JP6573168B2 - 板ガラスの製造方法及び製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、所定形状の板ガラスを製造する方法及びその製造装置に関する。

例えば半導体ウェハの製造プロセス中、半導体ウェハを支持する部材に板ガラスが用いられることがある。この際、半導体ウェハには、その結晶方位を所定の向きに合わせるためにノッチと呼ばれる切欠き部が設けられており、この切欠き部に対して研磨加工が施されるのが一般的である。

例えば特許文献１には、半導体ウェハの切欠き部に対して研磨加工を施すための方法が開示されている。この研磨方法は、不織布等で形成された円板状の研磨工具を回転させながら、研磨対象となる半導体ウェハの切欠き部に押し当てることで、当該切欠き部を研磨工具の凸状外周部に対応する形状に研磨するものである（同文献の段落００２７、図２〜図４参照）。

上記のように半導体ウェハに加工を施す場合、そのプロセスの開始時又はその途中において、半導体ウェハを移載する必要が生じる。この移載のための装置として、特許文献２には、積載された複数の半導体ウェハを上下方向に移動させるリフタと、複数の半導体ウェハから、最上部の半導体ウェハを取り出すための吸着パッドと、半導体ウェハを分離するガスを噴射するエアノズルと、吸着パッドが半導体ウェハを吸着したことを検出する吸着検知装置とを備えたものが記載されている。

この移載装置による板ガラスの移載は、以下のようにして行われる。まず、移載装置は、リフタに積載されている板ガラスに向かって上方から吸着パッドを下降させ、所定位置に停止させる。次に、移載装置は、停止している吸着パッドに向かってリフタを上昇させることで、積載している板ガラスを吸着パッドに接近させる。このとき、リフタの上昇に同期して、エアノズルが分離用ガスを噴出し、最上部の板ガラスを分離させる。その後、最上部の板ガラスが吸着パッドに吸着されると、吸着検知装置がこれを検知して、リフタを若干下降させる。これにより最上部の板ガラスのみが分離し、移載装置は、吸着パッドを移動させて、この板ガラスを次工程（例えば加工工程）へと移載する。

特開２００５−１１８９０３号公報 特開平８−５１１４０号公報

半導体ウェハの支持部材として板ガラスを使用する場合には、この板ガラスの外周部にも半導体ウェハのノッチに対応する切欠き部を設ける必要がある。具体的には、板ガラスの外周部を研削する工程、この外周部に切欠き部を形成する工程、切欠き部の研磨を行う工程等の各種の加工工程が行われ得る。

この場合、板ガラスを効率良く加工するために、加工用の複数の板ガラスを積み重ねて保持しておき、これらの板ガラスを一枚ずつ加工工程に移載することが望ましい。しかしながら、板ガラスを積載すると、板ガラスの表面同士が密着し、その密着力が非常に大きなものとなることから、最上部における板ガラスを上下方向に分離することが非常に困難になる。このため、特許文献２に開示される半導体ウェハの移載技術をそのまま板ガラスの移載に転用することはできない。

本発明は上記の事情に鑑みてなされたものであり、板ガラスの移載を容易に行うことが可能な板ガラスの製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。

本発明は上記の課題を解決するためのものであり、その外周部を加工して所定形状の板ガラスを製造する方法であって、複数の板ガラスを保持台に積載する保持工程と、前記板ガラスの前記外周部を加工する加工工程と、前記保持工程から前記加工工程へと前記板ガラスを移載する移載工程と、を備え、前記移載工程は、前記複数の前記板ガラスのうち最上部に位置する第１の板ガラスの上面を吸着パッドによって吸着する工程と、前記第１の板ガラスの下側に位置する第２の板ガラスに前記第１の板ガラスを接触させた状態で、前記吸着パッドを横方向に移動させることにより、前記第１の板ガラスをスライドさせる工程と、を備えることを特徴とする。

かかる構成によれば、保持台に載置される複数の板ガラスのうち最上部に位置する第１の板ガラスの上面を吸着パッドに吸着させるとともに、吸着パッドを横方向に移動させることにより、第１の板ガラスを下側の第２の板ガラスに接触させた状態でスライドさせることができる。上下に積載される板ガラスは互いに密着した状態となっており、第１の板ガラスを上方に移動させたとしても、第２の板ガラスから確実に剥離させることは非常に困難である。これに対し、本発明では、第１の板ガラスを第２の板ガラスに対してスライドさせることにより容易に移動させることができる。特に、第１の板ガラスを加工工程に向かってスライドさせるようにすれば、第１の板ガラスをスライドさせるだけで加工工程に容易に移載させることが可能になる。

前記移載工程は、前記第２の板ガラスの外周部を係止部材により係止する工程をさらに備えることが望ましい。

第１の板ガラスをスライドさせる際に、第２の板ガラスは、第１の板ガラスとの摩擦により、第１の板ガラスとともにスライドの方向に移動しようとする。本方法では、係止部材によって第２の板ガラスの外周部を係止することにより、第２の板ガラスの移動を防止することができる。これにより、第１の板ガラスのみを効率良く移載することが可能になる。

また、前記移載工程は、前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとが重なる部分を残した状態で、前記吸着パッドと前記保持台とを上下方向において相対的に移動させることにより、前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとを上下方向において離間させる工程をさらに備えることが望ましい。

かかる構成によれば、第１の板ガラスと第２の板ガラスとが重なる部分を残した状態で、吸着パッドを移動させて、第１の板ガラスと第２の板ガラスを上下方向において離間させることで、第１の板ガラスを容易かつ迅速に加工工程へと移載することができる。すなわち、第１の板ガラスと第２の板ガラスとが全面的に密着している場合と比較して、第１の板ガラスをスライドさせた場合では、第１の板ガラスと第２の板ガラスとの接触面積を低減でき、これらの密着力も低減できる。この状態で、第１の板ガラスと第２の板ガラスとを上下方向に離間させることで、これらが全面的に密着している場合と比較して、第１の板ガラスを容易に分離させることができる。また、本発明は、第１の板ガラスをスライドさせ、横方向において第２の板ガラスから離間させた後にこれらの板ガラスを上下方向に離間させることも可能であるが、これらが重なる部分を残した状態で、上下方向に離間させることにより、第１の板ガラスと第２の板ガラスとを離間させるまでの時間を短縮でき、板ガラスを迅速に移載することが可能になる。

さらに、前記移載工程は、前記第２の板ガラスの上面を係止部材により係止する工程をさらに備えることが望ましい。

第１の板ガラスをスライドさせることにより、第２の板ガラスは、その上面の一部が露出することになる。この露出した上面の部分を係止部材により係止することで、第１の板ガラスを第２の板ガラスから確実に離間させることができる。すなわち、第１の板ガラスと第２の板ガラスは、重なり合う部分（接触部分）を残した状態であるため、この部分の密着力により、第１の板ガラスを第２の板ガラスから分離させようとすると、第２の板ガラスは第１の板ガラスとともに上方に移動しようとする。これに対し、本発明では、第２の板ガラスが移動しないように、その上面を係止部材によって係止することで、第１の板ガラスを第２の板ガラスから確実に分離させることできる。

前記移載工程において、前記吸着パッドと前記保持台との前記上下方向における前記相対的な移動は、前記吸着パッドを上方に移動させることにより行うことができる。また、前記吸着パッドと前記保持台との前記上下方向における前記相対的な移動は、前記保持台を下方に移動させることにより行ってもよい。

また、前記移載工程において、前記吸着パッドと前記保持台との前記上下方向における前記相対的な移動は、前記第１の板ガラスが、前記第２の板ガラスの中心位置と重ならない位置までスライドしたときに行われることが望ましい。

このように、第１の板ガラスが第２の板ガラスの中心位置と重ならない位置にまでスライドさせることで、第１の板ガラスと第２の板ガラスとの接触面積を可及的に小さくすることができる。これにより、吸着パッドと保持台とを上下方向に沿って相対的に移動させたときに、第１の板ガラスと第２の板ガラスとを容易に離間させることができる。

また、前記移載工程は、前記複数の前記板ガラスから離れた上方位置に前記吸着パッドを配置するとともに前記吸着パッドを吸引状態に設定し、前記保持台を上昇させることにより、前記第１の板ガラスの前記上面を前記吸着パッドに吸着させる工程をさらに備えることが望ましい。

保持台に積載される複数の板ガラスは、吸着パッドによって一枚ずつ加工工程へと移載されるため、第１の板ガラスが保持台から搬出されると、その下側に位置する第２の板ガラスが次に搬出されるべき第１の板ガラスとなる。したがって、第１の板ガラスの上面に係る上下方向の位置は、第１の板ガラスが搬出される度に変わることになる。このように、第１の板ガラスにおける上面の位置が変わる場合であっても、保持台を上昇させ、第１の板ガラスの上面を上方に停止している吸着パッドに吸着させることで、吸着パッドの位置調整を行うことなく、第１の板ガラスをこの吸着パッドに確実に吸着させることができる。

