JP6604144B2 - 結像レンズ系および撮像装置および検査装置 - Google Patents

Description

この発明は、結像レンズ系および撮像装置および検査装置に関する。

所謂「単焦点レンズ」として知られる２レンズ群構成の結像レンズ系は、従来から、レトロフォーカス型等を初めとして、種々のものが知られている（特許文献１〜３等）。

レトロフォーカス型の結像レンズ系では、物体側に配される第１レンズ群のパワーが負で、像側に配される第２レンズ群のパワーが正である。
第２レンズ群のパワーを正とし、第１レンズ群のパワーも正とした２レンズ群構成の結像レンズ系も周知である。

この発明は、物体側の第１レンズ群と、像側の第２レンズ群とにより構成される２レンズ群構成で、第２レンズ群のパワーを正とし、第１レンズ群のパワーを正もしくは負とすることができる新規な結像レンズ系の実現を課題とする。

この発明の結像レンズは、物体側から像側へ向かって順に、第１レンズ群、正のパワーの第２レンズ群を配してなり、前記第１レンズ群は、物体側から像側へ向かって順に、負のパワーの第１ａレンズ群、正のパワーの第１ｂレンズ群を配して構成され、前記第２レンズ群は物体側から像側へ向かって順に、正のパワーの第２ａレンズ群、絞り、正のパワーの第２ｂレンズ群を配して構成され、前記第１ａレンズ群は、物体側から像側に向かって順に、負レンズＬ１１、負レンズＬ１２を配して構成され、前記第１ｂレンズ群は、正レンズＬ１３により構成され、前記第１レンズ群の群内におけるレンズ面間隔は、前記負レンズＬ１２と正レンズＬ１３との間で最大であり、前記第２ａレンズ群は、物体側から像側に向かって順に、正レンズＬ２１と負レンズＬ２２を配して構成され、無限遠物体から近距離物体へのフォーカシングの際に、前記第２レンズ群が物体側へ移動し、前記第１レンズ群の焦点距離：ｆ１、前記無限遠物体にフォーカシングした状態における全系の焦点距離：ｆが、条件：
（１Ａ） −０．１＜ｆ／ｆ１＜０．１
を満足する。

この発明によれば、物体側の第１レンズ群と、像側の第２レンズ群とにより構成される２レンズ群構成で、第２レンズ群のパワーを正とし、第１レンズ群のパワーを正もしくは負とすることができる新規な結像レンズ系を実現できる。

実施例１の結像レンズ系の断面を示す図である。 実施例２の結像レンズ系の断面を示す図である。 実施例３の結像レンズ系の断面を示す図である。 実施例４の結像レンズ系の断面を示す図である。 実施例１の結像レンズ系の、無限遠物体にフォーカシングした状態における収差図である。 実施例１の結像レンズ系の、倍率が−０．０５倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。 実施例１の結像レンズ系の、倍率が−０．１倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。 実施例２の結像レンズ系の、無限遠物体にフォーカシングした状態における収差図である。 実施例２の結像レンズ系の、倍率が−０．０５倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。 実施例２の結像レンズ系の、倍率が−０．１倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。 実施例３の結像レンズ系の、無限遠物体にフォーカシングした状態における収差図である。 実施例３の結像レンズ系の、倍率が−０．０５倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。 実施例３の結像レンズ系の、倍率が−０．１倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。 実施例４の結像レンズ系の、無限遠物体にフォーカシングした状態における収差図である。 実施例４の結像レンズ系の、倍率が−０．０５倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。 実施例４の結像レンズ系の、倍率が−０．１倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。 撮像装置の実施の１形態の外観を示す図で、（Ａ）は正面側の斜視図、（Ｂ）は裏面側の斜視図である。 図１７の撮像装置のシステム構成例を示すブロック図である。 検査装置の実施の１形態を説明するための図である。

以下、実施の形態を説明する。
図１ないし図４に結像レンズ系の実施の形態を４例示す。
これら４例の実施の形態は、後述する結像レンズ系の実施例１ないし４に、図示の順序で対応している。繁雑を避けるため、図１ないし図４において、符号を共通化する。
図１ないし図４における図の左方は「物体側」、右方は「像側」である。これらの実施の形態では、結像レンズ系による物体の像を固体撮像素子により撮像する場合が想定されており、図中、符号Ｉｍは像面（固体撮像素子の受光面に合致する）を示す。像面Ｉｍの物体側の符号Ｇは、固体撮像素子のカバーガラスや各種フィルタを、これらに等価な透明平行平板として示している。

図１を代表して説明すると、結像レンズ系は、物体側から像側へ向かって順に、第１レンズ群Ｇ１、第２レンズ群Ｇ２を配して構成されている。
第１レンズ群Ｇ１は「正または負のパワー」を有し、第２レンズ群Ｇ２は「正のパワー」を有する。
第１レンズ群Ｇ１は、物体側から像側へ向かって順に、第１ａレンズ群Ｇ１ａ、第１ｂレンズ群Ｇ１ｂを配してなる。
第１ａレンズ群Ｇ１ａは、物体側から像側に向かって順に、負レンズＬ１１、負レンズＬ１２を配して構成され、第１ｂレンズ群Ｇ１ｂは、正レンズＬ１３により構成されている。
從って、第１ａレンズ群Ｇ１ａは「負のパワー」を持ち、第１ｂレンズ群Ｇ１ｂは「正のパワー」を持つ。即ち、第１ａレンズ群Ｇ１ａの負のパワーと、第１ｂレンズ群Ｇ１ｂの正のパワーとの相対的な大小により、第１レンズ群Ｇ１のパワーは、正にも負にもなり得る。

第１レンズ群Ｇ１の群内における「レンズ面間隔」は、負レンズＬ１２と正レンズＬ１３との間で最大である。
第２レンズ群Ｇ２は、物体側から像側へ向かって順に、正のパワーの第２ａレンズ群Ｇ２ａ、絞りＳ、正のパワーの第２ｂレンズ群Ｇ２ｂを配して構成されている。
第２ａレンズ群Ｇ２ａは、物体側から像側に向かって順に、正レンズＬ２１と負レンズＬ２２を配して構成されている。図１ないし図４に示す実施の形態においては、これら正レンズＬ２１と負レンズＬ２２は接合され、接合面は物体側に凹である。
勿論、正レンズＬ２１、負Ｌ２２は、図１ないし図４の場合に限るものではなく、これらを接合させない構成も可能である。

第２レンズ群Ｇ２の、絞りＳよりも像側の第２ｂレンズ群Ｇ２ｂは、図１ないし図４に示す実施の形態では、物体側から像側へ向かって順に、物体側が凹面である負レンズＬ２３、正レンズＬ２４、負レンズＬ２５、正レンズＬ２６、正レンズＬ２７を配して構成されている。
第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの構成（レンズ枚数、レンズ形状）も、図１ないし図４のものに限定されない。即ち、正のパワーを実現するという条件のもとで、第２ｂレンズ群を「５枚よりも少ないレンズ」で構成することも、「６枚以上のレンズで構成」することもでき、各レンズのパワーの正・負も適宜に設定可能である。
図１ないし図４に示す例では、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの負レンズＬ２３と正レンズＬ２４は接合されているが、これらを接合させない構成も可能である。

この発明の結像レンズ系は、撮影対象となる物体の物体距離に応じて、無限遠物体から近距離物体まで、フォーカシングすることが可能である。「無限遠物体から近距離物体へのフォーカシング」の際には、第２レンズ群Ｇ２が物体側へ移動する。
この発明の結像レンズ系は、第１レンズ群Ｇ１の焦点距離：ｆ１、無限遠物体にフォーカシングした状態における全系の焦点距離：ｆが、条件：
（１Ａ） −０．１＜ｆ／ｆ１＜０．１
または、
（１） −０．１５＜ｆ／ｆ１＜０．１５
を満足する。
条件（１）が満足される場合には、第２ａレンズ群Ｇ２aの焦点距離：ｆ２ａ、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの焦点距離：ｆ２ｂが、条件：
（４） １．０＜ｆ２ａ／ｆ２ｂ＜１．８
を同時に満足する。
条件（４）は、条件（１Ａ）と同時に満足されることができる。

上記の如く、第１レンズ群Ｇ１を構成する第１ａレンズ群Ｇ１ａ、第１ｂレンズ群Ｇ１ｂのレンズ面間隔（負レンズＬ１２の像側面と正レンズＬ１３の物体側面の間隔）は、第１レンズ群Ｇ１内で最大である。
負のパワーの第１ａレンズ群Ｇ１ａと正のパワーの第１ｂレンズ群Ｇ１ｂの間に「第１レンズ群内で最も大きいレンズ面間隔」を配することにより、第１ａレンズ群Ｇ１ａで発生する収差を、第１ｂレンズ群Ｇ１ｂで十分に補正することが可能となる。
また、第１ａレンズ群Ｇ１ａを「負レンズＬ１１と負レンズＬ１２とで構成」することにより、第１ａレンズ群Ｇ１ａの有するべき負のパワーを、負レンズＬ１１、Ｌ１２に分担させることができる。

第１ａレンズ群Ｇ１ａの負のパワーを、負レンズＬ１１と負レンズＬ１２とに分担させることにより、これらの負レンズの各レンズ面で発生する収差を抑制できる。そして、負レンズＬ１２と正レンズＬ１３との間隔を大きく確保することにより、第１ａレンズ群Ｇ１ａで発生する収差を、１枚の正レンズＬ１３で構成される第１ｂレンズ群Ｇ１ｂにより良好に補正することが可能である。

第２レンズ群Ｇ２の「絞りＳよりも物体側にある第２ａレンズ群Ｇ２ａ」を正レンズＬ２１と負レンズＬ２２で構成することにより、色収差を十分に補正しつつ、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂとの「収差のやりとり」が過大とならないようにできる。
条件（１Ａ）は、結像レンズ系の性能を確保しつつ、フォーカシングに伴う物体距離の変化による「像面湾曲の変化」を有効に小さくできる条件である。
条件（１Ａ）のパラメータ：ｆ/ｆ１が大きくなることは、全系のパワーに対する第１レンズ群Ｇ１の「正または負のパワー」が相対的に強くなることを意味する。
条件（１Ａ）の上限を超える場合、第１レンズ群Ｇ１の正のパワーが過大となって、コマ収差等の十分な補正が困難となり易い。条件（１Ａ）の下限を超える場合、第１レンズ群Ｇ１の負のパワーが過大となり、物体距離変化に伴い「像面湾曲が大きく変化」し易くなる。
条件（１Ａ）を満足することにより、コマ収差等の各種収差を良好に補正しつつ、フォーカシングの際の「物体距離変化に伴う像面湾曲の変化」を有効に抑制できる。
なお、条件（１Ａ）に代えて、上記の如く条件（１）と条件（４）を同時に満足させるようにすることができる。

全系の焦点距離：ｆは正であるから、条件（１）、（１Ａ）はまた、以下の如くに表現してもよい。
（１） ｜ｆ／ｆ１｜＜０．１５
（１Ａ） ｜ｆ／ｆ１｜＜０．１ 。

上記の如く、無限遠物体から近距離物体までフォーカシングする際には、第２レンズ群Ｇ２が物体側に移動する。このとき「第１レンズ群Ｇ１も移動する」ように構成することもできるが、第１レンズ群Ｇ１を「固定」してもよい。即ち、第１レンズ群Ｇ１と像面Ｉｍとの位置関係を変化させずにフォーカシングを行うようにすることができる。このようにすると、フォーカシングのためのレンズ群移動機構を簡素にできる。

この発明の結像レンズ系は、上記条件（１Ａ）とともに、以下の条件（２）ないし（５）、（７）の任意の１以上を満足するのが良い。
（２） ０．０５＜Ｄ＿ｆｏｃ／ｆ＜０．１５
（３） ０．２＜Ｄ１２／ｆ＜０．４
（４） １．０＜ｆ２ａ／ｆ２ｂ＜１．８
（５） ０．３＜Ｄ１ａｂ／Ｄ１＜０．５
（７） ０．２＜Ｄ２ａｂ／Ｄ２＜０．４ 。
条件（１）と条件（４）を満足する場合には、これらと共に、条件（２）、（３）、（５）、（７）の任意の１以上を満足するのが良い。

これら条件（２）ないし（５）、（７）における各パラメータ中の記号の意味は以下の通りである。
「Ｄ＿ｆｏｃ」は、無限遠物体から「倍率：−０．１倍になる近距離物体」までのフォーカシングに際しての、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２の間隔の変化量である。
「Ｄ１２」は、無限遠物体にフォーカシングした状態における第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間隔（正レンズＬ１３の像側レンズ面と正レンズＬ２１の物体側レンズ面との光軸上の距離）である。
「ｆ２ａ」は、第２ａレンズ群Ｇ２ａの焦点距離である。
「ｆ２ｂ」は、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの焦点距離である。

「Ｄ１ａｂ」は、第１ａレンズ群Ｇ１ａと第１ｂレンズ群Ｇ１ｂとの間隔（負レンズＬ１２の像側レンズ面と正レンズＬ１３の物体側レンズ面との光軸上の距離）である。
「Ｄ１」は、第１レンズ群Ｇ１の「群厚（第１レンズ群Ｇ１の最も物体側のレンズ面から最も像側のレンズ面までの光軸上の距離）」である。
「Ｄ２ａｂ」は、第２ａレンズ群Ｇ２ａと第２ｂレンズ群Ｇ２ｂとの間隔（第２ａレンズ群Ｇ２ａの最も像側のレンズ面から、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの最も物体側のレンズ面までの光軸上の距離）」である。
「Ｄ２」は、第２レンズ群Ｇ２の「群厚（第２レンズ群Ｇ２の最も物体側のレンズ面から最も像側のレンズ面までの光軸上の距離）」である。

上記の如く、第２ａレンズ群Ｇ２ａを構成する正レンズＬ２１と負レンズＬ２２は「接合レンズ」とすることができる。このとき、接合面は物体側に凹とする。
この場合、条件（１Ａ）とともに、あるいは、条件（１Ａ）および「条件（２）ないし（５）、（７）の任意の１以上」、または、条件（１）および条件（４）あるいは条件（１）、（４）および「条件（２）、（３）、（５）、（７）の任意の１以上」とともに、以下の条件（６）を満足することが好ましい。
（６） −１．５＜Ｒａ／ｆ＜−０．５
条件（６）のパラメータにおける「Ｒａ」は、正レンズＬ２１と負レンズＬ２２との接合面の曲率半径（＜０）である。

以下、条件（２）ないし（７）につき説明する。
条件（２）は、像面湾曲の抑制に有効な条件である。
条件（２）は、無限遠物体から「倍率：−０．１倍になる近距離物体」までフォーカシングした時の「第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２の間隔」が変化した量を、無限遠物体にフォーカシングした状態における全系の焦点距離：ｆにより規格化したパラメータの範囲を定める条件である。

上に説明したように、無限遠物体にフォーカシングした状態における第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間隔は「Ｄ１２」である。これを便宜的に「Ｄ１２（∞）」とし、「倍率：−０．１倍になる近距離物体」にフォーカシングした状態における前記間隔を便宜上「Ｄ１２（−０．１）」とする。
「Ｄ＿ｆｏｃ」は、｜Ｄ１２（∞）−Ｄ１２（−０．１）｜である。
無限遠物体から近距離物体にまでフォーカシングするとき、第２レンズ群は物体側に移動する。また、図１ないし図４に対応する後述の実施例１ないし４においては、第１レンズ群Ｇ１は固定されているので、無限遠物体から近距離物体にフォーカシングする際、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間隔は減少する。從って、この場合は、
Ｄ＿ｆｏｃ＝Ｄ１２（∞）−Ｄ１２（−０．１）
である。

条件（２）のパラメータ：Ｄ＿ｆｏｃ／ｆが大きく（小さく）なることは、無限遠物体から近距離物体へのフォーカシングに伴う「第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間隔」の変化量が大きく（小さく）なることを意味する。
条件（２）の上限を超えると、近距離物体にフォーカシングした状態で「正の像面湾曲」が発生し易く、下限を超えると近距離物体にフォーカシングした状態で「負の像面湾曲」が発生し易い。
条件（２）の範囲外で発生する像面湾曲は、結像レンズ系の設計パラメータにより補正することが必ずしも容易でない。
条件（２）の範囲では、無限遠物体から近距離物体にフォーカシングする場合の像面湾曲を有効に軽減できる。

この発明の結像レンズ系は、図１ないし図４に示す形態例のように「物体の像を固体撮像素子の受光面上に結像させて読み取る」ように使用されることが多い。このような使用形態で大きな像面湾曲が発生すると、像面と受光面とが像面湾曲に応じて乖離し、乖離した部分では読み取られる画像の解像度が低下してしまう。
從って、このような場合に「フォーカシングされる物***置」によらず像面湾曲が小さいことは重要であるが、条件（２）を満足することにより、フォーカシングに伴う像面湾曲の変動を有効に抑制できる。

条件（３）は、無限遠物体にフォーカシングしている状態における「第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２の間隔：Ｄ１２」を前記全系の焦点距離：ｆで規格化したパラメータの範囲を規制する条件である。
条件（３）のパラメータが大きく（小さく）なることは「無限遠物体にフォーカシングしている状態における第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２の間隔」が、大きく（小さく）なることに対応する。
条件（３）の上限を超えると、無限遠物体にフォーカシングした状態で「第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２の間隔」が過大となり、第１レンズ群Ｇ１を通る軸外光線が高くなって結像レンズ系の大型化を招来し、各種収差を補正することも困難となり易い。
条件（３）の下限を超えると、無限遠物体にフォーカシングした状態で「第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２の間隔」が小さくなって、近距離物体へのフォーカシングに必要な第２レンズ群の変位領域が小さく制限され「像面湾曲を抑えつつ近距離側へのフォーカシングを実現」することが困難になり易い。

条件（４）は、第２レンズ群Ｇ２の「絞りＳの物体側にある第２ａレンズ群Ｇ２ａの正のパワーと、絞りＳの像側にある第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの正のパワーとを、適正にバランス」させる条件である。
条件（４）のパラメータ：ｆ２ａ／ｆ２ｂが大きく（小さく）なると、第２ａレンズ群Ｇ２ａの正のパワーが、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの正のパワーに対して相対的に小さく（大きく）なる。
条件（４）の上限を超えると、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂのパワーが過大となり、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂ内で発生する収差を第２ｂレンズ群Ｇ２ｂ内で補正することが困難になり易い。
条件（４）の下限を超えると、第２ａレンズ群Ｇ２ａのパワーが過大となり、第２ａレンズ群Ｇ２ａ内で発生する収差を第２ｂレンズ群Ｇ２ａ内で補正することが困難になり易い。
条件（４）の範囲内では、第２ａレンズ群Ｇ２ａ、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂが、それぞれ、群内で収差を「ある程度まで補正」できる。

条件（５）は、第１レンズ群Ｇ１における第１ａレンズ群Ｇ１ａと第１ｂレンズ群Ｇ１ｂとの間の間隔：Ｄ１ａｂを第１レンズ群Ｇ１の群厚：Ｄ１で規格化したパラメータの範囲を規制する条件である。
この発明の結像レンズ系では、第１レンズ群Ｇ１内で、第１ａレンズ群Ｇ１ａと第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの間隔が、最大の面間隔：Ｄ１ａｂとなっている。
条件（５）が満足される範囲では、第１ａレンズ群Ｇ１ａで発生する収差を、第１ｂレンズ群Ｇ１ｂで補正することは容易となる。
条件（５）の上限を超えると、第１ａレンズ群Ｇ１ａと第１ｂレンズ群Ｇ１ｂの間隔が過大となり、第１ａレンズ群Ｇ１ａや第１ｂレンズ群Ｇ１ｂの厚さが薄くなることにつながる。

