JP6614157B2 - センサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器 - Google Patents
センサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6614157B2 JP6614157B2 JP2016562200A JP2016562200A JP6614157B2 JP 6614157 B2 JP6614157 B2 JP 6614157B2 JP 2016562200 A JP2016562200 A JP 2016562200A JP 2016562200 A JP2016562200 A JP 2016562200A JP 6614157 B2 JP6614157 B2 JP 6614157B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection
- piezoelectric
- main surface
- wirings
- frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 249
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 8
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
- G01C19/5656—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams the devices involving a micromechanical structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/567—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode
- G01C19/5677—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using the phase shift of a vibration node or antinode of essentially two-dimensional vibrators, e.g. ring-shaped vibrators
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/30—Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
- H10N30/302—Sensors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Description
上記振動子部は、環状のフレームと、複数の振り子部と、複数の圧電駆動部と、複数の第1の圧電検出部と、複数の第2の圧電検出部とを有する。上記環状のフレームは、第1の主面を有する。上記複数の振り子部は、上記フレームに支持される一端部をそれぞれ有する。上記複数の圧電駆動部は、圧電膜と上記圧電膜を挟んで対向する第1及び第2の駆動用電極とをそれぞれ有し、上記フレームを上記第1の主面に平行な面内で振動させる。上記複数の第1の圧電検出部は、第1の検出用電極をそれぞれ有し、上記フレームの上記第1の主面における変形量に基づいて上記第1の主面に垂直な第1の軸まわりの角速度を検出する。上記複数の第2の圧電検出部は、第2の検出用電極をそれぞれ有し、上記複数の振り子部の上記第1の主面に垂直な方向における変形量に基づいて上記第1の軸と直交する2軸方向の角速度を検出する。
上記環状のベース部は、複数の端子部を有し、上記振動子部の周囲に配置される。
上記複数の連結部は、上記振動子部と上記ベース部との間に配置され、上記ベース部に対して上記振動子部を振動可能に支持する。
上記配線層は、複数の駆動用配線と、複数の検出用配線とを有する。上記複数の駆動用配線は、上記第1及び第2の駆動用電極にそれぞれ接続され、相互に隣接して並走する。上記複数の検出用配線は、上記第1及び第2の検出用電極にそれぞれ接続され、相互に隣接して並走する。上記配線層は、上記複数の連結部にそれぞれ設けられ、上記複数の端子部と、上記複数の圧電駆動部、第1の圧電検出部及び第2の圧電検出部との間をそれぞれ電気的に接続する。
この状態で、フレームに第1の軸まわりへの角速度が作用すると、上記フレームに対しその瞬間での振動方向と直交する方向のコリオリ力が発生することで、当該フレームが第1の主面に平行な面内で変形する。複数の第1の圧電検出部は、当該フレームの変形量に基づいて第1の軸まわりの角速度に対応する検出信号を出力する。
一方、第1の軸と直交する軸まわりへの角速度が作用すると、複数の振り子部に対しその瞬間での振動方向と直交する方向のコリオリ力が発生することで、当該振り子部が第1の主面に垂直な方向に変形する。複数の第2の圧電検出部は、当該振り子部の変形量に基づいて当該軸まわりの角速度に対応する検出信号を出力する。
このように上記センサ素子は、相互に直交する3軸まわりの角速度を検出することが可能に構成される。
上記構成によれば、複数の駆動用配線及び検出用配線を連結部の同一平面上に形成することができるとともに、同一平面上に配置された駆動用配線及び検出用配線の相互間における信号のクロストークを低減することができる。これにより、素子の小型化を可能としつつ、角速度検出精度の劣化を抑制することが可能となる。
これにより、振動子部の機械的な対称性が保たれるため、ねじれを生じさせることなく振動子部を所定の振動モードで安定に振動させることが可能となる。
第1及び第2の検出用配線のうちインピーダンスが低くノイズの影響を受けにくい検出用配線を駆動用配線の隣に配置することで、クロストークの影響を小さくすることが可能となる。
各連結部において、検出用配線に近接する駆動用配線の極性を同一とすることで、演算処理において角速度信号に重畳するノイズ成分をキャンセルすることが可能となる。
上記配線層は、上記複数の駆動用配線及び検出用配線を被覆する有機膜をさらに有してもよい。
上記複数の振り子部は、上記4つの接続部から上記フレームの中心に向かって突出する4つの振り子部を含む。
前記複数の連結部は、上記4つの接続部から上記ベース部に向かって延びる4つの連結部を含む。
上記振動子部は、環状のフレームと、複数の振り子部と、複数の圧電駆動部と、複数の第1の圧電検出部と、複数の第2の圧電検出部とを有する。上記環状のフレームは、第1の主面を有する。上記複数の振り子部は、上記フレームに支持される一端部をそれぞれ有する。上記複数の圧電駆動部は、圧電膜と上記圧電膜を挟んで対向する第1及び第2の駆動用電極とをそれぞれ有し、上記フレームを上記第1の主面に平行な面内で振動させる。上記複数の第1の圧電検出部は、第1の検出用電極をそれぞれ有し、上記フレームの上記第1の主面における変形量に基づいて上記第1の主面に垂直な第1の軸まわりの角速度を検出する。上記複数の第2の圧電検出部は、第2の検出用電極をそれぞれ有し、上記複数の振り子部の上記第1の主面に垂直な方向における変形量に基づいて上記第1の軸と直交する2軸方向の角速度を検出する。
上記環状のベース部は、複数の端子部を有し、上記振動子部の周囲に配置される。
上記複数の連結部は、上記振動子部と上記ベース部との間に配置され、上記ベース部に対して上記振動子部を振動可能に支持する。
上記配線層は、複数の駆動用配線と、複数の検出用配線とを有する。上記複数の駆動用配線は、上記第1及び第2の駆動用電極にそれぞれ接続され、相互に隣接して並走する。上記複数の検出用配線は、上記第1及び第2の検出用電極にそれぞれ接続され、相互に隣接して並走する。上記配線層は、上記複数の連結部にそれぞれ設けられ、上記複数の端子部と、上記複数の圧電駆動部、第1の圧電検出部及び第2の圧電検出部との間をそれぞれ電気的に接続する。
上記回路素子は、上記ベース部を支持し、上記複数の端子部と電気的に接続される。
上記振動子部は、環状のフレームと、複数の振り子部と、複数の圧電駆動部と、複数の第1の圧電検出部と、複数の第2の圧電検出部とを有する。上記環状のフレームは、第1の主面を有する。上記複数の振り子部は、上記フレームに支持される一端部をそれぞれ有する。上記複数の圧電駆動部は、圧電膜と上記圧電膜を挟んで対向する第1及び第2の駆動用電極とをそれぞれ有し、上記フレームを上記第1の主面に平行な面内で振動させる。上記複数の第1の圧電検出部は、第1の検出用電極をそれぞれ有し、上記フレームの上記第1の主面における変形量に基づいて上記第1の主面に垂直な第1の軸まわりの角速度を検出する。上記複数の第2の圧電検出部は、第2の検出用電極をそれぞれ有し、上記複数の振り子部の上記第1の主面に垂直な方向における変形量に基づいて上記第1の軸と直交する2軸方向の角速度を検出する。
上記環状のベース部は、複数の端子部を有し、上記振動子部の周囲に配置される。
上記複数の連結部は、上記振動子部と上記ベース部との間に配置され、上記ベース部に対して上記振動子部を振動可能に支持する。
上記配線層は、複数の駆動用配線と、複数の検出用配線とを有する。上記複数の駆動用配線は、上記第1及び第2の駆動用電極にそれぞれ接続され、相互に隣接して並走する。上記複数の検出用配線は、上記第1及び第2の検出用電極にそれぞれ接続され、相互に隣接して並走する。上記配線層は、上記複数の連結部にそれぞれ設けられ、上記複数の端子部と、上記複数の圧電駆動部、第1の圧電検出部及び第2の圧電検出部との間をそれぞれ電気的に接続する。
上記回路素子は、上記ベース部を支持し、上記複数の端子部と電気的に接続される。
なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。
本実施形態のジャイロセンサ1は、センサ素子100と、コントローラ200とを備える。ジャイロセンサ1は、全体的に略直方体形状に形成された単一のパッケージ部品として構成され、センサ素子100がコントローラ200の上に実装されたCOC(Chip On Chip)構造を有する。ジャイロセンサ1は、例えば、縦及び横がそれぞれ約2mm、厚みが約0.7mmの寸法で構成される。
続いて、センサ素子100の詳細について説明する。図2は、センサ素子100の一構成例を示す概略斜視図であり、コントローラ200に対向する素子の裏面側を示している。
図3は、振動子部101の構成を模式的に示す平面図である。
振動子部101は、四辺を有する環状のフレーム10を備える。フレーム10は、a軸方向に横方向、b軸方向に縦方向、c軸方向に厚み方向を有する。一方、図3において、a軸に平行な軸方向にY軸が設定され、b軸に平行な軸方向にX軸が設定される。Z軸方向は、c軸方向に平行な軸方向である。
振動子部101は、複数の振り子部21a,21b,21c,21dを有する。
振動子部101は、フレーム10をその主面10sに平行なXY平面内で振動させる複数の圧電駆動部を有する。
第1の圧電駆動部31及び第2の圧電駆動部32には、一方が伸びたとき他方が縮むように相互に逆位相の電圧が印加される。これにより、第2の梁の組12a,12bは、両端が接続部13a〜13dに支持された状態でa軸方向に撓み変形を受け、XY平面内において双方が離間する方向と双方が近接する方向とに交互に振動する。第1の梁11a,11bの組も同様に、両端が接続部13a〜13dに支持された状態でb軸方向に撓み変形を受け、XY平面内において双方が離間する方向と双方が近接する方向とに交互に振動する。
振動子部101は、図3に示すように、複数の第1の圧電検出部51a,51b,51c、51dをさらに有する。第1の圧電検出部51a〜51dは、フレーム10の主面10sにおける変形量に基づいて、主面10sに垂直なZ軸(第1の軸)まわりの角速度を検出する。第1の圧電検出部51a〜51dは、4つの接続部13a〜13dの主面10s上にそれぞれ設けられた4つの圧電検出部を含む。
