KR20150134033A - 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 - Google Patents

소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20150134033A
KR20150134033A KR1020140060824A KR20140060824A KR20150134033A KR 20150134033 A KR20150134033 A KR 20150134033A KR 1020140060824 A KR1020140060824 A KR 1020140060824A KR 20140060824 A KR20140060824 A KR 20140060824A KR 20150134033 A KR20150134033 A KR 20150134033A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
inspection
ray
module
shielding
unit
Prior art date
Application number
KR1020140060824A
Other languages
English (en)
Inventor
김형철
류덕현
정택근
조두용
노현주
Original Assignee
(주)자비스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)자비스 filed Critical (주)자비스
Priority to KR1020140060824A priority Critical patent/KR20150134033A/ko
Priority to US14/323,859 priority patent/US20150338355A1/en
Publication of KR20150134033A publication Critical patent/KR20150134033A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/083—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H43/00—Use of control, checking, or safety devices, e.g. automatic devices comprising an element for sensing a variable
    • B65H43/04—Use of control, checking, or safety devices, e.g. automatic devices comprising an element for sensing a variable detecting, or responding to, presence of faulty articles
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21F—PROTECTION AGAINST X-RADIATION, GAMMA RADIATION, CORPUSCULAR RADIATION OR PARTICLE BOMBARDMENT; TREATING RADIOACTIVELY CONTAMINATED MATERIAL; DECONTAMINATION ARRANGEMENTS THEREFOR
    • G21F3/00—Shielding characterised by its physical form, e.g. granules, or shape of the material

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)

Abstract

본 발명은 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이고, 구체적으로 컨베이어를 통하여 연속적으로 이송되는 소형 제품을 높은 해상도로 검사가 가능하도록 하는 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이다. 엑스레이 검사 장치는 엑스레이 튜브(14) 및 디텍터(15)가 배치된 검사 모듈(R); 검사 모듈(R)은 내부로 검사 대상(M)을 이송시키는 컨베이어 모듈(11); 검사 모듈(R)의 입구 및 출구에 각각 배치된 유입 유닛(12a) 및 배출 유닛(12b); 유입 유닛(12a)에 형성된 입구(122)에 배치되는 차폐재(31); 및 컨베이어 모듈(11)에 형성된 고정 가이드(112)를 포함한다.