このため、第１ａレンズ群Ｇ１ａで発生する収差を第１ｂレンズ群Ｇ１ｂで補正することが困難となり易い。
条件（５）の下限を超えると、第１ａレンズ群Ｇ１ａと第１ｂレンズ群Ｇ１ｂの間隔が過小となり、第１ａレンズ群Ｇ１ａで発生する収差を第１ｂレンズ群Ｇ１ｂで補正することが困難となり易い。

条件（６）は、第２ａレンズ群Ｇ２ａの正レンズＬ２１、負レンズＬ２２を「物体側に凹となる接合面」接合する場合の、接合面の曲率半径：Ｒａの範囲を規定する条件である。
条件（６）を満足することにより、第２ａレンズ群Ｇ２ａの「色収差補正機能」が良好に発揮され、単色収差を補正しつつ、色収差を十分に補正することが可能になる。

条件（７）は、第２レンズ群Ｇ２における第２ａレンズ群Ｇ２ａと第２ｂレンズ群Ｇ２ｂとの間の間隔：Ｄ２ａｂを第２レンズ群Ｇ２の群厚：Ｄ２で規格化したパラメータの範囲を規制する条件である。

条件（７）の上限を超えると、第２ａレンズ群Ｇ２ａと第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの間隔が過大となり、第２ａレンズ群Ｇ２ａや第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの「群厚」が薄くなり、これらのレンズ群内で発生した収差を同じ群内で「ある程度補正」することが困難となり易い。
条件（７）の下限を超えると、第２ａレンズ群Ｇ２ａと第２ｂレンズ群Ｇ２ｂとの間隔が過小となり、第２ａレンズ群Ｇ２ａで発生した収差を第２ｂレンズ群Ｇ２ｂで補正することが困難となり易い。

この発明の結像レンズ系における第２ａレンズ群Ｇ２ａを構成する２枚のレンズＬ２１、Ｌ２２のうち、負レンズＬ２２は、以下の条件（８）ないし（１０）を満足する硝材で形成するのが好ましい。

（８） １．７８＜ｎ_ｄ＜２．００
（９） ２０．０＜ν_ｄ＜３２．０
（１０） ０．００５＜Ｐ_ｇ，Ｆ−（−０．００１８０２ν_ｄ＋０．６４８３）＜０．００９
条件（８）ないし（１０）における「ｎ_ｄ、ν_ｄおよびＰ_ｇ，Ｆ」は、それぞれ、「ｄ線に対する屈折力、アッベ数、および部分分散比」である。

部分分散比：Ｐ_ｇ，Ｆは、ｇ線、Ｆ線、Ｃ線に対する屈折率：ｎ_ｇ，ｎ_Ｆ，ｎ_Ｃを用いて、次式：
Ｐ_ｇ，Ｆ＝（ｎ_ｇ−ｎ_Ｆ）／（ｎ_Ｆ−ｎ_Ｃ）
で定義される。

条件（８）ないし（１０）を満足する高屈折率で「高分散でありながら異常分散性を有する硝材」で、負レンズＬ２２を形成することにより、結像レンズ系の単色収差を十分に補正しつつ色収差を十分に補正することが容易になる。

前述の如く、この発明の結像レンズ系を構成する第１レンズ群、第２レンズ群のうち、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの構成（レンズ枚数、レンズ形状）は、正のパワーを実現するという条件のもとで適宜に設定可能である。

図１ないし図４に示す実施の形態において、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂとして例示された「物体側から像側に向かって順に、物体側が凹面である負レンズＬ２３、正レンズＬ２４、負レンズＬ２５、正レンズＬ２６、正レンズＬ２７を配した構成」は、第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの構成として好適なものの１例である。

後述する実施例１ないし４に示すように、このような第２ｂレンズ群Ｇ２ｂの構成により、像面Ｉｍへの入射角を小さく、各種収差の十分な補正が実現されている。

さらに、この発明の結像レンズ系は実施例１ないし４に示すように「球面レンズのみ」で構成できる。勿論、非球面レンズを用いてもよいが、球面レンズのみで構成される結像レンズ系は、製造コストの面から有利である。

付言すると、この明細書中において「Ｌ１１ないしＬ１３、Ｌ２１ないしＬ２７」は、特許請求の範囲にも記載されているように「各レンズの名称の一部」である。
即ち、例えば「負レンズＬ１１」は「負レンズＬ１１という名称の負レンズ」である。

図１ないし図４においては、このレンズの「名称の一部」をなすＬ１１ないしＬ１３、Ｌ２１ないしＬ２７が「対応するレンズを表す符号」としても用いられている。
上記の如く「Ｌ１１ないしＬ１３、Ｌ２１ないしＬ２７」はレンズの名称の一部であるから、各請求項に記載されたレンズの形態や材料等が、実施の形態や実施例として説明された各レンズのものに限定されるものでないことは言うまでもない。

具体的な実施例の記載に先立ち、この発明の結像レンズ系を用いる「撮像装置（以下、「カメラ装置」とも言う。）」と「検査装置」を説明する。

図１７に示すカメラ装置のシステム構成は、図１８に示すように、撮影用光学系としての撮影レンズ１と「固体撮像素子」である受光素子１３を有し、撮影レンズ１によって形成される撮影対象物の像を受光素子１３によって撮像するように構成されている。

受光素子１３からの出力は、中央演算装置１１の制御を受ける信号処理装置１４により処理されてデジタル情報に変換される。
デジタル情報に変換された画像は、液晶モニタ７に表示され、半導体メモリ１５に記憶され、あるいは通信カード１６により外部への通信に供される。「撮像装置」のより簡素な構成としては「通信機能を除いた部分」で構成したものを挙げることができる。
撮影レンズ１としては、請求項１ないし１０の何れか１項に記載の結像レンズ系が用いられ、具体的には後述する実施例１ないし４の「結像レンズ系」を用いることができる。

液晶モニタ７には「撮影中の画像」を表示することもできるし、半導体メモリ１５に記録されている画像を表示することもできる。
撮影レンズ１はカメラ装置の携帯時には、図１７（Ａ）に示すように「沈胴状態」にあり、電源スイッチ６（同図（Ｂ））の操作により電源が入ると筐体５から鏡胴が繰り出される。鏡胴が繰り出された状態では、撮影レンズ系１は「無限遠物体に合焦した」状態である。