一方、X軸まわりの角速度及びY軸まわりの角速度を検出する検出部として、振動子部101は、複数の第2の圧電検出部71a,71b,71c,71dを有する。第2の圧電検出部71a〜71dは、複数の振り子部21a〜21dのZ軸方向における変形量に基づいて、Z軸と直交する2軸方向(例えばX軸方向及びY軸方向)の角速度を検出する。第2の圧電検出部71a〜71dは、4つの振り子部21a〜21dにそれぞれ設けられた4つの圧電検出部を含む。
本実施形態のセンサ素子100は、参照電極61を有する。参照電極61は、梁12a及び梁12b上に第2の圧電駆動部32と隣接して配置されている。参照電極61は、第1及び第2の圧電検出部51a〜51d、71a〜71dと同様の構成を有しており、下部電極層と、圧電膜と、上部電極層との積層体で構成され、梁12a,12bの機械的変形を電気信号に変換する機能を有する。下部電極層は、グランド電位等の基準電位に接続され、上部電極層は参照信号(FB)を出力する検出用電極として機能する。
ここで、コントローラ200の詳細について説明する。図8は、コントローラ200の構成を示すブロック図である。
なお、Gz1端子及びGz3端子はそれぞれ共通の端子で構成されてもよく、Gz2端子及びGz4端子はそれぞれ共通の端子で構成されてもよい。この場合、Gz1端子及びGz3端子に接続される配線は途中で相互に一体化され、Gz2端子及びGz4端子に接続される配線は途中で相互に一体化される。
続いて、センサ素子100の枠体102について説明する。
ベース部81は、振動子部101の外側を囲む四角形状の枠体で構成されている。ベース部81は、フレーム10の主面10sと同一の平面上に形成された矩形環状の主面81sを有し、その主面81s上にはコントローラ200に対して電気的に接続される複数の端子部(電極パッド)810が設けられている。主面81sの反対側の面は、接合層W3を介して支持層W2に接合される。支持層W2は、ベース部81と同様の枠体で構成され、ベース部81を部分的に支持する。
連結部82は、ベース部81に対して振動子部101を振動可能に支持する複数の連結部82a,82b,82c,82dを含む。各連結部82a〜82dは、フレーム10の各接続部13a〜13dからベース部81に向かって延びる。連結部82a〜82dは、振動子部101に接続される第1の端部821と、ベース部81に接続される第2の端部822とをそれぞれ有し、フレーム10の振動を受けて、主としてXY平面内において変形可能に構成される。すなわち連結部82a〜82dは、振動子部101を振動可能に支持するサスペンションとして機能する。
枠体102は、ベース部81上の複数の端子部810と、フレーム10(110)上の駆動用電極(D1,D2)及び検出用電極(S1,S2,61)との間をそれぞれ電気的に接続する配線層をさらに有する。図10は、センサ素子100の配線レイアウトを説明する概略平面図である。
なお、各配線層La〜Lbにおいて検出用配線LS1,LS2に近接する駆動用配線の種類を統一することで、検出用配線に漏れ込む駆動信号の極性が同一となり、これにより、駆動用配線と検出用配線との間のクロストークが生じたとしても、後述するように各軸まわりの角速度の演算過程においてノイズ成分が効率よくキャンセルされる。
本実施形態のセンサ素子100において、振動子部101は、複数の連結部82a〜82dを介してベース部81に支持されており、複数の圧電駆動部31,32は、フレーム10(110)及び複数の振り子部21a〜21dを主面10sに平行な面内で相互に同期して振動させる。
この状態で、フレーム10(110)にZ軸まわりへの角速度が作用すると、例えば図6に示すように、フレーム10(110)に対しその瞬間での振動方向と直交する方向のコリオリ力が発生することで、当該フレームが主面10sに平行な面内で変形する。複数の第1の圧電検出部51a〜51dは、当該フレームの変形量に基づいてZ軸まわりの角速度に対応する検出信号を出力する。
一方、X軸およびY軸まわりへの角速度が作用すると、例えば図7に示すように、複数の振り子部21a〜21dに対しその瞬間での振動方向と直交する方向のコリオリ力が発生することで、当該振り子部が主面10sに垂直な方向に変形する。複数の第2の圧電検出部71a〜71dは、当該振り子部の変形量に基づいてX軸又はY軸まわりの角速度に対応する検出信号を出力する。
図16に駆動信号の振幅の温度依存性の一例を示す。図16に示すように、駆動信号の振幅は、50℃の温度差で約5%変化する。使用温度範囲を例えば−10℃〜75℃とすると、駆動信号の振幅は約8%変化する。
図17は、駆動信号が8%変化したときのクロストーク量と出力変化量との関係を示す一実験結果である。駆動信号振幅が3Vpp、クロストーク量が−66.8dBの場合、駆動信号振幅が8%変化すると、コントローラ200の平滑回路205z(図8参照)から出力される直流電圧信号(ωz)の変動量は約2.1dps(degree per second)に相当する。この値は、センサモジュール全体としての目標スペックに無視できない影響を与える。
なお図9に示したフレーム110にも、上述と同様の重錘部が設けられてもよい。
(1)第1の主面を有する環状のフレームと、前記フレームに支持される一端部をそれぞれ有する複数の振り子部と、圧電膜と前記圧電膜を挟んで対向する第1及び第2の駆動用電極とをそれぞれ有し前記フレームを前記第1の主面に平行な面内で振動させる複数の圧電駆動部と、第1の検出用電極をそれぞれ有し前記フレームの前記第1の主面における変形量に基づいて前記第1の主面に垂直な第1の軸まわりの角速度を検出する複数の第1の圧電検出部と、第2の検出用電極をそれぞれ有し前記複数の振り子部の前記第1の主面に垂直な方向における変形量に基づいて前記第1の軸と直交する2軸方向の角速度を検出する複数の第2の圧電検出部と、を有する振動子部と、
