(x-1,y,z)+Φ(x+1,y,z)+Φ(x,y-1,z)+Φ(x,y+1,z)+Φ(x,y,z-1)+Φ(x,y,z+1))・・・数式(1)
なお、数式(1)において、Φ(x−1,y,z)およびΦ(x+1,y,z)は、X軸方向に沿って(x,y,z)に位置する小片の両側に隣接する2つの小片の電位を表し、Φ(x,y−1,z)およびΦ(x,y+1,z)は、Y軸方向に沿って(x,y,z)に位置する小片の両側に隣接する2つの小片の電位を表し、Φ(x,y,z−1)およびΦ(x,y,z+1)は、Z軸方向に沿って(x,y,z)に位置する小片の両側に隣接する2つの小片の電位を表している。また、小片が導体パターン101の端部(境界)に位置していないときには、隣接する小片が6個存在するが、小片が導体パターン101の端部(境界)に位置しているときには、隣接する小片が3個から5個となる。このため、導体パターン101の端部に位置している小片の電位Φ(x,y,z)については、数式(1)の右辺に含まれる6個の小片の各電位のうちの隣接する小片分の電位だけを合計し、その合計値を、隣接する小片の数で除算するものとする。
ix(x,y,z)=Φ(x+1,y,z)-Φ(x,y,z) ・・・数式(2)
iy(x,y,z)=Φ(x,y+1,z)-Φ(x,y,z) ・・・数式(3)
iz(x,y,z)=Φ(x,y,z+1)-Φ(x,y,z) ・・・数式(4)
5 測定部
6 記憶部
7 処理部
50 基準値算出処理
101 導体パターン
Fp 通過面
It 合計値
Pd1,Pd2 検出点
Ps1,Ps2 供給点
Rm 抵抗値
Rs 基準値
Claims (5)
- 測定対象の2つの供給点の間に電流を供給している供給状態で当該測定対象の2つの検出点において検出される電圧値と当該電流の電流値とに基づく抵抗値についての基準値を算出する基準値算出処理を実行する処理部を備えた処理装置であって、
前記処理部は、前記基準値算出処理において、前記測定対象を複数の小片に分割すると共に前記各供給点の電位を異なる2つの電位に規定したときの当該各小片の電位をポアソン方程式から導かれる数式を用いて算出する第1処理と、
前記供給状態において前記電流のすべてが通過する前記測定対象内の通過面を特定する第2処理と、
前記通過面を挟んで隣接する前記各小片の間に流れる当該通過面に直交する向きの電流の合計値を前記各小片の電位に基づいて算出する第3処理と、
前記第1処理において求めた前記各小片の各電位を、前記電流の合計値が予め規定された規定値のときの各電位に変換する第4処理と、
前記第4処理において変換した前記各小片の電位の中から前記各検出点にそれぞれ位置する各小片の各電位を特定して当該各電位の電位差を前記規定値で除算した値を、前記各供給点の間に前記規定値の電流を供給している状態における前記基準値として算出する第5処理とを実行する処理装置。 - 前記処理部は、前記第2処理において、1つの平面を前記通過面として特定する請求項1記載の処理装置。
- 請求項1または2記載の処理装置と、前記抵抗値を測定する測定部と、当該抵抗値および前記基準値に基づいて前記測定対象を検査する検査部とを備えている検査装置。
- 測定対象の2つの供給点の間に電流を供給している供給状態で当該測定対象の2つの検出点において検出される電圧値と当該電流の電流値とに基づく抵抗値についての基準値を算出する基準値算出処理を実行する処理方法であって、
前記基準値算出処理において、前記測定対象を複数の小片に分割すると共に前記各供給点の電位を異なる2つの電位に規定したときの当該各小片の電位をポアソン方程式から導かれる数式を用いて算出する第1処理と、
前記供給状態において前記電流のすべてが通過する前記測定対象内の通過面を特定する第2処理と、
前記通過面を挟んで隣接する前記各小片の間に流れる当該通過面に直交する向きの電流の合計値を前記各小片の電位に基づいて算出する第3処理と、
前記第1処理において求めた前記各小片の各電位を、前記電流の合計値が予め規定された規定値のときの各電位に変換する第4処理と、
前記第4処理において変換した前記各小片の電位の中から前記各検出点にそれぞれ位置する各小片の各電位を特定して当該各電位の電位差を前記規定値で除算した値を、前記各供給点の間に前記規定値の電流を供給している状態における前記基準値として算出する第5処理とを実行する処理方法。 - 前記第2処理において、1つの平面を前記通過面として特定する請求項4記載の処理方法。
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JP2016077935A JP6643169B2 (ja) | 2016-04-08 | 2016-04-08 | 処理装置、検査装置および処理方法 |
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JP2016077935A JP6643169B2 (ja) | 2016-04-08 | 2016-04-08 | 処理装置、検査装置および処理方法 |
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JP2017187439A JP2017187439A (ja) | 2017-10-12 |
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ID=60044842
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2016
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