本発明は、上記の課題を解決するためのものであり、その外周部を加工して所定形状の板ガラスを製造する装置であって、複数の板ガラスを積載する保持ステーションと、前記各板ガラスの外周部を所定形状に加工する加工ステーションと、前記保持ステーションから前記加工ステーションへと前記各板ガラスを移載する移載装置と、を備え、前記移載装置は、前記保持ステーションにおいて保持される前記複数の前記板ガラスのうち最上部に位置する第１の板ガラスの上面を吸着する吸着パッドを備え、前記移載装置は、前記第１の板ガラスの下側に位置する第２の板ガラスに前記第１の板ガラスを接触させた状態で、前記吸着パッドを横方向に移動させることにより、前記第１の板ガラスをスライドさせることを特徴とする。

かかる構成によれば、保持ステーションに載置される複数の板ガラスのうち最上部に位置する第１の板ガラスの上面を吸着パッドに吸着させるとともに、吸着パッドを横方向に移動させることにより、第１の板ガラスを下側の第２の板ガラスに接触させた状態でスライドさせることができる。上下に積載される板ガラスは、互いに密着した状態となっており、第１の板ガラスを上方に移動させたとしても、第２の板ガラスから確実に剥離させることは非常に困難である。これに対し、本発明では、第１の板ガラスを第２の板ガラスに対してスライドさせることによって、容易に移動させることができる。特に、第１の板ガラスを加工ステーションに向かってスライドさせるようにすれば、第１の板ガラスをスライドさせるだけで加工ステーションに容易に移載させることが可能になる。

本発明によれば、板ガラスの移載を容易に行うことが可能になる。

板ガラスの製造装置を示す平面図である。 板ガラスの製造装置を示す側面図である。 第１研磨ステーションの動作を説明するための平面図である。 第１研磨ステーションの動作を説明するための要部側面図である。 第１研磨ステーションの動作を説明するための要部拡大平面図である。 第１移載装置による第１移載工程を説明するための斜視図である。 第１移載装置による第１移載工程を説明するための側面図である。 第１の板ガラスと第２の板ガラスとが重なる部分を残した状態を示す平面図である。 第３移載装置による第３移載工程を説明する側面図である。 製造装置における制御装置の機能ブロック図である。 板ガラスの製造方法に係るフローチャートである。 第１移載装置による第１移載工程の他の例を示す側面図である。 第１移載装置による第１移載工程の他の例を示す側面図である。 第１移載装置による第１移載工程の他の例を示す斜視図である。 第１移載装置による第１移載工程の他の例を示す斜視図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。図１乃至図１１は、本発明に係る板ガラスの製造方法及び製造装置の一実施形態を示す。

製造装置１は、予め略円形に形成された板ガラス２に対し、その外周部３に所定の加工（例えば研削加工）を施し、ノッチと呼ばれる切欠き部４を形成し、さらに外周部３及び切欠き部４に研磨加工を施すものを例示するが、これに限定されるものではない。本実施形態において、半導体ウェハの支持部材として使用される板ガラス２を例示するが、この用途に限定されるものではない。

製造装置１は、図１及び図２に示すように、加工用の板ガラス２を保持する保持ステーション５と、保持ステーション５から移載される板ガラス２の外周部３に加工を施すための第１加工ステーション６と、第１加工ステーション６により加工された板ガラス２に切欠き部４を形成する第２加工ステーション７と、切欠き部４の研磨を行う第１研磨ステーション８と、板ガラス２の外周部３を研磨する第２研磨ステーション９及び第３研磨ステーション１０と、板ガラス２を移載する移載装置１１と、上記の各構成要素の制御を実行する制御装置１２と、を備える。なお、図１では、移載装置１１の図示を省略している。

保持ステーション５は、複数の板ガラス２を積載する保持台５ａと、この保持台５ａに積載される板ガラス２の位置ずれを防止するガード部５ｂと、保持台５ａを昇降させる昇降装置５ｃと、保持台５ａに保持される板ガラス２の外周部３に接触可能な第１係止部材５ｄと、保持台５ａに積載される板ガラス２の上面に接触可能な第２係止部材５ｅと、を備える。

保持台５ａは、図２に示すように、略円形に構成される複数の板ガラス２を積載した状態で保持する。保持台５ａに積載される複数の板ガラス２は、上から一枚ずつ移載装置１１によって第１加工ステーション６へと移載される。

板ガラス２は、保持台５ａに積載される際に帯電する場合がある。板ガラス２の帯電は、大気中に存在するダストを引き寄せることから、可能な限り低減させることが望ましい。このため、図２に示すように保持台５ａは接地されている。

ガード部５ｂは、長尺状の円柱部材からなるアライメントである。本実施形態では、複数（図例では４個）のガード部５ｂが保持台５ａの周囲に設置されている。各ガード部５ｂは、保持台５ａに対して接近・離反可能に構成されている。ガード部５ｂは、保持台５ａに積載される複数の板ガラス２が所定位置から大きくはみ出さないように、板ガラス２の所定位置から所定間隔を隔てた位置まで接近する。

昇降装置５ｃは、保持台５ａの下方側に位置し、積載されている板ガラス２が移載される度に、次の板ガラス２を移載するために、保持台５ａを上昇させる。

第１係止部材５ｄは、保持台５ａに積載される板ガラス２のうち、最上部に位置する板ガラス２が移載される際に、この最上部の板ガラス２の下側に位置する２番目の板ガラス２の外周部３に接触してこれを係止する。第１係止部材５ｄは、板ガラス２の外周部３を係止する係止部（以下「第１係止部」という）１３と、この第１係止部１３を動作させるアクチュエータ１４とを備える。第１係止部１３は、アクチュエータ１４により水平方向に進退自在に構成される。第１係止部１３は、保持台５ａに積載されている板ガラス２の外周部３から離れた位置（以下「待機位置」という）と、２番目の板ガラス２に係る外周部３に接触してこれを係止する位置(以下「係止位置」という)とに位置変更可能に構成される。

アクチュエータ１４は、例えば空気圧又は液圧シリンダ装置により構成されるが、これに限定されず、他の各種アクチュエータを使用できる。アクチュエータ１４は、ピストンロッド１４ａとシリンダ１４ｂとを備える。ピストンロッド１４ａは、シリンダ１４ｂに保持されるとともに、横方向（水平方向）に対して往復移動可能に構成される。第１係止部１３はピストンロッド１４ａの先端部に固定されている。第１係止部１３は、ピストンロッド１４ａの動きに応じて、板ガラス２の外周部３に接近・離反可能に構成される。

第２係止部材５ｅは、板ガラス２の上面を係止する係止部（以下「第２係止部」という）１５と、この第２係止部１５を動作させるアクチュエータ１６とを備える。

第２係止部１５は、アクチュエータ１６により上下方向に進退自在に構成される。第２係止部１５は、保持台５ａに積載されている板ガラス２の上方で待機する位置（以下「待機位置」という）と、板ガラス２の上面に接触してこれを係止する位置(以下「係止位置」という)とに位置変更可能に構成される。

アクチュエータ１６は、例えば空気圧又は液圧シリンダ装置により構成されるが、これに限定されず、他の各種アクチュエータを使用できる。アクチュエータ１６は、ピストンロッド１６ａとシリンダ１６ｂとを備える。ピストンロッド１６ａは、シリンダ１６ｂに保持されるとともに、上下方向（Ｚ軸方向）に対して往復移動可能に構成される。第２係止部１５は、ピストンロッド１６ａの先端部に固定されている。第２係止部１５は、ピストンロッド１６ａの動きに応じて、板ガラス２の上面に接近・離反可能に構成される。

第１加工ステーション６は、板ガラス２が載置される支持台（定盤）６ａと、支持台６ａに載置された板ガラス２の位置ずれを防止するガード部６ｂと、板ガラス２を加工する加工具（以下「第１加工具」という）６ｃとを備える。

支持台６ａは、図１に示すように、板ガラス２よりも面積が小さい略円形の支持面１７を有する。支持面１７は、板ガラス２を固定するための吸着口１８を有し、この吸着口１８には図示しない真空ポンプが接続されている。板ガラス２は、真空ポンプの動作により、吸着口１８に吸着されることで、支持面１７に固定される。また、支持台６ａは、この支持台６ａを回転（自転）させる駆動装置（図示せず）を有する。第１加工ステーション６は、板ガラス２が支持台６ａに固定された後に、駆動装置によってこの支持台６ａを回転させながら、第１加工具６ｃによってこの板ガラス２を所定の形状に加工する。

ガード部６ｂは、複数（図例では４個）のアライメントにより構成される。各ガード部６ｂは、支持台６ａに対して接近・離反可能に構成される。ガード部６ｂは、支持台６ａに載置される板ガラス２が所定の位置から大きくはみ出さないように、板ガラス２の所定位置から所定間隔を隔てた位置まで接近する。板ガラス２は、ガード部６ｂが接近した後に支持台６ａに固定され、第１加工具６ｃにより加工される。なお、支持台６ａとともに板ガラス２を回転させながら加工する際に、ガード部６ｂが板ガラス２へ接触して過剰な摩擦力を生じる場合には、ガード部６ｂを予め離反状態にして当該加工を行うことが好ましい。一方、例えば、支持台６ａにおいて板ガラス２を安定して支持することが困難であり、且つガード部６ｂが板ガラス２へ接触しても板ガラス２が変形したり撓んだりしない場合には、ガード部６ｂを接近状態にしたまま上記加工を行っても良い。

第１加工具６ｃは、回転（自転）可能な一対の切削工具又は研削工具を含む。本実施形態では、第１加工具６ｃは、板ガラス２における外周部３の面取り加工を行う研削砥石であるが、これに限定されるものではない。第１加工具６ｃは、支持台６ａに載置された板ガラス２に対して接近・離反可能に構成される。

第１加工ステーション６は、板ガラス２を支持台６ａに固定し、ガード部６ｂを板ガラス２に接近させた後、駆動装置によって支持台６ａを回転させつつ、第１加工具７ｃにより、外周部３の全周に研削加工を施す。

第２加工ステーション７は、板ガラス２が載置される支持台７ａと、支持台７ａに載置された板ガラス２の位置ずれを防止するガード部７ｂと、板ガラス２に切欠き部４を形成する加工具（以下「第２加工具」という）７ｃとを有する。

支持台７ａは、図１に示すように、板ガラス２よりも面積が小さい略円形の支持面１９を有する。支持面１９は、板ガラス２を固定するための吸着口２０を有し、この吸着口２０には図示しない真空ポンプが接続されている。板ガラス２は、真空ポンプの動作により、吸着口２０に吸着されることで、支持面１９に固定される。また、支持台７ａには、この支持台７ａを水平方向（図１におけるＸ軸又はＹ軸の方向）に移動させる駆動装置（図示せず）が設けられている。第２加工ステーション７は、この駆動装置によって第２加工具７ｃに対する支持台７ａの位置を調節することができる。

ガード部７ｂは、複数（図例では４個）のアライメントにより構成される。ガード部７ｂは、支持台７ａに載置される板ガラス２が所定位置から大きくはみ出さないように、板ガラス２の所定位置から所定間隔を隔てた位置まで接近する。板ガラス２は、ガード部７ｂが接近した後に支持台７ａに固定され、第２加工具７ｃにより加工される。なお、板ガラス２が第１加工具７ｃにより加工されている最中に、板ガラス２を支持台７ａにおいて安定して吸着支持できる場合、ガード部７ｂを離反状態として当該加工を行うことが好ましい。一方、板ガラス２が第１加工具７ｃにより加工されている最中に、板ガラス２を支持台７ａにおいて安定して吸着支持困難である場合等には、ガード部７ｂを接近状態として当該加工を行っても良い。

第２加工具７ｃは、回転可能な一つの切削工具を有するが、これに限定されるものではない。第２加工具７ｃは、支持台７ａに載置された板ガラス２に対して接近・離反可能に構成され得るが、所定の位置に固定されていてもよい。

第２加工ステーション７は、板ガラス２を支持台７ａに固定し、ガード部７ｂを板ガラス２に接近させた後、駆動装置によってこの支持台７ａを移動させつつ、第２加工具７ｃによって板ガラス２の外周部３における所定の位置に切欠き部４を形成する。

第１研磨ステーション８は、板ガラス２を支持する支持台８ａと、板ガラス２に形成された切欠き部４を研磨する研磨具（以下「第１研磨具」という）８ｂとを備える。

支持台８ａは、図１に示すように、板ガラス２よりも面積が小さい円形の支持面２１を有する。支持面２１は、板ガラス２を固定するための吸着口２２を有し、この吸着口２２には図示しない真空ポンプが接続されている。板ガラス２は、真空ポンプの動作により、吸着口２２に吸着されることで、支持面２１に固定される。また、支持台８ａは、図３の実線及び二点鎖線で示すように板ガラス２を回動（傾動）させるべく、図示しない駆動装置によって回動（揺動）自在に構成される。

本実施形態では、第１研磨具８ｂとして、研磨面を有するテープ（研磨テープ）が使用され得るが、これに限定されず、砥石その他のものを使用できる。図４に示すように、第１研磨具８ｂは、駆動装置２３に装着されている。駆動装置２３は、第１研磨具８ｂを支持する複数の支持ローラ２４ａ〜２４ｆと、各支持ローラ２４ａ〜２４ｆを支持するヘッド部２５とを備える。

本実施形態において、駆動装置２３は、６個の支持ローラ（以下「第１支持ローラ」乃至「第６支持ローラ」という）２４ａ〜２４ｆを含むが、その数はこれに限定されない。 第１支持ローラ２４ａ及び第２支持ローラ２４ｂは、所定の間隔をおいて配置されるフリーローラである。第１研磨具８ｂは、この第１支持ローラ２４ａと第２支持ローラ２４ｂとの中間位置にて板ガラス２に対する研磨を行う。第３支持ローラ２４ｃ乃至第６支持ローラ２４ｆは、所定の方向に往復移動することにより、第１研磨具８ｂであるテープを往復動させることができる。

図４（ａ）に示すように、ヘッド部２５は、ヘッド部本体２１ａと、このヘッド部本体２１ａに支持されるとともに、所定の方向に往復動可能なスライド体２５ｂとを備える。ヘッド部本体２１ａは、スライド体２５ｂの他、第１支持ローラ２４ａと第２支持ローラ２４ｂとを回転可能に支持している。

スライド体２５ｂは、第３支持ローラ２４ｃ乃至第６支持ローラ２４ｆを回転可能に支持する。スライド体２５ｂに支持されるこれらの支持ローラ２４ｃ〜２４ｆのうち、第３支持ローラ２４ｃ及び第６支持ローラ２４ｆはフリーローラとして構成される。第４支持ローラ２４ｄ及び第５支持ローラ２４ｅは、スライド体２５ｂに設けられるモータ等の駆動部（図示せず）により駆動されるもの（駆動ローラ）である。

スライド体２５ｂは、所定の方向（図４において符号Ａで示す方向）に往復動することで、第１支持ローラ２４ａと第２支持ローラ２４ｂとの間に位置する第１研磨具８ｂを往復動させる。スライド体２５ｂの移動中は、第４支持ローラ２４ｄ及び第５支持ローラ２４ｅが第１研磨具８ｂを係止する。これにより、第１研磨具８ｂは、板ガラス２の切欠き部４を好適に研磨できる。

また、ヘッド部２５は、図４（ｂ）（ｃ）の実線及び二点鎖線で示すように、その姿勢を所定の傾斜角度に変更（傾動）可能に構成される。ヘッド部２５は、この傾動により、第１研磨具８ｂの板ガラス２に対する角度を変更させる。

なお、第１研磨具８ｂは、図示しない送り機構（巻取り機構）により、各支持ローラ２４ａ〜２４ｆに支持されながら、所定の方向（図４において符号Ｂで示す方向）に搬送される。

第１研磨具８ｂとしてのテープは、上記の往復動、及びヘッド部２５の傾動による角度変更により、板ガラス２の切欠き部４を三次元的に研磨することができる。

また、上述のように支持台８ａを傾動させることにより、板ガラス２に形成された切欠き部４の全範囲を研磨することが可能になる。以下、図５を参照しながら、第１研磨ステーション８の動作について詳細に説明する。なお、板ガラス２の切欠き部４は、第１のＲ面２６と、一対の第２のＲ面２７と、第１のＲ面２６及び第２のＲ面２７の間に形成される一対のテーパ面２８とを有する。第１研磨ステーション８は、これらの全ての面を研磨することができる。

具体的には、まず図５（ａ）に示すように、切欠き部４の一方のテーパ面２８と第１研磨具８ｂ（テープ）が向き合う位置に切欠き部４を配置し、第１研磨具８ｂをこのテーパ面２８及びこれに連続する第１のＲ面２６に接触させる。その後、第１研磨具８ｂの往復動を伴う研磨加工を開始すると共に、ヘッド部２５及び板ガラス２を所定の角速度で傾動させる。そして、図５（ｂ）に示すように、第１研磨具８ｂが第１のＲ面２６と向き合う位置、次いで図５（ｃ）に示すように第１研磨具８ｂが他方のテーパ面２８と向き合う位置まで板ガラス２を傾動させつつ、第１研磨具８ｂの往復動を伴う研磨加工を継続することで、切欠き部４の側端面全域に研磨加工を施す。

第２研磨ステーション９は、板ガラス２を支持する支持台９ａと、板ガラス２の外周部３を研磨する研磨具（以下「第２研磨具」という）９ｂとを備える。

支持台９ａは、第１加工ステーション６の支持台６ａと同じように、回転可能に構成される。また、支持台９ａは、板ガラス２よりも面積が小さい略円形の支持面２９を有する。支持面２９は、板ガラス２を固定するための吸着口３０を有し、この吸着口３０には図示しない真空ポンプが接続されている。板ガラス２は、真空ポンプの動作により、吸着口３０に吸着されることで、支持面２９に固定される。また、支持台９ａは、この支持台９ａを回転（自転）させる駆動装置（図示せず）を有する。

第２研磨具９ｂは、第１研磨具８ｂと同様に、研磨面を有するテープにより構成される。より具体的には、第２研磨具９ｂは、板ガラス２を挟むように対向配置される一対のテープを含む（図１参照）。各第２研磨具９ｂは、第１研磨具８ｂと同様な駆動装置及び送り機構（いずれも図示せず）により、その姿勢を傾斜させるとともに、往復動により板ガラス２の研磨を行う。また、第２研磨具９ｂは、支持台９ａに対して接近・離反可能に構成される。第２研磨具９ｂとしてのテープの幅は、第１研磨具８ｂとしてのテープの幅よりも大きく(幅広)になっている。第２研磨具９ｂは、主として板ガラス２における外周部３の端面を研磨する。第２研磨具９ｂは、切欠き部４の一部又は全部を補助的に研磨でき、あるいは、切欠き部４を除く外周部３を研磨できる。

第２研磨ステーション９は、板ガラス２を支持台９ａに固定した後、支持台９ａを回転させながら、第２研磨具９ｂにより板ガラス２における外周部３の端面に研磨加工を施す。

第３研磨ステーション１０は、第２研磨ステーション９と同型のものが使用される。第３研磨ステーション１０は、第２研磨ステーション９と同様な構成の支持台１０ａ及び研磨具（以下「第３研磨具」という）１０ｂを備える。第２研磨ステーション９と同様に、第３研磨ステーション１０の支持台１０ａは、支持面３１、吸着口３２を有する。

第３研磨ステーション１０は、第２研磨ステーション９と同様に、板ガラス２を支持台１０ａに固定した後、支持台１０ａを回転させながら、第３研磨具１０ｂにより板ガラス２における外周部３の端面に研磨加工を施す。

移載装置１１は、保持ステーション５から第１加工ステーション６へと板ガラス２を移載する第１移載装置３３、第１加工ステーション６から第２加工ステーション７へと板ガラス２を移載する第２移載装置３４、第２加工ステーション７から第１研磨ステーション８へと板ガラス２を移載する第３移載装置３５、第１研磨ステーション８から第２研磨ステーション９へと板ガラス２を移載する第４移載装置３６、第２研磨ステーション９から第３研磨ステーション１０へと板ガラス２を移載する第５移載装置３７、及び第３研磨ステーション１０から板ガラス２を搬出する第６移載装置３８を備える。

図２に示すように、各移載装置３３〜３８は、支持フレーム３９を介して一体に連結されている。支持フレーム３９は、各移載装置３３〜３８が板ガラス２を移載することができるように、水平方向に対して往復移動可能に構成されている。各移載装置３３〜３８は、板ガラス２を等ピッチで移載するように、等間隔で支持フレーム３９に支持されている。

第１移載装置３３は、本体部３３ａと、この本体部３３ａに設けられる吸着装置３３ｂと、この吸着装置３３ｂの一部を上下動させる昇降装置３３ｃとを備える。本体部３３ａは、その上部が支持フレーム３９に固定されている。本体部３３ａは、昇降装置３３ｃを介して吸着装置３３ｂを支持している。

吸着装置３３ｂは、金属製の吸着パッド４０と、この吸着パッド４０に接続される真空ポンプ４１と、吸着パッド４０に板ガラス２が吸着されたことを検知するセンサ４２とを有する。吸着パッド４０は、昇降装置３３ｃによって上下動自在に構成される。この吸着パッド４０は、板ガラス２に対する接触部に、ゴム等の弾性体（図示せず）を有する。真空ポンプ４１は、本体部３３ａに内蔵されており、図示しない接続配管を介して吸着パッド４０に接続されている。これに限らず、真空ポンプ４１は、本体部３３ａの外側に設けられていてもよい。センサ４２は、吸着パッド４０の内部における圧力（負圧）を検出するように、吸着パッド４０に設けられているが、これに限定されるものではない。例えば、センサ４２は、真空ポンプ４１に組み込まれていてもよい。センサ４２により検出された情報は、制御装置１２に送信され得る。

昇降装置３３ｃは、吸着パッド４０を昇降させるロッド部４３と、このロッド部４３を駆動する駆動装置４４とを備える。ロッド部４３は、本体部３３ａの下部から下方に突出しており、その端部において吸着パッド４０を支持している。駆動装置４４は、ロッド部４３を上下動させるように、本体部３３ａに内蔵されている。

第１移載装置３３は、保持ステーション５と連動して、保持台５ａに積載されている板ガラス２を第１加工ステーション６の支持台６ａへと移載する。

以下、図６乃至図８を参照しながら、第１移載装置３３の動作について説明する。まず、図６（ａ）及び図７（ａ）に示すように、保持ステーション５の保持台５ａは、複数（５枚）の板ガラス２ａ〜２ｅを積載している。以下、最上部に位置する板ガラス２ａを「第１の板ガラス」といい、第１の板ガラス２ａの下側に位置する板ガラス２ｂを「第２の板ガラス」という。なお、以下では、説明の便宜上、複数の板ガラス２ａ〜２ｅを総称して板ガラス２の用語を使用する場合がある。また、図６では、保持ステーション５に係る保持台５ａ及び昇降装置５ｃの図示を省略しており、図７では、保持ステーション５に係るガード部５ｂの図示を省略している。

図６（ａ）に示すように、保持台５ａの上方には、第１移載装置３３の吸着パッド４０が待機している。図７（ａ）に示すように、第１移載装置３３は、昇降装置３３ｃを作動させて、二点鎖線で示す位置にある吸着パッド４０を下降させて、第１の板ガラス２ａを吸着可能な位置(同図において実線で示す位置。以下「吸着位置」という)に移動させる。

この吸着位置では、吸着パッド４０は、第１の板ガラス２ａの上面から距離Ｌをおいて離間している。吸着パッド４０が吸着位置に配置されると、第１移載装置３３は、真空ポンプ４１（図２参照）を作動させ、吸着パッド４０から空気を吸引する。これにより、吸着パッド４０は、第１の板ガラス２ａを吸着可能な状態（吸引状態）となって、この吸着位置にて待機する。

図６（ａ）及び図７（ａ）に示すように、第１係止部材５ｄの第１係止部１３は、第１の板ガラス２ａの外周部３から離れた待機位置にある。また、第２係止部材５ｅの第２係止部１５は、第１の板ガラス２ａの上面から離れた待機位置にある。なお、第１係止部１３は、上面１３ａと、下面１３ｂと、上面１３ａと下面１３ｂとの間に位置するとともに、少なくとも第２の板ガラス２ｂの外周部３に接触してこれを係止する係止面１３ｃとを含む。係止面１３ｃの上下方向における幅（上面１３ａと下面１３ｂとの間隔）は、板ガラス２の厚みよりも大きい。また、第２係止部１５は、第２の板ガラス２ｂの上面に接触可能な係止面１５ａを有する。係止面１５ａは、第１の板ガラス２ａに対向するように、下方に向けられている。

また、図７（ａ）に示すように、加工初期において、保持台５ａは、第１の板ガラス２ａの上面と、第１係止部材５ｄに係る第１係止部１３の上面１３ａとが上下方向において一致する（面一となる）ように、その上下方向の位置が調整される。これにより、第１の板ガラス２ａに対する第１係止部１３の位置合わせが行われる。

吸着パッド４０の準備が完了すると、保持ステーション５は、昇降装置５ｃによって保持台５ａを上昇させ、保持している第１の板ガラス２ａを吸着パッド４０に接近させる。保持ステーション５は、第１の板ガラス２ａの上面を吸着パッド４０に接触させるべく、保持台５ａを距離Ｌだけ上方に移動させる。これにより、第１の板ガラス２ａの上面が吸着パッド４０に接触し、吸着パッド４０はその吸引力によって、この第１の板ガラス２ａの上面に密着する。そうすると、吸着パッド４０の内部圧力が変化する。センサ４２は、吸着パッド４０内の圧力変化を検知し、第１移載装置３３は、その検知信号を制御装置１２に送信する。制御装置１２は、この信号を受信すると、保持ステーション５に制御信号を送信し、その昇降装置５ｃを停止させる。これにより、保持台５ａは、吸着パッド４０が第１の板ガラス２ａを吸着させた状態で、その位置に停止する（図６（ｂ）及び図７（ｂ）参照）。

保持台５ａが停止すると、第１係止部材５ｄの第１係止部１３は、係止位置に移動した際に、第１の板ガラス２ａの外周部３に接触することなく、第２の板ガラス２ｂの外周部３に接触するように、上下方向において、第１の板ガラス２ａ及び第２の板ガラス２ｂに対して相対的に位置付けられる。以下、この点について図７（ａ）（ｂ）を参照しながら説明する。

第１係止部１３が第１の板ガラス２ａの外周部３に接触せず、第２の板ガラス２ｂの外周部３に接触するには、その上面１３ａが、第１の板ガラス２ａの下面又は第２の板ガラス２ｂの上面よりも下方に配置され、かつ、第２の板ガラス２ｂの下面よりも上方に配置される必要がある。

このため、各板ガラス２ａ〜２ｅの厚みをＴとしたとき、加工開始初期、すなわち、第１回目の第１の板ガラス２ａの移載に関しては、吸着位置にある吸着パッド４０と第１の板ガラス２ａとの離間距離Ｌ（図７（ａ）参照）、すなわち、保持台５ａを上昇させる距離Ｌは、Ｔ＜Ｌ＜２Ｔとされることが好ましい。本実施形態では、Ｌ＝１．５Ｔとした例を示している。これにより、第１の板ガラス２ａの上面と一致するように配置された第１係止部１３の上面１３ａは、保持台５ａが距離Ｌだけ上昇したときに、第１の板ガラス２ａの上面から相対的に下方に移動することになる。すなわち、第１係止部１３の上面１３ａは、上下方向（Ｚ軸方向）において、第２の板ガラス２ｂの上面と下面との間に位置することになる。

具体的には、図７（ｂ）に示すように、第１係止部１３の上面１３ａは、第２の板ガラス２ｂの厚さ方向における中心線Ｘ１とほぼ一致するように配置されることになる。さらに、第１係止部１３の係止面１３ｃは、第２の板ガラス２ｂの外周部３と上下方向において重なる（オーバラップする）ように配置される。したがって、第１係止部１３を係止位置に移動させると、係止面１３ｃは、第１の板ガラス２ａの外周部３に接触することなく、第２の板ガラス２ｂの外周部３に接触する。

図６（ｃ）及び図７（ｃ）に示すように、保持ステーション５は、第１係止部材５ｄに係るアクチュエータ１４の動作により、第１係止部１３を待機位置から係止位置へと移動させる。これにより、第１係止部１３の係止面１３ｃは、第２の板ガラス２ｂの外周部３に接触する。この係止面１３ｃは、第２の板ガラス２ｂの下側に位置する第３の板ガラス２ｃ、さらにその下側に位置する第４の板ガラス２ｄにも接触し得る。

第１係止部１３が第２の板ガラス２ｂに接触すると、第１移載装置３３は、支持フレーム３９の移動により、吸着パッド４０を横方向（水平方向）に移動させる。そうすると、第１の板ガラス２ａは、図６（ｄ）及び図７（ｄ）に示すように、その下面が第２の板ガラス２ｂの上面に接触した状態で、横方向にスライドする。このとき、第１係止部材５ｄの第１係止部１３が第２の板ガラス２ｂの外周部３を係止するため、第２の板ガラス２ｂは、横方向に移動せず、第１の板ガラス２ａのみがスライドする。第１の板ガラス２ａが移動するにつれ、第２の板ガラス２ｂの上面が徐々に露出する。保持ステーション５は、第２係止部材５ｅのアクチュエータ１６を作動させ、第２係止部１５を待機位置から下降させる。これにより、第２係止部１５の係止面１５ａは、係止位置にて第２の板ガラス２ｂの上面に接触する。

図６（ｅ）及び図７（ｅ）に示すように、第１移載装置３３は、第１の板ガラス２ａと第２の板ガラス２ｂとが重なる部分を残した状態で、これらを上下方向に分離させる。具体的には、第１移載装置３３は、図７（ｅ）に示すように、第１の板ガラス２ａを二点鎖線で示す位置までスライドさせる。このとき、第１の板ガラス２ａは、図７（ｅ）及び図８に示すように、その一部が第２の板ガラス２ｂの上面に接触したまま重なり合っている。この状態から、第１移載装置３３は、駆動装置４４を作動させてロッド部４３を上方に移動させる。これにより、吸着パッド４０が上昇し、第１の板ガラス２ａは、第２の板ガラス２ｂから上方に離れる。これに限らず、保持台５ａを下方に移動させることにより、あるいは、吸着パッド４０を上方に移動させつつ保持台５ａを下方に移動させることにより、第１の板ガラス２ａの分離を行ってもよい。

上記のような吸着パッド４０と保持台５ａとの上下方向における相対的な移動は、第１の板ガラス２ａが第２の板ガラス２ｂの中心位置と重ならない位置までスライドしたときに行うことが望ましい。すなわち、図７（ｅ）に示すように、第１の板ガラス２ａの外周部３が第２の板ガラス２ｂの中心Ｏ（同図において第２の板ガラス２ｂの中心線Ｘ２と共に示す）から離れたときに、吸着パッド４０を上昇させることが望ましい。また、第１の板ガラス２ａと第２の板ガラス２ｂとが重なり合う部分（図８においてクロスハッチングで示す部分）の面積は、板ガラス２に係る表面積の１６％以下とされることが望ましい。これにより、第１の板ガラス２ａと第２の板ガラス２ｂとの間の密着力を十分に低減させることができ、第１の板ガラス２ａを第２の板ガラス２ｂから容易に分離させることができる。

吸着パッド４０が保持台５ａから離れると、保持ステーション５は、図６（ｆ）及び図７（ｆ）に示すように、第１係止部材５ｄの第１係止部１３及び第２係止部材５ｅの第２係止部１５を係止位置から待機位置へと戻し、これらによる第２の板ガラス２ｂの係止を解除する。

また、第１移載装置３３は、支持フレーム３９の移動に伴って、横方向に移動し、吸着パッド４０を第１加工ステーション６に係る支持台６ａの上方位置に配置する（図示せず）。その後、第１移載装置３３は、昇降装置３３ｃを作動させて吸着パッド４０を下降させ、保持している第１の板ガラス２ａを支持台６ａの支持面１７に載置する。支持台６ａの吸着口１８の作用により、支持面１７に第１の板ガラス２ａが固定されると、第１移載装置３３は、吸着装置３３ｂによる第１の板ガラス２ａの吸着を解除した後、昇降装置３３ｃを作動させて吸着パッド４０を上昇させる。その後、第１移載装置３３は、支持フレーム３９の移動により、保持ステーション５の上方位置へと移動する。

図６（ｆ）及び図７（ｆ）に示すように、第１の板ガラス２ａが第１加工ステーション６へと移載されることにより、第２の板ガラス２ｂは、残りの板ガラス２ｂ〜２ｅのうちで最上部に位置することになり、次に移載されるべき第１の板ガラス２ａとなる。また、第２の板ガラス２ｂの下側に位置する第３の板ガラス２ｃが、次回の移載時における第２の板ガラス２ｂとなる。

以後、第２回目以降の第１の板ガラス２ａの移載では、吸着位置にある吸着パッド４０と、第１の板ガラス２ａとの離間距離Ｌ（図示せず）は、各板ガラス２ａ〜２ｅの厚みＴと同じになる（Ｌ＝Ｔ）。したがって、第２回目以降の第１の板ガラス２ａの移載では、保持ステーション５は、板ガラス２の厚みＴに相当する距離だけ保持台５ａを上昇させ、第１の板ガラス２ａを吸着パッド４０に吸着させる。すなわち、加工初期（第１回目）の第１の板ガラス２ａの移載の場合には、第１係止部材５ｄの第１係止部１３の第１の板ガラス２ａに対する位置合わせを行う必要があり、Ｌ＝１．５Ｔに設定していたが、第２回目以降の第１の板ガラス２ａの移載には、再度の位置合わせは不要であり、保持台５ａを板ガラス２の厚みＴに相当する距離だけ上昇させることで、第１係止部１３を所期の係止位置に配置できる。

第２移載装置３４は、本体部３４ａと、この本体部３４ａに設けられる吸着装置３４ｂと、この吸着装置３４ｂの一部を上下動させる昇降装置３４ｃとを備える。

本体部３４ａは、その上部が支持フレーム３９に固定されている。本体部３４ａは、昇降装置３４ｃを介して吸着装置３４ｂを支持している。吸着装置３４ｂは、ゴム等の弾性体からなる吸着パッド４５と、この吸着パッド４５に接続される真空ポンプ４６とを有する。吸着パッド４５は、昇降装置３４ｃによって上下動自在に構成される。真空ポンプ４６は、本体部３４ａに内蔵されており、図示しない接続配管を介して吸着パッド４５に接続されている。昇降装置３４ｃは、吸着パッド４５を昇降させるロッド部４７と、このロッド部４７を駆動する駆動装置４８とを備える。ロッド部４７は本体部３４ａの下部から下方に突出しており、その端部において吸着パッド４５を支持している。駆動装置４８は、ロッド部４７を上下動させるように、本体部３４ａに内蔵されている。

第３移載装置３５乃至第６移載装置３８は、第２移載装置３４と同型のものであり、第２移載装置３４と同様に、本体部３５ａ〜３８ａ、吸着装置３５ｂ〜３８ｂ及び昇降装置３５ｃ〜３８ｃを備える（図２参照）。第３移載装置３５乃至第６移載装置３８の各本体部３５ａ〜３８ａは、その上部が支持フレーム３９に固定されている。各本体部３５ａ〜３８ａは、各昇降装置３５ｃ〜３８ｃを介して各吸着装置３５ｂ〜３８ｂを支持している。各吸着装置３５ｂ〜３８ｂは、ゴム等の弾性体からなる吸着パッド４５と、この吸着パッド４５に接続される真空ポンプ４６とを有する。各昇降装置３５ｃ〜３８ｃは、吸着パッド４５を昇降させるロッド部４７と、このロッド部４７を駆動する駆動装置４８とを備える。

以下、第２移載装置３４乃至第６移載装置３８の動作について、図９を参照しながら説明する。この図９では、第３移載装置３５が、第２加工ステーション７から第１研磨ステーション８へと板ガラス２を移載する場合を例示する。

まず、図９（ａ）に示すように、第２加工ステーション７による加工が終了すると、第３移載装置３５は、この第２加工ステーション７における支持台７ａの上方位置に待機する吸着パッド４５を下降させ、板ガラス２に接触させる（図９（ａ）において二点鎖線で示す）。なお、第３移載装置３５は、吸着装置３５ｂの真空ポンプ４６を始動させており、吸着パッド４５は吸引状態となっている。このとき、第２加工ステーション７は、支持台７ａの吸着口２０により板ガラス２を吸着させ続ける。支持台７ａは、吸着パッド４５が板ガラス２を保持可能なまでに吸着した後に、吸着口２０による板ガラス２の吸着を解除させる。

その後、図９（ｂ）において実線で示すように、第３移載装置３５は、昇降装置３５ｃによって吸着パッド４５を上昇させ、板ガラス２を支持台７ａから離間させる。その後、支持フレーム３９が移動することにより、第３移載装置３５は、図９（ｂ）の二点鎖線で示すように、板ガラス２を第２加工ステーション７の上方位置から第１研磨ステーション８の上方位置まで移動させる。

図９（ｃ）に示すように、第３移載装置３５は、第１研磨ステーション８の上方位置に移動すると、昇降装置３５ｃを作動させて吸着パッド４５を下降させる。これにより、板ガラス２は、第１研磨ステーション８の支持台８ａに接近する。昇降装置３５ｃは、板ガラス２が支持台８ａの支持面２１に接触する位置で、下降させていた吸着パッド４５を停止させる（図９（ｃ）において二点鎖線で示す）。板ガラス２が支持面２１に接触すると、第３移載装置３５は、吸着パッド４５による板ガラス２の保持を継続させつつ、支持台８ａの吸着口２２に板ガラス２を吸着させる。この吸着により板ガラス２が支持面２１に固定されると、制御装置１２は、第３移載装置３５の吸着装置３５ｂによる板ガラス２の吸着を解除させる。

その後、昇降装置３５ｃの動作により、吸着パッド４５が上昇して板ガラス２から離間する（図９（ｃ）において実線で示す）。吸着パッド４５が待機位置へと戻ると、支持フレーム３９の移動により、第３移載装置３５は再び第２加工ステーション７の上方位置へと移動する。このようにして、第３移載装置３５は、第２加工ステーション７から第１研磨ステーション８への板ガラス２の移載を繰り返す。

第３移載装置３５以外の第２移載装置３４、第４移載装置３６乃至第６移載装置３８についても同様に、第１加工ステーション６から第２加工ステーション７、第１研磨ステーション８から第２研磨ステーション９、第２研磨ステーション９から第３研磨ステーション１０、そして第３研磨ステーション１０から次工程へと板ガラス２が繰り返し移載される。

図１０は、制御装置１２の機能ブロック図を示す。制御装置１２は、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ、モニタ、入出力インターフェース等の各種ハードウェアを実装するコンピュータ（例えばＰＣ）を含む。図１０に示すように、制御装置１２は、ＣＰＵにより構成されるとともに各種の演算処理を実行する演算処理部４９と、保持ステーション５、第１加工ステーション６、第２加工ステーション７、第１研磨ステーション８乃至第３研磨ステーション１０、及び移載装置１１の制御を実行する装置制御部５０と、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ等により構成されるとともに、上記の各構成要素の制御に必要なプログラムを記憶する記憶部５１とを備える。これらの要素はバス（図示せず）により相互に接続されている。また、装置制御部５０は、第１移載装置３３の吸着装置３３ｂに係るセンサ４２からの信号を受信して、保持ステーション５に係る昇降装置５ｃを制御することにより、吸着パッド４０が第１の板ガラス２ａを吸着したときに、上昇している保持台５ａを停止させる。

演算処理部４９は、記憶部５１に格納されている各プログラムに基づいて、保持ステーション５に係る保持台５ａの移動距離に係る演算、第１加工ステーション６及び第２加工ステーション７に係る各加工具６ｃ，７ｃの回転速度、トルク等に係る演算、第１研磨ステーション８に係る第１研磨具８ｂ乃至第３研磨具１０ｂの送り速度や傾斜角度に係る演算を実行する。また、演算処理部４９は、第１加工ステーション６、第２研磨ステーション９及び第３研磨ステーション１０に係る支持台６ａ，９ａ，１０ａの回転速度の演算などを実行する。

装置制御部５０は、演算処理部４９と協働して、保持ステーション５における昇降装置５ｃの駆動制御、各ガード部５ｂ〜７ｂの駆動制御、第１係止部材５ｄ及び第２係止部材５ｅに係る各アクチュエータ１４，１６の駆動制御、第１加工ステーション６及び第２加工ステーション７に係る各加工具６ｃ，７ｃの始動・停止及び回転速度の制御を実行する。また、装置制御部５０は、第１加工ステーション６に係る支持台６ａの回転駆動制御、第２加工ステーション７及び第１研磨ステーション８に係る各支持台７ａ，８ａの移動制御、第１研磨ステーション８に係る第１研磨具８ｂの駆動制御、第１研磨ステーション８乃至第３研磨ステーション１０に係る各研磨具８ｂ、９ｂ，１０ｂの搬送制御、各支持台６ａ〜１０ａに係る板ガラス２の吸着、及び移載装置１１（２９〜３４）の制御などを実行する。

記憶部５１は、保持ステーション５、第１加工ステーション６、第２加工ステーション７、第１研磨ステーション８乃至第３研磨ステーション１０、及び移載装置１１の制御を実行するための各種プログラムを記憶している。

図１１は、板ガラス２の製造方法に係るフローチャートを示す。以下、上記構成の製造装置１を用いて板ガラス２を製造（加工）する方法について図１１を参照しながら説明する。

まず、加工用の板ガラス２が保持ステーション５に保持される（Ｓ１：保持工程）。この保持工程Ｓ１では、予め略円形に切断された複数の板ガラス２が保持ステーション５の保持台５ａに積載される。保持ステーション５は、積載された板ガラス２の外周部３にガード部５ｂを接近させる。

保持工程Ｓ１が終了すると、保持ステーション５、第１移載装置３３、及び制御装置１２が連動し、保持台５ａに積載されている板ガラス２が第１加工ステーション６へと移載される（Ｓ２：第１移載工程）。

この第１移載工程Ｓ２では、図６及び図７を参照して既に説明したように、第１移載装置３３の吸着パッド４０を吸着位置に設置して待機させる工程（図６（ａ）及び図７（ａ）参照）、保持ステーション５の保持台５ａを上昇させて、第１の板ガラス２ａを吸着パッド４０に接触・吸着させる工程（図６（ｂ）及び図７（ｂ）参照）が実行される。その後、第１係止部材５ｄの第１係止部１３を第２の板ガラス２ｂの外周部３に接触させて係止する工程（図６（ｃ）及び図７（ｃ）参照）、第１の板ガラス２ａを横方向にスライドさせる工程（図６（ｄ）及び図７（ｄ）参照）、第２係止部１５を第２の板ガラス２ｂの上面に接触させて係止する工程が実行される。さらに、スライドさせた第１の板ガラス２ａを上方に移動させて第２の板ガラス２ｂから離間させる工程（図６（ｅ）及び図７（ｅ）参照）、そして、第１係止部材５ｄの第１係止部１３及び第２係止部材５ｅの第２係止部１５による第２の板ガラス２ｂの係止を解除する工程（図６（ｆ）及び図７（ｆ）参照）等が実行される。

第１加工ステーション６の支持台６ａに板ガラス２が載置されると、第１加工ステーション６による板ガラス２の加工が行われる（Ｓ３：第１加工工程）。この第１加工工程Ｓ３では、制御装置１２の制御により、支持台６ａに係る吸着口１８の吸着によって板ガラス２が支持面１７に固定される。その後、一対の第１加工具６ｃが回転駆動されるとともに、支持台６ａが回転を開始する。第１加工具６ｃは、板ガラス２の外周部３に接触してその研削（面取り加工）を実行する。

第１加工工程Ｓ３が終了すると、板ガラス２は、第２移載装置３４によって、第１加工ステーション６から第２加工ステーション７へと移載される（Ｓ４：第２移載工程）。この第２移載工程Ｓ４では、第１加工ステーション６に係る支持台６ａの固定を維持した状態で、第２移載装置３４の吸着パッド４５による板ガラス２の吸着が行われる。この吸着が完了すると、制御装置１２の制御により、第１加工ステーション６の支持台６ａによる板ガラス２の吸着が解除される。第２移載装置３４の吸着パッド４５は、昇降装置３４ｃの動作によって上昇し、板ガラス２を支持台６ａから離間させる。

支持フレーム３９の移動により、第２移載装置３４は、第１加工ステーション６の上方位置から第２加工ステーション７の上方位置へと移動する。その後、第２移載装置３４は、昇降装置３４ｃによって吸着パッド４５を下降させ、板ガラス２を第２加工ステーション７に係る支持台７ａに載置する。支持台７ａは、吸着パッド４５による板ガラス２の吸着が維持された状態で、第２加工ステーション７に係る支持台７ａの吸着口２０の吸着によって板ガラス２をその支持面１９に固定する。その後、第２移載装置３４の吸着パッド４５による板ガラス２の保持が解除され、第２移載装置３４は、吸着パッド４５を上昇させて待機位置へと戻し、第２移載工程Ｓ４を終える。

次に、第２加工ステーション７によって板ガラス２に切欠き部４が形成される（Ｓ５：第２加工工程）。この第２加工工程Ｓ５では、上述の支持台７ａによる板ガラス２の固定を経た後、支持台７ａを第２加工具７ｃに向かって移動させ、板ガラス２を回転中の第２加工具７ｃに接触させる。第２加工ステーション７は、この第２加工具７ｃによって板ガラス２の外周部３に切欠き部４を形成する。

第２加工工程Ｓ５が終了すると、板ガラス２は、第３移載装置３５によって第２加工ステーション７から第１研磨ステーション８へと移載される（Ｓ６：第３移載工程）。この第３移載工程Ｓ６については、図９を参照して既に説明した通りである。

第３移載工程Ｓ６により、第１研磨ステーション８に係る支持台８ａの支持面２１に板ガラス２が固定されると、第１研磨具８ｂによって、板ガラス２の切欠き部４の研磨が行われる（Ｓ７：第１研磨工程）。この第１研磨工程Ｓ７では、制御装置１２の制御によって、支持台８ａを回動させるとともに、第１研磨具８ｂであるテープによって、切欠き部４の第１のＲ面２６、第２のＲ面２７及びテーパ面２８に対して研磨が施される。

第１研磨工程Ｓ７が終了すると、板ガラス２は、第４移載装置３６によって、第１研磨ステーション８から第２研磨ステーション９へと移載される（Ｓ８：第４移載工程）。この第４移載工程Ｓ８では、第４移載装置３６は、第１研磨ステーション８の支持台８ａに固定されている板ガラス２を、吸着パッド４５により保持するとともに、第２研磨ステーション９の支持台９ａへと移載する。

第２研磨ステーション９の支持台９ａに板ガラス２が固定されると、第２研磨具９ｂによって板ガラス２の外周部３に研磨が施される（Ｓ９：第２研磨工程）。この第２研磨工程Ｓ９では、支持台９ａの吸着口３０によって板ガラス２を支持面２９に固定した後、この支持台９ａを回転させながら、第２研磨具９ｂによって板ガラス２の外周部３に研磨が施される。

第２研磨工程Ｓ９が終了すると、板ガラス２は、第５移載装置３７によって、第２研磨ステーション９から第３研磨ステーション１０へと移載される（Ｓ１０：第５移載工程）。この第５移載工程Ｓ１０では、第５移載装置３７は、第２研磨ステーション９の支持台９ａに固定されている板ガラス２を、吸着パッド４５により保持するとともに、第３研磨ステーション１０の支持台１０ａへと移載する。

第３研磨ステーション１０の支持台１０ａに板ガラス２が固定されると、第２研磨工程Ｓ９と同じように、支持台１０ａが回転しながら、第３研磨具１０ｂによって板ガラス２の外周部３に研磨が施される（Ｓ１１：第３研磨工程）。

第３研磨工程Ｓ１１が終了すると、板ガラス２は、第６移載装置３８によって、第３研磨ステーション１０から次工程へと移載される（Ｓ１２：第６移載工程）。この第６移載工程Ｓ１２では、第３研磨ステーション１０の支持台１０ａにある板ガラス２を第６移載装置３８の吸着パッド４５によって保持し、この板ガラス２を支持台１０ａから離間させた後、次工程へと移送する。この際、板ガラス２は、図示しない保持台に保持され、又は、図示しない搬送装置によって次工程へと移送され得る。その後、板ガラス２は、その表面に研磨加工が施される（仕上げ工程）。以上によって、外周部３に切欠き部４が形成された略円形の板ガラス２が完成する。

以上説明した本実施形態に係る板ガラス２の製造方法及び製造装置１によれば、第１移載工程Ｓ２において、保持台５ａに保持される第１の板ガラス２ａの上面を、第１移載装置３３に係る吸着パッド４０に吸着させ、この吸着パッド４０を横方向に移動させることにより、この第１の板ガラス２ａを第２の板ガラス２ｂに接触させた状態でスライドさせることができる。第１の板ガラス２ａと第２の板ガラス２ｂとが全面的に密着した状態では、第１の板ガラス２ａを第２の板ガラス２ｂから上方に分離させようとすると、多大な力を要することになり、第２の板ガラス２ｂから容易に剥離させることは非常に困難である。このため、本実施形態では、第１の板ガラス２ａを第２の板ガラス２ｂに対してスライドさせ、第１の板ガラス２ａと第２の板ガラス２ｂとの接触面積を低減した後に、第１の板ガラス２ａを上方に移動させて第２の板ガラス２ｂから分離させる。

したがって、この製造方法及び製造装置１によれば、第１の板ガラス２ａの移載を容易に行うことができ、その効率を向上させて板ガラス２の製造コストを可及的に低減できる。さらに、製造装置１を大型化する必要もないため、製造装置１に係るコスト及びその設置スペースを抑えることも可能になる。

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能 である。

上記の実施形態では、第１移載工程Ｓ２において、保持ステーション５の保持台５ａを吸着位置に設けられた第１移載装置３３の吸着パッド４０に向かって上昇させることにより、第１の板ガラス２ａをこの吸着パッド４０に吸着させる例を示したが、これに限定されない。図１２に示すように、保持台５ａを所定の位置に配置するとともに、吸着パッド４０を保持台５ａの上方位置（二点鎖線で示す）から下方に移動させることによって、第１の板ガラス２ａを吸着パッド４０に吸着させてもよい。

上記の実施形態では、第１移載工程Ｓ２において、第１の板ガラス２ａをスライドさせ、第１の板ガラス２ａと第２の板ガラス２ｂとが重なる部分が残る状態で、吸着パッド４０を上方に移動させることにより、第１の板ガラス２ａを第２の板ガラス２ｂから上方に離間させた例を示したが、これに限定されない。図１３に示すように、第１の板ガラス２ａをスライドさせて、この第１の板ガラス２ａが第２の板ガラス２ｂと重ならない位置、すなわち、横方向において、第１の板ガラス２ａを第２の板ガラス２ｂから離れた位置（二点鎖線で示す位置）まで移動させた後に、第１の板ガラス２ａを上方に移動させてもよい。すなわち、本発明では、吸着パッド４０と保持台５ａとを横方向において相対的に移動させることにより、第１の板ガラス２ａと第２の板ガラス２ｂとの分離・離間を行うことができる。また、これに限らず、第１の板ガラス２ａを横方向にスライドさせて、第２の板ガラス２ｂから離間させ、そのままこの第１の板ガラス２ａを上方に移動させることなく横方方向に移動させ、第１加工ステーション６に係る支持台６ａの支持面１７に載置してもよい。

上記の実施形態では、第１係止部材５ｄによって第２の板ガラス２ｂの外周部３を係止する例を示したが、これに限定されない。例えば、図１４に示すように、第１係止部材５ｄに加え、又はこの第１係止部材５ｄに代えて、第２の板ガラス２ｂをクランプ部材５２によって挟持することにより、これを係止してもよい。このクランプ部材５２は、第２の板ガラス２ｂの外周部３を係止する係止部材として機能し、第２の板ガラス２ｂに対して、横方向に接近・離反可能に構成され得る。

また、上記の実施形態では、積載された複数の板ガラス２の除電を行うべく、保持ステーション５の保持台５ａを接地した例を示したが、これに限定されない。例えば、図１５に示すように、イオナイザを具備するエア吹付部材５３（例えばエアガン又はエアノズル）により、第２の板ガラス２ｂの上面に除電エアを吹き付けることによって、板ガラス２の除電を行ってもよい。

上記の実施形態では、略円形に構成された板ガラス２の外周部３を加工及び研磨する例を示したが、これに限定されない。本発明では、多角形状、楕円その他の各種形状に構成される板ガラス２を加工できる。板ガラス２を円形以外の形状に加工する場合、第１加工ステーション６の第１加工具６ｃは、板ガラス２の外周部３を所定の形状に加工すべく、所定の軌跡を描くように移動するように構成される。この場合、支持台６ａは、板ガラス２を回転させるような構成を備えなくてもよい。

上記のように板ガラス２を円形以外の形状に形成する場合、第２研磨ステーション９及び第３研磨ステーション１０は、板ガラス２の外周部３の端面を倣うように移動しながら砥石による研磨を行うようにすればよい。

上記の実施形態では、第１加工工程Ｓ３の後に、第２加工工程Ｓ５を実施する例を示したが、これに限らず、これらの順を逆にしてもよい。また、第２加工工程Ｓ５の後に第２研磨工程Ｓ９を行い、その後に第１研磨工程Ｓ７を実行してもよい。

上記の実施形態では、板ガラス２の外周部３に対する研磨を第２研磨工程Ｓ９と第３研磨工程Ｓ１１との二回に分けて行う例を示したが、これに限定されない。板ガラス２における外周部３の研磨は、第３研磨工程Ｓ１１を省略して第２研磨工程Ｓ９のみで行ってもよく、また、三回以上に分けて行うようにしてもよい。第１加工工程Ｓ３、第２加工工程Ｓ５、及び第１研磨工程Ｓ７についても同様である。

上記の実施形態では、切欠き部４として、Ｖ字状のノッチを例示したが、これに限らず、オリエンテーションフラットと呼ばれる直線状の切欠き部が半導体ウェハに形成される場合には、これに対応して直線状の切欠き部を板ガラス２に形成してもよい。

上記の実施形態では、第２研磨具９ｂ、及び第３研磨具１０ｂを研磨テープにより構成した例を示したが、これに限定されない。各研磨具９ｂ、１０ｂは、回転砥石その他の砥石により構成されてもよい。

１ 製造装置
２ 板ガラス
２ａ 第１の板ガラス
２ｂ 第２の板ガラス
３ 板ガラスの外周部
５ 保持ステーション
５ａ 保持台
５ｄ 第１係止部材（係止部材）
５ｅ 第２係止部材（係止部材）
６ 第１加工ステーション（加工ステーション）
１１ 移載装置
４０ 吸着パッド
Ｓ１ 保持工程
Ｓ３ 第１加工工程（加工工程）
Ｓ６ 第１移載工程（移載工程）
Ｏ 第２の板ガラスの中心

Claims (12)

1. その外周部を加工して所定形状の板ガラスを製造する方法であって、
   複数の板ガラスを保持台に積載する保持工程と、前記板ガラスの前記外周部を加工する加工工程と、前記保持工程から前記加工工程へと前記板ガラスを移載する移載工程と、を備え、
   前記移載工程は、前記複数の前記板ガラスのうち最上部に位置する第１の板ガラスの上面を吸着パッドによって吸着する工程と、前記第１の板ガラスの下側に位置する第２の板ガラスに前記第１の板ガラスを接触させた状態で、前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとの接触面積を減少させるべく前記吸着パッドを横方向に移動させることにより、前記第１の板ガラスをスライドさせる工程と、前記第１の板ガラスをスライドさせた後に、前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとが重なる部分を残した状態で、前記吸着パッドと前記保持台とを上下方向において相対的に移動させることにより、前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとを上下方向において離間させる工程と、を備えることを特徴とする、板ガラスの製造方法。
2. 前記移載工程は、前記第２の板ガラスの外周部を係止部材により係止する工程をさらに備える、請求項１に記載の板ガラスの製造方法。
3. 前記移載工程は、前記第２の板ガラスの上面を係止部材により係止する工程をさらに備える、請求項１又は２に記載の板ガラスの製造方法。
4. 前記吸着パッドと前記保持台との前記上下方向における前記相対的な移動は、前記吸着パッドを上方に移動させることにより行われる、請求項１から３の何れか一項に記載の板ガラスの製造方法。
5. 前記吸着パッドと前記保持台との前記上下方向における前記相対的な移動は、前記保持台を下方に移動させることにより行われる、請求項１から４の何れか一項に記載の板ガラスの製造方法。
6. 前記吸着パッドと前記保持台との前記上下方向における前記相対的な移動は、前記第１の板ガラスが、前記第２の板ガラスの中心位置と重ならない位置までスライドしたときに行われる、請求項１から５の何れか一項に記載の板ガラスの製造方法。
7. 前記移載工程は、前記複数の前記板ガラスから離れた上方位置に前記吸着パッドを配置するとともに前記吸着パッドを吸引状態に設定し、前記保持台を上昇させることにより、前記第１の板ガラスの前記上面を前記吸着パッドに吸着させる工程をさらに備える、請求項１から６の何れか一項に記載の板ガラスの製造方法。
8. 前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとが重なり合う部分の接触面積が、前記第１の板ガラス又は前記第２の板ガラスの表面積の１６％以下である状態で、前記吸着パッドと前記保持台とを上下方向において相対的に移動させる、請求項１から７の何れか一項に記載の板ガラスの製造方法。
9. 前記第１の板ガラスをスライドさせる工程は、前記第２の板ガラスの下側に位置する第３の板ガラスに前記第２の板ガラスを接触させた状態で、前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとの接触面積が前記第２の板ガラスと前記第３の板ガラスとの接触面積よりも小さくなるように、前記第１の板ガラスを吸着する前記吸着パッドを前記横方向に移動させる、請求項１から８の何れか一項に記載の板ガラスの製造方法。
10. その外周部を加工して所定形状の板ガラスを製造する装置であって、
    複数の板ガラスを積載する保持台を有する保持ステーションと、前記各板ガラスの外周部を所定形状に加工する加工ステーションと、前記保持ステーションから前記加工ステーションへと前記各板ガラスを移載する移載装置と、を備え、
    前記移載装置は、前記保持台において保持される前記複数の前記板ガラスのうち最上部に位置する第１の板ガラスの上面を吸着する吸着パッドを備え、
    前記移載装置は、前記第１の板ガラスの下側に位置する第２の板ガラスに前記第１の板ガラスを接触させた状態で、前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとの接触面積を減少させるべく前記第１の板ガラスを吸着している前記吸着パッドを横方向に移動させることにより、前記第１の板ガラスをスライドさせるように構成され、
    前記第１の板ガラスをスライドさせた後に、前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとが重なる部分を残した状態で、前記吸着パッドと前記保持台とを上下方向において相対的に移動させることにより、前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとを上下方向において離間させることを特徴とする、板ガラスの製造装置。
11. 前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとが重なり合う部分の接触面積が、前記第１の板ガラス又は前記第２の板ガラスの表面積の１６％以下である状態で、前記吸着パッドと前記保持台とを上下方向において相対的に移動させる、請求項１０に記載の板ガラスの製造装置。
12. 前記移載装置は、前記第２の板ガラスの下側に位置する第３の板ガラスに前記第２の板ガラスを接触させた状態で、前記第１の板ガラスと前記第２の板ガラスとの接触面積が前記第２の板ガラスと前記第３の板ガラスとの接触面積よりも小さくなるように、前記第１の板ガラスを吸着する前記吸着パッドを前記横方向に移動させることにより、前記第１の板ガラスをスライドさせる、請求項１０又は１１に記載の板ガラスの製造装置。

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