JP6635625B2 - ミラーダイ画像認識システム - Google Patents
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Description
まず、図1乃至図4を用いてダイ供給装置11の構成を概略的に説明する。
ダイ供給装置11は、マガジン保持部22(トレイタワー)、パレット引き出しテーブル23、XY移動機構25、パレット引出し機構26、突き上げユニット28(図2参照)等を備え、パレット引き出しテーブル23を部品実装機(図示せず)に差し込んだ状態にセットされる。
このようにしても、前記実施例1と同様の効果を得ることができる。
Claims (9)
- 多数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの多数のダイの中から、パターンの有る生産ダイと同じ四角形状でパターンと欠けが無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識するミラーダイ画像認識システムであって、
ウエハの少なくとも一部分を視野に収めて撮像するカメラと、
前記カメラで撮像した画像を処理して前記画像中の各ダイの中から欠けの無いミラーダイを他のダイと区別して認識する画像処理装置とを備え、
前記画像処理装置は、前記画像中の各ダイの4箇所の角部分と中央部分に相当する領域を含む少なくとも5箇所の領域の輝度を取得して、少なくとも5箇所の領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、少なくとも5箇所の領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識する、ミラーダイ画像認識システム。 - 多数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの多数のダイの中から、パターンの有る生産ダイと同じ四角形状でパターンと欠けが無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識するミラーダイ画像認識システムであって、
ウエハの少なくとも一部分を視野に収めて撮像するカメラと、
前記カメラで撮像した画像を処理して前記画像中の各ダイの中から欠けの無いミラーダイを他のダイと区別して認識する画像処理装置とを備え、
前記画像処理装置は、前記画像中の各ダイを角部分が1つずつ含まれる4つの領域に分割して、4つの領域の輝度を取得して、4つの領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、4つの領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識する、ミラーダイ画像認識システム。 - 前記画像処理装置は、ウエハのうち欠けの無いミラーダイを探索する探索範囲を指定する探索範囲指定部を備える、請求項1又は2に記載のミラーダイ画像認識システム。
- 前記探索範囲指定部は、ウエハの各ダイが生産ダイか欠けの無いミラーダイかの情報を含むウエハマッピングデータに基づいて前記探索範囲を指定する、請求項3に記載のミラーダイ画像認識システム。
- 前記画像処理装置は、前記探索範囲指定部で指定した探索範囲内に存在するダイから欠けの無いミラーダイを認識できなかった場合に、輝度を取得する領域のサイズ、領域の位置、領域の数のうちの少なくとも1つを変更して欠けの無いミラーダイを探索し直す、請求項3又は4に記載のミラーダイ画像認識システム。
- 前記画像処理装置は、前記探索範囲指定部で指定した探索範囲内で認識した欠けの無いミラーダイの数が実際に存在する欠けの無いミラーダイの数よりも多い場合に、欠けの無いミラーダイと認識したダイについて、輝度を取得する領域のサイズ、領域の位置、領域の数のうちの少なくとも1つを変更して欠けの無いミラーダイを探索し直す、請求項3乃至5のいずれかに記載のミラーダイ画像認識システム。
- 請求項1乃至6のいずれかに記載のミラーダイ画像認識システムで認識した欠けの無いミラーダイを、各生産ダイの位置を判断する基準位置となる基準ダイとして設定する、基準ダイ設定システム。
- 多数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの多数のダイの中から、パターンの有る生産ダイと同じ四角形状でパターンと欠けが無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識するミラーダイ画像認識方法であって、
ウエハの少なくとも一部分をカメラの視野に収めて撮像し、撮像した画像を画像処理装置で処理して画像中の各ダイの4箇所の角部分と中央部分に相当する領域を含む少なくとも5箇所の領域の輝度を取得して、少なくとも5箇所の領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、少なくとも5箇所の領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識する、ミラーダイ画像認識方法。 - 多数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの多数のダイの中から、パターンの有る生産ダイと同じ四角形状でパターンと欠けが無いミラーダイを、欠けの有るミラーダイや生産ダイと区別して認識するミラーダイ画像認識方法であって、
ウエハの少なくとも一部分をカメラの視野に収めて撮像し、撮像した画像を画像処理装置で処理して画像中の各ダイを角部分が1つずつ含まれる4つの領域に分割して、4つの領域の輝度を取得して、4つの領域の輝度が一定とみなせるか否かを判定して、4つの領域の輝度が一定とみなせるダイを欠けの無いミラーダイと認識する、ミラーダイ画像認識方法。
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