複数の端子部を有し、前記振動子部の周囲に配置された環状のベース部と、
前記振動子部と前記ベース部との間に配置され、前記ベース部に対して前記振動子部を振動可能に支持する複数の連結部と、
前記第1及び第2の駆動用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の駆動用配線と、前記第1及び第2の検出用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の検出用配線とを有し、前記複数の連結部にそれぞれ設けられ、前記複数の端子部と、前記複数の圧電駆動部、第1の圧電検出部及び第2の圧電検出部との間をそれぞれ電気的に接続する配線層と
を具備するセンサ素子。
(2)上記(1)に記載のセンサ素子であって、
前記複数の連結部は、前記振動子部に接続される第1の端部と、前記ベース部に接続される第2の端部と、前記配線層を支持し前記第1の主面に平行な第2の主面とを有し、
前記複数の駆動用配線は、前記第1の端部から前記第2の端部へ向かって前記第2の主面の一側方に偏って配置され、
前記複数の検出用配線は、前記第1の端部から前記第2の端部へ向かって前記第2の主面の他の側方に偏って配置される
センサ素子。
(3)上記(2)に記載のセンサ素子であって、
前記複数の駆動用配線及び検出用配線は、前記第2の主面上において前記複数の連結部各々の中心線を対称軸として相互に線対称かつ等間隔に配置される
センサ素子。
(4)上記(2)又は(3)に記載のセンサ素子であって、
前記複数の検出用配線は、
前記第1の検出用電極に接続される第1の検出用配線と、
前記第2の検出用電極に接続される第2の検出用配線と、を含み、
前記第1及び第2の検出用電極のうち電極容量の大きい検出用電極に接続される検出用配線が、前記複数の駆動用配線に隣接して配置される
センサ素子。
(5)上記(2)〜(4)のいずれか1つに記載のセンサ素子であって、
前記複数の駆動用配線は、
前記第1の駆動用電極に接続され、第1の駆動信号が入力される第1の駆動用配線と、
前記第2の駆動用電極に接続され、前記第1の駆動信号とは逆位相の第2の駆動信号が入力される第2の駆動用配線と、を含み、
前記複数の連結部において、前記第2の駆動用配線は、前記複数の検出用配線と前記第1の駆動用配線との間に配置される
センサ素子。
(6)上記(1)〜(5)のいずれか1つに記載のセンサ素子であって、
前記複数の駆動用配線及び検出用配線は、前記第1及び第2の駆動用電極ならびに前記第1及び第2の検出用電極よりも弾性率の低い材料でそれぞれ構成される
センサ素子。
(7)上記(1)〜(6)のいずれか1つに記載のセンサ素子であって、
前記配線層は、前記複数の駆動用配線及び検出用配線を被覆する有機膜をさらに有する
センサ素子。
(8)上記(1)〜(7)のいずれか1つに記載のセンサ素子であって、
前記フレームは、
前記第1の軸に直交する第2の軸方向に延在し、前記第1及び第2の軸にそれぞれ直交する第3の軸方向に相互に対向する第1の梁の組と、
前記第3の軸方向に延在し、前記第2の軸方向に相互に対向する第2の梁の組と、
前記第1の梁と前記第2の梁との間を接続する4つの接続部と、を有し、
前記複数の振り子部は、前記4つの接続部から前記フレームの中心に向かって突出する4つの振り子部を含み、
前記複数の連結部は、前記4つの接続部から前記ベース部に向かって延びる4つの連結部を含む
センサ素子。
(9)上記(8)に記載のセンサ素子であって、
前記複数の圧電駆動部は、
前記第1の梁の前記第1の主面上にそれぞれ設けられ、前記第1の駆動用電極を上部電極として有する一対の第1の圧電駆動部と、
前記第2の梁の前記第1の主面上にそれぞれ設けられ、前記第2の駆動用電極を上部電極として有する一対の第2の圧電駆動部と、を含む
センサ素子。
(10)上記(8)又は(9)に記載のセンサ素子であって、
前記複数の第1の圧電検出部は、前記4つの接続部の前記第1の主面上にそれぞれ設けられた4つの圧電検出部を含む
センサ素子。
(11)上記(8)から(10)のいずれか1つに記載のセンサ素子であって、
前記複数の第2の圧電検出部は、前記4つの振り子部にそれぞれ設けられた4つの圧電検出部を含む
センサ素子。
(12)上記(1)〜(11)のいずれか1つに記載のセンサ素子であって、
前記複数の連結部は、前記振動子部と前記ベース部との間において延出方向が反転する転回部を有する
センサ素子。
(13) 第1の主面を有する環状のフレームと、前記フレームに支持される一端部をそれぞれ有する複数の振り子部と、圧電膜と前記圧電膜を挟んで対向する第1及び第2の駆動用電極とをそれぞれ有し前記フレームを前記第1の主面に平行な面内で振動させる複数の圧電駆動部と、第1の検出用電極をそれぞれ有し前記フレームの前記第1の主面における変形量に基づいて前記第1の主面に垂直な第1の軸まわりの角速度を検出する複数の第1の圧電検出部と、第2の検出用電極をそれぞれ有し前記複数の振り子部の前記第1の主面に垂直な方向における変形量に基づいて前記第1の軸と直交する2軸方向の角速度を検出する複数の第2の圧電検出部と、を有する振動子部と、
複数の端子部を有し、前記振動子部の周囲に配置された環状のベース部と、
前記振動子部と前記ベース部との間に配置され、前記ベース部に対して前記振動子部を振動可能に支持する複数の連結部と、
前記第1及び第2の駆動用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の駆動用配線と、前記第1及び第2の検出用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の検出用配線とを有し、前記複数の連結部にそれぞれ設けられ、前記複数の端子部と、前記複数の圧電駆動部、第1の圧電検出部及び第2の圧電検出部との間をそれぞれ電気的に接続する配線層と、
