JP6572790B2 - ウェーハの両面研磨方法 - Google Patents
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Description
図1に示す両面研磨装置10を用い、研磨布11の外周側圧縮部11a及び内周側圧縮部11bの圧縮幅A及び圧縮幅Bを各試験例ごとに変更してウェーハの両面研磨を行い、圧縮幅の変量による平坦度の推移を検証した。その結果を以下の表1及び図7に示す。なお、この実施例1における試験例2〜9では、いずれも、表1に示すように、圧縮幅A=圧縮幅Bの条件で圧縮幅A及び圧縮幅B変更させた。また、試験例1は、圧縮部を形成せずにウェーハの両面研磨を行った。
以下の表2に示すように、研磨布に設けられる外周側圧縮部及び内周側圧縮部の圧縮幅A及び圧縮幅Bを、圧縮幅A≠圧縮幅Bの条件で各試験例ごとに変更し、ウェーハの両面研磨を行うことによって、圧縮幅の変量による平坦度の推移を検証した。この結果を以下の表2及び図8に示す。なお、この実施例2の各試験例における圧縮幅以外の他の条件及び評価方法は、上述の実施例1と同様に行った。
研磨布の外周又は内周のいずれか一方のみに圧縮部を形成し、この圧縮幅を、以下の表3に示す範囲で変更してウェーハの両面研磨を行い、平坦度の推移を検証した。この結果を以下の表3及び図9に示す。なお、この実施例3の各試験例における圧縮幅以外の他の条件及び評価方法については、上述の実施例1と同様に行った。
上述の実施例1の結果から、係数αが0.20である試験例5において最も高い評価が得られたことから、再度、試験例5の条件と同条件でウェーハの両面研磨を実施し、外周ダレ量の評価を行った。この結果を以下の表4及び図10に示す。なお、表4及び図10に示す結果は、各試験例ごとに25枚ずつ、同一条件で両面研磨を行い、それらを平均した値である。
実施例1〜3の各試験例で使用した研磨布と同じ研磨布を用いて、この研磨布に圧縮部を形成するときの鉛直方向における圧縮量と、圧縮面圧及び圧縮部を形成してから両面研磨を開始するまでの放置時間との関係について試験した。この結果を図11に示す。図11には、圧縮面圧を100〜1000g/cm2とし、圧縮部を形成してから両面研磨を開始するまでの放置時間を10分間〜6時間としたときの結果を示している。なお、放置時間が6時間を超えても、6時間放置したときの圧縮量から変化はみられなかった(図示せず)。また、実施例1〜3の各試験例と同様、圧縮部を形成する時の圧縮時間はいずれも1時間とし、圧縮温度はいずれも25℃(室温)とした。
11a 外周側圧縮部
11b 内周側圧縮部
12 上定盤
13 下定盤
14 キャリアプレート
16 ウェーハ
17 スラリー
18 スラリー供給孔
Claims (6)
- 中央部に中央孔をそれぞれ有し、研磨面に研磨布がそれぞれ貼付されたドーナツ形状の上定盤及び下定盤でウェーハを狭圧して、スラリー供給孔から前記ウェーハにスラリーを供給しながら、前記上定盤と前記下定盤を回転駆動させることにより、前記ウェーハの両面を研磨する両面研磨方法において、
前記上定盤及び前記下定盤にそれぞれ貼付された前記研磨布の双方に、前記研磨布の外周又は内周を研磨布圧縮治具を用いて鉛直方向に圧縮して成形した外周側圧縮部又は内周側圧縮部のいずれか一方或いは双方が設けられ、
前記外周側圧縮部の水平方向における幅を圧縮幅A、前記内周側圧縮部の水平方向における幅を圧縮幅B、前記ウェーハの直径をDとするとき、前記圧縮幅Aが0.15×D≦A≦0.25×Dを満たし、前記圧縮幅Bが0.15×D≦B≦0.25×Dを満たす
ことを特徴とするウェーハの両面研磨方法。 - 前記内周側圧縮部及び前記外周側圧縮部の鉛直方向における圧縮量が、前記研磨布の圧縮前の厚さの0.77%以上であることを特徴とする請求項1記載のウェーハの両面研磨方法。
- 前記上定盤及び下定盤にそれぞれ貼付された前記研磨布の双方に、前記外周側圧縮部及び内周側圧縮部の双方が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のウェーハの両面研磨方法。
- 前記研磨布が不織布系研磨布、ポリウレタン研磨布又はスウェード系研磨布であることを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項に記載のウェーハの両面研磨方法。
- 前記研磨布圧縮治具が、1つのパーツから構成されたリング形状の治具であるか、若しくは結合によって1つのリング形状となる2以上のパーツから構成された治具であることを特徴とする請求項1ないし4いずれか1項に記載のウェーハの両面研磨方法。
- 前記研磨布圧縮治具は厚さが0.3mm以上であって、無機材料で形成された治具又は樹脂製の治具であることを特徴とする請求項1ないし5いずれか1項に記載のウェーハの両面研磨方法。
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