JP4430441B2 - セラミック素子の検査方法 - Google Patents
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また、減圧工程の実施後に浸漬工程を実施して、セラミック素子を導電性液体に浸す前にセラミック素子が入室された減圧室の気圧を減圧したので、セラミック素子にクラック等が存在する場合、セラミック素子を導電性液体に浸すときにはクラック等の内部の圧力が低下した状態となる。この後に、減圧室内の気圧を大気圧に復帰させると、導電性液体を介して大気とクラック等の内部に残る空気との間に圧力差が生じるため、クラック等の内部を大気に押圧された導電性液体によって満たすことができる。
11,15,19,20 セラミック基材
12,13,16,17 導電パターン
22,23,24,112 電極端子
100 減圧室
111 導電性液体
Claims (3)
- 外部と絶縁された少なくとも一つの導電パターンが内部に形成されたセラミック素子に、クラックが存在するか否かを検査するセラミック素子の検査方法であって、
前記セラミック素子を減圧室に入室させる入室工程と、
前記セラミック素子が入室された前記減圧室内の気圧を減圧する減圧工程と、
前記減圧工程の実施後に、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内に配設されている導電性液体に前記セラミック素子を浸す浸漬工程と、
前記減圧工程および前記浸漬工程の実施後に、前記減圧室内の気圧を大気圧に復帰する気圧復帰工程と、
前記セラミック素子の前記導電パターンと、前記導電性液体と接触する電極との間に電圧を印加し、両者間の抵抗値を測定することで、前記セラミック素子にクラックが存在するか否かを検査する検査工程と
を備えたことを特徴とするセラミック素子の検査方法。 - 互いに絶縁された少なくとも二つの導電パターンが内部に形成されたセラミック素子に、クラックが存在するか否かを検査するセラミック素子の検査方法であって、
前記セラミック素子を減圧室に入室させる入室工程と、
前記セラミック素子が入室された前記減圧室内の気圧を減圧する減圧工程と、
前記減圧工程の実施後に、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内に配設されている導電性液体に前記セラミック素子を浸す浸漬工程と、
前記減圧工程および前記浸漬工程の実施後に、前記減圧室内の気圧を大気圧に復帰する気圧復帰工程と、
前記セラミック素子の前記導電パターンのうち、検査を行う被検査導電パターン間に電圧を印加し、両者間の抵抗値を測定することで、前記セラミック素子にクラックが存在するか否かを検査する検査工程と
を備えたことを特徴とするセラミック素子の検査方法。 - 互いに絶縁され、外部とも絶縁された少なくとも二つ以上の導電パターンが内部に形成されたセラミック素子に、クラックが存在するか否かを検査するセラミック素子の検査方法であって、
前記セラミック素子を減圧室に入室させる入室工程と、
前記セラミック素子が入室された前記減圧室内の気圧を減圧する減圧工程と、
前記減圧工程の実施後に、前記セラミック素子が入室された前記減圧室内に配設されている導電性液体に前記セラミック素子を浸す浸漬工程と、
前記減圧工程および前記浸漬工程の実施後に、前記減圧室内の気圧を大気圧に復帰する気圧復帰工程と、
前記セラミック素子の前記導電パターンのうちの検査を行う被検査導電パターン間に電圧を印加する一方、前記被検査導電パターンの少なくとも1つと前記導電性液体に接触する電極の間とのそれぞれに電圧を印加し、各者間の抵抗値をそれぞれ測定することで、前記セラミック素子にクラックが存在するか否かを検査する検査工程と
を備えたことを特徴とするセラミック素子の検査方法。
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