前記ベース部を支持し、前記複数の端子部と電気的に接続される回路素子と
を具備するジャイロセンサ。
(14) 第1の主面を有する環状のフレームと、前記フレームに支持される一端部をそれぞれ有する複数の振り子部と、圧電膜と前記圧電膜を挟んで対向する第1及び第2の駆動用電極とをそれぞれ有し前記フレームを前記第1の主面に平行な面内で振動させる複数の圧電駆動部と、第1の検出用電極をそれぞれ有し前記フレームの前記第1の主面における変形量に基づいて前記第1の主面に垂直な第1の軸まわりの角速度を検出する複数の第1の圧電検出部と、第2の検出用電極をそれぞれ有し前記複数の振り子部の前記第1の主面に垂直な方向における変形量に基づいて前記第1の軸と直交する2軸方向の角速度を検出する複数の第2の圧電検出部と、を有する振動子部と、
複数の端子部を有し、前記振動子部の周囲に配置された環状のベース部と、
前記振動子部と前記ベース部との間に配置され、前記ベース部に対して前記振動子部を振動可能に支持する複数の連結部と、
前記第1及び第2の駆動用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の駆動用配線と、前記第1及び第2の検出用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の検出用配線とを有し、前記複数の連結部にそれぞれ設けられ、前記複数の端子部と、前記複数の圧電駆動部、第1の圧電検出部及び第2の圧電検出部との間をそれぞれ電気的に接続する配線層と、
前記ベース部を支持し、前記複数の端子部と電気的に接続される回路素子と
を具備するジャイロセンサを搭載した電子機器。
10,110…フレーム
10s…(第1の)主面
11a,11b…第1の梁
12a,12b…第2の梁
13a〜13d…接続部
21a〜21d…振り子部
31…第1の圧電駆動部
32…第2の圧電駆動部
51a〜51d…第1の圧電検出部
71a〜71d…第2の圧電検出部
81…ベース部
82,82a〜82d…連結部
82s…(第2の)主面
100…センサ素子
101…振動子部
200…コントローラ
810…端子部
D1,D2…第1及び第2の駆動用電極
S1,S2…第1及び第2の検出用電極
La〜Ld…配線層
LD1,LD2…第1及び第2の駆動用配線
LS1,LS2…第1及び第2の検出用配線
Claims (9)
- 第1の主面を有する環状のフレームと、前記フレームに支持される一端部をそれぞれ有する複数の振り子部と、圧電膜と前記圧電膜を挟んで対向する第1及び第2の駆動用電極とをそれぞれ有し前記フレームを前記第1の主面に平行な面内で振動させる複数の圧電駆動部と、第1の検出用電極をそれぞれ有し前記フレームの前記第1の主面における変形量に基づいて前記第1の主面に垂直な第1の軸まわりの角速度を検出する複数の第1の圧電検出部と、第2の検出用電極をそれぞれ有し前記複数の振り子部の前記第1の主面に垂直な方向における変形量に基づいて前記第1の軸と直交する2軸方向の角速度を検出する複数の第2の圧電検出部と、を有する振動子部と、
複数の端子部を有し、前記振動子部の周囲に配置された環状のベース部と、
前記振動子部と前記ベース部との間に配置され、前記ベース部に対して前記振動子部を振動可能に支持する複数の連結部と、
前記第1及び第2の駆動用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の駆動用配線と、前記第1及び第2の検出用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の検出用配線とを有し、前記複数の連結部にそれぞれ設けられ、前記複数の端子部と、前記複数の圧電駆動部、第1の圧電検出部及び第2の圧電検出部との間をそれぞれ電気的に接続する配線層と
を具備し、
前記フレームは、
前記第1の軸に直交する第2の軸方向に延在し、前記第1及び第2の軸にそれぞれ直交する第3の軸方向に相互に対向する第1の梁の組と、
前記第3の軸方向に延在し、前記第2の軸方向に相互に対向する第2の梁の組と、
前記第1の梁と前記第2の梁との間を接続する4つの接続部と、を有し、
前記複数の振り子部は、前記4つの接続部から前記フレームの中心に向かって突出する4つの振り子部を含み、
前記複数の連結部は、前記4つの接続部から前記ベース部に向かって延びる4つの連結部を含み、
前記複数の第1の圧電検出部は、前記4つの接続部の前記第1の主面上にそれぞれ設けられた4つの圧電検出部を含み、
前記複数の第2の圧電検出部は、前記4つの振り子部にそれぞれ設けられた4つの圧電検出部を含み、
前記4つの連結部は、前記振動子部に接続される第1の端部と、前記ベース部に接続される第2の端部と、前記配線層を支持し前記第1の主面に平行な第2の主面とをそれぞれ有し、
前記複数の駆動用配線は、前記4つの連結部のそれぞれにおいて前記第1の端部から前記第2の端部へ向かって前記第2の主面の一側方に偏って配置され、
前記複数の検出用配線は、前記4つの連結部のそれぞれにおいて前記第1の端部から前記第2の端部へ向かって前記第2の主面の他の側方に偏って配置される
センサ素子。 - 請求項1に記載のセンサ素子であって、
前記複数の駆動用配線及び検出用配線は、前記第2の主面上において前記複数の連結部各々の中心線を対称軸として相互に線対称かつ等間隔に配置される
センサ素子。 - 請求項1又は2に記載のセンサ素子であって、
前記複数の検出用配線は、
前記第1の検出用電極に接続される第1の検出用配線と、
前記第2の検出用電極に接続される第2の検出用配線と、を含み、
前記第1及び第2の検出用電極のうち電極容量の大きい検出用電極に接続される検出用配線が、前記複数の駆動用配線に隣接して配置される
センサ素子。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載のセンサ素子であって、
前記複数の駆動用配線は、
前記第1の駆動用電極に接続され、第1の駆動信号が入力される第1の駆動用配線と、
前記第2の駆動用電極に接続され、前記第1の駆動信号とは逆位相の第2の駆動信号が入力される第2の駆動用配線と、を含み、
前記複数の連結部において、前記第2の駆動用配線は、前記複数の検出用配線と前記第1の駆動用配線との間に配置される
センサ素子。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載のセンサ素子であって、
前記複数の駆動用配線及び検出用配線は、前記第1及び第2の駆動用電極ならびに前記第1及び第2の検出用電極よりも弾性率の低い材料でそれぞれ構成される
センサ素子。 - 請求項1〜5のいずれか1つに記載のセンサ素子であって、
前記配線層は、前記複数の駆動用配線及び検出用配線を被覆する有機膜をさらに有する
センサ素子。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載のセンサ素子であって、
前記複数の連結部は、前記振動子部と前記ベース部との間において延出方向が反転する転回部を有する
センサ素子。 - 第1の主面を有する環状のフレームと、前記フレームに支持される一端部をそれぞれ有する複数の振り子部と、圧電膜と前記圧電膜を挟んで対向する第1及び第2の駆動用電極とをそれぞれ有し前記フレームを前記第1の主面に平行な面内で振動させる複数の圧電駆動部と、第1の検出用電極をそれぞれ有し前記フレームの前記第1の主面における変形量に基づいて前記第1の主面に垂直な第1の軸まわりの角速度を検出する複数の第1の圧電検出部と、第2の検出用電極をそれぞれ有し前記複数の振り子部の前記第1の主面に垂直な方向における変形量に基づいて前記第1の軸と直交する2軸方向の角速度を検出する複数の第2の圧電検出部と、を有する振動子部と、
複数の端子部を有し、前記振動子部の周囲に配置された環状のベース部と、
前記振動子部と前記ベース部との間に配置され、前記ベース部に対して前記振動子部を振動可能に支持する複数の連結部と、
前記第1及び第2の駆動用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の駆動用配線と、前記第1及び第2の検出用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の検出用配線とを有し、前記複数の連結部にそれぞれ設けられ、前記複数の端子部と、前記複数の圧電駆動部、第1の圧電検出部及び第2の圧電検出部との間をそれぞれ電気的に接続する配線層と、
前記ベース部を支持し、前記複数の端子部と電気的に接続される回路素子と
を具備し、
前記フレームは、
前記第1の軸に直交する第2の軸方向に延在し、前記第1及び第2の軸にそれぞれ直交する第3の軸方向に相互に対向する第1の梁の組と、
前記第3の軸方向に延在し、前記第2の軸方向に相互に対向する第2の梁の組と、
前記第1の梁と前記第2の梁との間を接続する4つの接続部と、を有し、
前記複数の振り子部は、前記4つの接続部から前記フレームの中心に向かって突出する4つの振り子部を含み、
前記複数の連結部は、前記4つの接続部から前記ベース部に向かって延びる4つの連結部を含み、
前記複数の第1の圧電検出部は、前記4つの接続部の前記第1の主面上にそれぞれ設けられた4つの圧電検出部を含み、
前記複数の第2の圧電検出部は、前記4つの振り子部にそれぞれ設けられた4つの圧電検出部を含み、
前記4つの連結部は、前記振動子部に接続される第1の端部と、前記ベース部に接続される第2の端部と、前記配線層を支持し前記第1の主面に平行な第2の主面とをそれぞれ有し、
前記複数の駆動用配線は、前記4つの連結部のそれぞれにおいて前記第1の端部から前記第2の端部へ向かって前記第2の主面の一側方に偏って配置され、
前記複数の検出用配線は、前記4つの連結部のそれぞれにおいて前記第1の端部から前記第2の端部へ向かって前記第2の主面の他の側方に偏って配置される
ジャイロセンサ。 - 第1の主面を有する環状のフレームと、前記フレームに支持される一端部をそれぞれ有する複数の振り子部と、圧電膜と前記圧電膜を挟んで対向する第1及び第2の駆動用電極とをそれぞれ有し前記フレームを前記第1の主面に平行な面内で振動させる複数の圧電駆動部と、第1の検出用電極をそれぞれ有し前記フレームの前記第1の主面における変形量に基づいて前記第1の主面に垂直な第1の軸まわりの角速度を検出する複数の第1の圧電検出部と、第2の検出用電極をそれぞれ有し前記複数の振り子部の前記第1の主面に垂直な方向における変形量に基づいて前記第1の軸と直交する2軸方向の角速度を検出する複数の第2の圧電検出部と、を有する振動子部と、
複数の端子部を有し、前記振動子部の周囲に配置された環状のベース部と、
前記振動子部と前記ベース部との間に配置され、前記ベース部に対して前記振動子部を振動可能に支持する複数の連結部と、
前記第1及び第2の駆動用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の駆動用配線と、前記第1及び第2の検出用電極にそれぞれ接続され相互に隣接して並走する複数の検出用配線とを有し、前記複数の連結部にそれぞれ設けられ、前記複数の端子部と、前記複数の圧電駆動部、第1の圧電検出部及び第2の圧電検出部との間をそれぞれ電気的に接続する配線層と、
前記ベース部を支持し、前記複数の端子部と電気的に接続される回路素子と
を具備するジャイロセンサを搭載した電子機器であって、
前記フレームは、
前記第1の軸に直交する第2の軸方向に延在し、前記第1及び第2の軸にそれぞれ直交する第3の軸方向に相互に対向する第1の梁の組と、
前記第3の軸方向に延在し、前記第2の軸方向に相互に対向する第2の梁の組と、
前記第1の梁と前記第2の梁との間を接続する4つの接続部と、を有し、
前記複数の振り子部は、前記4つの接続部から前記フレームの中心に向かって突出する4つの振り子部を含み、
