JP6601854B1

JP6601854B1 - 蛍光ｘ線分析システム

Info

Publication number: JP6601854B1
Application number: JP2018118215A
Authority: JP
Inventors: 広明喜多; 清逸栗田
Original assignee: Rigaku Corp
Current assignee: Rigaku Corp
Priority date: 2018-06-21
Filing date: 2018-06-21
Publication date: 2019-11-06
Anticipated expiration: 2038-06-21
Also published as: JP2019219327A; US10948438B1; EP3812752A1; CN112074728A; EP3812752A4; EP3812752B1; US20210088459A1; WO2019244432A1; CN112074728B

Abstract

【課題】正確な測定時間を算出することのできる蛍光Ｘ線分析システムを提供する。【解決手段】試料の表面に１次Ｘ線を照射することによって発生した蛍光Ｘ線により試料の分析を行う蛍光Ｘ線分析システムであって、分析に要する動作を複数組み合わせて構成された測定条件を表すレシピと、該レシピが表す測定条件で測定される試料と、が関連付けられた処理条件を表すジョブを実行するジョブ実行部と、各動作に要する時間を該各動作と関連付けて予め記憶する記憶部と、ジョブが生成された場合に、記憶部に記憶された時間に基づいて、該ジョブの実行が終了するまでの時間をジョブごとに算出する算出部と、ジョブが実行された場合に、動作に要した時間を該動作と関連付けて記憶部に新たに記憶する制御部と、を有し、算出部は、さらに、ジョブが実行された場合に、記憶部が新たに記憶した時間に基づいて、ジョブの実行が終了するまでの時間を算出する。【選択図】図１

Description

本発明は、蛍光Ｘ線分析システム、に関する。

指示された動作が完了するまでに時間を要する装置には、当該動作が終了するまでの時間を計測する装置がある。

例えば、特許文献１は、試料を載置したステージを移動することで試料の特定の領域のみ測定するＸ線分析装置において、移動経路が複数ある場合に測定時間が短くなる経路をシミュレーションするＸ線分析装置を開示している。

特許文献２は、算出した出現率と測定条件、異物あるいは欠陥の個数から、測定時間を算出する機能を有する走査電子顕微鏡を開示している。

特許文献３は、測定条件や測定開始の指示が入力されると、入力データに基づいて測定に要する時間及び測定の残余時間を表示する自動化学分析装置を開示している。

特許文献４は、測定完了までの時間を与えられた測定条件から自動的に算出して表示する測定機を開示している。

特許文献５は、走査モードや走査範囲などの入力された測定条件に基づいて、測定時間及び測定終了予定時刻を算出し、該算出した結果に基づいて測定終了予定時刻を表示する表示部を備えたＸ線分析装置を開示している。

特開２０１２−１８９３９９号公報特開２００１−３３８６０１号公報特開昭５９−０６１７７９号公報特開平０５−１０７０５１号公報特開昭６３−０３８１４８号公報

上記特許文献１乃至５に記載された各装置は、それぞれ予め設定された時間に基づいて時間を算出している。そのため、算出された時間は、機器の個体差や経時変化が考慮されておらず、正確な時間ではなかった。特に蛍光Ｘ線分析システムでは、真空度が一定値となるまでの時間など変化が大きく、測定時間を精度良く算出することができなかった。

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、蛍光Ｘ線分析システムごとに、その蛍光Ｘ線分析システムの状態を反映した正確な測定時間を算出することのできる蛍光Ｘ線分析システムを提供することにある。

請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析システムは、試料の表面に１次Ｘ線を照射することによって発生した蛍光Ｘ線により前記試料の分析を行う蛍光Ｘ線分析システムであって、前記分析に要する動作を複数組み合わせて構成された測定条件を表すレシピと、該レシピが表す測定条件で測定される前記試料と、が関連付けられた処理条件を表すジョブを実行するジョブ実行部と、前記各動作に要する時間を該各動作と関連付けて予め記憶する記憶部と、前記ジョブが生成された場合に、前記記憶部に記憶された時間に基づいて、該ジョブの実行が終了するまでの時間を前記ジョブごとに算出する算出部と、前記ジョブが実行された場合に、前記動作に要した時間を該動作と関連付けて前記記憶部に新たに記憶する制御部と、を有し、前記算出部は、さらに、前記ジョブが実行された場合に、前記記憶部が新たに記憶した時間に基づいて、前記ジョブの実行が終了するまでの時間を算出する、ことを特徴とする。

請求項２に記載の蛍光Ｘ線分析システムは、請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析システムにおいて、前記記憶部は、前記レシピが表す測定条件に含まれる一連の動作の実行に要する時間を該レシピと関連付けて予め記憶し、前記算出部は、前記ジョブが生成された場合に、前記レシピと関連付けて予め記憶された時間に基づいて、該ジョブの実行が終了するまでの時間を前記ジョブごとに算出し、前記制御部は、前記レシピが表す測定条件に含まれる一連の動作が実行された場合に、該一連の動作の実行に要した時間を該レシピと関連付けて前記記憶部に新たに記憶し、前記算出部は、さらに、前記レシピが表す測定条件が実行された場合に、前記記憶部が新たに記憶した時間に基づいて、前記ジョブの実行が終了するまでの時間を算出する、ことを特徴とする。

請求項３に記載の蛍光Ｘ線分析システムは、請求項２に記載の蛍光Ｘ線分析システムにおいて、前記ジョブは、前記記憶部に１または複数記憶され、前記制御部は、前記記憶されたジョブが複製されて新たな前記ジョブが生成された場合、複製元の前記ジョブと関連付けられた時間を、該新たな前記ジョブと関連付けて前記記憶部に記憶する、ことを特徴とする。

請求項４に記載の蛍光Ｘ線分析システムは、請求項３に記載の蛍光Ｘ線分析システムにおいて、前記制御部は、さらに、前記複製されたジョブが改変された場合、改変の程度を評価し、評価に応じて、複製元の前記ジョブと関連付けられた時間に改変に応じた修正を加えた時間を前記記憶部に記憶するか、もしくは、前記レシピと関連付けて予め記憶された時間と改変後のジョブの内容とに基づいて算出された時間を前記記憶部に記憶するか、を制御することを特徴とする。

請求項５に記載の蛍光Ｘ線分析システムは、請求項１乃至４のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析システムにおいて、前記算出部は、前記記憶部が直近に記憶した複数の前記時間の中央値に基づいて、前記ジョブの実行が終了するまでの時間を算出することを特徴とする。

請求項６に記載の蛍光Ｘ線分析システムは、請求項１乃至４のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析システムにおいて、前記算出部は、前記記憶部が直近に記憶した複数の前記時間の平均値に基づいて、前記ジョブの実行が終了するまでの時間を算出することを特徴とする。

請求項７に記載の蛍光Ｘ線分析システムは、請求項１乃至６のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析システムにおいて、さらに、前記ジョブの実行が終了するまでの時間を表示する表示部を有することを特徴とする。

請求項１、２、５及び６に記載の発明によれば、蛍光Ｘ線分析システムごとに、その蛍光Ｘ線分析システムの状態を反映した正確な測定時間を算出することができる。また、例えば、本蛍光Ｘ線分析システムが生産ラインに組み込まれている場合に、当該生産ラインに含まれる他の装置の待ち時間を減ずることにより生産効率を向上させることができる。

請求項３及び４に記載の発明によれば、ジョブが新たに生成された場合に、正確な測定時間を算出することができる。

請求項７に記載の発明によれば、ユーザが測定時間を容易に認識することができる。

本発明の実施形態に係る蛍光Ｘ線分析システムを概略的に示す図である。情報処理部の機能的構成を示す図である。動作テーブルの一例を示す図である。レシピテーブルの一例を示す図である。ジョブ管理テーブルの一例を示す図である。ジョブテーブルの一例を示す図である。レシピ作成画面の一例を示す図である。ジョブ作成画面の一例を示す図である。ジョブ実行画面の一例を示す図である。

以下、本発明を実施するための好適な実施の形態（以下、実施形態という）を、例としてＶＰＤ一体型全反射蛍光Ｘ線分析装置を用いて説明する。図１は本発明に係る蛍光Ｘ線分析システム１００を概略的に示す図である。

蛍光Ｘ線分析システム１００は、試料保管装置１０２と、搬送装置１０４と、蛍光Ｘ線分析装置１０６と、を有する。蛍光Ｘ線分析装置１０６は、ロードロック部１０８と、アライナー部１１０と、ＶＰＤ（Vapor Phase Decomposition）部１１２と、測定部１１４と、シャッター１１６と、情報処理部１１８と、表示部１２０と、を有する。

試料保管装置１０２は、測定対象となる試料１２８を保管する。具体的には、例えば、試料保管装置１０２は、キャリアが配置される。キャリアは、例えば、１ロット分の試料１２８を格納する収納具であって、試料保管装置１０２の内部に配置される。キャリアは、例えば、１ロットで２５個のＳｉ基板等の試料１２８が配置される。試料保管装置１０２は、例えば２ロット分のキャリアを格納する。

搬送装置１０４は、測定対象となる試料１２８を搬送する。具体的には、例えば、搬送装置１０４は、高さを変化できる台座部と、台座部を移動させるレール部と、試料１２８を載置するハンド部と、伸縮する伸縮部と、を有する。搬送装置１０４は、台座部と、レール部と、伸縮部が動作することにより、試料１２８を試料保管装置１０２と、蛍光Ｘ線分析装置１０６と、の間で搬送する。

なお、搬送装置１０４は、さらに蛍光Ｘ線分析装置１０６の内部に配置されてもよい。蛍光Ｘ線分析装置１０６の内部に配置された搬送装置１０４は、試料１２８をロードロック部１０８と、アライナー部１１０と、ＶＰＤ部１１２と、測定部１１４との間で搬送する。

ロードロック部１０８は、試料１２８の置かれる環境を真空から大気圧または大気圧から真空に変化させる。具体的には、例えば、試料１２８は、アライナー部１１０またはＶＰＤ部１１２からロードロック部１０８を経由して測定部１１４に搬送される。ロードロック部１０８は、真空ポンプ（図示なし）によりロードロック部１０８の内部から空気を排出し、試料１２８を真空環境に置く。また、ロードロック部１０８は、試料１２８をロードロック部１０８から試料保管装置１０２に搬送する前に、ロードロック部１０８の内部に空気をいれることにより、試料１２８を大気圧環境に置く。

アライナー部１１０は、試料１２８の位置合わせを行う。具体的には、アライナー部１１０は、ＶＰＤ処理における液滴の回収位置がずれないようにするために、アライナー部１１０の台座と試料１２８との位置関係をあわせる。

ＶＰＤ部１１２は、試料１２８に含まれる被測定物を回収する装置である。具体的には、例えば、試料１２８が、被測定物である不純物及び当該不純物が表面に付着した基板である場合について説明する。

まず、ＶＰＤ部１１２は、基板の表面に付着した不純物等を溶解する気体に曝して、不純物等を溶解する。次に、ＶＰＤ部１１２は、ノズルから基板に液滴を滴下するとともに、滴下された液滴を基板面上で移動させて、被測定物を液滴中に取り込む。次に、ＶＰＤ部１１２は、液滴に被測定物を回収した後、基板の予め設定した位置で液滴をノズルから離す。これにより、被測定物が取り込まれた液滴が基板上の所定の位置に残される。被測定物の回収は、基板表面の全面に対してだけでなく、基板表面の指定する部分やベベル部（基板のエッジ部）に対して行うこともできる。次に、ＶＰＤ部１１２は、液滴を乾燥させ、被測定物を基板の表面上に保持させる。

これにより、基板表面に付着した被測定物を１か所に集められる。ＶＰＤ処理により、被測定物が微量であったとしても蛍光Ｘ線分析を行うことが可能になる。なお、ＶＰＤ部１１２は、気相分解を行う気相分解部や、液滴を回収する液滴回収部を有するが、図１では簡略化して記載している。

測定部１１４は、試料１２８の表面に１次Ｘ線を全反射臨界角以下の微小角度で照射することによって発生した蛍光Ｘ線により試料１２８の分析を行う。具体的には、測定部１１４は、Ｘ線源１２２と、試料台１２４と、検出器１２６と、を有する。

Ｘ線源１２２は、蛍光Ｘ線を発生させる１次Ｘ線を、試料１２８の表面に照射する。試料台１２４は、測定対象となる試料１２８が配置される。試料台１２４は、試料１２８の位置合わせを行う。検出器１２６は、Ｓｉ（Ｌｉ）またはＳＤＤ等の検出器である。検出器１２６は、試料１２８の上（図面上手前側）に配置される。例えば、検出器１２６は、蛍光Ｘ線の強度を測定し、測定した蛍光Ｘ線のエネルギーに応じた波高値を有するパルス信号を出力する。また、検出器１２６の出力は、マルチチャンネルアナライザ等の計数器（図示なし）によって、波高値に応じて計数される。さらに、分析部（図示なし）は、計数器の計数結果から、検量線法やＦＰ（ファンダメンタルパラメータ）法により、試料１２８に含まれる元素を定量分析する。

シャッター１１６は、各部の境界に配置される。具体的には、シャッター１１６は、ロードロック部１０８の搬送装置１０４に向かう面と、ＶＰＤ部１１２の搬送装置１０４に向かう面と、ロードロック部１０８と測定部１１４の境界と、に配置される。シャッター１１６は、試料１２８を各部間で搬送するタイミングで開けられる。これにより、測定部１１４が真空状態に保たれる。また、ＶＰＤ部１１２内部の気体が、アライナー部１１０やロードロック部１０８に流入することが防止される。

情報処理部１１８は、蛍光Ｘ線分析装置１０６の各部の動作を制御する。具体的には、例えば、情報処理部１１８は、ＰＣ（Personal Computer）であって、測定部１１４の動作やシャッター１１６の開閉等を制御する。

図２は、情報処理部１１８の機能的な構成を示すブロック図である。情報処理部１１８は、ジョブ実行部２０２と、記憶部２０４と、算出部２０６と、制御部２０８と、を含む。

ジョブ実行部２０２は、ジョブを実行する。具体的には、ジョブ実行部２０２は、分析に要する動作を複数組み合わせて構成された測定条件を表すレシピと、該レシピが表す測定条件で測定される試料１２８と、が関連付けられた処理条件を表すジョブを実行する。

ジョブは、キャリア内の測定対象に指定された１つまたは複数の試料１２８と、各試料１２８の測定条件を表すレシピと、を関連付けた一連の処理の実行条件である。ジョブは、記憶部２０４に１または複数記憶される。レシピは、例えば図４に示すようなＶＰＤ処理やＸ線測定の測定条件である。

記憶部２０４は、各動作に要する時間を該各動作と関連付けて予め記憶する。具体的には、記憶部２０４は、例えば、主記憶部（例えばＲＡＭ）及び補助記憶部（例えば、不揮発性の半導体メモリ、ハードディスクドライブ、又はソリッドステートドライブ）である。また、記憶部２０４は、プログラムや後述する各種テーブルを記憶する。

図３は、記憶部２０４に記憶される動作テーブルの一例を示す図である。図３に示すように、動作テーブルは、動作ＩＤフィールド、動作フィールド、パラメータフィールド、処理時間フィールドを含む。なお、処理時間フィールドは、少なくとも処理時間１フィールドを含み、蛍光Ｘ線分析装置１０６の状態に応じて、処理時間２フィールド乃至処理時間ｎフィールドを含む。

動作ＩＤフィールドは、各動作を一意に識別する情報を示す。例えば、図３に示すように、搬送１に対応する動作ＩＤは「０」であり、ＶＰＤ処理１に対応する動作ＩＤは「９」である。

動作フィールドは、蛍光Ｘ線分析システム１００が実行する動作の上位カテゴリを示す。具体的には、図３の搬送１乃至搬送８は、試料保管装置１０２、ロードロック部１０８、アライナー部１１０、ＶＰＤ部１１２及び測定部１１４の間で、試料１２８を搬送する動作であることを示す。搬送９は、測定点間で試料１２８を移動させる動作であることを示す。ＶＰＤ処理１乃至ＶＰＤ処理４は、試料１２８を気体に曝して溶解し回収する動作であることを示す。測定１乃至測定５は、試料１２８に含まれる元素を分析するために測定部１１４が実行する各動作であることを示す。

パラメータフィールドは、蛍光Ｘ線分析システム１００が実行する動作の下位カテゴリを示す。具体的には、図３に示すように、「搬送１」と関連づけられたパラメータフィールドは、「試料保管装置１０２からアライナー部１１０」である。同様に、「搬送２」と関連づけられたパラメータフィールドは、「アライナー部１１０からロードロック部１０８」である。「搬送３」と関連づけられたパラメータフィールドは、「アライナー部１１０からＶＰＤ部１１２」である。「搬送４」と関連づけられたパラメータフィールドは、「ＶＰＤ部１１２からロードロック部１０８」である。「搬送５」と関連づけられたパラメータフィールドは、「ＶＰＤ部１１２から測定部１１４」である。「搬送６」と関連づけられたパラメータフィールドは、「ロードロック部１０８から測定部１１４」である。「搬送７」と関連づけられたパラメータフィールドは、「ロードロック部１０８から試料保管装置１０２」である。「搬送８」と関連づけられたパラメータフィールドは、「測定部１１４からロードロック部１０８」である。「搬送９」と関連づけられたパラメータフィールドは、「測定点間」である。

ここで、「搬送１」乃至「搬送８」と関連付けられた各パラメータは、搬送時の起点と終点を示す。また、「搬送９」と関連付けられたパラメータは、１個の試料１２８に対する測定位置が複数である場合に、ある測定点から他の測定点への搬送であることを示す。

「ＶＰＤ処理１」と関連付けられたパラメータフィールドは、試料１２８を溶解する気体に曝して溶解する気相分解処理である。「ＶＰＤ処理２」と関連付けられたパラメータフィールドは、ノズルから基板に液滴を滴下するとともに、滴下された液滴を基板面上で移動させて、被測定物を液滴中に取り込む走査回収処理である。「ＶＰＤ処理３」と関連付けられたパラメータフィールドは、液滴を乾燥させ、試料１２８を基板の表面上に保持させる乾燥処理である。「ＶＰＤ処理４」と関連付けられたパラメータフィールドは、試料１２８を回収したノズルを洗浄する処理である。

「測定１」と関連付けられたパラメータフィールドは、試料１２８の指定された位置において行われるＸ線測定である。「測定２」と関連付けられたパラメータフィールドは、Ｘ線源１２２の電源をＯＮにする処理である。「測定３」と関連付けられたパラメータフィールドは、Ｘ線源１２２の電源をＯＮにした後に行う段階的に最大（設定）パワーにするエージング処理（ランプアップ）である。「測定４」と関連付けられたパラメータフィールドは、Ｘ線源１２２の電源をＯＦＦにする処理である。「測定５」と関連付けられたパラメータフィールドは、Ｘ線源１２２の電源を段階的に最小パワーにする処理（ランプダウン）である。

動作フィールドとパラメータフィールドを併せた情報が、各動作ＩＤと関連付けられた動作の内容を表す情報である。なお、記憶部２０４は、動作フィールドとパラメータフィールドを１つのフィールドとして記憶してもよい。

処理時間フィールドは、各動作に要する時間である処理時間を示す。具体的には、処理時間１フィールドは、各動作と関連付けて予め記憶された時間を示す。例えば、「０」という動作ＩＤに対して、設計値として「２５」という処理時間が予め関連付けられる。これは、試料保管装置１０２からアライナー部１１０への搬送に要する時間として、２５秒という値が予め設定されていることを示す。また、予め設定する時間は、テスト運転時の実績値であってもよい。

また、処理時間２フィールド乃至処理時間ｎフィールドは、動作が行われた場合に、該動作に要した時間の実績値を示す。例えば、「０」という動作ＩＤと対応する試料保管装置１０２からアライナー部１１０への搬送動作が実行された場合に、２３秒要したとする。この場合、「０」という動作ＩＤに関連付けて、「２３」という値が処理時間２フィールドに記憶される。

なお、処理時間２フィールド乃至処理時間ｎフィールドに記憶される時間は、動作に付随して行う処理に必要な時間を含んだ時間である。例えば、搬送動作に付随して、シャッター１１６の開閉や、真空引き等の処理が行われる場合がある。この場合、処理時間フィールドには、当該処理に要した時間を含んだ動作処理時間が記憶される。特に、真空引き時間は、真空配管やその取り回しなどにより、蛍光Ｘ線分析システム１００作製時に初期設定された時と、蛍光Ｘ線分析システム１００が実際の使用場所に設置された時で大きく異なることがある。また、真空引き時間は、経年変化やメンテナンスの前後でも大きく異なることがある。

処理時間フィールドは、蛍光Ｘ線分析システム１００が動作テーブルの各動作を実行する毎に追加されてもよい。また、処理時間フィールドは、蛍光Ｘ線分析システム１００が動作テーブルの各動作を複数回実行する毎に追加されてもよい。処理時間フィールドは必要に応じて増加させてもよい。また、処理時間フィールドが所定の数に達した場合に、当該数よりも増加しないようにしてもよい。この場合、処理時間フィールドが所定の数に達した後は、古い処理時間フィールドから順に実績値が上書して記憶される。

また、Ｘ線測定という動作と関連付けられた動作ＩＤは、複数であってもよい。具体的には、後述するレシピが複数作成された場合、各レシピが表す測定条件によって、Ｘ線測定という動作の実行に要する時間は異なる。従って、レシピがｎ個作成された場合、パラメータフィールドに、「Ｘ線測定１」、「Ｘ線測定２」（中略）「Ｘ線測定ｎ」という値が設定されてもよい。当該各パラメータフィールドと関連付けられた処理時間フィールドには、それぞれ対応するレシピが表す測定条件に応じた時間が設定される。

記憶部２０４は、さらに、レシピが表す測定条件に含まれる一連の動作の実行に要する時間を該レシピと関連付けて記憶する。具体的には、例えば、記憶部２０４は、図４に示すレシピテーブルを記憶する。

図４は、記憶部２０４に記憶されるレシピテーブルの一例を示す図である。各レシピテーブルは、固有のレシピＩＤ及び後述するレシピ処理時間と関連付けて記憶される。また、レシピテーブルは、動作ＩＤフィールド及び複数のレシピパラメータフィールドを含む。動作ＩＤフィールド及び複数のレシピパラメータフィールドに設定される各値は、後述するレシピ作成画面７００にて、ユーザが各値を入力することによって設定される。

ここで、レシピが表す測定条件は、Ｘ線測定に要する各動作を含むが、試料１２８を搬送する動作を含まない。また、ＶＰＤ処理を行う旨が指定された場合には、レシピが表す測定条件は、ＶＰＤ処理の各動作とＸ線測定に関する各動作とを含む。

また、測定動作は、試料１２８にＸ線を照射して発生した蛍光Ｘ線の強度を測定する動作だけでなく、中心強度補正測定動作を含んでもよい。なお、中心強度補正測定動作は、各測定点におけるウェーハ表面の傾きをステージの角度によって調整し、基板からの蛍光Ｘ線強度を基準とする強度に合わせる動作である。中心強度補正測定動作により、試料１２８の表面に撓み等がある場合であっても、その影響を補正することができる。

動作ＩＤフィールドは、ユーザに設定される測定条件を含む動作と関連付けられた動作ＩＤを示す。具体的には、気相分解に関する動作は、気相分解処理、走査回収処理、乾燥処理、ノズル洗浄処理等を含む。従って、動作ＩＤフィールドは、当該動作と関連付けられた「９」乃至「１２」という動作ＩＤが設定される。

また、Ｘ線測定という動作を実行するためには、Ｘ線管電圧やＸ線管電流等の条件を設定する必要がある。従って、動作ＩＤフィールドは、当該動作と関連付けられた「１３」という動作ＩＤが設定される。なお、レシピテーブルの動作ＩＤフィールドには、上記以外の動作ＩＤが設定されてもよい。

レシピパラメータフィールドは、各動作に関してユーザに設定された情報である。具体的には、例えば、ユーザが気相分解処理時間を「１００」秒に設定した場合、「９」という動作ＩＤと関連付けて、「１００」という値がレシピパラメータ１フィールドに設定される。ユーザがＶＰＤ処理で走査回収を行う範囲を全体と設定した場合、「１０」という動作ＩＤと関連付けて、「全体」という値がレシピパラメータ１フィールドに設定される。ユーザが乾燥処理時間を「１００」秒に設定した場合、「１１」という動作ＩＤと関連付けて、「１００」という値がレシピパラメータ１フィールドに設定される。ユーザがノズル洗浄理時間を「１００」秒に設定した場合、「１２」という動作ＩＤと関連付けて、「１００」という値がレシピパラメータ１フィールドに設定される。

また、動作ＩＤフィールドに設定された１つの動作ＩＤは、複数のレシピパラメータフィールドと関連付けられてもよい。さらに、レシピテーブルは、レシピパラメータ１フィールド乃至レシピパラメータｎフィールドを含んでもよい。具体的には、例えば、図４に示すように、「１３（Ｘ線測定）」という動作ＩＤに対して、レシピパラメータ１フィールドの「Ｘ線管電圧（ｋＶ）」及び「Ｘ線管電流（ｍＡ）」という値が関連付けられてもよい。

ここで、例えば、ユーザがＸ線管電圧を「１００」ｋＶに設定した場合、「Ｘ線管電圧（ｋＶ）」というレシピパラメータ１フィールドと関連付けて、「１００」という値がレシピパラメータ２フィールドに設定される。また、ユーザがＸ線管電流を「１００」ｍＡに設定した場合、「Ｘ線管電流（ｍＡ）」というレシピパラメータ１フィールドと関連付けて、「１００」という値がレシピパラメータ２フィールドに設定される。

同様に、例えば、「１３（Ｘ線測定）」という動作ＩＤに対して、レシピパラメータ１フィールドの「励起線（分光素子選択）」、「Ｘ線照射角度（ｄｅｇ）」、「カウント時間」及び「測定座標」という値が関連付けられてもよい。

具体的には、例えば、測定部１１４がｎ個の分光素子を備え、各分光素子に対して「１」乃至「ｎ」という値が関連付けられているとする。ユーザが「１」と関連付けられた分光素子を選択した場合、「励起線（分光素子選択）」というレシピパラメータ１フィールドと関連付けて、「１」という値がレシピパラメータ２フィールドに設定される。

また、ユーザがＸ線の照射角度を「０．５」度に設定した場合、「Ｘ線照射角度（ｄｅｇ）」というレシピパラメータ１フィールドと関連付けて、「０．５」という値がレシピパラメータ２フィールドに設定される。ユーザがカウント時間を「１００」秒に設定した場合、「カウント時間」というレシピパラメータ１フィールドと関連付けて、「１００」という値がレシピパラメータ２フィールドに設定される。ここで、カウント時間は、検出器１２６が検出した蛍光Ｘ線の数をカウントする時間である。

ユーザが試料上のｘｙ座標系の測定位置を「０，０」に設定した場合、「測定座標」というレシピパラメータ１フィールドと関連付けて、「０，０」という値がレシピパラメータ２フィールドに設定される。なお、基板の中心が（ｘｙ座標系でｘ座標及びｙ座標が「０」であるとする）「０，０」というレシピパラメータ２に対応するものとする。また、ユーザが複数の測定座標を設定した場合、「測定座標」というレシピパラメータ１フィールドと関連付けて、設定された座標を示す値がレシピパラメータ３フィールド以降に設定される。

レシピ処理時間は、ユーザに設定されたレシピパラメータフィールドの値に基づいて、算出部２０６によって算出される。具体的には、算出部２０６は、レシピテーブルに含まれる各測定条件と、動作テーブルに含まれる各処理時間と、に基づいて、当該レシピが表す測定条件を実行するために要する時間を算出する。なお、図４にはレシピ処理時間は１個だけ記載しているが、複数であってもよい。後述するように、レシピ処理時間は、ジョブが実行されると追加される。

記憶部２０４は、さらに、各ジョブを管理するためのジョブ管理テーブルを記憶する。図５は、記憶部２０４に記憶されるジョブ管理テーブルの一例を示す図である。図５に示すように、各ジョブ管理テーブルは、固有のジョブＩＤ及び後述するジョブ処理時間と関連付けて記憶される。ジョブＩＤは、各ジョブを一意に識別する情報を示す。また、ジョブ管理テーブルは、スロットフィールドと、動作ＩＤ／レシピＩＤフィールドと、処理時間フィールドと、を含む。

スロットフィールドは、測定対象である試料１２８が配置されたスロットの番号を示す。具体的には、例えば、試料保管装置１０２の内部に配置されたキャリアが２５個のスロットを有する場合について説明する。ユーザがスロット１乃至２５に配置された試料１２８を順に交換しながら測定する旨を指定した場合、スロットフィールドには、上から順に「１」、「２」、「３」、「４」、（中略）、「２５」という値が設定される。

動作ＩＤフィールドは、対応するスロットに配置された試料１２８に対して実行される動作を識別する動作ＩＤを示す。動作ＩＤフィールドは、主に、試料１２８の搬送に関する動作を示す動作ＩＤが設定される。

レシピＩＤフィールドは、対応するスロットに配置された試料１２８に対して実行される測定条件と関連付けられたレシピＩＤを示す。レシピＩＤフィールドは、後述するジョブ作成画面８００でユーザがレシピＩＤを指定した際に、指定されたレシピＩＤが設定される。

具体的には、「１」乃至「２５」という番号のスロットに配置された試料１２８に対して、順に「１」乃至「２５」というレシピＩＤと関連付けられたレシピに基づいて分析を行う場合について説明する。また、「１」及び「４」というレシピＩＤが関連付けられたレシピが表す測定条件は、ＶＰＤ処理及びＸ線測定に関する測定条件を含むものとする。「２」、「３」及び「２５」というレシピＩＤが関連付けられたレシピが表す測定条件は、ＶＰＤ処理を含まず、Ｘ線測定に関する測定条件のみを含むものとする。

この場合、「１」という番号のスロットに配置された試料１２８に対して、試料保管装置１０２からアライナー部１１０への搬送（動作ＩＤ「０」）、アライナー部１１０からＶＰＤ部１１２への搬送（動作ＩＤ「２」）、ＶＰＤ処理、ＶＰＤ部１１２から測定部１１４への搬送（動作ＩＤ「４」）、Ｘ線測定、測定部１１４からロードロック部１０８への搬送（動作ＩＤ「７」）、及び、ロードロック部１０８から試料保管装置１０２への搬送（動作ＩＤ「６」）が順に行われる。

ここで、ロードロック部１０８から試料保管装置１０２への搬送（動作ＩＤ「６」）を行う際、並行して「２」という番号のスロットに配置された試料１２８に対する各動作が行われる。その為、「１」という番号のスロットに配置された試料１２８に対して、単独で実行されている動作を示す動作ＩＤは「０，２，４，７」である。

従って、「１」というスロットの番号と関連付けて、ＶＰＤ処理及びＸ線測定を行う為に必要な動作と関連付けられた「０，２，４，７」という値が動作ＩＤフィールドに設定される。また、「１」というスロットの番号と関連付けて、「１」という値がレシピＩＤフィールドに設定される。

同様に、「２」というスロットの番号に配置された試料１２８に対して、試料保管装置１０２からロードロック部１０８への搬送、ロードロック部１０８から測定部１１４への搬送、Ｘ線測定、測定部１１４からロードロック部１０８への搬送、及び、ロードロック部１０８から試料保管装置１０２への搬送が行われる。

ここで、試料保管装置１０２からロードロック部１０８への搬送を行う際、並行して「１」という番号のスロットに配置された試料１２８に対する各動作が行われる。また、ロードロック部１０８から試料保管装置１０２への搬送を行う際、並行して「３」というスロットの番号に配置された試料１２８に対する各動作が行われる。その為、「２」という番号のスロットに配置された試料１２８に対して、単独で実行されている動作を示す動作ＩＤは「５，７」である。

従って、「２」というスロットの番号と関連付けて、Ｘ線測定を行う為に必要な動作と関連付けられた「５，７」という値が動作ＩＤフィールドに設定される。また、「２」というスロットの番号と関連付けて、「２」という値がレシピＩＤフィールドに設定される。

同様に、「３」乃至「２５」という番号のスロットに配置された試料１２８に対して単独で実行される動作を示す動作ＩＤが、各スロットの番号と関連付けて動作ＩＤフィールドに設定される。具体的には、「３」というスロットの番号と関連付けて、Ｘ線測定を行う為に必要な動作と関連付けられた「５，７」という値が動作ＩＤフィールドに設定される。また、「３」というスロットの番号と関連付けて、「３」という値がレシピＩＤフィールドに設定される。

また、「４」というスロットの番号と関連付けて、ＶＰＤ処理及びＸ線測定を行う為に必要な動作と関連付けられた「５，７」という値が動作ＩＤフィールドに設定される。また、「４」というスロットの番号と関連付けて、「４」という値がレシピＩＤフィールドに設定される。

また、「２５」というスロットの番号と関連付けて、Ｘ線測定を行う為に必要な動作と関連付けられた「５，７，６」という値が動作ＩＤフィールドに設定される。また、「２５」というスロットの番号と関連付けて、「２５」という値がレシピＩＤフィールドに設定される。なお、「２５」という番号のスロットに配置された試料１２８は、単独で、ロードロック部１０８から試料保管装置１０２への搬送（動作ＩＤ「６」）が行われるため、「６」という値が動作ＩＤフィールドに設定される。

処理時間フィールドは、関連付けられた動作ＩＤまたはレシピＩＤが表す動作または測定条件を実行した場合に要する時間を示す。具体的には、算出部２０６は、動作ＩＤフィールドに設定された値が表す動作の実行に要する時間を、動作テーブルに基づいて算出する。また、算出部２０６は、レシピＩＤフィールドに設定された値が表す測定条件の実行に要する時間を、動作テーブルに基づいて算出する。

例えば、動作テーブルに含まれる動作ＩＤ「０，２，４，７」と関連付けて、処理時間１フィールドに「２５」、「２０」、「２５」、「２０」という値が設定されている。従って、「１」というスロットの番号と対応する動作ＩＤ「０，２，４，７」と関連付けて、「９０」という値が処理時間フィールドに設定される。「１」というスロットの番号と対応するレシピＩＤ「１」と関連付けて、「６０００」という値が処理時間フィールドに設定される。同様に、「２」乃至「２５」というスロットの番号と関連付けて、各動作または測定条件に要する時間を合算した値が設定される。

ジョブ処理時間は、対応するジョブを実行した時に要する時間を示す。具体的には、ジョブＩＤと関連付けられたジョブ処理時間は、ジョブ管理テーブルに含まれる処理時間フィールドの値を合算した時間である。例えば、「０」というジョブＩＤと関連付けられたジョブ処理時間は、「５００００」である。

記憶部２０４は、さらに、各ジョブと関連付けられたジョブテーブルを記憶する。ジョブテーブルは、ユーザによってジョブが生成されると、制御部２０８によって自動的に生成される。ジョブテーブルは、各ジョブを実行した場合に行われる動作を、実行される順に表したテーブルである。図６は、記憶部２０４に記憶されるジョブテーブルの一例である。

図６に示すように、ジョブテーブルは、Ｎｏ．フィールドと、動作ＩＤフィールドと、ジョブパラメータフィールドと、処理時間フィールドと、を含む。以下、図６を用いて、「１」乃至「２５」という番号のスロットに配置された試料１２８に対して、順に「１」乃至「２５」というレシピＩＤが関連付けられたレシピが表す測定条件を実行する場合について説明する。

Ｎｏ．フィールドは、ジョブに含まれる各動作の実行順序を示す。具体的には、「１」というＮｏ．フィールドに対応する動作は、当該ジョブを実行した場合に一番目に実行される。なお、複数の試料１２８に対して、連続してＸ線測定を行う場合、複数のＮｏ．フィールドに対応する複数の動作が並行して実行される場合がある。

動作ＩＤフィールドは、動作テーブルに含まれる動作ＩＤフィールドと同様である。ジョブパラメータフィールドは、レシピテーブルに含まれるレシピパラメータフィールドと同様である。動作ＩＤフィールドは、ジョブ管理テーブル及びレシピテーブルを参照して、順に実行される動作と関連付けられた動作ＩＤが設定される。同様に、ジョブパラメータフィールドは、ジョブ管理テーブル及びレシピテーブルを参照して、動作ＩＤと関連付けられたレシピパラメータフィールドが設定される。

具体的には、図６に示す「１」及び「２」というＮｏ．フィールドに対応する動作は、搬入動作である。「３」乃至「６」及び「９」乃至「１１」というＮｏ．フィールドに対応する動作は、レシピが表す測定条件に含まれる動作である。「３」乃至「６」というＮｏ．フィールドの対応する動作は、ＶＰＤ処理に関する動作である。「９」乃至「１１」というＮｏ．フィールドに対応する動作は、Ｘ線測定に関する動作である。「２７」及び「２８」というＮｏ．フィールドに対応する動作は、ランプダウン及びＸ線源１２２の電源をＯＦＦにする動作である。「２９」及び「３０」というＮｏ．フィールドに対応する動作は、搬出動作である。

処理時間フィールドは、関連付けられた動作ＩＤが表す動作を実行した場合に要する時間を示す。処理時間フィールドの値は、関連付けられた動作ＩＤと、図３に示す動作テーブルと、に基づいて設定される。

ここで、図２の説明に戻る。算出部２０６は、ジョブが生成された場合に、記憶部２０４に予め記憶された時間に基づいて、該ジョブの実行が終了するまでの時間をジョブごとに算出する。具体的には、例えば、図６に示すジョブテーブルが生成されたとして説明する。この場合、算出部２０６は、ジョブテーブルに含まれる処理時間フィールドの値を合算して、当該ジョブの実行に要する時間として算出する。算出された値は、図６に示すジョブ管理テーブルのジョブ処理時間フィールドの値として、記憶部２０４に記憶される（図５参照）。

ここで、上記のように、複数のＮｏ．フィールドに対応する複数の動作が並行して実行される場合がある。そのため、並行して実行される動作がある場合には、算出部２０６は、その一方の動作と関連付けられた処理時間のみを当該ジョブの実行に要する時間に含めてジョブ処理時間を算出してもよい。当該方法によればより正確なジョブ処理時間を算出できる。

具体的には、ジョブ管理テーブルには、試料１２８を搬入する為に要する動作（以下、搬入動作とする）、レシピが表す測定条件に含まれる各動作、及び、試料１２８を搬出するために要する動作（以下、搬出動作とする）が含まれる。

測定対象となる試料１２８が複数である場合、１個目の試料１２８については、試料保管装置１０２からアライナー部１１０へ搬送する時間を考慮する必要がある。しかし、２個目以降の試料１２８は、その前の試料１２８を測定している間に試料保管装置１０２からアライナー部１１０へ搬送している。従って、算出部２０６は、２個目以降の試料１２８に対して搬入に要する時間を考慮せずにジョブ処理時間を算出する。

また、最後の試料１２８はロードロック部１０８から試料保管装置１０２へ搬送する時間を考慮する必要がある。しかし、最後以外の試料１２８は、次の試料１２８を測定している間にロードロック部１０８から試料保管装置１０２へ搬送している。従って、算出部２０６は、最後の試料１２８を除いて、搬出に要する時間を考慮せずにジョブ処理時間を算出する。これにより、算出部２０６は、正確なジョブ処理時間を算出できる。なお、図５に示すジョブ管理テーブルに含まれる処理時間フィールドは、上記並行して実行される動作の処理時間がジョブ処理時間に含まれないように考慮した値が設定されている。

制御部２０８は、少なくとも一つのマイクロプロセッサ（ＣＰＵ）を含み、ジョブを実行する。また、制御部２０８は、ジョブが実行された場合に、動作に要した時間を該動作と関連付けて記憶部２０４に新たに記憶する。具体的には、制御部２０８は、記憶部２０４に記憶された計測用のプログラムに従って、実行された各動作に要した時間を計測する。制御部２０８は、計測した時間を動作テーブルに含まれる処理時間フィールドに追加する処理を実行する。

例えば、搬入動作（動作ＩＤ「０」）、レシピＩＤが「０」であるレシピが表す測定条件に含まれる各動作、搬出動作（動作ＩＤ「６」）が実行されたとして説明する。制御部２０８は、搬入動作、レシピが表す測定条件に含まれる全ての動作、搬出動作に要した時間は、それぞれ２３秒、５０００秒及び２２秒であると計測したとする。

制御部２０８は、動作テーブルの搬入動作と対応する処理時間２フィールド（動作ＩＤが「０」である動作と対応する処理時間２フィールド）に「２３」という値を追加する。制御部２０８は、「０」というレシピＩＤが表す測定条件に含まれる各動作の動作ＩＤにそれぞれ計測した値を追加する。制御部２０８は、動作テーブルの搬出動作と対応する処理時間２フィールド（動作ＩＤが「６」である動作と対応する処理時間２フィールド）に「２２」という値を追加する。

制御部２０８は、各動作が実行される毎に上記処理時間フィールドを追加してもよいし、動作が複数回実行される度に上記処理時間フィールドを追加してもよい。また、制御部２０８は、ジョブが実行される毎にレシピ処理時間を追加してもよいし、ジョブが複数回実行される度に上記レシピ処理時間を追加してもよい。

さらに、制御部２０８は、レシピテーブルに含まれるレシピ処理時間を更新または追加してもよい。上記の場合、制御部２０８は、「０」というレシピＩＤと関連付けて「５０００」というレシピ処理時間をレシピテーブルに追加してもよい。

また、制御部２０８は、動作テーブルの処理時間２フィールドに設定された値に基づいて、ジョブ管理テーブルに含まれる処理時間フィールド及びジョブ処理時間を追加または更新してもよい。制御部２０８は、動作テーブルの処理時間２フィールドに設定された値に基づいて、ジョブテーブルに含まれる処理時間フィールドの値を更新または追加してもよい。

算出部２０６は、さらに、レシピが表す測定条件に含まれる各動作が実行された場合に、記憶部２０４が新たに記憶した時間に基づいて、ジョブの実行が終了するまでの時間を算出する。具体的には、更新されたジョブ管理テーブルに含まれる処理時間フィールドの値を合算してジョブの実行が終了するまでの時間を算出する。すなわち、算出部２０６は、各動作の処理時間の実績値に基づいて、ジョブの実行が終了するまでの時間を算出する。

なお、過去の実績値が１つである場合は、上記のように算出部２０６が算出する値は過去の実績値と同じ値となる。過去の実績値が複数である場合、算出部２０６は、過去複数回の実績値に基づいて算出してもよい。

具体的には、算出部２０６は、記憶部２０４が直近に記憶した複数の時間の平均値に基づいて、各動作が終了するまでの時間を算出してもよい。例えば、算出部２０６は、過去５回分の実績値の平均値に基づいて、ジョブの実行が終了するまでの時間を算出してもよい。

また、偶発的に大きく外れた実績値を除くため、算出部２０６は、記憶部２０４が直近に記憶した複数の時間の中央値に基づいて、各動作が終了するまでの時間を算出してもよい。例えば、算出部２０６は、過去３回分の実績値の中央値に基づいて、ジョブの実行が終了するまでの時間を算出してもよい。

記憶部２０４は、レシピが表す測定条件に含まれる一連の動作の実行に要する時間を該レシピと関連付けて予め記憶してもよい。そして、算出部２０６は、ジョブが生成された場合に、レシピと関連付けて予め記憶された時間に基づいて、該ジョブの実行が終了するまでの時間をジョブごとに算出してもよい。具体的には、例えば、算出部２０６は、図５に示すジョブテーブルに含まれる処理時間を用いて、該ジョブの実行が終了するまでの時間を算出してもよい。

具体的には、例えば、図５に示すジョブ管理テーブルに基づいて図６に示すジョブテーブルが生成されたとする。この場合、算出部２０６は、図５に示すジョブ管理テーブルに含まれるジョブ処理時間を当該ジョブの実行に要する時間として算出する。算出された値は、図６に示すジョブ管理テーブルのジョブ処理時間フィールドの値として、記憶部２０４に記憶してもよい（図５参照）。

さらに、制御部２０８は、レシピが表す測定条件に含まれる一連の動作が実行された場合に、該一連の動作の実行に要した時間を該レシピと関連付けて記憶部２０４に新たに記憶してもよい。そして、算出部２０６は、さらに、レシピが表す測定条件が実行された場合に、記憶部２０４が新たに記憶した時間に基づいて、ジョブの実行が終了するまでの時間を算出してもよい。

複数の試料１２８を測定する場合、異なる試料１２８に対して異なる動作が並列して行われる。このため、１個のレシピに含まれる全ての動作の実行に要した時間と、当該レシピに含まれる各動作に要した時間の総和と、は同一になるとは限らない。また、レシピ処理時間は、複数の動作を連続して実行した場合の実績時間である。その為、レシピに含まれる各動作に関連付けられた個々の動作処理時間に基づいてジョブ処理時間を算出するよりも正確な時間を算出することができる。

さらに、制御部２０８は、ＶＰＤ処理を含むレシピが表す測定条件が実行された場合に、該ＶＰＤ処理のみに要した時間を記憶部２０４に記憶するようにしてもよい。ＶＰＤ処理時間が測定時間よりも短い場合には、算出部２０６は、２個目以降の試料１２８に対してＶＰＤ処理時間を考慮せずにジョブ処理時間を算出してもよい。

表示部１２０は、レシピが表す測定条件の実行が終了するまでの時間を表示する。具体的には、例えば、表示部１２０は、液晶ディスプレイ等の表示装置である。表示部１２０は、ユーザがレシピやジョブを作成する際に、算出部２０６が算出した値を表示する。

図７は、レシピ作成画面７００を示す図である。図７に示すように、レシピ作成画面７００は、測定位置図フィールド７０２と、測定座標フィールド７０４と、レシピメニューフィールド７０６と、レシピ処理時間フィールド７０８と、を含む。ユーザは、レシピ作成画面７００を見ながらレシピを作成する。

測定位置図フィールド７０２には、試料１２８の測定対象となる位置を示す図が表示される。具体的には、試料１２８が円形に基板である場合、図７のような円形が表示される。ユーザは基板上の測定位置をマウスポインタを合わせてクリックする等の方法によって指定する。図７では、１回目に基板の中央、２回目に基板右上部、３回目に基板の左下部が測定位置として指定されている。

測定座標フィールド７０４には、試料１２８の測定対象となる位置が座標で表示される。具体的には、図７に示すように、ユーザに指定された測定点の座標が、測定順に表示される。ユーザは、測定座標フィールド７０４に数値を入力することによって測定位置を指定してもよい。図７では、１回目にｘ座標が「０」かつｙ座標が「０」という位置が指定されている。２回目にｘ座標が「５０」かつｙ座標が「５０」という位置が指定されている。３回目にｘ座標が「−５０」かつｙ座標が「−５０」という位置が指定されている。

レシピメニューフィールド７０６には、レシピ作成に関する各項目が表示される。具体的には、例えば、図７に示すように、ＶＰＤ処理を行うか否かを決定するチェックボックスが表示される。また、ＶＰＤ処理の条件を設定するための、「気相分解処理」ボタン、「走査回収処理」ボタン、「乾燥処理」ボタン、「ノズル洗浄処理」ボタン等が表示される。

また、レシピメニューフィールド７０６には、Ｘ線測定を行う場合に、測定点を追加するための「挿入」ボタンや、一度指定した測定点を削除するための「削除」ボタンが表示される。さらに、Ｘ線測定の条件を設定するための、「Ｘ線管電圧」ボタン、「Ｘ線管電流」ボタン、「励起線（分光素子選択）」ボタン、「Ｘ線照射角度」ボタン、「カウント時間」等が表示される。

レシピ処理時間フィールド７０８には、ユーザに指定された条件に基づいて算出されたレシピ処理時間が表示される。例えば、算出部２０６は、上記方法によりレシピ処理時間を算出する。レシピ処理時間フィールド７０８には、当該算出された値がレシピ処理時間として表示される。レシピ処理時間フィールド７０８には、ユーザが条件を変更するごとに随時算出しなおされた値が表示される。なお、当該時間には、搬入時間及び搬出時間は含まれない。図７には記載していないが、図８と同様に、レシピのコピーや保存等をする為の表示がされてもよい。

図８は、ジョブ作成画面８００を示す図である。図８に示すように、ジョブ作成画面８００は、ジョブ列挙フィールド８０２と、ジョブ処理時間フィールド８０４と、ジョブメニューフィールド８０６と、を含む。ユーザは、ジョブ作成画面８００を見ながらジョブを作成する。

ジョブ列挙フィールド８０２には、ユーザが作成したジョブまたは作成中のジョブが表示される。具体的には、ジョブＩＤ、スロット、レシピＩＤ、処理時間等が表示される。

ジョブＩＤは、ユーザが作成中のジョブを一意に識別する情報である。スロットは、測定対象として指定された試料１２８が配置されたスロット番号を示すフィールドである。レシピＩＤは、ユーザが作成したレシピを一意に識別する情報である。処理時間は、レシピＩＤと関連付けられたレシピ処理時間である。

ユーザは、ジョブ列挙フィールド８０２にスロットの番号及びレシピＩＤを指定することによってジョブを作成する。具体的には、例えば、ユーザは、「０」というジョブＩＤと関連付けて、「１」というスロット番号及び「１」というレシピＩＤを指定する。同様に、ユーザは、複数のスロット番号と、レシピＩＤとを測定順に指定する。これにより、図５及び図６に示すような「０」というジョブＩＤと関連付けられたジョブ管理テーブル及びジョブテーブルが生成される。処理時間フィールドには、指定されたレシピＩＤ関連付けられたレシピ処理時間である。

ジョブ処理時間フィールド８０４には、ユーザに指定された条件に基づいて算出されたジョブ処理時間が表示される。例えば、上記例の場合、算出部２０６は、図５又は図６にに示したジョブ処理時間を算出する。ジョブ処理時間フィールド８０４には、当該算出された値が表示される。ジョブ処理時間フィールド８０４には、ユーザが条件を変更するごとに随時算出しなおされた値が表示される。

ジョブメニューフィールド８０６には、ジョブの作成に関する項目が表示される。具体的には、図８に示すように、ジョブを新たに作成するための「新規」ボタンが表示される。既に作成したジョブを編集するための「編集」ボタンが表示される。既に作成されたジョブを複製するための「コピー」ボタンが表示される。既に作成されたジョブを削除するための「削除」ボタンが表示される。

ジョブが新たに作成された場合、算出部２０６は、当該ジョブのジョブ処理時間を算出する。具体的には、制御部２０８は、ジョブが新たに生成された場合に、記憶部２０４に記憶された時間に基づいて、該ジョブの実行が終了するまでの時間をジョブごとに算出する。

制御部２０８は、記憶されたジョブが複製されて新たなジョブが生成された場合、複製元のジョブと関連付けられた時間を、該新たなジョブと関連付けて記憶部２０４に記憶する。具体的には、算出部２０６は、既に作成されたジョブが複製された場合に、複製元のジョブと関連付けられたジョブ処理時間を、複製により生成されたジョブ処理時間として算出する。例えば、複製元のジョブ処理時間が「５００００」である場合、算出部２０６は、複製により生成されたジョブ処理時間を「５００００」と算出する。制御部２０８は、当該時間を記憶部２０４に記憶する。

制御部２０８は、さらに、複製されたジョブが改変された場合、改変の程度を評価し、評価に応じて、複製元のジョブと関連付けられた時間に改変に応じた修正を加えた時間を記憶部２０４に記憶するか、もしくは、各動作と関連付けて予め記憶された時間と改変後のジョブの内容とに基づいて算出された時間を記憶部２０４に記憶するか、を制御する。

具体的には、制御部２０８は、複製されたジョブに含まれる動作のうち改変された動作の数を評価する。例えば、算出部２０６は、複製されたジョブに含まれる動作のうち、改変された動作が、あらかじめ設定された数である７個以下であれば、改変に応じた修正を加えた処理時間を算出する。一方算出部２０６は、複製されたジョブに含まれる動作のうち、改変された動作が７個を超える場合、各動作と関連付けて予め記憶された個々の時間と改変後のジョブの内容とに基づいて処理時間を算出する。

例えば、複製元のジョブ（ジョブＩＤ「０」とする）が表す処理条件はＶＰＤ処理を含み、複製されたジョブ（ジョブＩＤ「１」とする）が表す処理条件からＶＰＤ処理が削除する旨の改変がされた具体例で説明する。また、複製元のジョブと関連付けられたジョブ処理時間は「５００００」であるとする。

ユーザは、図８に示すジョブ作成画面８００において、「コピー」ボタンをクリックすることにより、「０」というジョブＩＤで表されるジョブを複製元のジョブとして、「１」というジョブＩＤで表されるジョブを作成する。この時点で、算出部２０６は、複製により生成されたジョブ処理時間を「５００００」と算出する。

次に、ユーザは、図８に示すジョブ作成画面８００において、「１」というジョブＩＤで表されるジョブに含まれるレシピＩＤを「０」から「１」に変更する。ここで、「０」というレシピＩＤで表されるレシピは、ＶＰＤ処理に関する動作を含み、「１」というレシピＩＤで表されるレシピは、ＶＰＤ処理に関する動作を含まない点のみが異なる。この場合、「１」というジョブＩＤで表されるジョブは、「０」というジョブＩＤで表されるジョブに対して、「２」、「４」及び「９」乃至「１２」という動作ＩＤで表される動作が削除され、「１」という動作ＩＤで表される動作が追加されたジョブである。

上記改変の過程で、改変された動作は７個である。従って、算出部２０６は、「０」というジョブＩＤと関連付けられた処理時間「５００００」から、「２」、「４」及び「９」乃至「１２」という動作ＩＤと関連付けられたの動作処理時間を差し引いて、ジョブ処理時間を算出する。さらに、算出部２０６は、当該処理時間に、「１」という動作ＩＤで表される動作の動作処理時間を加算してジョブ処理時間を算出する。制御部２０８は、当該ジョブ処理時間を「１」というジョブＩＤと関連付けて記憶部２０４に記憶する。

一方、改変された動作が７個を超える場合、算出部２０６は、図４に示すレシピ処理時間と、改変後のジョブに含まれる各動作とに基づいて処理時間を算出する。当該算出方法は、新たにジョブが作成された場合の算出方法と同様である。

なお、算出方法を変更する基準は、上記に限られない。例えば、測定点の座標や試料１２８が配置されたスロット番号のみを変更した場合は、当該動作は変更されていないと評価してもよい。上記のように、改変の程度に応じてジョブ処理時間を算出することにより、より実績値に近く、正確なジョブ処理時間を算出することが出来る。

続いて、ジョブの実行について説明する。図９は、ジョブ実行画面９００を示す図である。図９に示すように、ジョブ実行画面９００は、残り時間フィールド９０２と、試料状態フィールド９０４と、測定状態フィールド９０６と、を含む。

残り時間フィールド９０２には、実行中のジョブの処理に要する時間の残り時間が表示される。具体的には、算出部２０６は、ジョブに含まれる各動作が実行される毎に、ジョブ処理時間から処理が終了した動作の処理時間を差し引いた時間を算出する。残り時間フィールド９０２は、当該時間を表示する。なお、残り時間フィールド９０２は、図９に示すように、ジョブ処理時間全体の中の残り時間の割合をバーで表示してもよいし、算出した残り時間を数値で表示してもよい。

試料状態フィールド９０４には、各スロットに配置された試料１２８の状態が表示される。具体的には、試料状態フィールド９０４には、スロットに配置された試料１２８ごとに、実行されているジョブのジョブＩＤ、試料１２８の状態等が表示される。試料１２８の状態は、例えば、測定部１１４で測定されている状態や、試料１２８が待機している位置等の状態である。

測定状態フィールド９０６には、試料１２８が測定中である場合に、測定中の位置が表示される。具体的には、図９に示すように、ｘ座標が「５０」であって、ｙ座標が「５０」である位置で測定が行われていることが表示される。

続いて、図６に示す「０」というジョブＩＤが実行された場合の一連の動作について説明する。まず、試料保管装置１０２に配置されたキャリアのスロット１に配置された試料１２８は、アライナー部１１０へ搬送される（Ｎｏ．フィールド「１」）。試料１２８は、アライナー部１１０において位置合わせ処理が行われる。

次に、搬送装置１０４は、試料１２８をアライナー部１１０からＶＰＤ部１１２に搬送する（Ｎｏ．フィールド「２」）。ＶＰＤ部１１２は、気相分解処理、走査回収処理、乾燥処理及びノズル洗浄処理を順に行う（Ｎｏ．フィールド「３乃至６」）。

次に、搬送装置１０４は、試料１２８をＶＰＤ部１１２からロードロック部１０８に搬送する（Ｎｏ．フィールド「７」）。試料１２８がロードロック部１０８の内部に配置された状態で、ロードロック部１０８の内部は、真空にされる。ロードロック部１０８の内部が真空になった後、試料１２８は、測定部１１４に搬送される（Ｎｏ．フィールド「８」）。

次に、測定部１１４に配置されたＸ線源１２２の電源がＯＮにされる（Ｎｏ．フィールド「９」）。Ｘ線源１２２に印加するパワーを設定値まで段階的に上げ、出射される１次Ｘ線が安定するまで、エージングが行われる（Ｎｏ．フィールド「１０」）。

エージングのための時間が経過したあと、Ｘ線測定が行われる（Ｎｏ．フィールド「１１」）。なお、本工程には、試料１２８の測定位置（ｘ座標「０」、ｙ座標「０」）が１次Ｘ線の照射位置となるように、試料台１２４が試料１２８を移動させる工程や、中心位置での強度を用いて測定位置での照射角度の補正を行うための測定、及び、実際のデータを得るための測定を含む。

その後、複数のスロット配置された試料１２８に対して、搬送、ＶＰＤ処理、Ｘ線測定が行われる。最後の試料１２８に対するＸ線測定が行われた後、Ｘ線源１２２に印加するパワーを段階的に下げる（Ｎｏ．フィールド「２７」）。Ｘ線源１２２に印加するパワーが十分に下がった後、Ｘ線源１２２の電源がＯＦＦにされる（Ｎｏ．フィールド「２８」）。

次に、試料１２８は、測定部１１４からロードロック部１０８に搬送される（Ｎｏ．フィールド「２９」）。本工程には、試料１２８がロードロック内部に配置された状態で、ロードロックの内部が大気圧にされる工程を含む。さらに、搬送装置１０４は、試料１２８をロードロック部１０８から試料保管装置１０２に配置されたキャリアのスロット１に搬送する（Ｎｏ．フィールド「３０」）。

算出部２０６は、上記の各工程が実行されるごとに、または、所定の時間ごとに、実行中のジョブの処理に要する時間の残り時間を算出する。残り時間フィールド９０２には、当該残り時間が表示される。これにより、ユーザは、レシピの進捗状況とレシピが終了するまでの時間を確認することができる。また、蛍光Ｘ線分析システム１００と他の装置とを組み合わせて一つのシステムを構成している場合には、蛍光Ｘ線分析システム１００が他の装置に残り時間を通知することにより、他のシステムの待機時間を減少させることができる。

本発明は、ＶＰＤ一体型全反射蛍光Ｘ線分析装置を用いて説明を行ったが、一般的な波長分散型蛍光Ｘ線分析装置等でもよい。また、上記の実施例または変形例に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。上記構成やジョブは一例であって、これに限定されるものではない。上記の実施例で示した構成と実質的に同一の構成、同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成する構成で置き換えてもよい。例えば、上記動作テーブル、レシピテーブル、ジョブテーブル、レシピ作成画面７００、ジョブ作成画面８００、ジョブ実行画面９００は一例であって、同一の目的を達成する構成で置き換えてもよい。

１００蛍光Ｘ線分析システム、１０２試料保管装置、１０４搬送装置、１０６蛍光Ｘ線分析装置、１０８ロードロック部、１１０アライナー部、１１２ＶＰＤ部、１１４測定部、１１６シャッター、１１８情報処理部、１２０表示部、１２２Ｘ線源、１２４試料台、１２６検出器、１２８試料、２０２ジョブ実行部、２０４記憶部、２０６算出部、２０８制御部、７００レシピ作成画面、７０２測定位置図フィールド、７０４測定座標フィールド、７０６レシピメニューフィールド、７０８レシピ処理時間フィールド、８００ジョブ作成画面、８０２ジョブ列挙フィールド、８０４ジョブ処理時間フィールド、８０６ジョブメニューフィールド、９００ジョブ実行画面、９０２残り時間フィールド、９０４試料状態フィールド、９０６測定状態フィールド。

Claims

試料の表面に１次Ｘ線を照射することによって発生した蛍光Ｘ線により前記試料の分析を行う蛍光Ｘ線分析システムであって、
前記分析に要する動作を複数組み合わせて構成された測定条件を表すレシピと、該レシピが表す測定条件で測定される前記試料と、が関連付けられた処理条件を表すジョブを実行するジョブ実行部と、
前記各動作に要する時間を該各動作と関連付けて予め記憶する記憶部と、
前記ジョブが生成された場合に、前記記憶部に記憶された時間に基づいて、該ジョブの実行が終了するまでの時間を前記ジョブごとに算出する算出部と、
前記ジョブが実行された場合に、前記動作に要した時間を該動作と関連付けて前記記憶部に新たに記憶する制御部と、を有し、
前記算出部は、さらに、前記ジョブが実行された場合に、前記記憶部が新たに記憶した時間に基づいて、前記ジョブの実行が終了するまでの時間を算出する、
ことを特徴とする蛍光Ｘ線分析システム。
前記記憶部は、前記レシピが表す測定条件に含まれる一連の動作の実行に要する時間を該レシピと関連付けて予め記憶し、
前記算出部は、前記ジョブが生成された場合に、前記レシピと関連付けて予め記憶された時間に基づいて、該ジョブの実行が終了するまでの時間を前記ジョブごとに算出し、
前記制御部は、前記レシピが表す測定条件に含まれる一連の動作が実行された場合に、該一連の動作の実行に要した時間を該レシピと関連付けて前記記憶部に新たに記憶し、
前記算出部は、さらに、前記レシピが表す測定条件が実行された場合に、前記記憶部が新たに記憶した時間に基づいて、前記ジョブの実行が終了するまでの時間を算出する、
ことを特徴とする請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析システム。
前記ジョブは、前記記憶部に１または複数記憶され、
前記制御部は、前記記憶されたジョブが複製されて新たな前記ジョブが生成された場合、複製元の前記ジョブと関連付けられた時間を、該新たな前記ジョブと関連付けて前記記憶部に記憶する、ことを特徴とする請求項２に記載の蛍光Ｘ線分析システム。
前記制御部は、さらに、前記複製されたジョブが改変された場合、改変の程度を評価し、評価に応じて、複製元の前記ジョブと関連付けられた時間に改変に応じた修正を加えた時間を前記記憶部に記憶するか、もしくは、前記レシピと関連付けて予め記憶された時間と改変後のジョブの内容とに基づいて算出された時間を前記記憶部に記憶するか、を制御することを特徴とする請求項３に記載の蛍光Ｘ線分析システム。
前記算出部は、前記記憶部が直近に記憶した複数の前記時間の中央値に基づいて、前記ジョブの実行が終了するまでの時間を算出することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析システム。
前記算出部は、前記記憶部が直近に記憶した複数の前記時間の平均値に基づいて、前記ジョブの実行が終了するまでの時間を算出することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析システム。
さらに、前記ジョブの実行が終了するまでの時間を表示する表示部を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の蛍光Ｘ線分析システム。