JP6601162B2 - 結像レンズ系および撮像装置および検査装置 - Google Patents
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Description
特許文献1〜3に記載されている結像レンズ系はレトロフォーカス型であるが、歪曲収差は数%と大きい。
(1) 0.3<D1ab/DA<0.5
を満足する。
図1ないし図4に結像レンズ系の実施の形態を4例示す。
これら4例の実施の形態は、後述する結像レンズ系の実施例1ないし4に、図示の順序で対応している。繁雑を避けるため、図1ないし図4において、符号を共通化する。
図1ないし図4における図の左方は「物体側」、右方は「像側」である。これらの実施の形態では、結像レンズ系による「物体の像」を固体撮像素子により撮像する場合が想定されており、図中、符号Imは像面(固体撮像素子の受光面に合致する)を示す。像面Imの物体側の符号Gは、固体撮像素子のカバーガラスや各種フィルタを、これらに等価な透明平行平板として示している。
第1レンズ群G1は「正のパワー」を有し、第2レンズ群G2も「正のパワー」を有する。第1レンズ群G1は、物体側から像側へ向かって順に、第1aレンズ群G1a、第1bレンズ群G1b、第1cレンズ群G1cを配してなる。
第1aレンズ群G1aは、物体側から像側へ向かって順に、負レンズL11、負レンズL12を配してなり、負のパワーを持つ。
第1bレンズ群G1bは、1枚の正レンズL14で構成され、正のパワーを持つ。
第1cレンズ群G1cは、物体側から像側へ向かって順に、正レンズL14、負レンズL15を配してなり、正のパワーを持つ。
図1ないし図4の例では、正レンズL14と負レンズL15は接合され、接合面が「物体側に凹」の形状となっているが、接合されない構成も可能である。
絞りSより像側に配される第2レンズ群G2は、物体側から像側へ向かって順に、物体側が凹面である負レンズL21、正レンズL22、負レンズL23、正レンズL24、正レンズL25を配して構成されている。
図1ないし図4に示す例では、第2レンズ群G2の負レンズL21と正レンズL22は接合されているが、これらを接合させない構成も可能である。
(1) 0.3<D1ab/DA<0.5 。
また、距離:DAは、負レンズL11の物体側のレンズ面から、正レンズL13の像側レンズ面までの光軸上の距離である。
負のパワーの第1aレンズ群G1aと正のパワーの第1bレンズ群G1bの間に「第1レンズ群内で最も大きいレンズ面間隔」を配することにより、第1aレンズ群G1aで発生する収差を、第1bレンズ群G1bで十分に補正することが可能となる。
第1aレンズ群G1aの負のパワーを、負レンズL11と負レンズL12とに分担させることにより、これらの負レンズの各レンズ面で発生する収差を抑制できる。そして、負レンズL12と正レンズL13とのレンズ面間隔を大きく確保することにより、第1aレンズ群G1aで発生する収差を、1枚の正レンズL13で構成された第1bレンズ群G1bにより良好に補正することが可能である。
如上の構成は「歪曲収差の良好な補正」に有効であり、上記構成において条件(1)が満足されることにより、歪曲収差を十分に小さく抑えつつ、他の収差の良好な補正が可能となり、高性能を達成可能である。
条件(1)が満足される範囲では、第1aレンズ群G1aと第1bレンズ群G1bとの間隔が十分にあり、第1aレンズ群G1aで発生する収差を、第1bレンズ群G1bで補正することが十分に可能となる。
条件(1)の上限を超えると、第1aレンズ群G1aと第1bレンズ群G1bとの間隔が過大となり、下限を超えると前記間隔が過小となり、いずれにしても、第1aレンズ群G1aで発生する収差を、第1bレンズ群G1bで十分に補正することが難しくなる。