Description

소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치{X-Ray Apparatus for Detecting a Flaw of Small Sized Article Continuously}
본 발명은 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이고, 구체적으로 컨베이어를 통하여 연속적으로 이송되는 소형 제품을 높은 해상도로 검사가 가능하도록 하는 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치에 관한 것이다.
전자 방사선 형태의 짧은 파장을 가지는 엑스선은 물질에 대한 높은 투과도를 가지면서 밀도 및 구성 원자에 따라 투과율에 차이를 나타내는 전자기파에 해당된다. 엑스선 검사 장치는 엑스선의 이와 같은 물리적 특성을 이용한 장치로 전자부품 내부의 백금 와이어 또는 리드 프레임의 구조, 인쇄 회로 기판의 동선의 이상 유무 및 납땜 불량 검사에 적용되고 있다. 또한 엑스레이 검사 장치는 밀봉 식품 또는 의약품에 포함된 이물질의 검출, 기계 부품의 불량 검출 또는 기계 부품에 포함된 배선의 불량 검출에 적용될 수 있다. 이와 같이 엑스레이 검사는 비파괴 방식의 검사가 요구되는 다양한 종류의 산업 제품의 불량 검사에 적용될 수 있다.
엑스레이 검사 장치는 검사 대상에 따라 각각의 제품이 인입 및 배출이 되면서 검사 공정이 진행되거나 각각의 부품의 일련의 순서로 이송이 되면서 연속적으로 검사가 될 수 있다. 제품의 연속적인 이송에 의한 엑스레이 검사와 관련된 선행기술로 공개특허번호 제2009-0123633호 ‘이차 전지용 엑스레이 검사 장치’가 있다. 상기 선행기술은 이차 전지를 연속적으로 이송시키는 컨베이어와 같은 이송 유닛; 이차 전지에 엑스레이를 조사하는 적어도 하나의 엑스레이 소스; 엑스레이가 이차 전지를 투과할 때 투영되는 영상을 검출하는 적어도 하나의 엑스레이 디텍터; 및 제어 유닛을 포함하고, 엑스레이 디텍터는 영상이 픽셀의 한 열에서 다음 열로 이동할 때 전하가 누적적으로 축척되어 이동되는 형태로 이송되는 이차전지의 연속 비디오 영상을 검출하는 TDI(Time Delay Integration) 카메라를 포함하는 엑스레이 검사 장치에 대하여 개시한다.
연속 자동 공급에 의한 엑스레이 검사 방법과 관련된 선행기술로 특허등록번호 제136267호 ‘컨베이어를 이용한 플렉시블 PCB 엑스레이 검사 방법’이 있다. 상기 선행기술은 다수의 검사 대상을 컨베이어를 이용하여 자동으로 공급하고 연속으로 이동시키면서 미리 등록된 패턴과 비교하여 양품과 불량품을 선별하도록 하여 엑스레이 검사 공정을 효율을 향상시킬 수 있는 엑스레이 검사 방법에 대하여 개시한다.
엑스레이 검사는 검사 과정에서 검사 부품이 정해진 위치에 유지될 수 있도록 하면서 이와 동시에 엑스레이가 차폐될 수 있는 수단에 대하여 개시하지 않는다. 또한 엑스레이의 조사가 검사 대상에 대하여 예를 들어 수직 방향과 같이 정해진 각도로만 조사되는 것에 의하여 검사 대상에 따라 이물질이 검출되지 않을 수 있다. 추가로 엑스레이의 검사 과정에서 디텍터의 해상도가 적절하게 조절될 필요가 있고 예를 들어 검사 대상에 따라 고해상도의 엑스레이 이미지가 요구될 수 있다. 선행기술은 이와 같은 차폐 수단 또는 엑스레이 조사 방향의 조절에 대하여 개시하지 않는다.
본 발명은 선행기술이 가진 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
선행문헌1: 공개특허번호 10-2009-0123633(주식회사 쎄크, 2009년12월02일 공개) 이차전지용 엑스레이 검사 장치 선행문헌2: 등록특허번호 10-1362367((주)자비스, 2014년02월13일 공개) 컨베이어를 이용한 플렉시블 PCB 엑스레이 검사 방법
본 발명의 목적은 연속적으로 이송되는 검사 대상에 대하여 검사 위치가 고정되고 그리고 엑스레이의 조사 방향이 조절될 수 있도록 하는 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 엑스레이 검사 장치는 엑스레이 튜브 및 디텍터가 배치된 검사 모듈; 검사 모듈은 내부로 검사 대상을 이송시키는 컨베이어 모듈; 검사 모듈의 입구 및 출구에 각각 배치된 유입 유닛 및 배출 유닛; 유입 유닛에 형성된 입구에 배치되는 차폐재; 및 컨베이어 모듈에 형성된 고정 가이드를 포함한다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 엑스레이 튜브는 검사 대상에 대한 엑스레이의 조사 각도의 조절이 가능하다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 유입 유닛 및 배출 유닛에 각각 결합되는 적어도 하나의 차폐 유닛이 배치된 차폐 모듈을 더 포함한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 상기 고정 가이드는 컨베이어 모듈의 이동 방향을 따라 연장되는 한 쌍의 스트립 구조를 가지면서 컨베이어 모듈과 일체로 형성된다.
