JP6540593B2 - 欠陥検査装置、および、欠陥検査方法 - Google Patents
欠陥検査装置、および、欠陥検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6540593B2 JP6540593B2 JP2016095245A JP2016095245A JP6540593B2 JP 6540593 B2 JP6540593 B2 JP 6540593B2 JP 2016095245 A JP2016095245 A JP 2016095245A JP 2016095245 A JP2016095245 A JP 2016095245A JP 6540593 B2 JP6540593 B2 JP 6540593B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- defect inspection
- flowing
- conductive liquid
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
また、微小な欠陥を検出することを目的として電気抵抗の変化を大きくするには、印加する電圧を大きくする方法が考えられる。しかしながら、印可する電圧を大きくすると、導電性液体が電気分解するおそれがある。導電性液体が電気分解すると当該導電性液体中に気泡が発生する。気泡が発生すると電気抵抗が変化するため、欠陥の検出間違いが発生するおそれがあり、欠陥の検出精度が低下する。
電圧印加部は、部材と電気的に接続可能な第一の電極および第一の電極とは異なる位置において部材と電気的に接続可能な第二の電極と電気的に接続し、部材の表面を流れる導電性液体を電気分解可能な電圧を第一の電極および第二の電極に印加可能である。
電流検出部は、第一の電極を流れる電流の大きさを検出可能である。
抵抗算出部は、電圧印加部が印加する電圧の大きさと電流検出部が検出する電流の大きさとに基づいて表面に導電性液体が流れているときの部材の電気抵抗を算出可能である。
流速制御部は、表面を流れる導電性液体の流速を表面に付着している気泡を表面から離すことが可能な流速に制御可能である。
このように、本発明の欠陥検査装置は、導電性液体を電気分解可能な程度の比較的高い電圧を印加することによって比較的微小な欠陥を検出可能としつつ、気泡による欠陥の検出間違いを防止することができる。これにより、部材の欠陥を高精度に検出することができる。
液体流し工程は、部材の表面に導電性液体を流す。
電圧印加工程は、表面を流れる導電性液体の流速を表面に付着している気泡を表面から離すことが可能な流速となるよう制御しつつ、部材と電気的に接続する第一の電極および第一の電極とは異なる位置において部材と電気的に接続する第二の電極に導電性液体を電気分解可能な電圧を印加する。
電流検出工程は、第一の電極を流れる電流の大きさを検出する。
抵抗算出工程は、電圧印加工程において第一の電極および第二の電極に印加した電圧の大きさと電流検出工程において検出した電流の大きさとに基づいて表面に導電性液体が流れるときの部材の電気抵抗を算出する。
本発明の第一実施形態による欠陥検査装置および欠陥検査方法を図1〜3を参照して説明する。第一実施形態による欠陥検査装置1は、車両などが搭載するエンジンシステムが備えるEGRクーラ90の内壁に形成されている「部材」としての膜91の欠陥を検出することが可能である。
電源31は、電極21、22と電気的に接続している。電源31は、電解液8を電気分解可能な一定の大きさの直流電圧を電極21、22に印加可能に形成されている。
電流検出部32は、電源31、電極21、流路910の電解液8、および、電極22を通る電流経路に設けられている。電流検出部32は、電極21を流れる電流、すなわち、電源31、電極21、流路910の電解液8、および、電極22を通る電流経路を流れる電流の大きさを検出可能である。
抵抗算出部33は、電源31が印加する電圧の大きさ、および、電流検出部32が検出する電流の大きさに基づいて電気抵抗を算出可能である。
最後に、S106において、EGRクーラ90を欠陥検査装置1から取り外す。
第一実施形態による膜91の検査プロセスでは、このようにして、膜91の欠陥を検出する。
このように、欠陥検査装置1は、電解液8を電気分解可能な程度の比較的高い電圧を印加することによって比較的微小な欠陥を検出可能としつつ、気泡による欠陥の検出間違いを防止することができる。これにより、第一実施形態による欠陥検査装置1は、膜91の欠陥を高精度に検出することができる。
次に、本発明の第二実施形態による欠陥検査装置および欠陥検査方法を図4、5に基づいて説明する。第二実施形態は、電解液8の圧力を制御可能な圧力制御部を備える点が第一実施形態と異なる。なお、第一実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
圧力制御部38は、貯留タンク16と流速制御部17との間に設けられている。圧力制御部38は、流路910に供給される電解液8の圧力を制御可能である。
最後に、S206において、第一実施形態のS106と同様に、EGRクーラ90を欠陥検査装置2から取り外す。
第二実施形態による膜91の検査プロセスでは、このようにして、膜91の欠陥を検出する。
次に、本発明の第三実施形態による欠陥検査方法を図6に基づいて説明する。第三実施形態は、圧力制御部が電解液8の圧力を低くする点が第二実施形態と異なる。なお、第二実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
最初に、S301において、第二実施形態のS201と同様に、EGRクーラ90を第三実施形態による欠陥検査装置に取り付けた後、「液体流し工程」としてのS302において、第二実施形態のS202と同様に、EGRクーラ90内に電解液8を供給する。
最後に、S306において、第二実施形態のS206と同様に、EGRクーラ90を第三実施形態による欠陥検査装置から取り外す。