(1A) 0.35< D1ab/DA <0.5 。
(2) 1.0<f1_1/f1_2<2.5
(3) −0.4<(R22−R31)/(R22+R31)<−0.2
(4) −2.0<f1b/f1a<−1.0
(5) 1.0<f1c/f2<1.8
(6) 0.2<D12/DB<0.4
(7) −1.5<Ra/f<−0.5
なお、条件(3)は、第1aレンズ群G1aの負レンズL12の「像側面が凹面」で、第1cレンズ群G1cの正レンズL13の「物体側が凸面」であることが前提である。
また、条件(7)は、第1cレンズ群G1cを構成する正レンズL14と負レンズL15を「接合レンズ」とし、接合面を「物体側に凹」とすることが前提である。
「f1_1」は、第1aレンズ群G1aの負レンズL11の焦点距離である。
「f1_2」は、第1aレンズ群G1aの負レンズL12の焦点距離である。
「R22」は、第1aレンズ群G1aの負レンズL12の像側面の曲率半径である。
「R31」は、第1bレンズ群G1bの正レンズL13の物体側面の曲率半径である。
「f1a」は、第1aレンズ群G1aの焦点距離である。
「f1b」は、第1bレンズ群G1bの焦点距離である。
「f1c」は、第1cレンズ群G1cの焦点距離である。
「f2」は、第2レンズ群G2の焦点距離である。
「D12」は、第1レンズ群G1と第2レンズ群G2の間隔(負レンズL15の像側のレンズ面と、第2レンズ群G2の「最も絞りS側のレンズ面」との光軸上の距離)である。
「DB」は、第1cレンズ群G1cの最も物体側のレンズ面から第2レンズ群G2の最も像側のレンズ面までの光軸上の距離である。
「Ra」は、正レンズL14と負レンズL15との接合面の曲率半径(<0)である。
条件(2)を満足することにより、第1aレンズ群G1aの負のパワーを、2枚の負レンズL11、L12に「バランスよく」分担させることができ、これらレンズの各面で発生する収差を小さくでき、結像レンズ系全体の十分な収差補正が可能となる。
条件(2)の上限(下限)を超えると、負レンズL12(L11)の負のパワーが第1aレンズ群G1a内で相対的に過大となって、各面で発生する収差の「差異」が大きくなり、結像レンズ系全体での「収差の補正」が難しくなり易い。
負レンズL12、正レンズL13の「向かい合う面」を上記の如くすると「これらの向かい合うレンズ面」により「凹面を像側に向けたメニスカス形状の空気レンズ」が形成される。
条件(3)を満足すると、負レンズL12の像側面で発生する収差を、正レンズL13の物体側面で良好に相殺(補正)することができ、第1レンズ群G1内での収差の発生を低減でき、結像レンズ系全体での収差補正が「より容易」になる。
条件(3)の範囲外では、負レンズL12の像側面で発生する収差を正レンズL13の物体側面の収差で良好に相殺することが難しくなる。
条件(4)の上限(下限)を超えると、第1bレンズ群G1bの正のパワーが過大(過小)となり、第1aレンズ群G1aで発生した収差を第1bレンズ群G1bで補正することが難しくなる。
条件(5)は、絞りSの物体側にある第1cレンズ群G1cと、絞りSの像側にある第2レンズ群G2の正のパワーを良好にバランスさせる条件である。
条件(5)の上限を超えると、第2レンズ群G2の正のパワーが、第1cレンズ群G1cの正のパワーに対し相対的に過大となり、第1レンズ群G1で発生する収差を、第2レンズ群G2内で補正することが難しくなる。
条件(5)の下限を超えると、第2レンズ群G2の正のパワーに対して、第1cレンズ群G1cの正のパワーが過大となり、第2レンズ群G2の収差補正能力を超える収差が、第1cレンズ群で発生し易い。
条件(6)の下限を超えると、第1cレンズ群G1cと第2レンズ群G2との間隔が過小となり、第1cレンズ群G1cで発生した収差を第2レンズ群G2で補正することが困難となり易い。
条件(7)は、上述の如く、第1cレンズ群G1cの正レンズL14と負レンズL15とを「物体側に凹となる接合面」で接合する場合の条件であり、パラメータ:Ra/fは、接合面の曲率半径を全系の焦点距離で規格化したものである。
条件(7)を満足することにより、第1cレンズ群G1cの「色収差補正機能」が良好に発揮され、単色収差を補正しつつ、色収差を十分に補正することが可能になる。
図1ないし図4に示す実施の形態で、第2レンズ群G2として例示された「物体側から像側に向かって順に、物体側が凹面である負レンズL21、正レンズL22、負レンズL23、正レンズL24、正レンズL25を配した5枚構成」で、第2レンズ群G2の負レンズL21と正レンズL22が接合されたものは、第2レンズ群G2の構成として好適なものの1例である。
後述する実施例1ないし4に示す例では、第2レンズ群G2のこのような構成により、像面Imへの入射角を小さく、各種収差の十分な補正が実現されている。
さらに、この発明の結像レンズ系は実施例1ないし4に示すように「球面レンズのみ」で構成できる。勿論、非球面レンズを用いてもよいが、球面レンズのみで構成される結像レンズ系は、製造コストの面から有利である。
(8) 1.78<nd<2.00
(9) 20.0<νd<32.0
(10) 0.005<Pg,F−(−0.001802νd+0.6483)<0.009
条件(8)ないし(10)における「nd、νdおよびPg,F」は、それぞれ、「d線に対する屈折力、アッベ数、および部分分散比」である。
部分分散比:Pg,Fは、g線、F線、C線に対する屈折率:ng,nF,nCを用いて、次式:Pg,F=(ng−nF)/(nF−nC)
で定義される。
条件(8)ないし(10)を満足する高屈折率で「高分散でありながら異常分散性を有する硝材」で、負レンズL15を形成することにより、結像レンズ系の単色収差を十分に補正しつつ色収差を十分に補正することが容易になる。
即ち、例えば「負レンズL11」は「負レンズL11という名称の負レンズ」である。
上記の如く「L11ないしL15、L21ないしL25」はレンズの名称の一部であるから、各請求項に記載されたレンズの形態や材料等が、実施の形態や実施例として説明された各レンズのものに限定されるものでないことは言うまでもない。
図17に示すカメラ装置のシステム構成は、図18に示すように、撮像用光学系としての撮影レンズ1と「固体撮像素子」である受光素子13を有し、撮影レンズ1によって形成される撮影対象物の像を受光素子13によって撮像するように構成されている。
受光素子13からの出力は、中央演算装置11の制御を受ける信号処理装置14により
処理されてデジタル情報に変換される。
デジタル情報に変換された画像は、液晶モニタ7に表示され、半導体メモリ15に記憶され、あるいは通信カード16により外部への通信に供される。「撮像装置」のより簡素な構成としては「通信機能を除いた部分」で構成したものを挙げることができる。
撮影レンズ1としては、請求項1ないし8の何れか1項に記載の結像レンズ系が用いられ、具体的には後述する実施例1ないし4の「結像レンズ系」を用いることができる。
シャッタボタン4をさらに押し込むと撮影がなされ、その後は上記の処理がなされる。
撮影レンズ1はカメラ装置の携帯時には、図17(A)に示すように「沈胴状態」にあり、電源スイッチ6(同図(B))の操作により電源が入ると筐体5から鏡胴が繰り出される。鏡胴が繰り出された状態では、撮影レンズ1は「無限遠物体に合焦した」状態である。
また、図17、図18に示す撮像装置は、撮影用光学系である結像レンズ系による像を撮像する固体撮像素子(受光素子13)を有する。
この撮像装置は、上記の如く「通信機能」を有しているので、所謂[携帯情報端末装置]としての機能も有している。
以下に説明する検査装置は、所謂「製品検査」を行うための検査装置である。
製品検査には種々の検査や検査項目があり得るが、簡単のために多数個が製造される製品の「傷の有無」を検査する場合を例にとって説明する。
図19(a)において、符号20は「撮像部」、符号23は「検査プロセス実行部」を示し、符号24は「表示部」を示す。また、符号Wは「製品」、符号26は「製品搬送ベルト」を示している。
撮像部20は、結像光学系21と画像処理部22とを有する。
検査対象としての製品Wは、製品搬送ベルト26上に等間隔に置かれ、搬送ベルト26により矢印方向(図の右方)へ等速的に搬送される。
結像光学系21は、検査対象である製品Wの像を結像するものであり、この発明の結像レンズ系が用いられる。具体的には後述の実施例1ないし4の何れかの結像レンズ系を用いることができる。
即ち、搬送ベルト26により搬送される製品Wの大きさや形状、傷の有無を検査する部位等に応じて、結像レンズ系21の撮影位置、撮影態位(結像レンズ系の向きや撮影対象との距離、即ち、物体距離)を定める。
そして、有無を検出すべき「傷」の位置や大きさに応じて、結像レンズ系21をフォーカシングする。実施例1ないし4の結像レンズ系は「フォーカシング機能」を持つので、検査項目(説明中の例では傷の有無)に応じて、適切に設定された物体距離に合わせてフォーカシングを行うことができる。
撮影は、画像処理部22に配置された固体撮像素子による撮像で行われ、固体撮像素子により撮像された画像は「画像情報」とされ、デジタルデータ化する画像処理が行われる。
「検査工程」では、製品Wが、搬送ベルト26上に「モデル製品と同一態位」に置かれ、搬送ベルト26により順次搬送される。そして、搬送される個々の製品Wが「検査位置」を通過する際に、結像レンズ系21による撮影が行われ、画像処理部22でデジタルデータ化されて、検査プロセス実行部23に送られる。
検査プロセス実行部23は「コンピュータやCPU」として構成され、画像処理部22を制御し、また、画像処理部22を介して結像レンズ系21の撮影やフォーカシングを制御する。
また、製品Wに傷が無い場合は、該製品の画像データとモデルデータが合致するので、この場合は、当該製品が「良品」であると判定する。
「結果表示工程」は、検査プロセス実行部23による個々の製品の「良品、不良品」の判定結果を、表示部24に表示する工程である。
なお、装置の構成上は、検査プロセス実行部23と表示部24とが「検査プロセス実行手段」を構成する。
前述の如く、固体撮像素子の受光面に合致される像面Imの物体側の符号Gは、固体撮像素子のカバーガラスや各種フィルタ(光学ローパスフィルタや赤外カットフィルタ等)を、これらに等価な透明平行平板として示している。
f:無限遠物体にフォーカシングした状態における全系の焦点距離
F:Fナンバ
ω:半画角(度)
R :曲率半径
D:面間隔
N:d線に対する屈折率
ν:アッベ数
φ:有効光線径
なお、「長さの次元を持つ量」の単位は、特に断らない限り「mm」である。
具体的には、無限遠物体から近距離物体へのフォーカシングの際「第1cレンズ群G1cと絞りSと第2レンズ群G2」が一体として物体側へ移動する。
焦点距離f:16.00mm 、Fナンバ:F1.80 、画角2ω:53.2度
実施例1のデータを表1に示す。表1の最も左の欄は、物体側から数えた面の番号(面番)であり「絞りの面」を含む。
「可変間隔」は、第1bレンズ群G1bと第1cレンズ群G1cとの面間隔で、フォーカシングに伴い変化する。実施例1において可変間隔は面番6と面番7の間隔:D6(「A」と表示)である。
条件(1)ないし(10)にかかる各パラメータの値を表3に示す。
焦点距離f:16.00mm 、Fナンバ:F1.80 、画角2ω:53.2度
実施例2のデータを表4に示す。
実施例2の可変間隔を表5に示す。
条件(1)ないし(10)にかかる各パラメータの値を表6に示す。
焦点距離f:16.00mm 、Fナンバ:F1.80 、画角2ω:53.2度
実施例3のデータを表7に示す。
実施例3の可変間隔を表8に示す。
条件(1)ないし(10)にかかる各パラメータの値を表9に示す。
焦点距離f:16.00mm 、Fナンバ:F1.80 、画角2ω:53.2度
実施例4のデータを表10に示す。
実施例4の可変間隔を表11に示す。
条件(1)ないし(10)にかかる各パラメータの値を表12に示す。
図5は、実施例1の結像レンズ系の、無限遠物体にフォーカシングした状態における収差図である。図6は、実施例1の結像レンズ系の、倍率が−0.05倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。図7は、実施例1の結像レンズ系の、倍率が−0.1倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。
球面収差の図中の破線は「正弦条件」を示し、非点収差の図中の実線は「サジタル」、破線は「メリディオナル」を表す。また「細い線」はd線、「太い線」はg線に対する収差曲線図である。他の実施例の収差図においても同様である。
図11は、実施例3の結像レンズ系の、無限遠物体にフォーカシングした状態における収差図である。図12は、実施例3の結像レンズ系の、倍率が−0.05倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。図13は、実施例3の結像レンズ系の、倍率が−0.1倍となる物体にフォーカシングした状態における収差図である。
これら収差図に示されたように、実施例1ないし4とも、各収差は高いレベルで補正され、球面収差、軸上色収差は問題にならないほど小さい。非点収差、像面湾曲、倍率色収差も十分に小さく、コマ収差やその色差の乱れも最周辺部まで良く抑えられている。
特に、歪曲収差は、物体距離に拘らず絶対値で0.5%程度と良好に補正されている。
また、各実施例とも、構成レンズ枚数は10枚と少なく、小型である。これら実施例1ないし4の結像レンズ系は、固体撮像素子とともに使用する場合、600〜1000万画素の撮像素子に対応した解像力を有している。
また、絞り開放から高コントラストで画角の周辺部まで「点像の崩れ」なしに、直線を直線として歪みなく描写可能で、無限遠物体から近距離物体まで高性能である。
固体撮像素子による撮像を行なう場合、撮像された画像データを「電子的な演算処理」することにより、歪曲収差を補正できることが知られている。
このような歪曲収差の「電子的な演算による補正」は有効ではあるが、上に説明した検査装置の実施の形態で実行しようとすると、補正演算のための時間が「検査能率」の向上を制限する要因になる。
上に挙げた実施例の結像レンズ系では「歪曲収差が極めて良好に補正」されているので、検査装置に用いても、歪曲収差を電子的に補正する必要が無く、高速の検査処理が可能である。
絞り(S)の物体側に正のパワーの第1レンズ群(G1)、絞りの像側に正のパワーの第2レンズ群(G2)を配してなり、第1レンズ群は、物体側から像側へ向かって順に、負のパワーの第1aレンズ群(G1a)、正のパワーの第1bレンズ群(G1b)、正のパワーの第1cレンズ群(G1c)を配してなり、第1aレンズ群は、物体側から像側へ向かって順に、負レンズL11、負レンズL12を配してなり、第1bレンズ群は正レンズL13により構成され、第1cレンズ群は物体側から像側へ向かって順に、正レンズL14、負レンズL15を配してなり、負レンズL12と正レンズL13との間のレンズ面間隔が、第1レンズ群(G1)の群内において最大であり、第1aレンズ群と第1bレンズ群の群間隔:D1ab、第1aレンズ群の最も物体側のレンズ面から第1bレンズ群の最も像側のレンズ面までの光軸上の距離:DAが、条件:
(1) 0.3<D1ab/DA<0.5
を満足する結像レンズ系。
[1]記載の結像レンズ系であって、第1aレンズ群(G1a)の、負レンズL11の焦点距離:f1_1、負レンズL12の焦点距離:f1_2が、条件:
(2) 1.0<f1_1/f1_2<2.5
を満足する結像レンズ系。
[1]または[2]記載の結像レンズ系であって、第1aレンズ群(G1a)の負レンズL12は像側が凹面であり、第1cレンズ群(G1c)の正レンズL13は物体側が凸面であり、負レンズL12の像側面の曲率半径:R22、正レンズL13の物体側面の曲率半径:R31が、条件:
(3) −0.4<(R22−R31)/(R22+R31)<−0.2
を満足する結像レンズ系。
[1]ないし[3]の何れか1に記載の結像レンズ系であって、第1aレンズ群(G1a)の焦点距離:f1a、第1bレンズ群(G1b)の焦点距離:f1bが、
条件:
(4) −2.0<f1b/f1a<−1.0
を満足する結像レンズ系。
[1]ないし[4]の何れか1に記載の結像レンズ系であって、第1cレンズ群(G1c)の焦点距離:f1c、第2レンズ群(G2)の焦点距離:f2が、条件:
(5) 1.0<f1c/f2<1.8
を満足する結像レンズ系。
[6]
[1]ないし[5]の何れか1に記載の結像レンズ系であって、第1レンズ群(G1)と第2レンズ群(G2)との群間隔:D12、第1cレンズ群(G1c)の最も物体側のレンズ面から第2レンズ群(G2)の最も像側のレンズ面までの光軸上の距離:DBが、条件:
(6) 0.2<D12/DB<0.4
を満足する結像レンズ系。
[1]ないし[6]の何れか1に記載の結像レンズ系であって、第1cレンズ群(G1c)の正レンズL14と負レンズL15が接合され、接合面は物体側に凹であり、Raは前記接合面の曲率半径:Ra、全系の焦点距離:fが、条件:
(7) −1.5<Ra/f<−0.5
を満足する結像レンズ系。
[1]ないし[7]の何れか1項に記載の結像レンズ系であって、屈折率:nd、アッベ数:νd、部分分散比:Pg,Fが、条件:
(8) 1.78<nd<2.00
(9) 20.0<νd<32.0
(10) 0.005<Pg,F−(−0.001802νd+0.6483)<0.009
を満足する硝材により、負レンズL15が形成されている結像レンズ系。
[1]ないし[8]の何れか1に記載の結像レンズ系を、撮影用光学系として有する撮像装置。
[9]記載の撮像装置であって、撮影用光学系による像を撮像する固体撮像素子(13)を有する撮像装置。
検査対象(W)の像を結像する結像レンズ系(21)と、該結像レンズ系により結像された検査対象の像を撮像する固体撮像素子と、該固体撮像素子が出力する画像情報に基づき、検査対象に対する検査プロセスを実行する検査プロセス実行手段(23、24)とを有し、結像レンズ系(21)として、[1]ないし[8]の何れか1に記載の結像レンズ系を用いる検査装置。
この発明の実施の形態に記載された効果は、発明から生じる好適な効果を列挙したに過ぎず、発明による効果は「実施の形態に記載されたもの」に限定されるものではない。
G1a 第1aレンズ群
G1c 第1cレンズ群
G1b 第1bレンズ群
G2 第2レンズ群
S 絞り
Im 像面
Claims (11)
- 絞りの物体側に正のパワーの第1レンズ群、前記絞りの像側に正のパワーの第2レンズ群を配してなり、
前記第1レンズ群は、物体側から像側へ向かって順に、負のパワーの第1aレンズ群、正のパワーの第1bレンズ群、正のパワーの第1cレンズ群を配してなり、
前記第1aレンズ群は、物体側から像側へ向かって順に、負レンズL11、負レンズL12を配してなり、前記第1bレンズ群は正レンズL13により構成され、前記第1cレンズ群は物体側から像側へ向かって順に、正レンズL14、負レンズL15を配してなり、
前記負レンズL12と前記正レンズL13との間のレンズ面間隔が、前記第1レンズ群の群内において最大であり、
前記第2レンズ群は、物体側から像側に向かって順に、物体側が凹面である負レンズL21、正レンズL22、負レンズL23、正レンズL24、正レンズL25を配して構成され、
前記第1aレンズ群と前記第1bレンズ群の群間隔:D1ab、前記第1aレンズ群の最も物体側のレンズ面から前記第1bレンズ群の最も像側のレンズ面までの光軸上の距離:DAが、条件:
(1) 0.3<D1ab/DA<0.5
を満足する結像レンズ系。 - 請求項1記載の結像レンズ系であって、
前記第1aレンズ群の、前記負レンズL11の焦点距離:f1_1、前記負レンズL12の焦点距離:f1_2が、条件:
(2) 1.0<f1_1/f1_2<2.5
を満足する結像レンズ系。 - 請求項1または2記載の結像レンズ系であって、
前記第1aレンズ群の負レンズL12は像側が凹面であり、
前記第1cレンズ群の正レンズL13は物体側が凸面であり、
前記負レンズL12の像側面の曲率半径:R22、前記正レンズL13の物体側面の曲率半径:R31が、条件:
(3) −0.4<(R22−R31)/(R22+R31)<−0.2
を満足する結像レンズ系。 - 請求項1ないし3の何れか1項に記載の結像レンズ系であって、
前記第1aレンズ群の焦点距離:f1a、前記第1bレンズ群の焦点距離:f1bが、
条件:
(4) −2.0<f1b/f1a<−1.0
を満足する結像レンズ系。 - 請求項1ないし4の何れか1項に記載の結像レンズ系であって、
前記第1cレンズ群の焦点距離:f1c、前記第2レンズ群の焦点距離:f2が、条件:
(5) 1.0<f1c/f2<1.8
を満足する結像レンズ系。 - 請求項1ないし5の何れか1項に記載の結像レンズ系であって、
前記第1レンズ群と前記第2レンズ群との群間隔:D12、前記第1cレンズ群の最も物体側のレンズ面から前記第2レンズ群の最も像側のレンズ面までの光軸上の距離:DBが、条件:
(6) 0.2<D12/DB<0.4
を満足する結像レンズ系。 - 請求項1ないし6の何れか1項に記載の結像レンズ系であって、
前記第1cレンズ群の前記正レンズL14と前記負レンズL15が接合され、接合面は物体側に凹であり、Raは前記接合面の曲率半径:Ra、全系の焦点距離:fが、条件:
(7) −1.5<Ra/f<−0.5
を満足する結像レンズ系。 - 請求項1ないし7の何れか1項に記載の結像レンズ系であって、
屈折率:n d 、アッベ数:ν d 、部分分散比:P g,F が、条件:
(8) 1.78<n d <2.00
(9) 20.0<ν d <32.0
(10) 0.005<P g,F −(−0.001802ν d +0.6483)<0.009
を満足する硝材により、前記負レンズL15が形成されている結像レンズ系。 - 請求項1ないし8の何れか1項に記載の結像レンズ系を、撮影用光学系として有する撮像装置。
- 請求項9記載の撮像装置であって、前記撮影用光学系による像を撮像する固体撮像素子を有する撮像装置。
- 検査対象の像を結像する結像レンズ系と、該結像レンズ系により結像された前記検査対象の像を撮像する固体撮像素子と、該固体撮像素子が出力する画像情報に基づき、前記検査対象に対する検査プロセスを実行する検査プロセス実行手段とを有し、
前記結像レンズ系として、請求項1ないし8の何れか1項に記載の結像レンズ系を用いる検査装置。
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