JP6625082B2 - X線検査装置 - Google Patents
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Description
前記X線を発生するX線管11bを含むX線照射部11と、
前記X線を検出するX線ラインセンサ15と、
前記X線ラインセンサに対する前記X線の照射領域を制限するコリメータ13と、
前記X線管の温度を測定する温度測定部12と、
あらかじめ測定された前記X線管の焦点温度と焦点位置移動量との関係を示す位置制御用データを記憶する記憶部5と、
前記被検査物を搬送していない状態において、前記温度測定部にて測定した温度に対応する前記位置制御用データにおける焦点温度の焦点位置移動量が相殺されるように前記X線照射部、前記X線ラインセンサ、前記コリメータの少なくとも1つを移動して位置制御する位置制御部6とを備えたことを特徴とする。
前記X線を発生するX線管11bを含むX線照射部11と、
前記X線を検出するX線ラインセンサ15と、
前記X線ラインセンサに対する前記X線の照射領域を制限するコリメータ13と、
前記被検査物を搬送していない状態において、前記X線ラインセンサの出力値が設定値以上又は設定範囲内になるように前記コリメータを前記被検査物の搬送される搬送面と平行な平面上で二次元的に移動して位置制御する位置制御部6とを備えたことを特徴とする。
前記X線を発生するX線管11bを含むX線照射部11と、
前記X線を検出するX線ラインセンサ15が前記被検査物の搬送方向Xに多段に複数並設された多段X線ラインセンサ15Aと、
前記多段X線ラインセンサに対する前記X線の照射領域を制限するコリメータ13と、
前記被検査物を搬送していない状態において、前記多段X線ラインセンサの異なる段の出力値の差が設定値以下又は設定範囲内になるように前記コリメータを前記被検査物の搬送される搬送面と平行な平面上で二次元的に移動して位置制御する位置制御部6とを備えたことを特徴とする。
本発明に係るX線検査装置は、例えば搬送ラインの一部に組み込まれ、上流側から順次搬送されてくる被検査物(物品)に対してX線を照射し、そのときに被検査物を通過するX線透過量に基づいて異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無などの各種検査を行って下流側に搬出するものである。
図1に示すように、本実施の形態のX線検査装置1は、搬送部2、第1ユニット3、第2ユニット4、記憶部5、位置制御部6を備えて概略構成される。
位置制御部6は、被検査物Wが搬送されていない状態において、温度測定部12から温度情報を取得し、取得した温度情報の測定温度に対応する記憶部5の位置制御用データの焦点温度の焦点位置移動量が相殺されるようにアクチュエータ14を駆動してコリメータ13を移動させる。例えば温度測定部12から取得した温度情報の測定温度をT1、この測定温度T1に対応する記憶部5の位置制御用データの焦点温度T2の焦点位置移動量をX1とすると、位置制御部6は、焦点位置移動量X1が相殺されるようにアクチュエータ14を駆動してコリメータ13を移動させる。すなわち、焦点位置移動量X1と同じ方向にアクチュエータ14を駆動してコリメータ13を移動させる。なお、X線照射部11またはX線ラインセンサ15を移動させる場合は、焦点位置移動量X1とは逆方向に移動させる。
位置制御部6は、被検査物Wが搬送されていない状態において、X線ラインセンサ15の出力値が設定値以上になるように、アクチュエータ14を駆動してコリメータ13(13A又は13B)を所定ステップずつ移動して位置制御する。
位置制御部6は、被検査物Wが搬送されていない状態において、多段X線ラインセンサ15Aの最上流と最下流の出力値の差が設定値以下になるように、アクチュエータ14を駆動してコリメータ13(13A又は13B)を移動して位置制御する。尚、多段X線ラインセンサ15Aの最上流と最下流の出力値の差とは、多段X線ラインセンサ15Aの最上流の各素子の出力値と、この最上流の各素子と搬送方向Xに対向して並ぶ最下流の各素子の出力値との差である。
2 搬送部
3 第1ユニット
3a 遮蔽カーテン
3b 照射開口窓
4 第2ユニット
5 記憶部
6 位置制御部
11 X線照射部
11a 箱体
11b X線管
11c 陰極
11d 支持体
11e 陽極ターゲット
11f 出射窓
12 温度測定部
13 コリメータ
13a 照射スリット
13b 移動ブロック片
13c 固定ブロック片
13d ガイド部材
13e ブロック片
14 アクチュエータ
15 X線ラインセンサ
15A 多段X線ラインセンサ
21,22 ガイドレール
H スリット幅
L スリット長
W 被検査物
X 搬送方向
Claims (3)
- 被検査物(W)を搬送させながらX線を照射し、前記被検査物を透過するX線透過量に基づいて前記被検査物を検査するX線検査装置(1)において、
前記X線を発生するX線管(11b)を含むX線照射部(11)と、
前記X線を検出するX線ラインセンサ(15)と、
前記X線ラインセンサに対する前記X線の照射領域を制限するコリメータ(13)と、
前記X線管の温度を測定する温度測定部(12)と、
あらかじめ測定された前記X線管の焦点温度と焦点位置移動量との関係を示す位置制御用データを記憶する記憶部(5)と、
前記被検査物を搬送していない状態において、前記温度測定部にて測定した温度に対応する前記位置制御用データにおける焦点温度の焦点位置移動量が相殺されるように前記X線照射部、前記X線ラインセンサ、前記コリメータの少なくとも1つを移動して位置制御する位置制御部(6)とを備えたことを特徴とするX線検査装置。 - 被検査物(W)を搬送させながらX線を照射し、前記被検査物を透過するX線透過量に基づいて前記被検査物を検査するX線検査装置(1)において、
前記X線を発生するX線管(11b)を含むX線照射部(11)と、
前記X線を検出するX線ラインセンサ(15)と、
前記X線ラインセンサに対する前記X線の照射領域を制限するコリメータ(13)と、
前記被検査物を搬送していない状態において、前記X線ラインセンサの出力値が設定値以上又は設定範囲内になるように前記コリメータを前記被検査物の搬送される搬送面と平行な平面上で二次元的に移動して位置制御する位置制御部(6)とを備えたことを特徴とするX線検査装置。 - 被検査物(W)を搬送させながらX線を照射し、前記被検査物を透過するX線透過量に基づいて前記被検査物を検査するX線検査装置(1)において、
前記X線を発生するX線管(11b)を含むX線照射部(11)と、
前記X線を検出するX線ラインセンサ(15)が前記被検査物の搬送方向(X)に多段に複数並設された多段X線ラインセンサ(15A)と、
前記多段X線ラインセンサに対する前記X線の照射領域を制限するコリメータ(13)と、
前記被検査物を搬送していない状態において、前記多段X線ラインセンサの異なる段の出力値の差が設定値以下又は設定範囲内になるように前記コリメータを前記被検査物の搬送される搬送面と平行な平面上で二次元的に移動して位置制御する位置制御部(6)とを備えたことを特徴とするX線検査装置。
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JP2017045170A Active JP6625082B2 (ja) | 2017-03-09 | 2017-03-09 | X線検査装置 |
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