シャッタボタン４の「半押し」によりフォーカシングがなされる。
フォーカシングは、第２レンズ群の移動により行なわれる。シャッタボタン４をさらに押し込むと撮影がなされ、その後は上記の処理がなされる。
半導体メモリ１５に記録した画像を液晶モニタ７に表示したり、通信カード１６等を用いて外部へ送信したりする際は、操作ボタン８の操作により行う。半導体メモリ１５および通信カード１６等は、それぞれ専用または汎用のスロット９に挿入して使用される。
撮影レンズ１が「沈胴状態」にあるとき、結像レンズ系の各レンズ群は、必ずしも光軸上に並んでいなくても良い。例えば、第２レンズ群が、光軸上から退避して「第１レンズ群と並列に収納される」如き機構とすれば、カメラ装置のさらなる薄型化を実現できる。
この場合、第２レンズ群Ｇ２の方が、第１レンズ群Ｇ１よりも「群厚」が大きいので、第２レンズ群を光軸から退避させるほうが「沈胴状態の薄型化」に、より大きく資することができる。

図１７、図１８に実施の形態を示すカメラ装置では、上記の如く、通信機能を除いた部分は「撮像装置」を構成し、この撮像装置は、カメラ装置の「撮像機能部」である。

また、図１７、図１８に示す撮像装置は、撮影用光学系である結像レンズ系による像を撮像する固体撮像素子を有する。

この撮像装置は、上記の如く「通信機能」を有しているので、所謂［携帯情報端末装置］としての機能も有している。

以下に、図１９を参照して「検査装置」の実施の１形態を説明する。
以下に説明する検査装置は、所謂「製品検査」を行うための検査装置である。
製品検査には種々の検査や検査項目があり得るが、簡単のために多数個が製造される製品の「傷の有無」を検査する場合を例にとって説明する。
図１９（ａ）において、符号２０は「撮像部」、符号２３は「検査プロセス実行部」を示し、符号２４は「表示部」を示す。また、符号「Ｗ」は「製品」、符号２６は「製品搬送ベルト」を示している。
撮像部２０は、結像光学系２１と画像処理部２２とを有する。

検査対象としての製品Ｗは、製品搬送ベルト２６上に等間隔に置かれ、搬送ベルト２６により矢印方向（図の右方）へ等速的に搬送される。
結像光学系２１は、結像対象である製品Ｗの像を結像するものであり、この発明の結像レンズ系が用いられる。具体的には後述の実施例１ないし４の何れかの結像レンズ系を用いることができる。
製品検査は、図１９（ｂ）に示す「準備工程」、「検査工程」、「結果表示工程」の各工程に從って行われる。これらの工程のうち、「検査工程と結果表示工程」が「検査プロセス」である。

「準備工程」では、検査条件を設定する。
即ち、搬送ベルト２６により搬送される製品Ｗの大きさや形状、傷の有無を検査する部位等に応じて、結像レンズ系２１の撮影位置、撮影態位（結像レンズの向きや撮影対象との距離、即ち、物体距離）を定める。
そして、有無を検出すべき「傷」の位置や大きさに応じて、結像レンズ系２１をフォーカシングする。この発明の結像レンズ系は「フォーカシング機能」を持つので、検査項目（説明中の例では傷の有無）に応じて、適切に設定された物体距離に合わせてフォーカシングを行うことができる。

一方において、「傷のないことが確認されているモデル製品」を搬送ベルト上の検査位置に置いて、これを結像レンズ系２１により撮影する。
撮影は、画像処理部２２に配置された固体撮像素子による撮像で行われ、固体撮像素子２２により撮像された画像は「画像情報」とされ、デジタルデータ化する画像処理が行われる。

画像処理されたデジタルデータは、検査プロセス実行部２３に送られ、検査プロセス実行部２３は、前記デジタルデータを「モデルデータ」として記憶する。
「検査工程」では、製品Ｗが、搬送ベルト２６上に「モデル製品と同一態位」に置かれ、搬送ベルト２６により順次搬送される。そして、搬送される個々の製品Ｗが「検査位置」を通過する際に、結像レンズ系２１による撮影が行われ、画像処理部２２でデジタルデータ化されて、検査プロセス実行部２３に送られる。
検査プロセス実行部２３は「コンピュータやＣＰＵ」として構成され、画像処理部２２を制御し、画像処理部２２を介して結像レンズ系２１の撮影やフォーカシングを制御する。
検査プロセス実行部２３は、画像処理部２２でデジタルデータ化された「製品Ｗの画像のデータ」を受けると、この画像データと、前記記憶したモデルデータのマッチングを行う。

撮影された製品Ｗに「傷」がある場合は、画像データとモデルデータとが合致しないので、この場合には、当該製品は「不良品」と判定する。
また、製品Ｗに傷が無い場合には、該製品の画像データとモデルデータが合致するので、この場合は、当該製品が「良品」であると判定する。

「結果表示工程」は、検査プロセス実行部２３による個々の製品の「良品、不良品」の判定結果を、表示部２４に表示する工程である。

なお、装置の構成上は、検査プロセス実行部２３と表示部２４とが「検査プロセス実行手段」を構成する。

以下、結像レンズ系の具体的な実施例を４例挙げる。

全ての実施例において「最大像高は８．０ｍｍ」である。

実施例１ないし４は、この順序で、図１ないし図４に描かれた結像レンズ系に対応し、結像レンズ系による物体の像は、固体撮像素子により撮像される。
前述の如く、固体撮像素子の受光面に合致される像面Ｉｍの物体側の符号Ｇは、固体撮像素子のカバーガラスや各種フィルタ（光学ローパスフィルタや赤外カットフィルタ等）を、これらに等価な透明平行平板として示している。

実施例における記号の意味は以下の通りである．
ｆ：無限遠物体にフォーカシングした状態における全系の焦点距離
Ｆ：Ｆナンバ
ω：半画角（度）
Ｒ ：曲率半径
Ｄ：面間隔
Ｎ：ｄ線に対する屈折率
ν：アッベ数
φ：有効光線径
なお、「長さの次元を持つ量」の単位は、特に断らない限り「ｍｍ」である。

「実施例１」
焦点距離ｆ：16.00mm 、Ｆナンバ：F1.80 、画角2ω：53.2度
実施例１のデータを表１に示す。表１の最も左の欄は、物体側から数えた面の番号（面番）であり「絞りの面」を含む。

「可変間隔」
「可変間隔」は、第１レンズ群と第２レンズ群との面間隔で、フォーカシングに伴い変化する。実施例１において可変間隔は面番６と面番７の間隔Ｄ６（「Ａ」と表示）である。

実施例１の可変間隔を表２に示す。上の行における「Ｉｎｆ」は、無限遠物体に合焦した状態、「×０．０５」は結像倍率：−０．０５倍の物体に合焦した状態、「×０．１０」は結像倍率：−０．１０倍の物体に合焦した状態である。以下の実施例においても同様である。

