JP6613815B2 - 振動機構、スペックル解消素子 - Google Patents
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Description
本実施例では、振動機構10を偏光解消素子に適用する例を示す。図2は、本実施例に係る偏光解消素子を例示する斜視図である。図3は、図2のA−A線に沿う位置での振動部の断面図である。
11、110 振動部
12、120 支持体
13、130 弾性体
20、200 駆動部
Claims (5)
- 光学素子からなる振動部と、弾性体を介して前記振動部を支持する支持体と、を有し、
2つ以上の平面内共振モードの共振周波数成分で駆動される1軸の駆動部のみによって、前記光学素子を平面内で前記1軸の方向に依存しない2つ以上の振動方向に振動させる振動機構。 - 前記駆動部が1軸並進アクチュエータである請求項1に記載の振動機構。
- 前記駆動部が圧電アクチュエータである請求項1又は2に記載の振動機構。
- 半導体基板上に作製された請求項1乃至3の何れか一項に記載の振動機構。
- 前記光学素子が偏光解消素子である請求項1乃至4の何れか一項に記載の振動機構を有するスペックル解消素子。
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JP2015214107A JP6613815B2 (ja) | 2015-10-30 | 2015-10-30 | 振動機構、スペックル解消素子 |
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