본 발명에 따른 검사 장치는 식품 또는 기계 부품의 연속적인 검사가 가능하도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다는 이점을 가진다. 본 발명에 따른 검사 장치는 경사 이미지의 획득이 가능하도록 하는 것에 의하여 검사 대상의 형상에 의하여 발생될 수 있는 검사 오류가 방지되도록 한다는 장점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 장치는 예를 들어 자동차의 메탈 온도 센서와 같은 대량 생산 부품의 연속 검사가 가능하도록 하는 것에 의하여 제품의 품질 향상이 가능해지도록 한다는 이점을 가진다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예에 대한 사시도 및 정면도를 각각 도시한 것이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 검사 장치의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 3a는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 컨베이어 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3b는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 차폐 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3c는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 차폐 모듈(13a)의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 고해상도를 가진 디텍터의 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명에 따른 검사 장치의 실시 예에 대한 사시도 및 정면도를 각각 도시한 것이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 본 발명에 따른 엑스레이 검사 장치(10)는 엑스레이 튜브(14) 및 디텍터(15)가 배치된 검사 모듈(R); 검사 모듈(R)은 내부로 검사 대상(M)을 이송시키는 컨베이어 모듈(11); 검사 모듈(R)의 입구 및 출구에 각각 배치된 유입 유닛(12a) 및 배출 유닛(12b); 유입 유닛(12a)에 형성된 입구(122)에 배치되는 차폐재; 및 컨베이어 모듈(11)에 형성된 고정 가이드(112)를 포함한다.
본 발명에 따른 검사 장치(10)는 이에 제한되지 않지만 예를 들어 자동차의 메탈 온도 센서 또는 용기에 밀봉된 식품과 같은 것에 불량 여부의 검사에 적용될 수 있다. 메탈 온도 센서 또는 식품은 컨베이어 모듈(11)에 의하여 연속적으로 이송될 수 있고 엑스레이 튜브(14) 및 디텍터(15)에 의하여 불량 여부가 검사될 수 있다. 검사 모듈(R)은 밀폐 구조를 가지면서 내부에 엑스레이 튜브(14) 및 디텍터(15)가 수용될 수 있는 임의의 구조를 가질 수 있다. 컨베이어 모듈(11)은 예를 들어 모터와 같은 구동 장치에 의하여 회전되는 다수 개의 롤러(17) 및 롤러(17)에 의하여 회전되는 컨베이어 벨트(111)를 포함할 수 있다. 컨베이어 모듈(11)은 커넥터(C1)에 의하여 구동 장치를 포함하는 고정 모듈(C)에 결합될 수 있다. 필요에 따라 컨베이어 모듈(11)은 검사 모듈(R)로부터 분리 가능하도록 결합될 수 있다.
컨베이어 벨트(111)에 적어도 하나의 고정 가이드(112)가 형성될 수 있다. 고정 가이드(112)는 컨베이어 벨트(111)를 따라 검사 대상(M)의 이동 방향을 따라 연장되는 구조로 형성될 수 있고 컨베이어 벨트(111)와 일체로 형성될 수 있다. 적어도 하나의 고정 가이드(112)가 컨베이어 모듈(11)에 형성될 수 있고 아래에서 다시 설명된다.
검사 모듈(R)의 앞쪽 및 뒤쪽에 각각 유입 유닛(12a) 및 배출 유닛(12b)이 설치될 수 있다. 유입 유닛(12a) 및 배출 유닛(12b)은 유사한 구조가 될 수 있고 검사 모듈(R)에 분리 가능하도록 결합될 수 있다. 유입 유닛(12a)은 차폐 플레이트(121) 및 차폐 플레이트(121)에 형성된 입구(122)를 포함할 수 있고 입구에 예를 들어 납과 같은 소재로 만들어지면서 스트립 형상을 가지는 차폐재가 설치될 수 있다.