「条件のパラメータの値」
条件（１）、（１Ａ）ないし（１０）にかかる各パラメータの値を表３に示す。

条件（１）のパラメータ：ｆ／ｆ１が正であるので、実施例１の結像レンズ系における第１レンズ群Ｇ１のパワーは「正」である。

「実施例２」
焦点距離ｆ：16.00mm 、Ｆナンバ：F1.80 、画角2ω：53.2度
実施例２のデータを表４に示す。

「可変間隔」
実施例２の可変間隔を表５に示す。

「条件のパラメータの値」
条件（１）、（１Ａ）ないし（１０）にかかる各パラメータの値を表６に示す。

条件（１）のパラメータ：ｆ／ｆ１が正であるので、実施例２の結像レンズ系における第１レンズ群Ｇ１のパワーは「正」である。

「実施例３」
焦点距離ｆ：16.00mm 、Ｆナンバ：F1.80 、画角2ω：53.2度
実施例３のデータを表７に示す。

「可変間隔」
実施例３の可変間隔を表８に示す。

「条件のパラメータの値」
条件（１）、（１Ａ）ないし（１０）にかかる各パラメータの値を表９に示す。

条件（１）のパラメータ：ｆ／ｆ１が負であるので、実施例３の結像レンズ系における第１レンズ群Ｇ１のパワーは「負」である。

「実施例４」
焦点距離ｆ：16.00mm 、Ｆナンバ：F1.80 、画角2ω：53.2度
実施例４のデータを表１０に示す。

「可変間隔」
実施例４の可変間隔を表１１に示す。

「条件のパラメータの値」
条件（１）、（１Ａ）ないし（１０）にかかる各パラメータの値を表１２に示す。

条件（１）のパラメータ：ｆ／ｆ１が負であるので、実施例４の結像レンズ系における第１レンズ群Ｇ１のパワーは「負」である。

図５ないし図１６に、実施例１ないし実施例４の収差図を示す。

図５は、実施例１の結像レンズ系の、無限遠物体にフォーカシングした状態における収差図である。図６は、実施例１の結像レンズ系の、倍率が−０．０５倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。図７は、実施例１の結像レンズ系の、倍率が−０．１倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。

球面収差の図中の破線は「正弦条件」を示し、非点収差の図中の実線は「サジタル」破線は「メリディオナル」を表す。また「細い線」はｄ線、「太い線」はｇ線に対する収差曲線図である。他の実施例の収差図においても同様である。

図８は、実施例２の結像レンズ系の、無限遠物体にフォーカシングした状態における収差図である。図９は、実施例２の結像レンズ系の、倍率が−０．０５倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。図１０は、実施例２の結像レンズ系の、倍率が−０．１倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。

図１１は、実施例３の結像レンズ系の、無限遠物体にフォーカシングした状態における収差図である。図１２は、実施例３の結像レンズ系の、倍率が−０．０５倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。図１３は、実施例３の結像レンズ系の、倍率が−０．１倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。

図１４は、実施例４の結像レンズ系の、無限遠物体にフォーカシングした状態における収差図である。図１５は、実施例４の結像レンズ系の、倍率が−０．０５倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。図１６は、実施例４の結像レンズ系の、倍率が−０．１倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。

これら収差図に示されたように、実施例１ないし４とも、各収差は高いレベルで補正され、球面収差、軸上色収差は問題にならないほど小さい。非点収差、像面湾曲、倍率色収差も十分に小さく、コマ収差やその色差の乱れも最周辺部まで良く抑えられている。

歪曲収差も倍率：−０．０５倍において絶対値で１．０％以下となっている。

即ち、実施例１ないし４の結像レンズ系は、半画角が５３度程度と広角で、Ｆナンバが１．８程度と大口径でありながら非常に良好な像性能を確保している。

また、各実施例とも、構成レンズ枚数は１０枚と少なく、小型である。これら実施例の結像レンズ系は、実施例の如く固体撮像素子とともに使用する場合、６００〜１０００万画素の撮像素子に対応した解像力を有している。

また、絞り開放から高コントラストで画角の周辺部まで「点像の崩れ」なしに、直線を直線として歪みなく描写可能で、無限遠物体から近距離物体まで高性能である。

以上の如く、この発明によれば、以下の如き新規な結像レンズ系、撮像装置、検査装置を実現できる。

［１］
物体側から像側へ向かって順に、第１レンズ群（Ｇ１）、正のパワーの第２レンズ群（Ｇ２）を配してなり、第１レンズ群（Ｇ１）は、物体側から像側へ向かって順に、負のパワーの第１ａレンズ群（Ｇ１ａ）、正のパワーの第１ｂレンズ群（Ｇ１ｂ）を配して構成され、第２レンズ群（Ｇ２）は物体側から像側へ向かって順に、正のパワーの第２ａレンズ群（２Ｇａ）、絞り（Ｓ）、正のパワーの第２ｂレンズ群（２Ｇｂ）を配して構成され、第１ａレンズ群（Ｇ１ａ）は、物体側から像側に向かって順に、負レンズＬ１１、負レンズＬ１２を配して構成され、第１ｂレンズ群（Ｇ１ｂ）は、正レンズＬ１３により構成され、第１レンズ群の群内におけるレンズ面間隔は、負レンズＬ１２と正レンズＬ１３との間で最大であり、第２ａレンズ群（Ｇ２ａ）は、物体側から像側に向かって順に、正レンズＬ２１と負レンズＬ２２を配して構成され、無限遠物体から近距離物体へのフォーカシングの際に、第２レンズ群（Ｇ２）が物体側へ移動し、第１レンズ群（Ｇ１）の焦点距離：ｆ１、無限遠物体にフォーカシングした状態における全系の焦点距離：ｆが、条件：
（１Ａ） −０．１＜ｆ／ｆ１＜０．１
を満足する結像レンズ系（実施例１ないし４）。
［２］
［１］記載の結像レンズ系であって、前記第２ａレンズ群の焦点距離：ｆ２ａ、前記第２ｂレンズ群の焦点距離：ｆ２ｂが、条件：
（４） １．０＜ｆ２ａ／ｆ２ｂ＜１．８
を満足する結像レンズ系（実施例１ないし４）。
［３］
物体側から像側へ向かって順に、第１レンズ群（Ｇ１）、正のパワーの第２レンズ群（Ｇ２）を配してなり、第１レンズ群（Ｇ１）は、物体側から像側へ向かって順に、負のパワーの第１ａレンズ群（Ｇ１ａ）、正のパワーの第１ｂレンズ群（Ｇ１ｂ）を配して構成され、第２レンズ群（Ｇ２）は物体側から像側へ向かって順に、正のパワーの第２ａレンズ群（２Ｇａ）、絞り（Ｓ）、正のパワーの第２ｂレンズ群（２Ｇｂ）を配して構成され、第１ａレンズ群（Ｇ１ａ）は、物体側から像側に向かって順に、負レンズＬ１１、負レンズＬ１２を配して構成され、第１ｂレンズ群（Ｇ１ｂ）は、正レンズＬ１３により構成され、第１レンズ群の群内におけるレンズ面間隔は、負レンズＬ１２と正レンズＬ１３との間で最大であり、第２ａレンズ群（Ｇ２ａ）は、物体側から像側に向かって順に、正レンズＬ２１と負レンズＬ２２を配して構成され、無限遠物体から近距離物体へのフォーカシングの際に、第２レンズ群（Ｇ２）が物体側へ移動し、第１レンズ群（Ｇ１）の焦点距離：ｆ１、無限遠物体にフォーカシングした状態における全系の焦点距離：ｆ、第２ａレンズ群（Ｇ２ａ）の焦点距離：ｆ２ａ、第２ｂレンズ群（Ｇ２ｂ）の焦点距離：ｆ２ｂが、条件：
（１） −０．１５＜ｆ／ｆ１＜０．１５
（４） １．０＜ｆ２ａ／ｆ２ｂ＜１．８
を満足する結像レンズ系（実施例１〜４）。

［４］
［１］〜［３］の何れか１に記載の結像レンズ系であって、無限遠物体から近距離物体までフォーカシングする際に、第１レンズ群（Ｇ１）が固定される結像レンズ系（実施例１ないし４）。
［５］
［１］〜［４］の何れか１記載の結像レンズ系であって、無限遠物体から倍率：−０．１倍になる近距離物体までのフォーカシングに際しての、第１レンズ群（Ｇ１）と第２レンズ群（Ｇ２）の間隔の変化量：Ｄ＿ｆｏｃ、前記全系の焦点距離：ｆが、条件：
（２） ０．０５＜Ｄ＿ｆｏｃ／ｆ＜０．１５
を満足する結像レンズ系（実施例１ないし４）。

［６］
［１］〜［５］の何れか１に記載の結像レンズ系であって、無限遠物体にフォーカシングした状態における第１レンズ群（Ｇ１）と第２レンズ群（Ｇ２）との間隔：Ｄ１２、前記全系の焦点距離：ｆが、条件：
（３） ０．２＜Ｄ１２／ｆ＜０．４
を満足する結像レンズ系（実施例１ないし４）。

［７］
［１］〜［６］の何れか１に記載の結像レンズ系であって、第１ａレンズ群（Ｇ１ａ）と第１ｂレンズ群（Ｇ１ｂ）との間隔：Ｄ１ａｂ、第１レンズ群（Ｇ１）の群厚：Ｄ１が、条件：
（５） ０．３＜Ｄ１ａｂ／Ｄ１＜０．５
を満足する結像レンズ系（実施例１ないし４）。

［８］
［１］〜［７］の何れか１に記載の結像レンズ系であって、記第２ａレンズ群（Ｇ２ａ）の正レンズＬ２１と負レンズＬ２２が接合され、接合面は物体側に凹であり、Ｒａは前記接合面の曲率半径：Ｒａ、前記全系の焦点距離：ｆが、条件：
（６） −１．５＜Ｒａ／ｆ＜−０．５
を満足する結像レンズ系（実施例１ないし４）。

［９］
［１］〜［８］の何れか１に記載の結像レンズ系であって、第２ａレンズ群（Ｇ２ａ）と第２ｂレンズ群（Ｇ２ｂ）との間隔：Ｄ２ａｂ、第２レンズ群の群厚：Ｄ２が、条件：
（７） ０．２＜Ｄ２ａｂ／Ｄ２＜０．４
を満足する結像レンズ系（実施例１ないし４）。

［１０］
［１］〜［９］の何れか１に記載の結像レンズ系であって、屈折率：ｎ_ｄ、アッベ数：ν_ｄ、部分分散比：Ｐ_ｇ，Ｆが、条件：
（８） １．７８＜ｎ_ｄ＜２．００
（９） ２０．０＜ν_ｄ＜３２．０
（１０） ０．００５＜Ｐ_ｇ，Ｆ−（−０．００１８０２ν_ｄ＋０．６４８３）＜０．００９
を満足する硝材により、負レンズＬ２２が形成されている結像レンズ系（実施例１ないし４）。

［１１］
［１］〜［１０］の何れか１に記載の結像レンズ系であって、第２ｂレンズ群（２Ｇｂ）が、物体側から像側に向かって順に、物体側が凹面である負レンズＬ２３、正レンズＬ２４、負レンズＬ２５、正レンズＬ２６、正レンズＬ２７を配して構成される結像レンズ系（実施例１ないし４）。

［１２］
［１］〜［１１］の何れか１に記載の結像レンズ系を、撮影用光学系として有する撮像装置（図１７、図１８）。

［１３］
［１２］記載の撮像装置であって、撮影用光学系による像を撮像する固体撮像素子（１３）を有する撮像装置（図１７、図１８）。

［１４］
検査対象（Ｗ）の像を結像する結像レンズ系（２１）と、該結像レンズ系により結像された検査対象（Ｗ）の像を撮像する固体撮像素子と、該固体撮像素子が出力する画像情報に基づき、検査対象（Ｗ）に対する検査プロセスを実行する検査プロセス実行手段（２３
．２４）とを有し、結像レンズ系（２１）として、［１］ないし［１１］の何れか１に記載の結像レンズ系を用いる検査装置（図１９）。

以上、発明の好ましい実施の形態について説明したが、この発明は上述した特定の実施形態に限定されるものではなく、上述の説明で特に限定していない限り、特許請求の範囲に記載された発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
この発明の実施の形態に記載された効果は、発明から生じる好適な効果を列挙したに過ぎず、発明による効果は「実施の形態に記載されたもの」に限定されるものではない。

Ｇ１ 第１レンズ群
Ｇ１ａ 第１ａレンズ群
Ｇ１ｂ 第１ｂレンズ群
Ｇ２ 第２レンズ群
Ｇ２ａ 第２ａレンズ群
Ｇ２ｂ 第２ｂレンズ群
Ｓ 絞り
Ｉｍ 像面

特開２００９−１９８８５５号公報 特開平 ９−１１３７９８号公報 特開昭 ６３− ６１２１３号公報

Claims (14)

1. 物体側から像側へ向かって順に、第１レンズ群、正のパワーの第２レンズ群を配してなり、
   前記第１レンズ群は、物体側から像側へ向かって順に、負のパワーの第１ａレンズ群、正のパワーの第１ｂレンズ群を配して構成され、前記第２レンズ群は物体側から像側へ向かって順に、正のパワーの第２ａレンズ群、絞り、正のパワーの第２ｂレンズ群を配して構成され、
   前記第１ａレンズ群は、物体側から像側に向かって順に、負レンズＬ１１、負レンズＬ１２を配して構成され、
   前記第１ｂレンズ群は、正レンズＬ１３により構成され、
   前記第１レンズ群の群内におけるレンズ面間隔は、前記負レンズＬ１２と前記正レンズＬ１３との間で最大であり、
   前記第２ａレンズ群は、物体側から像側に向かって順に、正レンズＬ２１と負レンズＬ２２を配して構成され、
   無限遠物体から近距離物体へのフォーカシングの際に、前記第２レンズ群が物体側へ移動し、前記第１レンズ群の焦点距離：ｆ１、前記無限遠物体にフォーカシングした状態における全系の焦点距離：ｆが、条件：
   （１Ａ） −０．１＜ｆ／ｆ１＜０．１
   を満足する結像レンズ系。
2. 請求項１記載の結像レンズ系であって、
   前記第２ａレンズ群の焦点距離：ｆ２ａ、前記第２ｂレンズ群の焦点距離：ｆ２ｂが、条件：
   （４） １．０＜ｆ２ａ／ｆ２ｂ＜１．８
   を満足する結像レンズ系。
3. 物体側から像側へ向かって順に、第１レンズ群、正のパワーの第２レンズ群を配してなり、
   前記第１レンズ群は、物体側から像側へ向かって順に、負のパワーの第１ａレンズ群、正のパワーの第１ｂレンズ群を配して構成され、前記第２レンズ群は物体側から像側へ向かって順に、正のパワーの第２ａレンズ群、絞り、正のパワーの第２ｂレンズ群を配して構成され、
   前記第１ａレンズ群は、物体側から像側に向かって順に、負レンズＬ１１、負レンズＬ１２を配して構成され、
   前記第１ｂレンズ群は、正レンズＬ１３により構成され、
   前記第１レンズ群の群内におけるレンズ面間隔は、前記負レンズＬ１２と前記正レンズＬ１３との間で最大であり、
   前記第２ａレンズ群は、物体側から像側に向かって順に、正レンズＬ２１と負レンズＬ２２を配して構成され、
   無限遠物体から近距離物体へのフォーカシングの際に、前記第２レンズ群が物体側へ移動し、前記第１レンズ群の焦点距離：ｆ１、前記無限遠物体にフォーカシングした状態における全系の焦点距離：ｆ、前記第２ａレンズ群の焦点距離：ｆ２ａ、前記第２ｂレンズ群の焦点距離：ｆ２ｂが、条件：
   （１） −０．１５＜ｆ／ｆ１＜０．１５
   （４） １．０＜ｆ２ａ／ｆ２ｂ＜１．８
   を満足する結像レンズ系。
4. 請求項１ないし３の何れか１項に記載の結像レンズ系であって、
   前記無限遠物体から前記近距離物体までフォーカシングする際に、前記第１レンズ群が固定される結像レンズ系。
5. 請求項１ないし４の何れか１項に記載の結像レンズ系であって、
   前記無限遠物体から倍率：−０．１倍になる近距離物体までのフォーカシングに際しての、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔の変化量：Ｄ＿ｆｏｃ、前記全系の焦点距離：ｆが、条件：
   （２） ０．０５＜Ｄ＿ｆｏｃ／ｆ＜０．１５
   を満足する結像レンズ系。
6. 請求項１ないし５の何れか１項に記載の結像レンズ系であって、
   前記無限遠物体にフォーカシングした状態における前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔：Ｄ１２、前記全系の焦点距離：ｆが、条件：
   （３） ０．２＜Ｄ１２／ｆ＜０．４
   を満足する結像レンズ系。
7. 請求項１ないし６の何れか１項に記載の結像レンズ系であって、
   前記第１ａレンズ群と前記第１ｂレンズ群との間隔：Ｄ１ａｂ、前記第１レンズ群の群厚：Ｄ１が、条件：
   （５） ０．３＜Ｄ１ａｂ／Ｄ１＜０．５
   を満足する結像レンズ系。
8. 請求項１ないし７の何れか１項に記載の結像レンズ系であって、
   前記第２ａレンズ群の前記正レンズＬ２１と前記負レンズＬ２２が接合され、接合面は物体側に凹であり、前記接合面の曲率半径：Ｒａ、前記全系の焦点距離：ｆが、条件：
   （６） −１．５＜Ｒａ／ｆ＜−０．５
   を満足する結像レンズ系。
9. 請求項１ないし８の何れか１項に記載の結像レンズ系であって、
   前記第２ａレンズ群と前記第２ｂレンズ群との間隔：Ｄ２ａｂ、前記第２レンズ群の群厚：Ｄ２が、条件：
   （７） ０．２＜Ｄ２ａｂ／Ｄ２＜０．４
   を満足する結像レンズ系。
10. 請求項１ないし９の何れか１項に記載の結像レンズ系であって、
    屈折率：ｎ _ｄ 、アッベ数：ν _ｄ 、部分分散比：Ｐ _ｇ，Ｆ が、条件：
    （８） １．７８＜ｎ _ｄ ＜２．００
    （９） ２０．０＜ν _ｄ ＜３２．０
    （１０）０．００５＜Ｐ _ｇ，Ｆ −（−０．００１８０２ν _ｄ ＋０．６４８３）＜０．００９
    を満足する硝材により、前記負レンズＬ２２が形成されている結像レンズ系。
11. 請求項１ないし１０の何れか１項に記載の結像レンズ系であって、
    前記第２ｂレンズ群が、物体側から像側に向かって順に、物体側が凹面である負レンズＬ２３、正レンズＬ２４、負レンズＬ２５、正レンズＬ２６、正レンズＬ２７を配して構成される結像レンズ系。
12. 請求項１ないし１１の何れか１項に記載の結像レンズ系を、撮影用光学系として有する撮像装置。
13. 請求項１２記載の撮像装置であって、前記撮影用光学系による像を撮像する固体撮像素子を有する撮像装置。
14. 検査対象の像を結像する結像レンズ系と、該結像レンズ系により結像された前記検査対象の像を撮像する固体撮像素子と、該固体撮像素子が出力する画像情報に基づき、前記検査対象に対する検査プロセスを実行する検査プロセス実行手段とを有し、
    前記結像レンズ系として、請求項１ないし１１の何れか１項に記載の結像レンズ系を用いる検査装置。

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