前記複数の連結部は、前記4つの接続部から前記ベース部に向かって延びる4つの連結部を含み、
前記複数の第1の圧電検出部は、前記4つの接続部の前記第1の主面上にそれぞれ設けられた4つの圧電検出部を含み、
前記複数の第2の圧電検出部は、前記4つの振り子部にそれぞれ設けられた4つの圧電検出部を含み、
前記4つの連結部は、前記振動子部に接続される第1の端部と、前記ベース部に接続される第2の端部と、前記配線層を支持し前記第1の主面に平行な第2の主面とをそれぞれ有し、
前記複数の駆動用配線は、前記4つの連結部のそれぞれにおいて前記第1の端部から前記第2の端部へ向かって前記第2の主面の一側方に偏って配置され、
前記複数の検出用配線は、前記4つの連結部のそれぞれにおいて前記第1の端部から前記第2の端部へ向かって前記第2の主面の他の側方に偏って配置される
電子機器。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014243263 | 2014-12-01 | ||
JP2014243263 | 2014-12-01 | ||
PCT/JP2015/005278 WO2016088291A1 (ja) | 2014-12-01 | 2015-10-20 | センサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016088291A1 JPWO2016088291A1 (ja) | 2017-09-21 |
JP6614157B2 true JP6614157B2 (ja) | 2019-12-04 |
Family
ID=56091261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016562200A Expired - Fee Related JP6614157B2 (ja) | 2014-12-01 | 2015-10-20 | センサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10775168B2 (ja) |
JP (1) | JP6614157B2 (ja) |
CN (1) | CN107003129B (ja) |
WO (1) | WO2016088291A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6103068B2 (ja) * | 2013-09-20 | 2017-03-29 | 株式会社村田製作所 | 圧電センサ |
US10775168B2 (en) | 2014-12-01 | 2020-09-15 | Sony Corporation | Sensor device, gyro sensor, and electronic apparatus |
US20170059393A1 (en) | 2015-08-26 | 2017-03-02 | Seiko Epson Corporation | Physical Quantity Detection Device, Manufacturing Method For Physical Quantity Detection Device, Electronic Apparatus, And Moving Object |
US10845380B2 (en) * | 2015-12-17 | 2020-11-24 | Intel Corporation | Microelectronic devices for isolating drive and sense signals of sensing devices |
JP6702053B2 (ja) * | 2016-07-21 | 2020-05-27 | ソニー株式会社 | ジャイロセンサ及び電子機器 |
JP7052417B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2022-04-12 | セイコーエプソン株式会社 | センサーデバイス、力検出装置およびロボット |
JP6769517B2 (ja) | 2018-05-08 | 2020-10-14 | 株式会社村田製作所 | ピエゾリングジャイロスコープ |
JP6787437B2 (ja) * | 2018-05-08 | 2020-11-18 | 株式会社村田製作所 | ピエゾリングジャイロスコープ |
CN110044346A (zh) * | 2019-04-08 | 2019-07-23 | 瑞声科技(新加坡)有限公司 | 陀螺仪 |
CN111595312B (zh) * | 2020-05-25 | 2021-09-28 | 东南大学 | 一种可阵列环形耦合三轴全解耦微陀螺仪及其加工方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2760829B2 (ja) * | 1989-01-13 | 1998-06-04 | 株式会社日立製作所 | 電子基板 |
JP3119197B2 (ja) | 1997-05-02 | 2000-12-18 | 日本電気株式会社 | クロストークを考慮した自動配線方法 |
US6598409B2 (en) * | 2000-06-02 | 2003-07-29 | University Of Florida | Thermal management device |
JP2004247615A (ja) * | 2003-02-14 | 2004-09-02 | Canon Inc | 多層プリント配線板 |
US7555949B2 (en) | 2004-04-07 | 2009-07-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Angular velocity measuring device |
JP5037819B2 (ja) * | 2005-03-04 | 2012-10-03 | ソニー株式会社 | 電子機器 |
WO2008035683A1 (fr) * | 2006-09-21 | 2008-03-27 | Panasonic Corporation | Détecteur de vitesse angulaire |
WO2010067793A1 (ja) * | 2008-12-09 | 2010-06-17 | 株式会社村田製作所 | 振動ジャイロ素子及びその製造方法 |
CN102334008B (zh) | 2010-01-12 | 2015-07-15 | 索尼公司 | 角速度传感器、电子设备以及角速度的检测方法 |
JP2011209002A (ja) * | 2010-03-29 | 2011-10-20 | Seiko Epson Corp | 振動片、角速度センサー、および電子機器 |
CN102278981B (zh) * | 2010-06-11 | 2014-01-08 | 张家港丽恒光微电子科技有限公司 | 陀螺仪及其制造方法 |
JP2012198099A (ja) * | 2011-03-22 | 2012-10-18 | Seiko Epson Corp | 慣性センサー |
JP2013002981A (ja) * | 2011-06-17 | 2013-01-07 | Seiko Epson Corp | センサーデバイス、およびその製造方法 |
JP5761350B2 (ja) * | 2011-08-01 | 2015-08-12 | 株式会社村田製作所 | 振動子および振動ジャイロ |
JP5987510B2 (ja) * | 2011-10-03 | 2016-09-07 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置及び光走査制御装置 |
US10775168B2 (en) | 2014-12-01 | 2020-09-15 | Sony Corporation | Sensor device, gyro sensor, and electronic apparatus |
-
2015
- 2015-10-20 US US15/528,860 patent/US10775168B2/en active Active
- 2015-10-20 WO PCT/JP2015/005278 patent/WO2016088291A1/ja active Application Filing
- 2015-10-20 JP JP2016562200A patent/JP6614157B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2015-10-20 CN CN201580064373.8A patent/CN107003129B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2016088291A1 (ja) | 2016-06-09 |
US20180017386A1 (en) | 2018-01-18 |
CN107003129A (zh) | 2017-08-01 |
JPWO2016088291A1 (ja) | 2017-09-21 |
US10775168B2 (en) | 2020-09-15 |
CN107003129B (zh) | 2021-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6614157B2 (ja) | センサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器 | |
JP5724817B2 (ja) | 角速度センサ及び電子機器 | |
US8833163B2 (en) | Angular velocity sensor | |
JP5070778B2 (ja) | 力学量センサ | |
JP6031682B2 (ja) | 角速度センサとそれに用いられる検出素子 | |
JP2007101531A (ja) | 力学量センサ | |
WO2018092449A1 (ja) | ジャイロセンサ及び電子機器 | |
JP2018112466A (ja) | センサデバイス及び電子機器 | |
JP2012112819A (ja) | 振動ジャイロ | |
WO2018016190A1 (ja) | ジャイロセンサ、信号処理装置、電子機器およびジャイロセンサの制御方法 | |
JP6702053B2 (ja) | ジャイロセンサ及び電子機器 | |
JP6189792B2 (ja) | 角速度センサ | |
WO2020067178A1 (ja) | センサ素子及び角速度センサ | |
WO2017204057A1 (ja) | ジャイロセンサ及び電子機器 | |
JP2013148530A (ja) | 容量式物理量検出装置 | |
JP2012163386A (ja) | 角速度センサユニットおよびその信号検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190702 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190902 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191008 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191021 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6614157 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |