JP6549906B2

JP6549906B2 - Method of manufacturing glass substrate, and apparatus for manufacturing glass substrate

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Publication number: JP6549906B2
Application number: JP2015109571A
Authority: JP
Inventors: 剛大三石
Original assignee: Avanstrate Inc; Avanstrate Asia Pte Ltd; Avanstrate Taiwan Inc
Current assignee: Avanstrate Inc; Avanstrate Asia Pte Ltd; Avanstrate Taiwan Inc
Priority date: 2015-05-29
Filing date: 2015-05-29
Publication date: 2019-07-24
Anticipated expiration: 2035-05-29
Also published as: JP2016222396A

Description

本発明は、ガラス基板の製造方法、及び、ガラス基板の製造装置に関する。 The present invention relates to a method of manufacturing a glass substrate and an apparatus for manufacturing a glass substrate.

液晶表示装置やプラズマディスプレイ装置などのディスプレイの表示部の部品として平らなガラス板が使用される。以下の説明では、このようなガラス板をフラットパネルディスプレイ用ガラス基板、あるいは単にガラス基板という。例えば、液晶表示装置においては、ガラス基板の間に封入された液晶に印加される電界を変化させ、液晶の配向を変化させることにより、動画の表示が可能になる。液晶表示装置の画像の表示の際に電界を変化させる必要があるため、ガラス基板には、電圧を印加するための透明な電極が形成される。 A flat glass plate is used as a component of a display unit of a display such as a liquid crystal display device or a plasma display device. In the following description, such a glass plate is referred to as a glass substrate for flat panel display, or simply as a glass substrate. For example, in a liquid crystal display device, a moving image can be displayed by changing the electric field applied to the liquid crystal sealed between the glass substrates and changing the alignment of the liquid crystal. Since it is necessary to change the electric field at the time of displaying an image of the liquid crystal display device, a transparent electrode for applying a voltage is formed on the glass substrate.

また、ガラス基板上の電極に印加される電圧のオン・オフを制御するため、高品質な表示が必要なテレビ受像機などに用いられる液晶表示装置では、薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）を使ったアクティブ・マトリクス方式の制御が採用されている。このＴＦＴもガラス基板上に形成される。具体的には、液晶ディスプレイでは、光の透過量を制御するＴＦＴ（Thin Film Transistor）と液晶、カラーフィルタとを構成要素としている。液晶ディスプレイにおけるカラーフィルタパネルの製造方法は、通常、ガラス基板の表面に黒色のマトリックスを形成し、続いて、赤、緑、青の異なる色相を順次、ストライプ状あるいはモザイク状等の色パターンで形成する方法が用いられている。 In addition, in a liquid crystal display device used for a television receiver or the like that requires high quality display to control on / off of a voltage applied to an electrode on a glass substrate, an active matrix using thin film transistors (TFTs) Control of the scheme is adopted. This TFT is also formed on the glass substrate. Specifically, in a liquid crystal display, a TFT (Thin Film Transistor) for controlling the transmission amount of light, a liquid crystal, and a color filter are components. In a method of manufacturing a color filter panel in a liquid crystal display, usually, a black matrix is formed on the surface of a glass substrate, and then different hues of red, green and blue are sequentially formed in a stripe or mosaic color pattern Methods are used.

ディスプレイの高精細化に伴い、ガラス基板の表面に配置されるブラックマトリックスの線幅およびピッチは小さくなっている。例えば、ディスプレイの高コントラスト化を達成するために、ブラックマトリックスの高細線化・高精細化（具体的には、２０μｍ未満の線幅）による開口率の向上、および、ブラックマトリックスの高い寸法精度による遮光性の向上が必要になっている。また、ディスプレイ画素数の高密度化に伴い、パターンサイズはカラーフィルタの用途並びにそれぞれの色により異なるが、一例としては、赤、緑、青の画素は２００〜３００μｍから１００μｍへ、ブラックマトリックスは２０μｍから１０μｍ、さらには５μｍへと細線技術が開発されている。 As the definition of displays increases, the line width and pitch of the black matrix disposed on the surface of the glass substrate decrease. For example, in order to achieve high contrast of the display, improvement of the aperture ratio by high fine line and high definition of the black matrix (specifically, line width less than 20 μm) and high dimensional accuracy of the black matrix It is necessary to improve the light shielding property. Also, as the display pixel density increases, the pattern size varies depending on the application of the color filter and each color, but as an example, red, green and blue pixels are 200 to 300 μm to 100 μm, and the black matrix is 20 μm Thin line technology has been developed from 10 μm to 5 μm.

このように、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板のガラス面上に、極めて薄い金属膜や半導体によって電極やアクティブな素子が形成されるため、ガラス基板のガラス表面には、極めて高い平坦性と極めて高い清浄性が要求される。 As described above, since an electrode or an active element is formed by a very thin metal film or semiconductor on the glass surface of a glass substrate for flat panel display, the glass surface of the glass substrate has extremely high flatness and extremely high cleanliness. Sex is required.

ところで、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板は、例えば、液晶表示装置に用いられるもの（以下、液晶用ガラス基板という）であれば、薄い長方形の板状の形態を呈する。液晶用ガラス基板は、通常、厚みが０．０５ｍｍ〜０．７ｍｍ程度と１ｍｍよりも薄く、年々大型化の要求が高まってきている。 By the way, if the glass substrate for flat panel displays is a thing used for a liquid crystal display (henceforth a glass substrate for liquid crystals), for example, it will exhibit thin rectangular plate-like form. The thickness of a glass substrate for liquid crystal is generally thinner than about 0.05 mm to about 0.7 mm, and the demand for an increase in size is increasing year by year.

液晶用ガラス基板は、一つの液晶表示装置に必要な大きさのガラス基板の複数枚の大きさに相当する大きさを持つマザーガラスと呼ばれる形態で、液晶表示装置の製造工程に供給される。このマザーガラスの大きさは、慣用的に世代という呼び方で表現され、例えば、第６世代のマザーガラスの大きさは、１５００ｍｍ×１８５０ｍｍである。マザーガラスは、板状に成形されたガラス板を所定の大きさに切断することにより得られる。そして、ガラス板の切断時に生じた汚れや切り屑などを取り除くために、マザーガラスである液晶用ガラス基板の洗浄が必要になる。 The liquid crystal glass substrate is supplied to the manufacturing process of the liquid crystal display device in a form called mother glass having a size corresponding to a size of a plurality of glass substrates of a size necessary for one liquid crystal display device. The size of this mother glass is conventionally expressed by the term “generation”, and for example, the size of the sixth generation mother glass is 1500 mm × 1850 mm. The mother glass is obtained by cutting a glass plate formed into a plate shape into a predetermined size. And in order to remove dirt, chips, etc. which arose at the time of a cutting of a glass board, cleaning of a glass substrate for liquid crystals which is mother glass is needed.

このような状況で行われる液晶用ガラス基板のガラス表面を洗浄する際の搬送においては、搬送用ローラーを用いた搬送方式が広く用いられている。搬送用ローラーを用いた搬送方式の一例として、例えば、特許文献１に記載されている方法が提案されている。この様な搬送方式にて搬送されたガラス基板の洗浄に関しては、物理洗浄にてガラス基板の洗浄をする、又、ガラスに打力を与える洗浄ユニットにてガラス基板を洗浄する。 In the conveyance at the time of washing | cleaning of the glass surface of the glass substrate for liquid crystals performed in such a condition, the conveyance system using the roller for conveyance is used widely. As an example of the conveyance method using the conveyance roller, the method described in patent document 1 is proposed, for example. With regard to the cleaning of the glass substrate transported by such a transport method, the glass substrate is cleaned by physical cleaning, and the glass substrate is cleaned by a cleaning unit that applies a striking force to the glass.

特開２００８−２８５２４３号公報JP, 2008-285243, A

しかしながら、従来のガラス搬送方式ではガラス基板の板厚が薄くなるにつれて、ガラス基板の撓みの影響が大きくなり、ガラス基板が搬送用ローラーの乗り移り時にガラス基板が搬送用ローラーの下にもぐり込んでしまう問題があった。特に、ガラス基板の板厚が薄くなるにつれて撓み現象が顕著となり、ガラス基板の板厚が０．４ミリメートル（ｍｍ）以下となると一般的に用いられている搬送用ローラーの間隔では、ガラス基板の搬送に問題が発生する可能性が高くなるため、搬送用ローラー間隔を狭くするなどの対応が取られている。搬送用ローラー間隔を狭くすると、薄いガラス基板であっても、安定して搬送することができるが、ガラス基板を洗浄する洗浄ユニットが配置できる場所が限定されるため、ガラス基板に要求される高い洗浄性を確保できない可能性がある。 However, in the conventional glass transport method, as the thickness of the glass substrate becomes thinner, the influence of the deflection of the glass substrate becomes greater, and the glass substrate is intruded under the transport roller when the transport roller shifts. was there. In particular, as the thickness of the glass substrate becomes thinner, the bending phenomenon becomes remarkable, and when the thickness of the glass substrate is 0.4 mm (mm) or less, the distance between the commonly used conveying rollers is In order to increase the possibility of problems in conveyance, measures have been taken such as reducing the distance between the conveyance rollers. If the distance between the transfer rollers is narrow, even thin glass substrates can be stably transported, but the location where the cleaning unit for cleaning the glass substrates can be limited, so the height required for the glass substrates is high. There is a possibility that the cleaning ability can not be secured.

そこで本発明は、ガラス基板の安定搬送と洗浄性とを両立できるガラス基板の製造方法、及び、ガラス基板の製造装置を提供することを目的とする。 Then, an object of this invention is to provide the manufacturing method of the glass substrate which can make stable conveyance of a glass substrate, and washability make compatible, and a manufacturing apparatus of a glass substrate.

本発明の一態様は、ガラス基板の製造方法であって、
液晶ディスプレイ用のガラス基板の下面を支持する複数のローラにより前記ガラス基板を水平に搬送する搬送工程と、
前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の位置に配置される洗浄ユニットのブラシユニットを搬送中の前記ガラス基板の下面と接触させることにより前記ガラス基板の下面を洗浄する洗浄工程と、を備え、
前記搬送工程では、前記ガラス基板が水平になるように、前記複数のローラのうち前記ガラス基板の搬送方向の上流側および下流側にあるローラ間の前記搬送方向に沿った複数の場所、及び前記搬送方向と直交する幅方向に沿った複数の場所に配置された複数のブロー穴から流体を噴出させることにより、前記ガラス基板の下面に所定の圧をかけて、前記所定の圧と前記複数のローラとにより前記ガラス基板を支持する、
ことを特徴とする。 One aspect of the present invention is a method for producing a glass substrate,
A conveying step of conveying the glass substrate horizontally by a plurality of rollers supporting a lower surface of the glass substrate for liquid crystal display;
And cleaning the lower surface of the glass substrate by bringing a brush unit of a cleaning unit arranged at a plurality of positions along the conveyance direction of the glass substrate into contact with the lower surface of the glass substrate being transported ;
In the transfer step, a plurality of locations along the transfer direction between the rollers on the upstream side and the downstream side of the transfer direction of the glass substrate among the plurality of rollers such that the glass substrate is horizontal , and A predetermined pressure is applied to the lower surface of the glass substrate by ejecting a fluid from a plurality of blow holes arranged at a plurality of locations along a width direction orthogonal to the transport direction, and the predetermined pressure and the plurality of to support the glass substrate by a roller,
It is characterized by

本発明の他の一態様は、ガラス基板の製造方法であって、
液晶ディスプレイ用のガラス基板の下面を支持して前記ガラス基板を水平に搬送する搬送工程と、
前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の位置に配置される洗浄ユニットのブラシユニットを搬送中の前記ガラス基板の下面と接触させることにより前記ガラス基板の下面を洗浄する洗浄工程と、を備え、
前記搬送工程では、前記ガラス基板が水平になるように、前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の場所、及び前記搬送方向と直交する幅方向に沿った複数の場所に配置された複数のブロー穴からガスを噴出させ、さらに、噴出された前記ガスを吸引させることにより、前記ガラス基板の下面に前記洗浄ユニットにより所定の圧をかけて前記ガラス基板を浮上して支持し、
前記洗浄工程では、前記ガラス基板から前記洗浄により除去された異物を前記吸引により除去する、
ことを特徴とする。 Another aspect of the present invention is a method for producing a glass substrate, comprising:
A conveying step of supporting the lower surface of the glass substrate for liquid crystal display and conveying the glass substrate horizontally;
And cleaning the lower surface of the glass substrate by bringing a brush unit of a cleaning unit arranged at a plurality of positions along the conveyance direction of the glass substrate into contact with the lower surface of the glass substrate being transported;
In the transfer step, the plurality of blows are arranged at a plurality of locations along the transfer direction of the glass substrate and a plurality of locations along the width direction orthogonal to the transfer direction so that the glass substrate is horizontal. By causing gas to be ejected from a hole and further aspirating the ejected gas, a predetermined pressure is applied to the lower surface of the glass substrate by the cleaning unit, and the glass substrate is floated and supported.
Wherein in the cleaning step removes foreign matter removed by the cleaning from the glass substrate by the suction,
It is characterized by

前記所定の圧は、前記ローラが前記ガラス基板の下面を支持する位置から離れるほど強い、ことが好ましい。 It is preferable that the predetermined pressure is stronger as the roller moves away from the position at which the lower surface of the glass substrate is supported.

前記ガラス基板の板厚は０．４ｍｍ以下である、ことが好ましい。 It is preferable that the plate thickness of the said glass substrate is 0.4 mm or less.

本発明の他の一態様は、液晶ディスプレイ用のガラス基板の下面を支持する複数のローラと、前記ガラス基板を搬送するために浮上させる基板浮上ユニットと、前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の位置に配置されるブラシユニットを搬送中の前記ガラス基板の下面と接触させることにより前記ガラス基板の下面を洗浄する洗浄ユニットと、を備えるガラス基板の製造装置であって、
前記基板浮上ユニットは、前記ガラス基板が水平になるように、前記複数のローラのうち前記ガラス基板の搬送方向の上流側および下流側にあるローラ間の前記搬送方向に沿った複数の場所、及び前記搬送方向と直交する幅方向に沿った複数の場所に配置された複数のブロー穴から流体を噴出させることにより、前記ガラス基板の下面に所定の圧をかけて、前記所定の圧と前記複数のローラとにより前記ガラス基板を支持する、
ことを特徴とする。
また、本発明のさらに他の一態様は、液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送するために浮上させる基板浮上ユニットと、前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の位置に配置されるブラシユニットを、浮上して搬送中の前記ガラス基板の下面と接触させることにより前記ガラス基板の下面を洗浄する洗浄ユニットと、を備えるガラス基板の製造装置であって、
前記基板浮上ユニットは、前記ガラス基板が水平になるように、前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の場所、及び前記搬送方向と直交する幅方向に沿った複数の場所に配置された複数のブロー穴からガスを噴出させ、さらに、噴出された前記ガスを吸引させることにより、前記ガラス基板の下面に前記洗浄ユニットにより所定の圧をかけて前記ガラス基板を浮上して支持し、前記ガラス基板の前記洗浄の際、前記ガラス基板から前記洗浄により除去された異物を前記吸引により除去する、
ことを特徴とする。 Plurality another aspect of the present invention includes a plurality of rollers for supporting the lower surface of the glass substrate for a liquid crystal display, a substrate floating units for floating to convey the glass substrate, along the conveying direction of the glass substrate A cleaning unit that cleans the lower surface of the glass substrate by bringing a brush unit disposed at the position of the lower surface of the glass substrate into contact with the lower surface of the glass substrate being transported ;
The substrate floating unit includes a plurality of locations along the transport direction between the rollers on the upstream side and the downstream side of the transport direction of the glass substrate among the plurality of rollers such that the glass substrate is horizontal, and A predetermined pressure is applied to the lower surface of the glass substrate by ejecting fluid from a plurality of blow holes arranged at a plurality of locations along a width direction orthogonal to the transport direction, and the predetermined pressure and the plurality Supporting the glass substrate by the roller of
It is characterized by
Further, according to still another aspect of the present invention, there is provided a substrate floating unit that floats to transport a glass substrate for a liquid crystal display, and a brush unit disposed at a plurality of positions along the transport direction of the glass substrate. And a cleaning unit for cleaning the lower surface of the glass substrate by bringing it into contact with the lower surface of the glass substrate being transported.
The substrate levitation unit is disposed at a plurality of locations along the transport direction of the glass substrate and a plurality of locations along the width direction orthogonal to the transport direction such that the glass substrate is horizontal. The glass substrate is floated and supported by applying a predetermined pressure to the lower surface of the glass substrate by causing the gas to be jetted from the blow hole and further suctioning the jetted gas, and the glass substrate is supported. During the cleaning, the foreign matter removed from the glass substrate by the cleaning is removed by the suction.
It is characterized by

本発明によれば、薄いガラス基板であっても、ガラス基板の安定搬送と洗浄性とを両立できる。 According to the present invention, stable transport and cleaning properties of a glass substrate can be compatible even with a thin glass substrate.

本実施形態のガラス基板の製造方法の概要を説明するためのフローチャートである。It is a flowchart for demonstrating the outline | summary of the manufacturing method of the glass substrate of this embodiment. 枚葉洗浄装置の概略図である。It is the schematic of a sheet-fed washing | cleaning apparatus. 洗浄ユニットの上面図である。It is a top view of a washing unit. 洗浄ユニットの側面図である。It is a side view of a washing unit. 搬送ローラーに支持されたガラスシートが撓んだ状態を示した図である。It is the figure which showed the state which the glass sheet supported by the conveyance roller bent. 距離に応じて変化するガラスシートにかかるブロー圧の大きさを示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the magnitude | size of the blowing pressure concerning a glass sheet which changes according to distance. 基板浮上ユニットによるブロー圧の大きさを分類した図である。It is the figure which classified the size of the blow pressure by a substrate floating unit. 実施形態２にかかる洗浄ユニットの側面図である。5 is a side view of the cleaning unit according to Embodiment 2. FIG.

＜ガラスシートの組成＞
ガラスシート（ガラス基板）は、例えば、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）の製造に用いられるガラスである。このガラスシートは、ブラックマトリックス、および、赤色（Ｒ）・緑色（Ｇ）・青色（Ｂ）の光を透過させる波長選択素子であるＲＧＢ画素が表面に配置されることで、カラーフィルタが形成される。ブラックマトリックスは、ＲＧＢ画素領域以外におけるバックライトの光漏れを遮断し、互いに隣接するＲＧＢ画素の混色を防止することで、表示コントラストを向上させる。すなわち、カラーフィルタにおける光の通過領域は、ブラックマトリックスの形状および配置により決定される。ガラスシートの厚みは、例えば、０．１ｍｍ〜０．７ｍｍであり、０．４ｍｍ以下でもよい。ガラスシートのサイズは、例えば、６８０ｍｍ×８８０ｍｍ（Ｇ４サイズ）、２２００ｍｍ×２５００ｍｍ（Ｇ８サイズ）である。 <Composition of glass sheet>
A glass sheet (glass substrate) is glass used for manufacture of flat panel displays (FPD), such as a liquid crystal display, for example. In this glass sheet, a color filter is formed by arranging a black matrix and RGB pixels, which are wavelength selection elements that transmit red (R), green (G), and blue (B) light, on the surface. Ru. The black matrix improves the display contrast by blocking light leakage of the backlight outside the RGB pixel area and preventing color mixing of adjacent RGB pixels. That is, the passing area of light in the color filter is determined by the shape and arrangement of the black matrix. The thickness of the glass sheet is, for example, 0.1 mm to 0.7 mm, and may be 0.4 mm or less. The size of the glass sheet is, for example, 680 mm × 880 mm (G4 size) or 2200 mm × 2500 mm (G8 size).

ＦＰＤの製造に用いられるガラスシートは、無アルカリガラス、または、微アルカリガラスが好適である。ガラスシートが無アルカリガラスである場合、ガラスの組成は、例えば、ＳｉＯ_２：５０質量％〜７０質量％、Ａｌ_２Ｏ_３：０質量％〜２５質量％、Ｂ_２Ｏ_３：１質量％〜１５質量％、ＭｇＯ：０質量％〜１０質量％、ＣａＯ：０質量％〜２０質量％、ＳｒＯ：０質量％〜２０質量％、ＢａＯ：０質量％〜１０質量％である。ここで、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯおよびＢａＯの合計の含有量は、５質量％〜３０質量％である。 The glass sheet used for manufacturing FPD is preferably alkali-free glass or slightly alkali glass. When the glass sheet is alkali-free glass, the composition of the glass is, for example, SiO ₂ : 50% by mass to 70% by mass, Al ₂ O ₃ : 0% by mass to 25% by mass, B ₂ O ₃ : 1% by mass to 15 mass%, MgO: 0 mass% to 10 mass%, CaO: 0 mass% to 20 mass%, SrO: 0 mass% to 20 mass%, BaO: 0 mass% to 10 mass%. Here, the total content of MgO, CaO, SrO and BaO is 5% by mass to 30% by mass.

ガラスシートが、微量のアルカリ金属を含む微アルカリガラスである場合、ガラスの組成は、さらに、０．１質量％〜０．５質量％のＲ’_２Ｏを含み、好ましくは、０．２質量％〜０．５質量％のＲ’_２Ｏを含む。ここで、Ｒ’は、Ｌｉ、ＮａおよびＫから選択される少なくとも１種である。なお、Ｒ’_２Ｏの含有量の合計は、０．１質量％未満であってもよい。 When the glass sheet is a slight alkali glass containing a trace amount of alkali metal, the composition of the glass further includes 0.1% by mass to 0.5% by mass of R ′ ₂ O, preferably 0.2% by mass. % to 0.5 wt% of R 'containing ₂ O. Here, R ′ is at least one selected from Li, Na and K. Incidentally, the sum of the R _'2 O content may be less than 0.1 wt%.

また、ガラスシートは、上記成分に加えて、ＳｎＯ_２：０．０１質量％〜１質量％（好ましくは、０．０１質量％〜０．５質量％）、Ｆｅ_２Ｏ_３：０質量％〜０．２質量％（好ましくは、０．０１質量％〜０．０８質量％）をさらに含有してもよく、環境負荷を考慮して、Ａｓ_２Ｏ_３、Ｓｂ_２Ｏ_３およびＰｂＯを実質的に含有しなくてもよい。 Further, the glass sheet, in addition to the above _components, SnO 2: 0.01 wt% to 1 wt% (preferably 0.01 mass% to 0.5 _{_{mass%), Fe 2 O 3:}} 0 wt% It may further contain 0.2% by mass (preferably 0.01% by mass to 0.08% by mass), and it is possible to substantially contain As ₂ O ₃ , Sb ₂ O ₃ and PbO in consideration of environmental load. It does not have to be contained in

＜ガラスシートの製造方法の流れ＞
図１は、ガラスシートの製造方法の流れを示すフローチャートである。以下、フローチャートの各ステップＳ１〜Ｓ１０について説明する。 <Flow of glass sheet manufacturing method>
FIG. 1 is a flow chart showing a flow of a method of manufacturing a glass sheet. Hereinafter, steps S1 to S10 of the flowchart will be described.

最初に、ステップＳ１において、上述の組成を有するガラスシートを製造するために調整されたガラス原料の加熱により熔融ガラスが生成され、ダウンドロー法、リドロー法またはフロート法等によって熔融ガラスまたはプリフォームガラスから所定の厚みを有するガラスリボンが連続的に成形される。ステップＳ２において、ステップＳ１で生成されたガラスリボンが切断されて、所定のサイズを有する素板ガラスが得られる。ステップＳ３において、ステップＳ２で得られた素板ガラスは、素板ガラスの表面を保護するための合紙を介して積層された積層体として、素板ガラスを搬送および保管するためのパレットに載置される。 First, in step S1, molten glass is produced by heating a glass material prepared to produce a glass sheet having the above-mentioned composition, and the molten glass or preform glass is produced by a downdraw method, a redraw method, a float method or the like. A glass ribbon having a predetermined thickness is continuously formed. In step S2, the glass ribbon produced | generated by step S1 is cut | disconnected, and the uncoated glass which has a predetermined | prescribed size is obtained. In step S3, the blank glass obtained in step S2 is placed on a pallet for conveying and storing blank glass as a laminated body laminated via an interleaf to protect the surface of the blank glass. .

次に、ステップＳ４において、素板ガラスの積層体から素板ガラスが取り出され、素板ガラスは、製品であるガラスシートのサイズに切断される。ステップＳ５において、ステップＳ４で得られたガラスシートは、端面の研削および研磨、端面のエッチング等の端面加工処理が行われる。 Next, in step S4, the sheet glass is taken out from the laminate of the sheet glass, and the sheet glass is cut into the size of the glass sheet which is a product. In step S5, the glass sheet obtained in step S4 is subjected to end face processing such as grinding and polishing of the end face, and etching of the end face.

次に、ステップＳ６において、ガラスシートが搬送されながら、ガラスシートの洗浄が行われる。ガラスシートの洗浄工程では、ガラスシートの表面に付着した、ガラスの微小片であるカレット、塵、汚れ、粘着性の異物等が除去される。また、ガラスシートの洗浄工程では、洗浄されたガラスシートの表面にこれらの異物が再度付着しないように、界面活性剤が含まれる無機アルカリ系の洗浄剤が用いられる。 Next, in step S6, the glass sheet is washed while being conveyed. In the cleaning step of the glass sheet, cullet, dust, dirt, sticky foreign matter and the like which are small pieces of glass attached to the surface of the glass sheet are removed. Further, in the cleaning process of the glass sheet, an inorganic alkaline cleaner containing a surfactant is used so that these foreign substances do not adhere again to the surface of the cleaned glass sheet.

次に、ステップＳ７において、ステップＳ６で洗浄されたガラスシートの光学的検査が行われる。ステップＳ８において、ステップＳ７の検査に合格したガラスシートは、ガラスシートの表面を保護するための合紙と交互に積層された積層体として、パレットに載置されて梱包される。ステップＳ９において、梱包されたガラスシートの積層体は、ＦＰＤの製造業者の納入先に出荷される。出荷されるガラスシートの積層体に挟み込まれる合紙は、ガラスシートの表面に、合紙に由来する異物が付着することを防止する観点から、再生紙を含まないパルプ紙が用いられる。 Next, in step S7, an optical inspection of the glass sheet cleaned in step S6 is performed. In step S8, the glass sheets that have passed the inspection in step S7 are placed on a pallet and packaged as a laminated body alternately stacked with interleaving paper for protecting the surface of the glass sheet. In step S9, the packed stack of glass sheets is shipped to the delivery destination of the FPD manufacturer. Pulp paper not containing recycled paper is used from the viewpoint of preventing foreign matter originating in the interleaving paper from adhering to the surface of the glass sheet as the interleaving paper sandwiched by the laminated body of the glass sheet to be shipped.

また、ステップＳ３においてパレットに載置された素板ガラスの積層体は、ステップＳ１０において、数週間または数ヶ月の長期間に亘って保管されてもよい。この場合、保管される素板ガラスの積層体に挟みこまれる合紙は、コストおよび環境保護の観点から再生紙が用いられる。長期間保管された素板ガラスの積層体は、上述したように、ステップＳ４の切断工程からステップＳ８の梱包工程までを経て、ステップＳ９において出荷される。なお、ステップＳ８においてパレットに載置され梱包されたガラスシートの積層体が、ステップＳ１０において、数週間または数ヶ月の長期間に亘って保管されてもよい。 Moreover, the laminated body of the uncoated sheet glass mounted on the pallet in step S3 may be stored for a long period of several weeks or several months in step S10. In this case, recycled paper is used as the interleaf inserted in the laminate of raw sheet glass to be stored, from the viewpoint of cost and environmental protection. As described above, the laminate of raw sheet glass stored for a long time is shipped in step S9 through the cutting process of step S4 to the packing process of step S8. In addition, the laminated body of the glass sheet mounted and packed in the pallet in step S8 may be stored over a long period of several weeks or several months in step S10.

＜ガラスシートの洗浄工程の流れ＞
次に、図１のステップＳ６で行われるガラスシートの洗浄工程の詳細について説明する。ガラスシートの洗浄工程では、例えば、界面活性剤が添加された無機アルカリ系の洗浄剤を用いてガラスシート表面の洗浄が行われる。 <Flow of glass sheet cleaning process>
Next, the details of the glass sheet cleaning process performed in step S6 of FIG. 1 will be described. In the cleaning step of the glass sheet, for example, the surface of the glass sheet is cleaned using an inorganic alkaline cleaning agent to which a surfactant is added.

洗浄工程では、例えば、界面活性剤が添加された無機アルカリ系の洗浄剤を用いて、ガラスシート表面の洗浄が行われる。無機アルカリ系の洗浄剤は、市販のガラスシート用洗浄液を水で希釈して得られた希釈液に、アルカリ成分を添加することで生成される。ガラスシート用洗浄液としては、例えば、ＰＫ−ＬＣＧシリーズ、あるいは、セミクリーンシリーズ等が用いられる。より具体的には、ｐ−アルキルスルホン酸を界面活性剤として添加された洗浄液が用いられる。ｐ−アルキルスルホン酸は、ノニオン界面活性剤（非イオン界面活性剤）であり、他のアニオン界面活性剤（陰イオン界面活性剤）、例えば、１，３−アルキルスルホン酸と比べて、ガラスシートの表面に残っていた場合であっても、ブラックマトリックスの剥がれを抑制できる。ノニオン界面活性剤は、水に溶けてもイオン性を示さないが、界面活性を呈する界面活性剤であるため、ブラックマトリックスをガラスシートの表面に形成する際に、イオンによる反発が抑制されているためブラックマトリックスの付着性がよく、洗浄性能に優れている。ガラスシート用洗浄液は、例えば、１ｗｔ％〜５ｗｔ％の濃度になるように、水で希釈される。希釈液のアルカリ成分の濃度は、水酸化カリウム（ＫＯＨ）の濃度に換算して、例えば、０．０２ｗｔ％〜０．１５ｗｔ％である。洗浄剤を希釈するための水は、イオン交換処理、ＥＤＩ（Electrodeionization）処理、逆浸透膜（ＲＯ膜）によるフィルタ処理、および、脱炭酸ガス装置を通した脱炭酸ガス処理を施した純水または超純水であることが、ガラスシート表面を清浄に保つ点で好ましい。また、溶解性の有機物を除去するために、水を活性炭に通す処理を行うことが好ましい。具体的には、フィルタを用いて微粒子等の異物を水から除去し、次に、水を活性炭に通して有機物を除去し、次に、イオン交換処理、ＥＤＩ処理、逆浸透膜によるフィルタ処理、および、脱炭酸ガス装置を通した脱炭酸ガス処理を施すことが好ましい。イオン交換処理では、水に含まれるイオン性物質、例えば、塩素イオンやナトリウムイオン等を、イオン交換樹脂膜を用いて水から除去する。ＥＤＩ処理では、イオン交換樹脂膜を用い、かつ、電極に電位を与えて形成された電位勾配を利用して、イオン性物質を高い精度で水から除去する。逆浸透膜によるフィルタ処理では、イオン性物質、塩類および有機物を水から除去する。脱炭酸ガス処理では、脱炭酸ガス装置を用いて炭酸ガスを水から除去する。 In the cleaning step, the surface of the glass sheet is cleaned using, for example, an inorganic alkaline cleaning agent to which a surfactant is added. An inorganic alkaline cleaning agent is produced by adding an alkaline component to a diluted solution obtained by diluting a commercially available cleaning solution for glass sheet with water. For example, a PK-LCG series or a semi-clean series is used as the cleaning liquid for glass sheet. More specifically, a washing solution to which p-alkylsulfonic acid is added as a surfactant is used. p-alkylsulfonic acid is a nonionic surfactant (nonionic surfactant) and is a glass sheet compared to other anionic surfactants (anionic surfactant), eg, 1,3-alkylsulfonic acid Peeling of the black matrix can be suppressed even if it remains on the surface of the black matrix. Although nonionic surfactants do not exhibit ionicity even when dissolved in water, they are surfactants exhibiting surface activity, and therefore, when forming a black matrix on the surface of a glass sheet, the repulsion by ions is suppressed Therefore, the adhesion of the black matrix is good and the cleaning performance is excellent. The glass sheet cleaning solution is diluted with water, for example, to a concentration of 1 wt% to 5 wt%. The concentration of the alkali component of the diluted solution is, for example, 0.02 wt% to 0.15 wt% in terms of the concentration of potassium hydroxide (KOH). Water for diluting the cleaning agent is pure water or deionized water treated with ion exchange treatment, EDI (Electrodeionization) treatment, reverse osmosis membrane (RO membrane), and decarbonation gas treatment through a carbon dioxide removal apparatus. Ultrapure water is preferred in order to keep the surface of the glass sheet clean. Further, in order to remove the soluble organic matter, it is preferable to carry out a process of passing water through activated carbon. Specifically, foreign substances such as fine particles are removed from water using a filter, then water is passed through activated carbon to remove organic substances, and then ion exchange treatment, EDI treatment, filter treatment with reverse osmosis membrane, And, it is preferable to carry out decarbonation treatment through a carbon dioxide removal apparatus. In the ion exchange treatment, ionic substances contained in water, for example, chlorine ions, sodium ions and the like are removed from water using an ion exchange resin membrane. In the EDI process, an ion exchange resin membrane is used, and a potential gradient formed by applying a potential to an electrode is used to remove an ionic substance from water with high accuracy. In the reverse osmosis membrane filtration, ionic substances, salts and organic substances are removed from water. In carbon dioxide treatment, carbon dioxide gas is removed from water using a carbon dioxide removal apparatus.

本実施形態では、ガラスシート用洗浄液の希釈液に、ＫＯＨ、ＮａＯＨ、ＥＴＤＡ−４
Ｎａ、ＥＴＤＡ−４Ｋ、Ｎａ４Ｐ２Ｏ７およびＫ４Ｐ２Ｏ７からなる群から選択される１
種以上のアルカリ成分が添加されて、洗浄工程で用いられる洗浄剤が生成される。この洗浄剤のアルカリ成分の濃度は、水酸化カリウム（ＫＯＨ）の濃度に換算して、１ｗｔ％以上である。上記のアルカリ成分は、他のアルカリ成分と比較して、ガラスに対するエッチング性が高く、かつ、溶解性に優れている。特に、エッチング性、溶解性、および、ガラスシートに形成される薄膜トランジスタに対する悪影響を防止する観点から、アルカリ成分としてＫＯＨを単独で用いることが好ましい。また、ＫＯＨおよびＮａＯＨは、他のアルカリ成分と比較して、排水処理の点で有利である。 In the present embodiment, KOH, NaOH, ETDA-4 is used as the dilution liquid for the glass sheet cleaning liquid.
1 selected from the group consisting of Na, ETDA-4K, Na4P2O7 and K4P2O7
A species or more alkaline component is added to produce the cleaning agent used in the cleaning step. The concentration of the alkali component of the cleaning agent is 1 wt% or more in terms of the concentration of potassium hydroxide (KOH). The above-mentioned alkali component has high etching property to glass and is excellent in solubility as compared with other alkali components. In particular, it is preferable to use KOH alone as an alkali component from the viewpoint of etching property, solubility, and an adverse effect on a thin film transistor formed in a glass sheet. Also, KOH and NaOH are advantageous in wastewater treatment as compared to other alkaline components.

なお、洗浄工程で用いられる洗浄剤は、アルカリ成分の濃度が高いほど、ガラスシートから異物を除去する洗浄力が強い。しかし、アルカリ成分の濃度が高すぎると、ガラスシートの洗浄装置が腐食して、洗浄剤中に結晶が生成される等の問題が生じる。そのため、洗浄剤のアルカリ成分の濃度は１０ｗｔ％を超えないことが好ましい。また、洗浄剤の取り扱いを容易にするために、洗浄剤のアルカリ成分の濃度は５ｗｔ％を超えないことがより好ましい。 In addition, the cleaning agent used at a washing | cleaning process is strong in the cleaning power which removes a foreign material from a glass sheet, so that the density | concentration of an alkali component is high. However, if the concentration of the alkali component is too high, the apparatus for cleaning the glass sheet may be corroded to cause problems such as the formation of crystals in the cleaning agent. Therefore, it is preferable that the concentration of the alkaline component of the cleaning agent does not exceed 10 wt%. Further, in order to facilitate the handling of the cleaning agent, it is more preferable that the concentration of the alkaline component of the cleaning agent does not exceed 5 wt%.

本実施形態において、ガラスシートの洗浄方法には、枚葉洗浄およびバッチ洗浄の２種類の洗浄方法がある。ここでは、枚葉洗浄によるガラスシートの洗浄方法について説明する。図２は、枚葉洗浄を行うガラスシートＧの枚葉洗浄装置１の概略図である。枚葉洗浄装置１は、洗浄工程を行う洗浄ユニット１０から構成される。ガラスシートＧは、洗浄ユニット１０において、界面活性剤が添加された無機アルカリ系の洗浄剤で洗浄される。 In the present embodiment, the glass sheet cleaning method includes two types of cleaning methods: single wafer cleaning and batch cleaning. Here, a method of cleaning a glass sheet by single wafer cleaning will be described. FIG. 2 is a schematic view of a single-wafer washing apparatus 1 of a glass sheet G for single-wafer washing. The single wafer cleaning apparatus 1 includes a cleaning unit 10 that performs a cleaning process. The glass sheet G is cleaned in the cleaning unit 10 with an inorganic alkaline cleaner added with a surfactant.

図３は、洗浄ユニット１０の上面図である。図４は、洗浄ユニット１０の側面図である。洗浄ユニット１０は、図３及び図４に示されるように、搬送ローラー１１と、基板浮上ユニット１２と、ブラシユニット１３とを備えている。 FIG. 3 is a top view of the cleaning unit 10. FIG. 4 is a side view of the cleaning unit 10. The cleaning unit 10 is provided with the conveyance roller 11, the board | substrate floating unit 12, and the brush unit 13 as FIG.3 and FIG.4 shows.

搬送ローラー（搬送ユニット）１１は、複数のローラーを有し、この複数のローラーによってガラスシートＧを搬送する。それぞれの搬送ローラー１１は、中心軸の周りを同じ方向に同じ速度で回転している。また、それぞれの搬送ローラー１１は、中心軸が水平な同一平面上に並ぶように配置されており、同じ径を有している。搬送ローラー１１は、ガラスシートＧの製品となる部分と搬送ローラー１１とが接触することにより、ガラスシートＧに傷や汚れがつかないように、ガラスシートＧの両端部付近に設けられている。搬送ローラー１１と接地しているガラスシートＧには、搬送ローラー１１が回転することによって、ガラスシートＧに対して面方向の外力が付与され、同じ速度で滑らかに水平に搬送される。ガラスシートＧが搬送ローラー１１と接触した支持された位置と、接触していない支持されていない位置とでは、ガラスシートＧにかかる力が異なり、薄いガラスシートＧ（例えば、厚さが０．４ｍｍ以下）の場合には、ガラスシートＧが撓むおそれがある。そこで、上流側から下流側にかけてそれぞれ配置される搬送ローラー１１の間隔を狭くすることにより、ガラスシートＧに加えられる力を分散させて、ガラスシートＧの撓みを抑えることができるが、搬送ローラー１１の間隔を狭くすると、ブラシユニット１３を設置する場所を確保できない。このため、基板浮上ユニット１２によりガラスシートＧを浮上させることにより、ガラスシートＧが、搬送ローラー１１と接触することにより受ける力を分散させ、ガラスシートＧが撓むのを抑制する。それぞれの搬送ローラー１１の間隔を、例えば、７０〜１２０ｍｍ以上にすることにより、図３及び図４に示すように、上流側の搬送ローラー１１と下流側の搬送ローラー１１との間に、ブラシユニット１３を設けることができる。 The transport roller (transport unit) 11 has a plurality of rollers, and transports the glass sheet G by the plurality of rollers. Each transport roller 11 rotates at the same speed in the same direction around the central axis. Moreover, each conveyance roller 11 is arrange | positioned so that a central axis may be located in a line on the same horizontal plane, and has the same diameter. The conveyance roller 11 is provided in the vicinity of both end portions of the glass sheet G so that the glass sheet G is not scratched or soiled by the contact of the portion to be the product of the glass sheet G and the conveyance roller 11. An external force in the surface direction is applied to the glass sheet G by the rotation of the conveyance roller 11 on the glass sheet G that is in contact with the conveyance roller 11, and the glass sheet G is smoothly conveyed horizontally at the same speed. The force applied to the glass sheet G differs between the supported position where the glass sheet G contacts the transport roller 11 and the unsupported position where the glass sheet G does not contact, and a thin glass sheet G (for example, having a thickness of 0.4 mm) In the following cases, the glass sheet G may be bent. Therefore, the force applied to the glass sheet G can be dispersed and the deflection of the glass sheet G can be suppressed by narrowing the distance between the conveyance rollers 11 disposed from the upstream side to the downstream side, respectively. If the space between the two is narrowed, the space for installing the brush unit 13 can not be secured. Therefore, by causing the glass sheet G to float by the substrate floating unit 12, the force that the glass sheet G receives by coming into contact with the transport roller 11 is dispersed, and the glass sheet G is suppressed from being bent. As shown in FIG. 3 and FIG. 4, by setting the distance between the respective conveying rollers 11 to, for example, 70 to 120 mm or more, a brush unit is provided between the upstream conveying roller 11 and the downstream conveying roller 11. 13 can be provided.

基板浮上ユニット１２は、ガラスシートＧにかかる力が均一になるように、水平状態のガラスシートＧの下面に所定の圧（ブロー圧）をかけるユニットである。ここで、ブロー圧とは、空気、窒素等のガス、圧縮空気、又は、水、洗浄液等の液体を、ガラスシートＧの一面に供給することによって、ガラスシートＧにかかる圧力をいう。基板浮上ユニット１２は、主として、ガス、液体を供給する複数のパネルから構成される。基板浮上ユニット１２は、ガラスシートＧの撓みが抑制されるように、ブロー穴１２ａからガス又は液体を噴出し、ガラスシートＧの下面にかけるブロー圧を制御する。基板浮上ユニット１２は、ブロー穴１２ａごとに設けられたレギュレータ（図示せず）をそれぞれ所定の圧力に設定し、ガラスシートＧの下面に所定のブロー圧がかかるように圧縮気体等を所定の時間だけ噴出することにより、ブロー圧を制御する。ブロー圧は、レギュレータの開度の調整、圧力設定、噴出時間等によって任意に加減することができる。図５は、搬送ローラー１１に支持されたガラスシートＧが撓んだ状態を示した図である。ガラスシートＧの厚さが薄く、搬送ローラー１１の間隔が広い場合、ガラスシートＧは、同図に示すように、ガラスシートＧの搬送ローラー１１に支持されていない位置が下に凸状に撓むおそれがある。このため、基板浮上ユニット１２は、ガラスシートＧの撓みが抑制されるように、ガラスシートＧの下面にブロー圧をかける。ガラスシートＧは、搬送ローラー１１と接触した位置Ｇｔから離れるほど撓みが大きくなり、搬送ローラー１１との接触位置Ｇｔから最も離れた位置Ｇｆで撓みが最大となる。基板浮上ユニット１２は、位置Ｇｆにおいてブロー圧を最大にし、位置Ｇｔにおいてブロー圧を最小にすることにより、ガラスシートＧの撓みが抑制されるように制御する。位置Ｇｔにおける基板浮上ユニット１２からガラスシートＧの下面までの高さ（距離）Ｈｇｔと位置Ｇｆにおける基板浮上ユニット１２からガラスシートＧの下面までの高さ（距離）Ｈｇｆとの差が大きいほどガラスシートＧの撓みが大きく、差が０、つまり、高さＨｇｔと高さＨｇｆが等しい場合、ガラスシートＧの撓みが抑制されている状態である。このため、高さＨｇｔと高さＨｇｆとが等しくなるように、ブロー圧Ｐを制御する。基板浮上ユニット１２のブロー圧Ｐ（ガラスシートＧにかかるブロー圧）は、例えば、式Ｐ＝ａＤ＋ｂ（ただし、Ｄ：位置Ｇｔからの距離、ａ：圧力変化係数、ｂ：初期値）に基づいて決定される。基板浮上ユニット１２は、Ｄ＝０、つまり、位置Ｇｔにおいて、初期値ｂのブロー圧になるように制御し、距離Ｄが大きになる、つまり、位置Ｇｔから位置が離れるにつれて、ブロー圧を強め、位置Ｇｔから最も離れた位置Ｇｆにおいて、ブロー圧が最大になるように制御する。このように、ガラスシートＧの下面にブロー圧をかけることにより、ガラスシートＧの撓みを抑制できる。 The substrate floating unit 12 is a unit that applies a predetermined pressure (blow pressure) to the lower surface of the horizontal glass sheet G so that the force applied to the glass sheet G becomes uniform. Here, the blow pressure refers to the pressure applied to the glass sheet G by supplying air, a gas such as nitrogen, compressed air, or a liquid such as water or a cleaning liquid to one surface of the glass sheet G. The substrate floating unit 12 mainly includes a plurality of panels for supplying gas and liquid. The substrate floating unit 12 jets a gas or liquid from the blow holes 12 a so as to control the blow pressure applied to the lower surface of the glass sheet G so that the bending of the glass sheet G is suppressed. The substrate levitation unit 12 sets a regulator (not shown) provided for each blow hole 12a to a predetermined pressure, and applies compressed gas etc. for a predetermined time so that a predetermined blow pressure is applied to the lower surface of the glass sheet G. The blow pressure is controlled by spouting only. The blow pressure can be arbitrarily adjusted by adjusting the opening of the regulator, setting the pressure, jetting time, and the like. FIG. 5 is a view showing a state in which the glass sheet G supported by the transport roller 11 is bent. When the thickness of the glass sheet G is thin and the distance between the conveyance rollers 11 is wide, the glass sheet G is bent downward at a position where the glass sheet G is not supported by the conveyance roller 11 as shown in the figure. There is a risk of For this reason, the substrate floating unit 12 applies a blow pressure to the lower surface of the glass sheet G so as to suppress the bending of the glass sheet G. The bending of the glass sheet G becomes larger as it goes away from the position Gt in contact with the conveying roller 11, and the bending becomes maximum at the position Gf most distant from the contact position Gt with the conveying roller 11. The substrate floating unit 12 controls so that the bending of the glass sheet G is suppressed by maximizing the blow pressure at the position Gf and minimizing the blow pressure at the position Gt. As the difference between the height (distance) Hgt from the substrate floating unit 12 to the lower surface of the glass sheet G at the position Gt and the height (distance) Hgf from the substrate floating unit 12 to the lower surface of the glass sheet G at the position Gf is larger When the deflection of the sheet G is large and the difference is 0, that is, the height Hgt and the height Hgf are equal, the deflection of the glass sheet G is suppressed. Therefore, the blow pressure P is controlled so that the height Hgt and the height Hgf become equal. The blow pressure P (blow pressure applied to the glass sheet G) of the substrate floating unit 12 is, for example, based on the equation P = aD + b (where D: distance from position Gt, a: pressure change coefficient, b: initial value) It is determined. The substrate floating unit 12 controls the blow pressure of the initial value b at D = 0, that is, at the position Gt, and the blow pressure becomes stronger as the distance D becomes larger, that is, the position moves away from the position Gt. At the position Gf farthest from the position Gt, the blow pressure is controlled to be maximum. Thus, by applying a blowing pressure to the lower surface of the glass sheet G, it is possible to suppress the bending of the glass sheet G.

図６は、位置Ｇｔからの距離Ｄに応じて変化するガラスシートＧにかかるブロー圧Ｐの大きさを示す模式図である。同図において、ブロー圧Ｐの円が大きくなるほど、ブロー圧が強いことを示している。ガラスシートＧは、搬送ローラー１１により支持された位置から離れるほど撓み量が大きくなるため、同図に示すように、位置Ｇｔに近いほど、ブロー圧Ｐは弱く、位置Ｇｆに近づくほど、ブロー圧Ｐは強い。基板浮上ユニット１２は、ガラスシートＧと搬送ローラー１１との接触位置からの距離に応じてブロー圧を制御することにより、ガラスシートＧの撓みを抑制できる。 FIG. 6 is a schematic view showing the magnitude of the blow pressure P applied to the glass sheet G which changes in accordance with the distance D from the position Gt. In the figure, the larger the circle of the blow pressure P, the stronger the blow pressure. The amount of bending of the glass sheet G increases as it is separated from the position supported by the conveyance roller 11. Therefore, as shown in the figure, the blow pressure P is weaker the closer to the position Gt and the blow pressure the closer to the position Gf. P is strong. The substrate floating unit 12 can suppress the bending of the glass sheet G by controlling the blow pressure in accordance with the distance from the contact position of the glass sheet G and the conveyance roller 11.

基板浮上ユニット１２のサイズ、及び、上流の搬送ローラー１１と下流の搬送ローラー１１との間隔は、設計により予め定められているため、各位置Ｇｔの距離、各位置Ｇｔから位置Ｇｆまでの距離は予め定まっている。基板浮上ユニット１２は、各位置Ｇｔの距離、各位置Ｇｔから位置Ｇｆまでの距離、及び、ガラスシートＧの板厚に基づいて、ガラスシートＧが平坦になるように、ブロー圧を制御する。図７は、基板浮上ユニット１２によるブロー圧の大きさを分類した図である。基板浮上ユニット１２は、範囲Ｆ１、範囲Ｆ２、範囲Ｆ３のそれぞれにあるブロー穴１２ａから噴出するガスの量等を制御することにより、それぞれの範囲のブロー圧の大きさが、範囲Ｆ１＜範囲Ｆ２＜範囲Ｆ３となるように、ブロー圧を制御する。これにより、ガラスシートＧの撓み量が最も大きくなる範囲Ｆ３ではブロー圧が大きくなり、ガラスシートＧの撓み量が最も小さくなる範囲Ｆ１ではブロー圧が小さくなるため、ガラスシートＧの撓みを抑制できる。 Since the size of the substrate floating unit 12 and the distance between the upstream conveyance roller 11 and the downstream conveyance roller 11 are predetermined by design, the distance between each position Gt and the distance from each position Gt to the position Gf are It has been decided in advance. The substrate floating unit 12 controls the blow pressure so that the glass sheet G becomes flat based on the distance between each position Gt, the distance from each position Gt to the position Gf, and the thickness of the glass sheet G. FIG. 7 is a diagram in which the magnitude of the blow pressure by the substrate floating unit 12 is classified. The substrate floating unit 12 controls the amount of gas ejected from the blow holes 12a in the range F1, the range F2, and the range F3, respectively, so that the magnitude of the blow pressure in each range satisfies the range F1 <the range F2. The blow pressure is controlled to be in the range F3. As a result, the blow pressure increases in the range F3 where the amount of deflection of the glass sheet G is largest, and the blow pressure decreases in the range F1 where the amount of deflection of the glass sheet G is the smallest. .

ブラシユニット１３は、ガラスシートＧを洗浄する洗浄ブラシロールを有し、ガラスシートＧの搬送方向に沿って１又は複数配置されている。ブラシユニット１３は、ガラスシートＧに接触することにより、ガラスシートＧに付着した異物、洗浄液等を除去する接触型の任意のユニットである。ブラシユニット１３は、搬送されるガラスシートＧの両表面を洗浄可能なように、ガラスシートＧの上下に一対（上方及び／又は下方に）配置される。また、ブラシユニット１３は、それぞれ、ガラスシートＧの搬送方向を横切るように配置される。洗浄ブラシロールの外周面には、複数の洗浄ブラシが取り付けられている。洗浄ブラシロールの軸回転によって、搬送されるガラスシートＧの表面に洗浄ブラシが接触して、ガラスシートＧの表面が洗浄される。ガラスシートＧの両端のみが搬送ローラー１１により支えられている状態では、ガラスシートＧが撓む原因となる。特に、ガラスシートＧが薄くなると撓みは顕著になる。搬送ローラー１１の配置間隔を狭めると、ガラスシートＧの撓み量は減少するが、板厚が０．４ｍｍ以下のガラスシートＧが撓むのを抑制するためには、各搬送ローラー１１の間を狭くして隣接させる必要があり、搬送ローラー１１が隣接した状態では、搬送ローラー１１の間にブラシユニット１３を設けることができず、ガラスシートＧの洗浄に影響が出る場合がある。また、ガラスシートＧが撓んだ状態で、ガラスシートＧとブラシユニット１３とを接触させると接触圧が強くなりすぎで、ガラスシートＧがブラシユニット１３により傷つく場合もある。このため、ガラスシートＧの洗浄性を確保しつつ、搬送ローラー１１でガラスシートＧを支持して、ガラスシートＧの撓みを抑制する必要がある。本実施形態では、ガラスシートＧの下面全体が、ブロー圧により支えられているため、搬送ローラー１１間にブラシユニット１３に設けることによって、搬送ローラー１１間の距離がある場合であっても、ガラスシートＧの撓みが抑制される。また、ガラスシートＧの撓みが抑制され、ガラスシートＧの両表面が水平になり、ガラスシートＧとブラシユニット１３とが均一に接触するため、ブラシユニット１３との接触によってガラスシートＧが傷つくこともなく適正な接触圧でガラスシートＧが洗浄されるため、ガラスシートＧの洗浄力が向上する。 The brush unit 13 has a cleaning brush roll for cleaning the glass sheet G, and one or more are arranged along the transport direction of the glass sheet G. The brush unit 13 is an optional contact type unit that removes foreign substances, cleaning liquid and the like attached to the glass sheet G by contacting the glass sheet G. The brush units 13 are disposed in a pair (upper and / or lower) above and below the glass sheet G so that both surfaces of the glass sheet G to be conveyed can be cleaned. In addition, the brush units 13 are disposed to cross the conveyance direction of the glass sheet G, respectively. A plurality of cleaning brushes are attached to the outer peripheral surface of the cleaning brush roll. By the axial rotation of the cleaning brush roll, the cleaning brush contacts the surface of the conveyed glass sheet G to clean the surface of the glass sheet G. When only the both ends of the glass sheet G are supported by the conveyance roller 11, the glass sheet G is bent. In particular, when the glass sheet G becomes thin, the deflection becomes remarkable. When the arrangement interval of the conveyance rollers 11 is narrowed, the amount of bending of the glass sheet G decreases, but in order to suppress the bending of the glass sheet G having a thickness of 0.4 mm or less, It is necessary to narrow and adjoin, and in the state where conveyance roller 11 adjoins, brush unit 13 can not be provided between conveyance rollers 11, and cleaning of glass sheet G may be affected. When the glass sheet G is brought into contact with the brush unit 13 in a bent state, the contact pressure may be too strong, and the glass sheet G may be damaged by the brush unit 13. For this reason, it is necessary to support the glass sheet G by the transport roller 11 to suppress the bending of the glass sheet G while securing the cleaning property of the glass sheet G. In the present embodiment, the entire lower surface of the glass sheet G is supported by the blow pressure, so by providing the brush unit 13 between the transport rollers 11, even if there is a distance between the transport rollers 11, the glass Deflection of the sheet G is suppressed. Moreover, since the bending of the glass sheet G is suppressed, the both surfaces of the glass sheet G become horizontal, and the glass sheet G and the brush unit 13 contact uniformly, the glass sheet G is damaged by the contact with the brush unit 13 Since the glass sheet G is cleaned with an appropriate contact pressure, the cleaning power of the glass sheet G is improved.

また、基板浮上ユニット１２は、ブロー穴１２ａからガスを噴出しつつ、洗浄液も噴出することにより、洗浄ユニット１０による洗浄力を向上させる。ガラスシートＧの表面に洗浄液を供給し、ガラスシートＧをブロー圧により浮上させて搬送しながら、ブラシユニット１３によりガラスシートＧを洗浄する。ガラスシートＧは、搬送ローラー１１による支持に加え、ブロー圧によって下面全体が支えられているため、ガラスシートＧが撓むことが抑制され、さらに、洗浄液により洗浄されるため、薄いガラスシートＧを撓ませずに安定搬送しつつ、洗浄液及びブラシユニット１３によって洗浄することができるため、洗浄性能に優れている。 Further, the substrate floating unit 12 improves the cleaning power of the cleaning unit 10 by injecting the cleaning liquid while injecting the gas from the blow holes 12 a. A cleaning solution is supplied to the surface of the glass sheet G, and the glass sheet G is cleaned by the brush unit 13 while the glass sheet G is floated and conveyed by the blowing pressure. In addition to the support by the conveyance roller 11, the entire lower surface is supported by the blowing pressure, so that the glass sheet G is suppressed from being bent and is further cleaned by the cleaning liquid. The cleaning performance can be excellent because the cleaning liquid and the brush unit 13 can perform cleaning while stably transporting without bending.

洗浄ユニット１０により、洗浄されたガラスシートＧは下流に搬送されて、ガラスシートＧに付着した洗浄液を除去する除去工程が行われる。この除去工程では、上述した洗浄ユニット１０と同様の構成からなる洗浄ユニットを用いて、洗浄液の除去を行う。除去工程において用いられる洗浄ユニット１０は、洗浄液の代わりに、純水又は超純水を供給して、ガラスシートＧを浮上させる。洗浄ユニット１０は、ガラスシートＧを純水等によって浮上させることにより、ガラスシートＧを安定して搬送しつつ、純水等によってガラスシートＧの表面に付着した洗浄液を除去する。ガラスシートＧの搬送方法、洗浄方法は、洗浄工程と同様である。 The cleaned glass sheet G is conveyed downstream by the cleaning unit 10, and a removal process is performed to remove the cleaning liquid attached to the glass sheet G. In this removal step, the cleaning liquid is removed using a cleaning unit having the same configuration as the cleaning unit 10 described above. The cleaning unit 10 used in the removing step supplies pure water or ultrapure water instead of the cleaning solution to float the glass sheet G. The cleaning unit 10 floats the glass sheet G with pure water or the like to remove the cleaning liquid attached to the surface of the glass sheet G with pure water while stably transporting the glass sheet G. The conveying method of the glass sheet G and the cleaning method are the same as in the cleaning step.

洗浄液が除去されたガラスシートＧは下流に搬送されて、ガラスシートＧに付着した純水を除去（乾燥）する乾燥工程が行われる。ガラスシートＧを乾燥させる方法は、水を吸収するスポンジを備えるローラー、エアー（気体）を吹き付けて水を飛ばすエアー噴出装置等、公知の手法を用いることができる。ステップ６の洗浄工程は、ガラスシートＧの表面に付着した、ガラスの微小片であるカレット、塵、汚れ、粘着性の異物等を、洗浄液を用いて洗浄する洗浄工程と、ガラスシートＧに付着した洗浄液を、純水を用いて除去する除去工程と、ガラスシートＧに付着した純水を乾燥させて除去する乾燥工程とからなり、これらの工程を経たのち、ステップ７の検査工程に移行する。 The glass sheet G from which the cleaning solution has been removed is conveyed downstream, and a drying step is performed to remove (dry) the pure water adhering to the glass sheet G. The glass sheet G can be dried by using a known method such as a roller provided with a sponge that absorbs water, an air jet apparatus that blows air (gas) to blow water, and the like. The washing step of step 6 is a washing step of washing the glass sheet G with small pieces of cullet, dust, dirt, sticky foreign matter, etc., which are attached to the surface of the glass sheet G, using a washing liquid, and the glass sheet G. The cleaning solution is removed using pure water, and the drying process is performed to dry and remove the pure water adhering to the glass sheet G. After these steps, the inspection process of step 7 is performed. .

以上、枚葉洗浄によるガラスシートの洗浄方法について説明した。このような搬送及び洗浄により、ガラスシートを安定して搬送しつつ、洗浄できるため、ガラスシートの安定搬送と洗浄性とを両立できる。また、ガラスシートをガスにより浮上させて搬送するため、薄いガラスシート、例えば、０．４ｍｍ以下の板厚からなるガラスシートであっても、ガラスシートを撓ませることなく搬送することができる。また、ガラスシートを撓ませることなく、上流側の搬送ローラーと下流側の搬送ローラーとの間にガラスシートを洗浄するブラシユニットを設けることができるため、ガラスシートの洗浄性を確保できる。 In the above, the washing | cleaning method of the glass sheet by single wafer washing was demonstrated. By such conveyance and cleaning, since the glass sheet can be stably conveyed and cleaned, stable conveyance and cleaning property of the glass sheet can be compatible. In addition, since the glass sheet is floated by gas and conveyed, even a thin glass sheet, for example, a glass sheet having a thickness of 0.4 mm or less can be conveyed without bending the glass sheet. In addition, since the brush unit for cleaning the glass sheet can be provided between the upstream conveyance roller and the downstream conveyance roller without bending the glass sheet, the cleaning property of the glass sheet can be secured.

（実施形態２）
次に、搬送ローラー１１を用いずに、基板浮上ユニット１２によりガラスシートＧを浮上させて搬送する方法について説明する。なお、上述の実施形態と共通する構成については説明を省略する。 Second Embodiment
Next, a method of floating and conveying the glass sheet G by the substrate floating unit 12 without using the conveyance roller 11 will be described. In addition, description is abbreviate | omitted about the structure which is common in the above-mentioned embodiment.

図８は、本実施形態にかかる洗浄ユニットの上面図である。本実施形態にかかる洗浄ユニット１０は、同図に示されるように、基板浮上ユニット１２と、ブラシユニット１３と、搬送ユニット１４と、を備えている。 FIG. 8 is a top view of the cleaning unit according to the present embodiment. As shown in the figure, the cleaning unit 10 according to the present embodiment includes a substrate floating unit 12, a brush unit 13, and a transport unit 14.

基板浮上ユニット１２は、ガス、液体を噴出するブロー穴１２ａに加え、ブロー穴１２ａから噴出されたガス、液体を吸引する吸引穴１２ｂを備える。吸引穴１２ｂは、ブロー穴１２ａに隣接して設けられる。基板浮上ユニット１２は、ブロー穴１２ａから噴出されるガス等によりガラスシートＧにかかるブロー圧、及び、吸引穴１２ｂからガス等を吸引する吸引圧を、個別に制御する。
搬送ユニット１４は、ガラスシートＧの一端を把持し、ガラスシートＧを上流側から下流側に向かって進むように、ガラスシートＧを引っ張りながら搬送するユニットである。基板浮上ユニット１２によりガラスシートＧを浮上させた状態で、搬送ユニット１４がガラスシートＧを引っ張ることにより、ガラスシートＧが搬送される。 The substrate floating unit 12 is provided with a suction hole 12 b for suctioning the gas and liquid ejected from the blow hole 12 a in addition to the blow hole 12 a for ejecting gas and liquid. The suction hole 12b is provided adjacent to the blow hole 12a. The substrate floating unit 12 individually controls the blow pressure applied to the glass sheet G by the gas or the like ejected from the blow holes 12 a and the suction pressure for suctioning the gas or the like from the suction holes 12 b.
The transport unit 14 grips one end of the glass sheet G and transports the glass sheet G while pulling the glass sheet G so as to advance the glass sheet G from the upstream side toward the downstream side. The glass sheet G is conveyed by the conveyance unit 14 pulling the glass sheet G in a state where the glass sheet G is floated by the substrate levitation unit 12.

次に、ガラスシートＧの搬送方法について説明する。まず、基板浮上ユニット１２は、ブロー穴１２ａからガスを噴射して、ガス噴射によるガラスシートＧに与えられる浮力とガラスシートＧの重力とをバランスさせて、水平になるようにガラスシートＧを浮上させる。基板浮上ユニット１２は、各ブロー穴１２ａからガスを均一に噴射することにより、ガラスシートＧの下面全面にほぼ均一のブロー圧をかけて、ガラスシートＧを浮上させる。次に、基板浮上ユニット１２は、ブロー穴１２ａから噴射されたガスを吸引穴１２ｂから吸引する。ガラスシートＧは、ガス噴射により浮上するが、ガスの流れによって浮力と重力とのバランスがくずれ、また、気流の乱れによってガラスシートＧの水平性が保てなくなる場合がある。このため、基板浮上ユニット１２が、噴射されたガスを吸引穴１２ｂから吸引することにより気流が整い、ガラスシートＧを水平に保ちながら浮上させることができる。また、吸引穴１２ｂが吸引する吸引圧を、ガラスシートＧの下面全面においてほぼ均一にすることにより、ブロー圧と吸引圧との均衡が保たれて、ガラスシートＧを水平に保ちながら浮上させることができる。次に、搬送ユニット１４は、水平に浮上したガラスシートＧの一端を把持して、下流方向に引っ張ることにより搬送する。ブロー圧と吸引圧との均衡が保たれて、ガラスシートＧが浮上した状態において、ガラスシートＧを引っ張ることにより、ガラスシートＧを水平に保ちながら搬送することができる。次に、ブラシユニット１３は、搬送されるガラスシートＧを洗浄する。洗浄により、ガラスシートＧに付着した異物が除去されるが、ガスの気流によっては除去された異物がガラスシートＧに再付着するおそれがある。本実施形態では、基板浮上ユニット１２の吸引穴１２ｂからガスを吸引するため、洗浄により除去された異物は、吸引穴１２ｂからガスとともに吸引されるため、ガラスシートＧの洗浄性が保たれる。その後、ガラスシートＧは下流に搬送されて、ガラスシートＧに付着した純水を除去（乾燥）する乾燥工程が行われる。 Next, a method of conveying the glass sheet G will be described. First, the substrate floating unit 12 jets gas from the blow holes 12 a to balance the buoyancy given to the glass sheet G by the gas injection and the gravity of the glass sheet G, and floats the glass sheet G to be horizontal. Let The substrate floating unit 12 applies a substantially uniform blow pressure to the entire lower surface of the glass sheet G by uniformly injecting the gas from the respective blow holes 12 a, thereby causing the glass sheet G to float. Next, the substrate floating unit 12 sucks the gas injected from the blow hole 12 a from the suction hole 12 b. The glass sheet G floats by the gas injection, but the balance between the buoyancy and the gravity may be lost due to the gas flow, and the horizontality of the glass sheet G may not be maintained due to the turbulence of the air flow. Therefore, the substrate floating unit 12 sucks the injected gas from the suction holes 12b, so that the air flow can be adjusted, and the glass sheet G can be raised while being kept horizontal. Further, by making the suction pressure suctioned by the suction holes 12b substantially uniform over the entire lower surface of the glass sheet G, the balance between the blow pressure and the suction pressure is maintained, and the glass sheet G is floated while being kept horizontal. Can. Next, the transport unit 14 grips one end of the glass sheet G that has floated horizontally and transports the glass sheet G by pulling in the downstream direction. The balance between the blow pressure and the suction pressure is maintained, and in a state where the glass sheet G floats, the glass sheet G can be conveyed while being horizontal by pulling the glass sheet G. Next, the brush unit 13 cleans the conveyed glass sheet G. Although the foreign matter adhering to the glass sheet G is removed by washing, there is a possibility that the removed foreign matter may adhere again to the glass sheet G depending on the gas flow. In the present embodiment, since the gas is sucked from the suction holes 12b of the substrate floating unit 12, the foreign matter removed by the washing is sucked together with the gas from the suction holes 12b, so the cleaning property of the glass sheet G is maintained. Thereafter, the glass sheet G is conveyed downstream, and a drying step of removing (drying) the pure water adhering to the glass sheet G is performed.

以上、枚葉洗浄によるガラスシートの搬送方法、洗浄方法について説明した。このような搬送及び洗浄により、ガラスシートを安定して搬送しつつ、洗浄できるため、ガラスシートの安定搬送と洗浄性とを両立できる。ガラスシートをガスにより浮上させて搬送するため、薄いガラスシート、例えば、０．４ｍｍ以下の板厚からなるガラスシートであっても、ガラスシートを撓ませることなく搬送することができる。また、ガラスシートに付着した異物を吸引穴から吸引して除去することにより、ガラスシートの洗浄性を保つことができる。 In the above, the conveyance method of the glass sheet by single wafer washing | cleaning and the washing | cleaning method were demonstrated. By such conveyance and cleaning, since the glass sheet can be stably conveyed and cleaned, stable conveyance and cleaning property of the glass sheet can be compatible. In order to float and convey a glass sheet, even a thin glass sheet, for example, a glass sheet having a thickness of 0.4 mm or less, can be conveyed without bending the glass sheet. In addition, by cleaning and removing foreign substances adhering to the glass sheet from the suction holes, the cleaning property of the glass sheet can be maintained.

本実施形態で製造されるガラスシート（ガラス基板）は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板、例えば、液晶ディスプレイ用ガラス基板あるいは、有機ＥＬディスプレイ用のガラス基板として好適である。さらに、本実施形態で製造されるガラス基板は、高精細ディスプレイに用いるＬＴＰＳ（Low-temperature poly silicon）・ＴＦＴディスプレイ用ガラス基板、あるいは、酸化物半導体・ＴＦＴディスプレイ用のガラス基板として特に好適である。 The glass sheet (glass substrate) manufactured by this embodiment is suitable as a glass substrate for flat panel displays, for example, a glass substrate for liquid crystal displays, or a glass substrate for organic EL displays. Furthermore, the glass substrate manufactured in the present embodiment is particularly suitable as a glass substrate for LTPS (Low-temperature poly silicon) TFT display used for high definition display, or as a glass substrate for oxide semiconductor TFT display .

以上、本発明のガラス基板の製造方法及びガラス基板の製造装置について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態及び実施例等に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。 As mentioned above, although the manufacturing method of a glass substrate of the present invention and the manufacturing device of a glass substrate were explained in detail, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, example, etc., in the range which does not deviate from the main point of the present invention Of course, it may be improved or changed.

１洗浄装置
１０洗浄ユニット
１１搬送ローラー
１２基板浮上ユニット
１３ブラシユニット
１４搬送ユニット
Ｇガラスシート
Ｌ液体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 cleaning apparatus 10 cleaning unit 11 conveyance roller 12 board | substrate floating unit 13 brush unit 14 conveyance unit G glass sheet L liquid

Claims

液晶ディスプレイ用のガラス基板の下面を支持する複数のローラにより前記ガラス基板を水平に搬送する搬送工程と、
前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の位置に配置される洗浄ユニットのブラシユニットを搬送中の前記ガラス基板の下面と接触させることにより前記ガラス基板の下面を洗浄する洗浄工程と、を備え、
前記搬送工程では、前記ガラス基板が水平になるように、前記複数のローラのうち前記ガラス基板の搬送方向の上流側および下流側にあるローラ間の前記搬送方向に沿った複数の場所、及び前記搬送方向と直交する幅方向に沿った複数の場所に配置された複数のブロー穴から流体を噴出させることにより、前記ガラス基板の下面に所定の圧をかけて、前記所定の圧と前記複数のローラとにより前記ガラス基板を支持する、
ことを特徴とするガラス基板の製造方法。 A conveying step of conveying the glass substrate horizontally by a plurality of rollers supporting a lower surface of the glass substrate for liquid crystal display;
And cleaning the lower surface of the glass substrate by bringing a brush unit of a cleaning unit arranged at a plurality of positions along the conveyance direction of the glass substrate into contact with the lower surface of the glass substrate being transported;
In the transfer step, a plurality of locations along the transfer direction between the rollers on the upstream side and the downstream side of the transfer direction of the glass substrate among the plurality of rollers such that the glass substrate is horizontal, and A predetermined pressure is applied to the lower surface of the glass substrate by ejecting a fluid from a plurality of blow holes arranged at a plurality of locations along a width direction orthogonal to the transport direction, and the predetermined pressure and the plurality of Supporting the glass substrate by a roller and
The manufacturing method of the glass substrate characterized by the above.

液晶ディスプレイ用のガラス基板の下面を支持して前記ガラス基板を水平に搬送する搬送工程と、
前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の位置に配置される洗浄ユニットのブラシユニットを搬送中の前記ガラス基板の下面と接触させることにより前記ガラス基板の下面を洗浄する洗浄工程と、を備え、
前記搬送工程では、前記ガラス基板が水平になるように、前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の場所、及び前記搬送方向と直交する幅方向に沿った複数の場所に配置された複数のブロー穴からガスを噴出させ、さらに、噴出された前記ガスを吸引させることにより、前記ガラス基板の下面に前記洗浄ユニットにより所定の圧をかけて前記ガラス基板を浮上して支持し、
前記洗浄工程では、前記ガラス基板から前記洗浄により除去された異物を前記吸引により除去する、
ことを特徴とするガラス基板の製造方法。 A conveying step of supporting the lower surface of the glass substrate for liquid crystal display and conveying the glass substrate horizontally;
And cleaning the lower surface of the glass substrate by bringing a brush unit of a cleaning unit arranged at a plurality of positions along the conveyance direction of the glass substrate into contact with the lower surface of the glass substrate being transported;
In the transfer step, the plurality of blows are arranged at a plurality of locations along the transfer direction of the glass substrate and a plurality of locations along the width direction orthogonal to the transfer direction so that the glass substrate is horizontal. By causing gas to be ejected from a hole and further aspirating the ejected gas, a predetermined pressure is applied to the lower surface of the glass substrate by the cleaning unit, and the glass substrate is floated and supported.
In the cleaning step, foreign matter removed from the glass substrate by the cleaning is removed by the suction.
The manufacturing method of the glass substrate characterized by the above.

前記所定の圧は、前記ローラが前記ガラス基板の下面を支持する位置から離れるほど強い、
ことを特徴とする請求項１に記載のガラス基板の製造方法。 The predetermined pressure is stronger as the roller moves away from the position where the roller supports the lower surface of the glass substrate.
The method of manufacturing a glass substrate according to claim 1 ,

前記ガラス基板の板厚は０．４ｍｍ以下である、
ことを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。 The thickness of the glass substrate is 0.4 mm or less.
Process for producing a glass substrate according to any one of claims 1 3, characterized in that.

液晶ディスプレイ用のガラス基板の下面を支持する複数のローラと、前記ガラス基板を搬送するために浮上させる基板浮上ユニットと、前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の位置に配置されるブラシユニットを搬送中の前記ガラス基板の下面と接触させることにより前記ガラス基板の下面を洗浄する洗浄ユニットと、を備えるガラス基板の製造装置であって、
前記基板浮上ユニットは、前記ガラス基板が水平になるように、前記複数のローラのうち前記ガラス基板の搬送方向の上流側および下流側にあるローラ間の前記搬送方向に沿った複数の場所、及び前記搬送方向と直交する幅方向に沿った複数の場所に配置された複数のブロー穴から流体を噴出させることにより、前記ガラス基板の下面に所定の圧をかけて、前記所定の圧と前記複数のローラとにより前記ガラス基板を支持する、
ことを特徴とするガラス基板の製造装置。 A plurality of rollers supporting a lower surface of a glass substrate for a liquid crystal display; a substrate floating unit which floats to transport the glass substrate; and a brush unit disposed at a plurality of positions along the transport direction of the glass substrate. And a cleaning unit for cleaning the lower surface of the glass substrate by bringing the lower surface of the glass substrate into contact with the lower surface of the glass substrate during transport.
The substrate floating unit includes a plurality of locations along the transport direction between the rollers on the upstream side and the downstream side of the transport direction of the glass substrate among the plurality of rollers such that the glass substrate is horizontal, and A predetermined pressure is applied to the lower surface of the glass substrate by ejecting fluid from a plurality of blow holes arranged at a plurality of locations along a width direction orthogonal to the transport direction, and the predetermined pressure and the plurality Supporting the glass substrate by the roller of
An apparatus for manufacturing a glass substrate characterized by

液晶ディスプレイ用のガラス基板を搬送するために浮上させる基板浮上ユニットと、前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の位置に配置されるブラシユニットを、浮上して搬送中の前記ガラス基板の下面と接触させることにより前記ガラス基板の下面を洗浄する洗浄ユニットと、を備えるガラス基板の製造装置であって、
前記基板浮上ユニットは、前記ガラス基板が水平になるように、前記ガラス基板の搬送方向に沿った複数の場所、及び前記搬送方向と直交する幅方向に沿った複数の場所に配置された複数のブロー穴からガスを噴出させ、さらに、噴出された前記ガスを吸引させることにより、前記ガラス基板の下面に前記洗浄ユニットにより所定の圧をかけて前記ガラス基板を浮上して支持し、前記ガラス基板の前記洗浄の際、前記ガラス基板から前記洗浄により除去された異物を前記吸引により除去する、
ことを特徴とするガラス基板の製造装置。
A substrate floating unit for floating to transport a glass substrate for liquid crystal display, a brush unit arranged at a plurality of positions along the transport direction of the glass substrate, and a lower surface of the glass substrate being transported; And a cleaning unit for cleaning the lower surface of the glass substrate by bringing the glass substrate into contact with the substrate.
The substrate levitation unit is disposed at a plurality of locations along the transport direction of the glass substrate and a plurality of locations along the width direction orthogonal to the transport direction such that the glass substrate is horizontal. The glass substrate is floated and supported by applying a predetermined pressure to the lower surface of the glass substrate by causing the gas to be jetted from the blow hole and further suctioning the jetted gas, and the glass substrate is supported. During the cleaning, the foreign matter removed from the glass substrate by the cleaning is removed by the suction.
An apparatus for manufacturing a glass substrate characterized by