JP6622056B2 - 検出装置および荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
試料ステージの位置または傾斜角度を検出するためのポテンショメータと、
前記ポテンショメータよりも高い分解能を有し、前記試料ステージの位置または傾斜角度を検出するためのエンコーダと、
前記ポテンショメータの出力信号および前記エンコーダの出力信号に基づいて、前記試料ステージの位置または傾斜角度を算出する算出部と、
を含み、
前記ポテンショメータの出力信号は、前記試料ステージの位置または傾斜角度に応じて変化し、
前記算出部は、
前記ポテンショメータの出力信号が変化した場合には、前記ポテンショメータの出力信号に基づき前記試料ステージの位置または傾斜角度を算出し、
前記ポテンショメータの出力信号が変化しない場合には、前記ポテンショメータの出力信号に基づき算出された前記試料ステージの位置または傾斜角度に、前記エンコーダの出力信号に基づき算出された前記試料ステージの移動量または傾斜量を加算して、前記試料ステージの位置または傾斜角度を算出し、
前記ポテンショメータの出力信号に基づき前記試料ステージの位置または傾斜角度を算出する処理では、
前記試料ステージを移動または回転させて前記ポテンショメータの内部抵抗値に対応する前記試料ステージの位置または傾斜角度を測定することによって得られた、前記ポテンショメータの内部抵抗値と前記試料ステージの位置または傾斜角度との関係を示す情報に基づいて、前記ポテンショメータの内部抵抗値から前記試料ステージの位置または傾斜角度を算出する。
前記試料ステージは、荷電粒子線装置の試料ステージであってもよい。
本発明に係る検出装置を含む。
まず、本実施形態に係る検出装置について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る検出装置を模式的に示す図である。図2は、ポテンショメータ10、モーター6、および減速ギア8を模式的に示す図である。
現在の試料ステージ2の傾斜角度)が表示される。
10の出力信号が変化しない場合には、ポテンショメータ10の出力信号に基づき算出された試料ステージ2の傾斜角度に、エンコーダ20の出力信号に基づき算出された試料ステージ2の傾斜量を加算して、試料ステージ2の傾斜角度を算出する。そのため、検出装置100では、高い分解能を有するエンコーダ20に基づき算出された試料ステージ2の傾斜角度を、絶対傾斜角度を高い信頼性で検出可能なポテンショメータ10に基づき算出された傾斜角度で補正することができる。そのため、検出装置100では、試料ステージ2の傾斜角度を高い分解能で検出することができるとともに、信頼性の高い検出が可能である。
次に、本実施形態に係る荷電粒子線装置について、図面を参照しながら説明する。図6は、本実施形態に係る荷電粒子線装置1000を模式的に示す図である。図7は、本実施形態に係る荷電粒子線装置1000の試料ステージ2を模式的に示す図である。
レイ等である。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。
く測定することが可能な回転計測器で測定される。このような回転計測器としては、エンコーダ等が挙げられる。
び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
Claims (3)
- 試料ステージの位置または傾斜角度を検出するためのポテンショメータと、
前記ポテンショメータよりも高い分解能を有し、前記試料ステージの位置または傾斜角度を検出するためのエンコーダと、
前記ポテンショメータの出力信号および前記エンコーダの出力信号に基づいて、前記試料ステージの位置または傾斜角度を算出する算出部と、
を含み、
前記ポテンショメータの出力信号は、前記試料ステージの位置または傾斜角度に応じて変化し、
前記算出部は、
前記ポテンショメータの出力信号が変化した場合には、前記ポテンショメータの出力信号に基づき前記試料ステージの位置または傾斜角度を算出し、
前記ポテンショメータの出力信号が変化しない場合には、前記ポテンショメータの出力信号に基づき算出された前記試料ステージの位置または傾斜角度に、前記エンコーダの出力信号に基づき算出された前記試料ステージの移動量または傾斜量を加算して、前記試料ステージの位置または傾斜角度を算出し、
前記ポテンショメータの出力信号に基づき前記試料ステージの位置または傾斜角度を算出する処理では、
前記試料ステージを移動または回転させて前記ポテンショメータの内部抵抗値に対応する前記試料ステージの位置または傾斜角度を測定することによって得られた、前記ポテンショメータの内部抵抗値と前記試料ステージの位置または傾斜角度との関係を示す情報に基づいて、前記ポテンショメータの内部抵抗値から前記試料ステージの位置または傾斜角度を算出する、検出装置。 - 請求項1において、
前記試料ステージは、荷電粒子線装置の試料ステージである、検出装置。 - 請求項1または2に記載の検出装置を含む、荷電粒子線装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015208732A JP6622056B2 (ja) | 2015-10-23 | 2015-10-23 | 検出装置および荷電粒子線装置 |
US15/331,182 US10014159B2 (en) | 2015-10-23 | 2016-10-21 | Detector apparatus and charged particle beam system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015208732A JP6622056B2 (ja) | 2015-10-23 | 2015-10-23 | 検出装置および荷電粒子線装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017083192A JP2017083192A (ja) | 2017-05-18 |
JP6622056B2 true JP6622056B2 (ja) | 2019-12-18 |
Family
ID=58562026
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015208732A Active JP6622056B2 (ja) | 2015-10-23 | 2015-10-23 | 検出装置および荷電粒子線装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10014159B2 (ja) |
JP (1) | JP6622056B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10036654B1 (en) * | 2017-01-31 | 2018-07-31 | Kitty Hawk Corporation | Fault tolerant servo sensor with linear hall sensors and discrete hall sensors |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1304944A (ja) * | 1970-06-29 | 1973-01-31 | ||
JP3128082B2 (ja) * | 1991-12-02 | 2001-01-29 | 株式会社小松製作所 | 回転位置検出装置および複合回転位置センサを設けた建設機械の作業機 |
KR100215926B1 (ko) * | 1996-05-17 | 1999-08-16 | 류정열 | 엔코더와 포텐시어미터의 결합된 방식을 가지는 자동차의 조향각도센서 |
JP2003214835A (ja) * | 2002-01-17 | 2003-07-30 | Nikon Corp | 絶対位置検出装置とそれを搭載した顕微鏡 |
JP4233501B2 (ja) * | 2004-07-13 | 2009-03-04 | アルプス電気株式会社 | 車両操舵装置 |
US7249650B2 (en) * | 2004-05-21 | 2007-07-31 | Alps Electric Co., Ltd. | Vehicle steering device |
EP2113742B2 (de) * | 2008-04-30 | 2019-01-02 | Baumer Electric AG | Messvorrichtung mit Zwei-Kanal-Abtastung |
JP5711531B2 (ja) | 2010-12-24 | 2015-05-07 | 株式会社トプコン | 試料ステージ装置、及び電子線装置 |
-
2015
- 2015-10-23 JP JP2015208732A patent/JP6622056B2/ja active Active
-
2016
- 2016-10-21 US US15/331,182 patent/US10014159B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10014159B2 (en) | 2018-07-03 |
JP2017083192A (ja) | 2017-05-18 |
US20170117117A1 (en) | 2017-04-27 |
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