JP6601698B2 - 撮像装置 - Google Patents
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Description
レード用対物レンズ94の光軸はブレード21の回転軸に交差する方向と異なる方向を向いており、撮像装置23によるブレード21の撮影方向(撮影視野の中心の方向)は、ブレード21の回転軸の方向に対してブレード21の外周側に所定角度ずらした方向となっている。本実施の形態では、ブレード21の回転軸よりもZ方向に上側となる範囲を撮像対象領域としている。
Claims (4)
- ワーク加工装置に搭載される撮像装置であって、
ワークからの光と前記ワークを加工する加工手段からの光とを合成する光合成光学系と、
前記光合成光学系を通過した光を撮像する撮像手段と、
前記ワークと前記光合成光学系との間に設けられた、第1透過軸を有する第1偏光板と、
前記加工手段と前記光合成光学系との間に設けられた、前記第1透過軸とは異なる第2透過軸を有する第2偏光板と、
前記撮像手段と前記光合成光学系との間に設けられた、回転可能な第3偏光板と、
を備える、撮像装置。 - 前記加工手段と前記光合成光学系と間には波長選択フィルタが設けられる、
請求項1に記載の撮像装置。 - 前記ワークと前記第1偏光板との間に設けられた第1対物レンズと、
前記加工手段と前記第2偏光板との間に設けられた第2対物レンズと、
を備える、請求項1又は2に記載の撮像装置。 - 前記加工手段は回転可能なブレードであり、
前記第2対物レンズは、前記ブレードの回転軸と交差する方向と異なる方向の光軸を有する、
請求項3に記載の撮像装置。
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