검사 대상(M)은 고정 가이드(112)에 배치되어 입구(122)를 통하여 검사 모듈(R)의 내부로 유입될 수 있고 그리고 엑스레이 튜브(14) 및 디텍터(15)에 의하여 검사가 될 수 있다. 디텍터(15)에 의하여 탐지된 엑스레이 영상은 디스플레이 유닛(D)에 표시될 수 있고 검사 과정은 윈도우(W)를 통하여 관측될 수 있다. 그리고 검사가 완료된 검사 대상(M)은 배출 유닛(12b)을 통하여 배출될 수 있고 배출 유닛(12b)은 차폐 플레이트 및 출구를 포함할 수 있다. 배출 유닛(12b)에 형성된 차폐 플레이트 및 출구는 유입 유닛(12a)에 형성된 차폐 플레이트(121) 및 입구(122)와 유사한 구조를 가질 수 있다.
검사 모듈(R)이 이동 가능한 구조를 가지는 프레임(F)에 설치될 수 있고 제어 유닛에 의하여 컨베이어 모듈(11), 엑스레이 튜브(14) 및 디텍터(15)의 작동이 제어될 수 있다. 또한 컨베이어 모듈(11)에 장력 제어 롤러(171)와 같은 컨베이어 벨트(111)의 장력을 조절하기 위한 수단이 배치될 수 있다.
검사 과정에서 엑스레이 튜브(14)로부터 방출되는 엑스선이 차단될 필요가 있고 이를 위하여 차폐 모듈(13a, 13b)이 설치될 수 있다. 차폐 모듈(13a, 13b)은 납 소재의 적어도 하나의 커튼 구조를 가질 수 있고 그리고 유입 유닛(12a) 및 배출 유닛(12b)에 각각 설치될 수 있다. 차폐재는 일정한 간격으로 배치될 수 있고 그리고 각각의 차폐재에 검사 대상의 이동을 위한 이동 스트립이 형성될 수 있다.
엑스레이 튜브(14)로부터 방출되는 엑스레이는 검사 대상(M)에 대하여 수직으로 통과하여 디텍터(15)에 의하여 탐지가 되지만 검사 대상(M)의 형상에 따라 경사진 방향으로 엑스레이가 조사될 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 검사 장치의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 2a를 참조하면, 엑스레이 튜브(14)에 엑스레이가 방출되는 방출 튜브(141) 및 방출 튜브(141)에서 엑스레이의 조사 방향을 결정하기 위한 조절 유닛(142)이 설치될 수 있다. 방출 튜브(141)에 전자의 충돌에 의하여 엑스레이를 방출하는 표적 금속이 배치될 수 있고 조절 유닛(142)은 엑스레이 튜브(14)가 컨베이어 모듈(11)에 대한 경사가 조절되도록 할 수 있다. 엑스레이 튜브(14)의 경사 조절에 대응되도록 필요에 따라 디텍터(15)가 이동될 수 있고 그리고 디텍터(15)의 이동을 위한 슬라이더(151)가 설치될 수 있다. 디텍터(15)는 예를 들어 포토다이오드와 같은 센서를 포함할 수 있고 방출 튜브(141)가 경사진 방향으로 엑스레이를 조사하는 경우 포토다이오드는 센서 위치(15a)로 이동될 수 있다.
도 2b를 참조하면, 컨베이어 벨트(111)에 형성된 고정 가이드(112)를 따라 검사 대상(M)이 이동될 수 있다. 엑스레이 튜브(14)는 고정 가이드(112)의 위쪽에 배치될 수 있고 그리고 디텍터(15)는 컨베이어 벨트(111)의 아래쪽에 배치될 수 있다. 검사 대상(M)이 엑스레이 튜브(14)의 아래쪽에 설정된 제1 디텍터 라인(DV)에 위치하게 되면 엑스레이 튜브(14)로부터 엑스레이가 방출되어 디텍터(15)에 의하여 탐지될 수 있다. 이와 같은 경우 엑스레이 튜브(14)와 디텍터(15)를 연결하는 직선은 컨베이어 벨트에 대하여 수직이 될 수 있고 그리고 디텍터(15)에 의하여 평면 이미지가 얻어질 수 있다. 그러나 검사 대상(M)에 따라 이와 가은 평면 이미지로부터 이물질의 검출되지 않을 수 있다. 예를 들어 검사 대상(M)이 밀봉된 용기의 내부에 존재하는 경우 이물질이 용기의 벽에 위치하게 되면 용기 벽으로 인하여 이물질의 탐지가 어렵게 된다. 이와 같이 용기 벽이 일정한 두께를 가지는 경우 엑스레이 튜브(14)로부터 조사되는 엑스레이(X)가 검사 대상(M)의 측면을 투과하면서 경사 이미지를 얻고 그로부터 불량 여부를 판단하는 것이 유리하다. 예를 들어 도 2b에 도시된 것처럼, 엑스레이 튜브(14a)가 고정 가이드(112)로부터 벗어나서 위치하거나 또는 엑스레이 튜브(14)로부터 조사되는 엑스레이(X)가 제2 디텍터 라인(DV)에서 탐지될 수 있다. 이를 위하여 디텍터(15)가 제2 디텍터 라인(DL)에 위치될 수 있다. 엑스레이 튜브(14a)가 고정 가이드(112)에서 벗어나서 위치되는 경우 디텍터(15)는 제1 디텍터 라인(DV) 또는 제2 디텍터 라인(DL)에 위치될 수 있다. 이와 같이 경사 이미지가 얻어지는 경우 엑스레이 튜브(14, 14a)와 디텍터(15)를 연결하는 직선은 컨베이어 벨트(111)에 대하여 수직이 아닌 각으로 만나게 된다. 필요에 따라 경사 이미지와 수직 이미지와 모두 얻어질 수 있다.
고정 가이드(112)에 위치 센서가 설치될 수 있고 그리고 위치 센서가 예를 들어 제1 디텍터 라인(DV) 또는 제2 디텍터 라인(DL)에 도달하면 위치 신호가 엑스레이 튜브(14)로 전송될 수 있다. 그리고 위치 신호의 수신에 따라 엑스레이 튜브(14)가 작동하게 되고 그에 따라 수직 이미지 또는 경사 이미지가 얻어질 수 있다. 경사 이미지가 얻어지는 각은 검사 대상(M)에 따라 다양하게 설정될 수 있다.
아래에서 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 고정 가이드(112) 및 차폐 모듈의 실시 예에 대하여 설명된다.
도 3a는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 컨베이어 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3a의 (가)를 참조하면, 컨베이어 벨트(111)에 고정 가이드(112)가 형성될 수 있고 예를 들어 고정 가이드(112)은 서로 이격되어 컨베이어 벨트(111)의 길이 방향 또는 이동 방향을 따라 연장되는 한 쌍의 돌출된 스트립 구조로 이루어질 수 있다. 한 쌍의 스트립(112a, 112b)의 사이에 도 3a의 (나)에 도시된 예를 들어 메탈 온도 센서가 배치될 수 있고 그리고 내부에 형성된 배선의 결함 여부가 탐지될 수 있다. 한 쌍의 스트립(112a, 112b)의 이격 간격, 폭 또는 높이는 검사 대상(M)에 구조에 따라 결정될 수 있고 한 쌍의 스트립(112a, 112b)은 컨베이어 벨트(111)와 일체로 형성될 수 있다. 한 쌍의 스트립(112a, 112b)이 컨베이어 벨트(111)를 따라 연속된 구조를 가지도록 형성하는 것은 다수 개의 검사 대상(M)이 일정 간격으로 일렬로 배치되도록 하기 위한 것이다. 고정 가이드(112)는 적어도 하나가 될 수 있고 고정 가이드(112)는 필요에 따라 불연속적으로 연장되는 띠 형상을 가지거나 또는 검사 대상(M)이 고정될 수 있는 적절한 트레이 구조를 가질 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
입구(122)에 다수 개의 수직 스트립이 연속적으로 배치되는 차폐재(31)가 배치될 수 있다. 입구(122)의 크기는 검사 대상(M)의 형상에 따라 결정될 수 있고 차폐재(31)는 다수 개의 스트립이 입구를 완전히 차단하는 구조로 만들어질 수 있다. 다수 개의 스트립은 복원성을 가진 휘어질 수 있는 구조로 만들어질 수 있고 검사 대상(M)은 스트립을 구부려지게 하면서 입구(122)를 통과하여 검사 모듈의 내부로 유입될 수 있다.
위에서 설명이 된 것처럼, 차폐재(31)는 다수 개가 연속적으로 설치될 수 있다.
도 3b는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 차폐 구조의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3b를 참조하면, 검사 모듈의 내부에 차폐 모듈(13a, 13b)이 배치될 수 있다. 차폐 모듈(13a, 13b)은 수평 결합 부재(32a, 32b), 수평 결합 부재(32a, 32b)에 일정 간격으로 배치된 고정 간극(321) 및 고정 간극(321)에 설치되는 차폐 유닛(322)을 포함할 수 있다. 수평 결합 부재(31a, 32b)는 유입 유닛 또는 배출 유닛에 결합되거나 또는 검사 모듈의 내부에 설치된 적절한 고정 프레임에 결합될 수 있다. 차폐 모듈(13a, 13b)은 엑스레이 튜브(14)의 양쪽을 배치될 수 있고 그리고 각각의 차폐 모듈(13a, 13b)에 다수 개의 차폐 유닛(322)이 병렬로 배치될 수 있다. 그리고 각각의 차폐 유닛(322)에 스트립 구조의 차폐재(31)가 형성될 수 있다. 그리고 각각의 차폐 유닛(322)은 휘어질 수 있는 구조를 가지면서 컨베이어 벨트(111)에 접촉되도록 수평 결합 부재(32a, 32b)로부터 연장될 수 있다. 필요에 따라 컨베이어 벨트(111)에 검사 대상 배치 선(33)이 형성될 수 있다. 검사 대상 배치 선(33)은 고정 가이드(122)의 연장 방향에 대하여 수직이 되도록 형성될 수 있다. 이와 같이 병렬로 형성된 다수 개의 차폐 유닛(322) 및 각각의 차폐 유닛(322)에 형성된 스트립 구조의 차폐재(31)에 의하여 엑스레이의 누설이 완전하게 방지될 수 있다.
다양한 형태의 차폐 구조가 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있고 예를 들어 차폐 모듈(13a)은 검사 모듈(R)에 분리 가능하도록 결합될 수 있다.
도 3c는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 차폐 모듈(13a)의 다른 실시 예를 도시한 것이다.
도 3c를 참조하면, 차폐 모듈(13a)은 평면 형상의 결합 플레이트(33)을 포함할 수 있다. 결합 플레이트(33)의 양쪽 측면에 슬라이딩 부재(34)가 설치될 수 있고 그리고 결합 플레이트(33)의 전면 및 후면에 위에서 설명된 수평 결합 부재(32a)가 고정될 수 있다.
차폐 모둘(13a)은 결합 플레이트(33), 수평 결합 부재(32a) 및 슬라이딩 부재(34)가 하나의 모듈로 이루어질 수 있고 그리고 수평 결합 부재(32a)에 적어도 하나의 고정 간극(321)이 형성될 수 있고 적어도 하나의 고정 간극(321)에 커튼 구조를 가지는 차폐 유닛(322)이 설치될 수 있다. 차폐 모듈(13a)의 분리 및 결합을 위하여 검사 모듈(R)에 도어가 설치될 수 있고 차폐 모듈(13a)은 슬라이딩 부재(34)를 이용하여 슬라이딩 방식으로 검사 모듈(R)에 분리 또는 결합이 될 수 있다.
분리 가능한 다양한 구조의 차폐 모듈(13a)이 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 검사 장치는 다양한 산업 제품의 검사에 적용될 수 있고 예를 들어 용기 보관 식품 또는 기계 부품의 검사에 적용될 수 있다. 그리고 검사 대상에 따라 고해상도가 요구될 수 있다. 예를 들어 검출되어야 할 이물질의 크기가 수백 마이크로 단위가 되는 경우 이에 대응되는 해상도가 요구될 수 있다. 일반적으로 엑스레이 장치의 해상도는 표적 초점 크기(focal spot size) 또는 디텍터의 성능에 의하여 결정될 수 있다.
본 발명에 따르면, 검사 대상에 따라 검사 장치의 해상도 또는 디텍터의 해상도가 조절될 수 있고 예를 들어 고해상도가 요구되는 대상에 대하여 해상도가 향상되도록 조절될 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있는 고해상도를 가진 디텍터의 실시 예를 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 디텍터(15)는 센서(42), 센서(42)에 가해지는 전압을 조절하기 위한 가변 전원(41), 센서(42)로부터 발생되는 신호를 증폭하기 위한 증폭기(43), 증폭기(43)의 출력 신호를 미리 결정된 문턱 값(VH)와 비교하기 위한 비교기(44) 및 비교기(44)로부터 전달된 신호를 계수하는 카운터(45)를 포함할 수 있다.
엑스레이(14)로부터 방출된 엑스레이는 검사대상은 투과하여 예를 들어 포토다이오드와 같은 센서(42)로 전달될 수 있다. 센서(42)에 가해지는 전압은 조절이 될 수 있고 센서(42)는 엑스선의 강도에 따라 광양자(photon)를 발생시킬 수 있다. 센서(42)에 가해지는 전압은 검사대상 및 검출되어야 할 오류(defect)의 크기에 따라 결정될 수 있다. 센서(42)의 신호는 증폭기(43)로 전달될 수 있고 증폭기(43)의 필터의 기능을 가질 수 있다. 이후 증폭 및 필터링이 된 신호는 비교기(44)로 전달될 수 있다. 비교기(44)는 증폭기(43)로부터 전달되는 신호를 미리 결정된 문턱 값(VH)과 비교하고 그리고 비교 결과에 따라 0 또는 1과 같은 신호를 발생시킬 수 있다. 그리고 카운터(45)는 디지털 신호를 계수하여 신호의 전달 여부를 결정할 수 있다. 센서(42)는 픽셀 단위로 엑스레이의 크기를 감지할 수 있고 그리고 카운터(45)에 의하여 신호 또는 노이즈의 여부가 결정될 수 있다. 가변 전압의 크기 또는 문턱 값은 예를 들어 제어 유닛과 같은 장치에 의하여 검사 대상 또는 오류(defect)의 종류에 따라 미리 결정될 수 있다. 이와 같은 디텍터(15)의 구조는 고해상도의 실현이 가능하도록 하면서 이와 동시에 검사 대상 또는 검출 대상에 따른 정확한 검사가 가능하도록 한다는 장점을 가진다.
고해상도의 실현을 위한 다양한 디텍터(15)의 구조가 본 발명에 따른 검사 장치에 적용될 수 있고 본 발명은 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 검사 장치는 식품 또는 기계 부품의 연속적인 검사가 가능하도록 하는 것에 의하여 검사 효율이 향상되도록 한다는 이점을 가진다. 본 발명에 따른 검사 장치는 경사 이미지의 획득이 가능하도록 하는 것에 의하여 검사 대상의 형상에 의하여 발생될 수 있는 검사 오류가 방지되도록 한다는 장점을 가진다. 또한 본 발명에 따른 검사 장치는 예를 들어 자동차의 메탈 온도 센서와 같은 대량 생산 부품의 연속 검사가 가능하도록 하는 것에 의하여 제품의 품질 향상이 가능해지도록 한다는 이점을 가진다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
10: 검사 장치 11: 컨베이어 모듈
12a: 유입 유닛 12b: 배출 유닛
13a, 13b: 차폐 모듈 14: 엑스레이 튜브
15: 디텍터 31:차폐재
32a, 32b: 수평 결합 부재 34: 슬라이딩 부재
42: 센서 43: 증폭기
44: 비교기 45: 카운터
111: 컨베이어 벨트 112: 고정 가이드
121: 차폐 플레이트 122: 입구
142: 조절 유닛 151:슬라이더
321:고정 간극 322: 차폐 유닛

Claims (4)

  1. 엑스레이 튜브(14) 및 디텍터(15)가 배치된 검사 모듈(R);
    검사 모듈(R)은 내부로 검사 대상(M)을 이송시키는 컨베이어 모듈(11);
    검사 모듈(R)의 입구 및 출구에 각각 배치된 유입 유닛(12a) 및 배출 유닛(12b);
    유입 유닛(12a)에 형성된 입구(122)에 배치되는 차폐재(31); 및
    컨베이어 모듈(11)에 형성된 고정 가이드(112)를 포함하는 엑스레이 검사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 엑스레이 튜브(14)는 검사 대상(M)에 대한 엑스레이의 조사 각도의 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사 장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 유입 유닛(12a) 및 배출 유닛(12b)에 각각 결합되는 적어도 하나의 차폐 유닛(322)이 배치된 차폐 모듈(13a, 13b)을 더 포함하는 엑스레이 검사 장치.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 고정 가이드(112)는 컨베이어 모듈(11)의 이동 방향을 따라 연장되는 한 쌍의 스트립 구조를 가지면서 컨베이어 모듈(11)과 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 엑스레이 검사 장치.
KR1020140060824A 2014-05-21 2014-05-21 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치 KR20150134033A (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140060824A KR20150134033A (ko) 2014-05-21 2014-05-21 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치
US14/323,859 US20150338355A1 (en) 2014-05-21 2014-07-03 X-Ray Apparatus for Detecting a Flaw of Small Sized Article Continuously

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020140060824A KR20150134033A (ko) 2014-05-21 2014-05-21 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160110796A Division KR102011638B1 (ko) 2016-08-30 2016-08-30 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20150134033A true KR20150134033A (ko) 2015-12-01

Family

ID=54555858

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020140060824A KR20150134033A (ko) 2014-05-21 2014-05-21 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20150338355A1 (ko)
KR (1) KR20150134033A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190049019A (ko) * 2017-11-01 2019-05-09 (주)자비스 이송 유도 구조의 엑스레이 장치

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106959311A (zh) * 2017-05-23 2017-07-18 上海海洋大学 一种用于含骨鱼肉片的检测设备及方法
DE102019105309A1 (de) 2019-03-01 2020-09-03 Wipotec Gmbh Prüfvorrichtung
DE102020102000A1 (de) * 2020-01-28 2021-07-29 Wipotec Gmbh Halterung für ein Röntgenschutzelement
JP2022144586A (ja) * 2021-03-19 2022-10-03 株式会社イシダ Ｘ線検査装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7151817B1 (en) * 2005-09-12 2006-12-19 Analogic Corporation X-ray inspection systems with improved radiation attenuation shielding
AT512954B1 (de) * 2012-06-08 2016-04-15 Haas Food Equipment Gmbh Ofenübergabe mit einem diskontinuierlichen Transportband

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190049019A (ko) * 2017-11-01 2019-05-09 (주)자비스 이송 유도 구조의 엑스레이 장치

Also Published As

Publication number Publication date
US20150338355A1 (en) 2015-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20150134033A (ko) 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치
KR101975562B1 (ko) 내부 결함 및 접합 부위의 검사가 가능한 엑스레이 검사 장치
JP5555048B2 (ja) Ｘ線検査装置
KR101215049B1 (ko) 차폐수단을 구비하고, 엑스레이 조사위치를 변경할 수 있는 엑스레이 검사장치
JP5706724B2 (ja) Ｘ線異物検出装置
JP2007127611A (ja) 異物検出装置
KR102011638B1 (ko) 소형 제품의 연속 검사를 위한 엑스레이 검사 장치
JP2008157821A (ja) Ｘ線異物検査装置
JP6783456B2 (ja) Ｘ線透過検査装置
JP2002168802A (ja) Ｘ線異物検出装置
JP2009236633A (ja) Ｘ線異物検査装置
JP5210998B2 (ja) シリコンウエハー検査装置
JP2015184241A (ja) Ｘ線検査装置
KR102000944B1 (ko) 교체 방식 모듈 구조의 엑스레이 검사 장치
JP2004020297A (ja) Ｘ線異物検査装置
KR102270832B1 (ko) 다중 검사 및 다중 배출 경로 구조의 엑스레이 검사 장치
KR100687171B1 (ko) 방사선 검사장치
JP2010230559A (ja) Ｘ線検査装置
JP5775406B2 (ja) Ｘ線異物検出装置
JP2009080030A (ja) Ｘ線検査装置
CN115885170A (zh) 异物检查装置
JP2015158407A (ja) Ｘ線検査装置
JP6506629B2 (ja) Ｘ線受光装置およびこれを備えたｘ線検査装置
JP6830243B2 (ja) Ｘ線検査装置
KR20150082808A (ko) 교체 방식 모듈 구조의 엑스레이 검사 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E601 Decision to refuse application