第三実施形態による膜91の検査プロセスでは、このようにして、膜91の欠陥を検出する。
次に、本発明の第四実施形態による欠陥検査装置および欠陥検査方法を図7、8に基づいて説明する。第四実施形態は、脱気処理部を備える点が第二実施形態と異なる。なお、第二実施形態と実質的に同一の部位には同一の符号を付し、説明を省略する。
脱気処理部49は、貯留タンク16に設けられている。脱気処理部49は、貯留タンク16に貯留されている電解液8を、例えば、加熱によって脱気することが可能である。
最初に、S401において、第一実施形態のS101と同様に、EGRクーラ90を欠陥検査装置4に取り付ける。
次に、「電圧印加工程」としてのS404において、第一実施形態のS103と同様に、電解液8を所定の流速で流しつつ電極21、22に電圧を印加し、「電流検出工程」としてのS405において、第一実施形態のS104と同様に、電流の大きさを検出する。
次に、「抵抗算出工程」としてのS406において、第一実施形態のS105と同様に、電気抵抗を算出し、S407において、第一実施形態のS106と同様に、EGRクーラ90を欠陥検査装置4から取り外す。
第四実施形態による膜91の検査プロセスでは、このようにして、膜91の欠陥を検出する。
上述の実施形態では、欠陥検査装置は、EGRクーラの内壁に形成されている「部材」としての中空筒状の膜の欠陥を検出可能であるとした。しかしながら、欠陥検査装置が欠陥を検出可能な「部材」はこれに限定されない。表面を流れる導電性液体に比べ抵抗が大きい絶縁材料から形成されていればよい。したがって、上述の実施形態のように、中空筒状の部材でなくてもよい。
8・・・電解液(導電性液体)
17・・・流速制御部
21・・・電極(第一の電極)
22・・・電極(第二の電極)
31・・・電源(電圧印加部)
32・・・電流検出部
33・・・抵抗算出部
91・・・膜(部材)
911・・・内壁面(表面)
Claims (10)
- 絶縁材料から形成されている部材(91)の欠陥を検出する欠陥検査装置であって、
前記部材の表面(911)を流れる導電性液体(8)を貯留可能な貯留タンク(16)と、
前記部材と電気的に接続可能な第一の電極(21)と、
前記第一の電極とは異なる位置において前記部材と電気的に接続可能な第二の電極(22)と、
前記第一の電極および前記第二の電極と電気的に接続し、前記表面を流れる前記導電性液体を電気分解可能な電圧を前記第一の電極および前記第二の電極に印加可能な電圧印加部(31)と、
前記第一の電極を流れる電流の大きさを検出可能な電流検出部(32)と、
前記電圧印加部が印加する電圧の大きさと前記電流検出部が検出する電流の大きさとに基づいて前記表面に前記導電性液体が流れているときの前記部材の電気抵抗を算出可能な抵抗算出部(33)と、
前記表面を流れる前記導電性液体の流速を前記表面に付着している気泡(Bb1)を前記表面から離すことが可能な流速に制御可能な流速制御部(17)と、
を備える欠陥検査装置。 - 前記表面を流れる前記導電性液体の圧力を制御可能な圧力制御部(38)をさらに備える請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記圧力制御部は、前記導電性液体の圧力を前記導電性液体の蒸気圧近くまで減圧可能な請求項2に記載の欠陥検査装置。
- 前記導電性液体は、界面活性剤を含む請求項1〜3のいずれか一項に記載の欠陥検査装置。
- 前記表面を流れる前の前記導電性液体を脱気可能な脱気処理部(49)をさらに備える請求項1〜4のいずれか一項に記載の欠陥検査装置。
- 絶縁材料から形成されている部材(91)の欠陥を検出する欠陥検査方法であって、
前記部材の表面(911)に導電性液体(8)を流す液体流し工程と、
前記表面を流れる前記導電性液体の流速を前記表面に付着している気泡(Bb1)を前記表面から離すことが可能な流速に制御しつつ、前記部材と電気的に接続する第一の電極(21)および前記第一の電極とは異なる位置において前記部材と電気的に接続する第二の電極(22)に前記導電性液体を電気分解可能な電圧を印加する電圧印加工程と、
前記第一の電極を流れる電流の大きさを検出する電流検出工程と、
前記電圧印加工程において前記第一の電極および前記第二の電極に印加した電圧の大きさと前記電流検出工程において検出した前記第一の電極を流れる電流の大きさとに基づいて、前記表面に前記導電性液体が流れているときの前記部材の電気抵抗を算出する抵抗算出工程と、
を含む欠陥検査方法。 - 前記電圧印加工程において、減圧された前記導電性液体を前記表面に流しつつ前記第一の電極および前記第二の電極に電圧を印加する請求項6に記載の欠陥検査方法。
- 前記電圧印加工程において、前記表面に流れる前記導電性液体の圧力を前記導電性液体の蒸気圧近くまで減圧する請求項7に記載の欠陥検査方法。
- 前記電圧印加工程において、加圧された前記導電性液体を前記表面に流しつつ前記第一の電極および前記第二の電極に電圧を印加する請求項6に記載の欠陥検査方法。
- 前記液体流し工程の前に、前記表面を流れる前の前記導電性液体を脱気する脱気処理工程をさらに含む請求項6〜9のいずれか一項に記載の欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016095245A JP6540593B2 (ja) | 2016-05-11 | 2016-05-11 | 欠陥検査装置、および、欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016095245A JP6540593B2 (ja) | 2016-05-11 | 2016-05-11 | 欠陥検査装置、および、欠陥検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017203684A JP2017203684A (ja) | 2017-11-16 |
JP6540593B2 true JP6540593B2 (ja) | 2019-07-10 |
Family
ID=60323230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016095245A Expired - Fee Related JP6540593B2 (ja) | 2016-05-11 | 2016-05-11 | 欠陥検査装置、および、欠陥検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6540593B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7067914B2 (ja) * | 2017-12-14 | 2022-05-16 | 一般社団法人日本建設機械施工協会 | 道路橋床版の防水層に対する健全性評価方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6076871U (ja) * | 1983-11-01 | 1985-05-29 | 株式会社富士電機総合研究所 | 燃料電池の電解液循還装置 |
JPH05195274A (ja) * | 1992-01-20 | 1993-08-03 | Fujitsu Ltd | 微小重力下での電気分解方法 |
JPH0650926A (ja) * | 1992-07-31 | 1994-02-25 | Hokkai Can Co Ltd | 金属製蓋体の内面塗膜検査装置 |
JP3569072B2 (ja) * | 1996-05-09 | 2004-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | セラミック基板のクラック検査方法 |
JP2002048832A (ja) * | 2000-07-31 | 2002-02-15 | Ibiden Co Ltd | セラミック部品検査方法及び検査装置 |
JP4430441B2 (ja) * | 2004-03-23 | 2010-03-10 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミック素子の検査方法 |
JP2008175596A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Toyota Industries Corp | 欠陥センシング方法 |
-
2016
- 2016-05-11 JP JP2016095245A patent/JP6540593B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017203684A (ja) | 2017-11-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105143878B (zh) | 用于渗透氢测量的装置和方法 | |
JP4949470B2 (ja) | 亀裂した多室固体電解質ガスセンサの診断 | |
JP5617749B2 (ja) | ガス濃度測定装置 | |
CN106030324B (zh) | 阻抗测定装置和阻抗测定装置的控制方法 | |
CN110277574B (zh) | 燃料电池***及其控制方法 | |
JP6540593B2 (ja) | 欠陥検査装置、および、欠陥検査方法 | |
JP2013249508A (ja) | 水素酸素製造装置、及び水素酸素製造方法 | |
JP2018170265A5 (ja) | ||
JP2013125604A (ja) | 燃料電池診断装置 | |
JP5350671B2 (ja) | 燃料電池用水蒸気センサの異常検出装置、燃料電池用水蒸気センサ、及び燃料電池システム | |
JP3707495B2 (ja) | コイル傷検査装置、およびその方法 | |
CA2911847C (en) | Fuel cell system | |
US20210339198A1 (en) | Acidic treatment liquid processing apparatus and acidic treatment liquid processing method | |
JP6620510B2 (ja) | 燃料電池の水素濃度推定方法及び水素濃度推定装置 | |
JP6276124B2 (ja) | 電気防食方法、及び電気防食システム | |
JP6312876B2 (ja) | 電解イオン水生成装置 | |
JP2009198322A (ja) | シール検査方法、及びシール検査装置、並びにシール検査システム | |
JP2015087234A (ja) | ヒドラジン濃度検出装置 | |
KR101303966B1 (ko) | 선박평형 수의 산화제 측정을 위한 티알오 측정장치 | |
JP2014043615A (ja) | 水電解システム及びその制御方法 | |
JP2006079842A (ja) | 燃料電池システム | |
JP3614141B2 (ja) | コイル傷検査装置、およびその方法 | |
JP2005069820A (ja) | 電気化学式ガス検知器 | |
JP2004347610A (ja) | コイル傷検査装置、およびその方法 | |
JP6315983B2 (ja) | 定電位電解式ガスセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180723 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190424 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190514 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190527 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6540593 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |