JP6533189B2 - パターンアレイシート成形用型の製造方法、及びマイクロニードルアレイの製造方法 - Google Patents

Description

本発明はパターンアレイシート成形用型の製造方法、及びマイクロニードルアレイの製造方法に関する。

近年、痛みを伴わずにインシュリン（Insulin）及びワクチン（Vaccines）及びhGH（human Growth Hormone）などの薬剤を皮膚内に投与可能な新規剤型として、マイクロニードルアレイ（Micro-Needle Array）が知られている。自己溶解型のマイクロニードルアレイは、薬剤を含み、生分解性のあるマイクロニードル（微細針、又は微小針ともいう）をアレイ状に配列したものである。このマイクロニードルアレイを皮膚に貼付することにより、各マイクロニードルが皮膚に突き刺さり、これらマイクロニードルが皮膚内で吸収され、各マイクロニードル中に含まれた薬剤を皮膚内に投与することができる。マイクロニードルアレイは経皮吸収シートとも呼ばれる。

上述のマイクロニードルアレイは、例えば、マイクロニードルアレイの形状の反転形状である凹状パターンを有する樹脂製モールドを準備し、マイクロニードルアレイの原料であるポリマー溶解液を供給し、ポリマー溶解液を乾燥して硬化し、樹脂製モールドから剥離することによりマイクロニードルアレイが製造される。

上述の樹脂製モールドは、例えば、マイクロニードルアレイの形状と同形状の型を製造し、その型を樹脂製のシートに転写することで製造することができる。

特許文献１には、型を製造するために、基材を切削加工等の機械加工することが開示されている。

国際公開第２００８／０１３２８２号

マイクロニードルアレイを用いて薬剤を皮膚内に投与する場合、マイクロニードルアレイには薬剤量の制御性が求められる。マイクロニードルアレイの薬剤量はマイクロニードルの形状（総体積）の影響を受けるため、マイクロニードルを精度良く形成する必要がある。上述したように、マイクロニードルは樹脂製モールドの凹部の形状に依存し、樹脂製モールドの凹部は型の形状に依存するため、型を精度良く製造する必要がある。

特許文献１に記載の切削加工等の機械加工により型を製造する場合、研削装置等の精度、又は刃の磨耗の観点から、型を精度良く製造できない懸念がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、薬剤量の制御性を改善できるパターンアレイ成形用型の製造方法、及びマイクロニードルアレイの製造方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様によると、パターンアレイシート成形用型の製造方法は、基材を機械加工することにより、アレイ状に配列され、１００μｍ以上１５００μｍ以下の高さを有し、かつ多段の形状を有する複数の針状突起を形成する工程と、非接触測定によって針状突起の体積を計測する工程と、針状突起の体積を調整するため、計測する工程における計測結果に基づいて、針状突起を追加工する工程と、を備える。

好ましくは、追加工する工程は、針状突起を機械加工することを含む。

好ましくは、追加工する工程は、針状突起を機械加工した後に、針状突起の上に無機膜を成膜することを含む。

好ましくは、針状突起の先端部の無機膜の厚さより、針状突起の裾部の無機膜の厚さを厚く成膜する。

好ましくは、無機膜の厚さが１００ｎｍ以上である。

好ましくは、追加工する工程は、無機膜を成膜後に薄膜化することを含む。

好ましくは、針状突起の先端部に成膜された無機膜を薄膜化することにより針状突起の先端部の形状を調整することを含む。

好ましくは、追加工する工程の後に、針状突起に離型膜を形成する工程を含む。

好ましくは、離型膜がフッ素系材料、及び炭化水素系材料の少なくとも一方により構成される。

好ましくは、離型膜の厚さが、２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。

本発明の別の態様によると、マイクロニードルアレイの製造方法は、上述のパターンアレイシート成形用型の製造方法により製造されたパターンアレイシート成形用型を用いてパターンアレイシートを製造する工程と、パターンアレイシートを用いて複製型を製造する工程と、複製型を用いて凹状パターンを有する樹脂製モールドを作製する工程と、樹脂製モールドの凹状パターンにポリマー溶解液を供給する工程と、ポリマー溶解液を乾燥させてポリマーシートとする乾燥する工程と、ポリマーシートを樹脂製モールドから離型する工程と、を含む。

本発明のパターンアレイ成形用型の製造方法によれば、薬剤量の制御性を改善することが可能となる。マイクロニードルアレイの製造方法によれば、薬剤量の制御性を改善することが可能となる。

パターンアレイシート成形用型の製造方法のフローチャートである。 針状突起を形成する工程を示す図である。 針状突起を形成する工程を示す図である。 針状突起を形成する工程を示す図である。 針状突起の断面図である。 パターンアレイシート成形用型の斜視図である。 パターンアレイシート成形用型の斜視図である。 非接触測定機の概略構成図である。 設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。 追加工後の設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。 頻度を縦軸、針状突起の体積を横軸とするグラフである。 成膜前と成膜後の設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。 針状突起に無機膜を成膜した状態を示す側面図である。 積算体積比を縦軸、針状突起の全高に対する針状突起の高さの比を横軸とするグラフである。 積算体積比を縦軸、針状突起の全高に対する針状突起の高さの比を横軸とするグラフである。 マイクロニードルアレイの製造方法のフローチャートである。 パターンアレイシートを製造する工程を示す工程図である。 パターンアレイシートを製造する工程を示す工程図である。 パターンアレイシートを製造する工程を示す工程図である。 電鋳金型を製造する工程を示す工程図である。 電鋳金型を製造する工程を示す工程図である。 樹脂製モールドの製造工程の手順を示す工程図である。 樹脂製モールドの製造工程の手順を示す工程図である。 ポリマー溶解液を供給する工程を示す工程図である。 ポリマーシートとするためポリマー溶解液を乾燥する工程を示す工程図である。 ポリマーシートを樹脂製モールドから離型する工程を示す工程図である。 マイクロニードルアレイを切断する工程を示す工程図である。

以下、添付図面にしたがって本発明の好ましい実施の形態について説明する。本発明は以下の好ましい実施の形態により説明される。本発明の範囲を逸脱すること無く、多くの手法により変更を行うことができ、本実施の形態以外の他の実施の形態を利用することができる。したがって、本発明の範囲内における全ての変更が特許請求の範囲に含まれる。

ここで、図中、同一の記号で示される部分は、同様の機能を有する同様の要素である。また、本明細書中で、数値範囲を“ 〜 ”を用いて表す場合は、“ 〜 ”で示される上限、下限の数値も数値範囲に含むものとする。

（パターンアレイシート成形用型の製造方法）
パターンアレイシート成形用型の製造方法について、図面を参照して説明する。図１は、パターンアレイシート成形用型の製造方法のフローチャートである。図１に示されるように、パターンアレイシート成形用型の製造方法は、針状突起形成工程（ステップＳ１）、計測工程（ステップＳ２）、及び追加工工程（ステップＳ３）を、少なくとも備える。

針状突起形成工程（ステップＳ１）では、基材を機械加工することにより、アレイ状に配列され、１００μｍ以上１５００μｍ以下の高さを有し、かつ多段の形状を有する複数の針状突起を形成する。計測工程（ステップＳ２）では、非接触測定によって針状突起の体積を計測する。追加工工程（ステップＳ３）では、針状突起の体積を調整するため、計測する工程における計測結果に基づいて、針状突起を追加工する。以下、各工程について説明する。

＜針状突起形成工程（ステップＳ１）＞
針状突起形成工程について、図２から図６に基づいて説明する。図２から図４は針状突起を形成する工程を示す図である。

図２に示されるように、パターンアレイシート成形用型１０（図６参照）を作製するための基材２０が準備される。基材２０の素材としては、鉄、ステンレス合金、アルミニウム合金、Ｎｉ合金（めっきを含む）の金属を使用することができる。

図３に示されるように、第一切削刃３０を用いて基材２０を機械加工（切削）することにより、パターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２を構成する第一部分１２Ａが基材２０に形成される。第一部分１２Ａを形成するための各種条件（第一切削刃３０の種類、切削速度等）が適宜選択される。

機械加工とは、切削刃、砥石等の工具により対象物を加工する方法を意味する。

図４に示されるように、第二切削刃３２を用いて基材２０を切削することにより、針状突起１２を構成する第二部分１２Ｂが基材２０に形成される。第二切削刃３２は第一切削刃３０と同じであっても、異なっていてもよい。第二部分１２Ｂを形成するための各種条件（第二切削刃３２の種類、切削速度等）が適宜選択される。第二部分１２Ｂを形成する際にパターンアレイシート成形用型１０の第一面１０Ａが形成される。基材２０に、第一部分１２Ａと第二部分１２Ｂとを含む針状突起１２を必要な数だけ作製し終えると、針状突起形成工程は終了となる。本実施形態では、第一切削刃３０と第二切削刃３２とを用いた機械加工示したが、これに限定されない。例えば、第一切削刃３０及び第二切削刃３２の何れか一方のみを用いる場合、さらに第三切削刃（不図示）を用いる場合でもよい。

図５は、針状突起形成工程後の針状突起の断面図である。

図５に示されるように、針状突起１２は、第一面１０Ａから離れる方向に先細りとなる錐体形状の構造を有している。本実施形態では、針状突起１２が、第一面１０Ａの側から、第二部分１２Ｂと、第一部分１２Ａとを有し、第二部分１２Ｂの側面と第一面１０Ａとの成す角度θ２と、第一部分１２Ａの側面と第一面１０Ａとの成す角度θ１との大きさが異なる形状を有している。したがって、本実施形態では一つ第二部分１２Ｂと一つの第一部分１２Ａとを有しているので、第一面１０Ａと成す角度の異なる２つの側面を有する一段の段差を有する形状となる。多段の形状は、少なくとも一段の段差を有する形状である。なお、針状突起１２は切削加工等により作製されるため、先端は曲面状である。先端径は好ましくは５０μｍ以下であり、より好ましくは３０μｍ以下である。

針状突起１２の高さＨ１は、１００μｍ以上１５００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以上１２００μｍ以下であることがさらに好ましい。針状突起１２の高さＨ１は、第一面１０Ａから針状突起１２の先端までの距離である。また、第一部分１２Ａの高さ（Ｈ１−Ｈ２）と、第二部分１２Ｂの高さＨ２との比である（Ｈ１−Ｈ２）／Ｈ２については、１以上１０以下の範囲であり、好ましくは１．５以上８以下の範囲である。

針状突起１２の間隔Ｌ（ピッチ）は、３００μｍ以上２０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以上１５００μｍ以下であることがより好ましく、７００μｍ以上１２５０μｍ以下であることがさらに好ましい。針状突起１２の間隔Ｌを上述の範囲とすることにより、切削等の機械加工が容易となる。隣り合う針状突起１２の間隔Ｌとは、ある針状突起１２に対して最も近い位置にある別の針状突起１２までの距離であり、図５に示すように、２つの針状突起１２の先端間の距離で測定される。

図６は、パターンアレイシート成形用型の斜視図である。図６に示されるように、パターンアレイシート成形用型１０は、略直方体の形状を有し、その第一面１０Ａに複数の針状突起１２がアレイ状に配列されている。アレイ状とは整列された状態を意味する。針状突起１２が整列されていれば良く、数、配置、ピッチ等は適宜選択される。針状突起１２は第一部分１２Ａと第二部分１２Ｂとから構成される第一面１０Ａと対向する反対側の面である第二面１０Ｂは、ほぼ平坦面で構成されている。

後述するように、パターンアレイシート成形用型１０からパターンアレイシートが形成される。パターンアレイシートから電鋳金型が作製され、電鋳金型から凹状パターンを有する樹脂製モールドが作製される。樹脂製モールドから成形品であるマイクロニードルアレイが製造される。パターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２が、マイクロニードルアレイに複製される。したがって、針状突起１２の形状を管理することが重要となる。

図７は、図６のパターンアレイシート成形用型１０とは異なる針状突起１２の形状を有している。図７の針状突起１２は、先端部から裾部に向けて第一部分１２Ａと第二部分１２Ｂと第三部分１２Ｃと備える二段の段差を有する形状である。図７においては、第一部分１２Ａは円錐形状であり、第二部分１２Ｂは円柱形状であり、第三部分１２Ｃは円錐台形状を有している。但し、これらの形状には限定されない。

＜計測工程（ステップＳ２）＞
計測工程では、複数の針状突起１２をアレイ状に形成したパターンアレイシート成形用型１０が非接触測定によって測定され、針状突起１２の体積が計測される。非接触の測定は、レーザー顕微鏡、又は白色干渉計を用いることにより、実現することができる。非接触測定とは、測定物に直接接触することなく測定する方法であって、例えば、光を利用して測定する方法を挙げることができる。

レーザー顕微鏡として、例えば、キーエンス社製のＶＫ−Ｘ２６０、オリンパス社製のＯＬＳ４１００等を使用することができる。白色干渉計として、例えば、Ｚｙｇｏ社製の白色干渉計、Ｂｒｕｋｅｒ社製のＷｙｋｏ等を使用することができる。

図８は、非接触測定機の概略構成図である。図８に示されるように、非接触測定機システム４０は、例えば、非接触測定機４２と、及び制御装置６０と、を備えている。非接触測定機４２と制御装置６０とは電気的に接続されている。制御装置６０は非接触測定機システム４０の全体の動作を制御する。

非接触測定機４２は、撮像装置４４と、測定機本体４６と、光源４８と、及び測定物であるパターンアレイシート成形用型１０を載置するテーブル５０と、を備える。非接触測定機４２として、上述のレーザー顕微鏡、白色干渉計等が使用される。

制御装置６０は、操作入力部であるキーボード６２、及び表示部であるディスプレイ６４と、制御部６６とを備える。制御部６６は、各種の処理を行う演算部、各種プログラム及びデータ等が格納された記憶部等を備える。

複数の針状突起１２を有するパターンアレイシート成形用型１０がテーブル５０に載置される。非接触測定機４２によって、針状突起１２の形状が計測される。非接触測定機４２によって計測された結果が、制御装置６０に入力される。制御装置６０に入力された結果が、制御部６６の演算部により処理され、針状突起１２の体積が計測される。

針状突起１２の体積を求める方法として、いくつかの方法がある。一つの方法は、計測した１つの針状突起１２に対し、針状突起１２の底部の重心を算出し、重心位置の高さにおける断面から径を算出する。算出された径に基づいて、高さ方向で積分することにより体積を求めることができる。

別の方法として、理想形状の位置情報と、計測した針状突起１２とに基づいて３Ｄフィッティングすることにより径を算出し、算出された径に基づいて、高さ方向で積分することにより体積を求めることができる。

上記の方法で求めた体積が、一つのパターンアレイシート成形用型１０の複数の針状突起１２の総体積となる。

本実施形態では、全ての針状突起１２を計測する場合について説明した。しかしながら、計測すべき針状突起１２の数が多い場合、針状突起１２の設計値に対する総体積の増加、又は減少の傾向を把握できる評価数を統計的に求め、全ての針状突起１２を計測しない場合であっても良い。

複数の針状突起１２を有するパターンアレイシート成形用型１０を計測した結果の一例について説明する。１００本の針状突起１２を有するパターンアレイシート成形用型１０を準備する。パターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２を非接触測定機システム４０により計測する。図９は、設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。体積比は、計測値／設計値の式により求めることができる。

図９に示されるように、この例においては、加工順が遅くなるほど、体積比が大きくなることが読み取れる。針状突起１２を形成するための切削刃が、加工が進むにつれて摩耗し、その結果、針状突起１２の形状が設計値から外れたと考えられる。

各針状突起１２の体積が等しくない場合、パターンアレイシート成形用型１０から製造されるマイクロニードルアレイの形状が等しくなくなるため、薬剤量の制御性が問題になることが懸念される。

＜追加工工程（ステップＳ３）＞
本実施形態においては、追加工工程では、各針状突起１２の体積を調整するため、計測工程における計測結果に基づいて、針状突起１２が追加工される。

追加工する工程として、各針状突起１２の体積の計測結果に基づいて、機械加工により各針状突起１２の体積が調整されるよう切削等することができる。同じ切削刃により針状突起１２を機械加工する場合、例えば、加工順を逆にし、加工順の遅い針状突起１２から加工順の早い針状突起１２の順で機械加工することができる。切削刃が摩耗する場合でも、精度の高い追加工を実現することができる。

図１０は、追加工後の設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。追加工後の各針状突起１２を計測し、その計測結果を図１０のグラフにプロットする。図１０に示されるように、機械加工による追加工を針状突起１２の行うことにより、各針状突起１２の体積をほぼ等しくなるように調整することができる。体積がほぼ等しいとは、体積が同じであるか、又は体積のバラツキが一定の範囲に含まれていること意味する。一定の範囲は、製造されるマイクロニードルアレイに求められる精度から、定められる。

次に、１００本の針状突起１２を有する、６つのパターンアレイシート成形用型１０を準備し、６つのパターンアレイシート成形用型１０に対して機械加工による追加工を実施する。図１１は、頻度を縦軸、針状突起の体積を横軸とするグラフである。グラフＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆは、６つのパターンアレイシート成形用型１０の各針状突起１２の体積と頻度をプロットしたグラフである。

図１１に示されるように、グラフＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、及びＦによれば、各パターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２の体積は、ほぼ等しくなるように調整されている。グラフＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、及びＦによれば、各パターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２の体積は、設計値に対して±３％に含まれている。パターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２の体積が、上述の範囲内であれば、マイクロニードルアレイの薬剤量の制御性を向上させることができる。

一方、成形品であるマイクロニードルアレイの形状に関して、設計値に対する許容値がより小さいこと、即ち、ばらつきがより小さいことが求められ場合がある。例えば、グラフＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、及びＦで示されるパターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２の体積を、設計値に近づけることが必要となる。

グラフＤ、Ｅ、及びＦで代表される、設計値より大きな針状突起１２の体積を有するパターンアレイシート成形用型１０に対して、追加の機械加工による追加工を行うことで、針状突起１２の体積を設計値に近づけることができる。

グラフＡ、Ｂ、及びＣで代表される、設計値より小さな針状突起１２の体積を有するパターンアレイシート成形用型１０に対して、追加の機械加工による追加工によっては、針状突起１２の体積を設計値に近づけることができない。

本実施形態では、機械加工により針状突起１２の体積を調整した後、設計値より小さな針状突起１２の上に無機膜を成膜することにより、針状突起１２の体積を設計値に近づけることができる。図１２は、成膜前と成膜後の設計値に対する体積比を縦軸、針状突起の加工順を横軸とするグラフである。図１２に示されるように、各針状突起１２に無機膜を成膜することにより、各針状突起１２の体積を成膜前の状態より大きくすることができる。

無機膜の材料として、カーボン系ではＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ−ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）、ＴａＣ（Ｔｅｔｒａｈｅｄｒａｌ ａｍｏｒｐｈｏｕｓ Ｃａｒｂｏｎ）、スパッタカーボン等を挙げることができる。また、無機膜の材料として、合金膜では、ＣｒＮ、ＴｉＮ、ＰｔＦｅ、Ｎｉ−Ｗ、ＴｉＯ_２、ＳｉＯ_２等をあることができる。無機膜の材料として、金属膜では、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｒ等を挙げることができる。針状突起１２の上に無機膜を成膜する方法として、公知の真空成膜方法を用いることができる。

成膜される無機膜の厚さは１００ｎｍ以上であることが好ましい。無機膜の厚さを１００ｎｍ以上にすることにより、効果的に針状突起１２の体積を増加させることが可能となる。なお、無機膜の厚さが厚い程、より効果的に針状突起１２の体積を増加させることが可能となる。無機膜の厚さは、増加したい体積の大きさ、形成された針状突起１２の高さ、隣接する針状突起１２の距離等に基づいて、適宜決定される。

図１３は、針状突起に無機膜を成膜する状態を示す側面図である。図１３に示されるように、パターンアレイシート成形用型１０の複数の針状突起１２の上に、無機膜３４が成膜される。無機膜を成膜する場合、パターンアレイシート成形用型１０の第一面１０Ａに対して垂直方向（９０°）から無機物質を堆積することが好ましい。垂直方向から無機物質を堆積することにより、針状突起１２の先端部の無機膜３４の厚さより、針状突起１２の裾部の無機膜３４の厚さを厚く成膜することができる。

無機膜３４の厚さを、針状突起１２の裾部より針状突起１２の先端部において薄くすることができ、針状突起１２の先端部が鈍ることを抑制することができる。針状突起１２の先端部がマイクロニードルアレイの先端部に複製されるため、マイクロニードルアレイの穿刺性を確保ためには、針状突起１２の先端部が鈍らないことが好ましい。

針状突起１２の先端部の無機膜３４の厚さより、針状突起１２の裾部の無機膜３４の厚さを厚く成膜することにより、効率的に針状突起１２を増加させることができる。

また、パターンアレイシート成形用型１０を回転させることにより、無機膜３４を針状突起１２の表面の全体に亘り、成膜することができる。

本実施形態では、第一面１０Ａに対して垂直方向から無機材料を堆積する場合を説明したが、この態様に限定されない。したがって、パターンアレイシート成形用型１０無機材料を堆積する方向を、第一面１０Ａに対して９０°から傾けた状態で無機膜を成膜してもよい。なお、針状突起１２の先端部の無機膜３４の厚さが、針状突起１２の裾部の無機膜３４の厚さより厚く成膜できる傾きであることが好ましい。

図１４は、積算体積比を縦軸、針状突起の全高に対する針状突起の高さの比（針状突起の高さ／針状突起の全高：以下高さ比とも言う）を横軸とするグラフである。横軸において、針状突起の高さは、針状突起の先端を起点（０）とし、針状突起の先端から針状突起のある位置までの距離である。また、針状突起の全高は、針状突起の先端から第一面までの距離である。

図１４において、横軸の数値が大きくなるにしたがい、その数値に対応する針状突起の位置での断面積は大きくなる。このことから、針状突起の裾部側での体積増加率は、針状突起の裾部側での体積増加率より大きくなることが読み取れる。したがって、針状突起の体積を増加させる場合、針状突起の先端部側に無機膜を成膜するより、針状突起の裾部側に無機膜を成膜することが、好ましいことが理解できる。

図１５は、積算体積比を縦軸、針状突起の全高に対する針状突起の高さの比を横軸とするグラフである。横軸は、高さ比の値が０．８から１．０までの範囲を示している。縦軸は、針状突起の基準値に対して、均等な厚さの無機膜を成膜した際の体積の増加率を示している。

グラフＡは基準値を、グラフＢは基準値の針状突起の上に１μｍの厚さの無機膜を０．８から１．０の高さ比の範囲において成膜した場合を、グラフＣは基準値の針状突起の上に２μｍの厚さの無機膜を０．８から１．０の高さ比の範囲において成膜した場合を、グラフＤは基準値の針状突起の上に３μｍの厚さの無機膜を０．８から１．０の高さ比の範囲において成膜した場合を、示している。

図１５のグラフによれば、基準値の針状突起の上に３μｍの厚さの無機膜を０．８から１．０の高さ比の範囲において成膜した場合、針状突起の体積を４％程度増加させることができることが理解できる。針状突起の体積を４％程度増加させることができれば、針状突起の体積を設計値に近づけることが可能となる。

針状突起の先端部は、０以上０．２以下の高さ比の範囲であり、針状突起の裾部とは０．８以上１．０以下の高さ比の範囲である。針状突起の先端部と針状突起の裾部の無機膜の厚さの差は、針状突起の先端部における平均膜厚と、針状突起の裾部における平均膜厚を比較することで求めることができる。

針状突起に対して追加工の工程として、機械加工した後に、針状突起の上に無機膜を成膜する場合について説明した。この追加工の工程に、さらに、成膜された無機膜を薄膜化することを含めることが好ましい。無機膜の薄膜化とは、無機膜の厚さを薄くすることを意味する。

針状突起の体積を調整するため、針状突起を機械加工した後に、針状突起の上に無機膜を成膜する場合、無機膜が、計測結果より予め求められた厚さより厚く成膜されることがある。厚い無機膜が成膜されると、針状突起の体積が、設計値から外れることが懸念される。

そこで、本実施形態においては、厚く成膜された無機膜を薄膜化することが好ましい。無機膜を薄膜化することにより、針状突起の体積を設計値に近づけることができる。

無機膜を薄膜化する方法として、ドライエッチングプロセスを挙げることができる。ドライエッチングプロセスとは、液体を使用せずに、対象物にイオン等を衝突させる物理的エッチング方式、反応性ガスにより化学反応を起こさせる化学的エッチング方式、又は両方を組み合わせたエッチング方式等を挙げることができる。無機膜を薄膜化することができれば、ドライエッチングプロセスに限定されない。

無機膜を薄膜化する場合、針状突起の先端部に成膜された無機膜を薄膜化することが好ましい。針状突起の先端部の無機膜が成膜された場合、先端部の形状が鈍る懸念がある。したがって、針状突起の先端部に成膜された無機膜を薄膜化することが好ましい。したがって、先端部の形状を設計値に近い形状にすること可能となる。

無機膜の種類によって、無機膜を薄膜化する方法を適宜変更することが好ましい。また、針状突起の先端部の角度に垂直になる角度、すなわち第一面に対して垂直方向から無機膜を薄膜化することが好ましい。垂直方向から無機膜を薄膜化することにより、針状突起の先端部の形状を調整することが可能となる。

＜離型膜形成工程）＞
追加工する工程の後に、針状突起に離型膜を形成する工程を含んでいてもよい。針状突起に離型膜を形成することにより、パターンアレイシート成形用型からパターンアレイシートを容易に離型することが可能となる。

離型膜は、フッ素系材料、及び炭化水素系材料の少なくとも一方により構成されることが好ましい。フッ素系材料として、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン：ｐｏｌｙｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｈｙｌｅｎｅ）、ＰＦＡ（テトラフルオロエチレン−ペルフルオロビニルエーテル共重合体：Ｔｅｔｒａｆｌｕｏｒｏｅｔｙｌｅｎｅ−ＰｅｒｆｌｕｏｒｏａｌｋｙｌｖｉｎｙｌｅｔｈｅｒＣｏｐｏｌｙｍｅｒ）等を挙げることができる。フッ素系材料として、例えば、ダイキン工業株式会社製のオプツール（登録商標）ＨＤ２１００等を用いることができる。

針状突起に形成される離型膜は、２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の厚さを有することが好ましい。離型膜を２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下の範囲とすることにより、針状突起の体積を大きく変化させないことが可能となる。体積を調整された針状突起の大きさを設計値から外れないようにすることが好ましい。離型膜は、スプレー等で、針状突起に塗布することができる。但し、離型膜を形成する方法は特に限定されない。

（マイクロニードルアレイの製造方法）
マイクロニードルアレイの製造方法について、図面を参照して説明する。図１６は、マイクロニードルアレイの製造方法フローチャートである。図１６に示されるように、マイクロニードルアレイの製造方法は、パターンアレイシート製造工程（ステップＳ２１）、複製型製造工程（ステップＳ２２）、樹脂製モールド製造工程（ステップＳ２３）、ポリマー溶解液供給工程（ステップＳ２４）、乾燥工程（ステップＳ２５）、及び離型工程（ステップＳ２６）を少なくとも備える。

＜パターンアレイシート製造工程（ステップＳ２１）＞
パターンアレイシート製造工程では、パターンアレイシート成形用型の製造方法により製造されたパターンアレイシート成形用型を用いてパターンアレイシートを製造する。図１７から図１９は、パターンアレイシートの製造工程の手順を示す工程図である。

図１７に示されるように、パターンアレイシート成形用型１０と、パターンアレイシートの材料である熱可塑性樹脂シート８０とを準備する。

熱可塑性樹脂シート８０を構成する熱可塑性樹脂としては、特に限定されない。例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリエチレン、液晶ポリマー、ポリ乳酸等を好適に用いることができる。熱可塑性樹脂シート８０とは、膜厚が薄く、常温において自己支持性を有する状態にある熱可塑性樹脂を意味する。「自己支持性」とは、他の部材による支持がなくても、単体でその形態を保ち得ることをいう。

パターンアレイシート成形用型１０と熱可塑性樹脂シート８０とを相対的に移動して、パターンアレイシート成形用型１０を熱可塑性樹脂シート８０に押圧する位置（例えば、領域Ａ１）を決める。位置決めは、例えば、熱可塑性樹脂シート８０を支持するテーブル（不図示）に、水平面内で互いに直交方向に移動するＸ軸駆動機構、Ｙ軸駆動機構を設けることにより、実行される。

加熱されたパターンアレイシート成形用型１０を熱可塑性樹脂シート８０の表面８０Ａの側に押圧する。パターンアレイシート成形用型１０の複数の針状突起１２が熱可塑性樹脂シート８０に押圧される。

パターンアレイシート成形用型１０は、熱可塑性樹脂シート８０を構成する熱可塑性樹脂材料のビカット温度以上に加熱される。加熱は、ヒータ（不図示）により行われる。熱可塑性樹脂シート８０を構成する熱可塑性樹脂の種類に応じて、パターンアレイシート成形用型１０は適正な温度に加熱される。

パターンアレイシート成形用型１０を熱可塑性樹脂シート８０の表面８０Ａの側に押圧するために、例えば、熱可塑性樹脂シート８０を支持するテーブル（不図示）に、鉛直方向に移動するＺ軸駆動機構を設けることにより、実行される。テーブルにＺ軸駆動機構を設けた場合、熱可塑性樹脂シート８０がパターンアレイシート成形用型１０に移動する。また、鉛直方向に移動するＺ軸駆動機構によりパターンアレイシート成形用型１０を取り付けることもできる。この場合、パターンアレイシート成形用型１０が熱可塑性樹脂シート８０に移動する。

加熱されたパターンアレイシート成形用型１０を押圧しながら、熱可塑性樹脂シート８０の表面８０Ａの側を一定時間加熱する。次いで、パターンアレイシート成形用型１０を熱可塑性樹脂シート８０に押圧した状態で、パターンアレイシート成形用型１０を冷却することにより、熱可塑性樹脂シート８０が軟化温度以下になるまで冷却される。

図１８に示されるように、パターンアレイシート成形用型１０と熱可塑性樹脂シート８０とを引き離して、熱可塑性樹脂シート８０の表面８０Ａの側に、複数の針状突起１２の反転形状の複数の凹部８２を形成する。なお、パターンアレイシート成形用型１０と熱可塑性樹脂シート８０との引き離しは、上述したＺ軸駆動機構により実行することができる。複数の凹部８２は複数の針状突起１２の反転形状を有しているので、複数の凹部８２はアレイ状に配列される。複数の凹部８２の窪みの大きさ、数、及び配置は、複数の針状突起１２の基本的に同じとなる。凹部８２は、熱可塑性樹脂シート８０の表面８０Ａから他方面に向けて先端が先細りの形状を有している。

次に、図１８に示されるように、領域Ａ１において凹部８２の形成を終えると、パターンアレイシート成形用型１０と熱可塑性樹脂シート８０との位置決め（ここでは領域Ａ２）を行う。領域Ａ２において、加熱されたパターンアレイシート成形用型１０を熱可塑性樹脂シート８０の表面８０Ａの側に押圧する。パターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２が熱可塑性樹脂シート８０の表面８０Ａの側に押圧される。

領域Ａ２において、加熱されたパターンアレイシート成形用型１０を押圧しながら、熱可塑性樹脂シート８０の表面８０Ａの側を一定時間加熱する。パターンアレイシート成形用型１０を熱可塑性樹脂シート８０に押圧した状態で、パターンアレイシート成形用型１０を冷却することにより、熱可塑性樹脂シート８０が軟化温度以下になるまで冷却される。パターンアレイシート成形用型１０と熱可塑性樹脂シート８０とを引き離して、熱可塑性樹脂シート８０の表面８０Ａに、複数の針状突起１２の反転形状の凹部８２を形成する。

さらに、パターンアレイシート成形用型１０と熱可塑性樹脂シート８０とを位置決めし（ここでは領域Ａ３）、加熱したパターンアレイシート成形用型１０を熱可塑性樹脂シート８０の表面８０Ａに押圧する。

図１７及び図１８で説明したパターンアレイシート成形用型１０と熱可塑性樹脂シート８０との位置決めと、パターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２の反転形状の凹部８２を熱可塑性樹脂シート８０に形成することを繰り返す。

図１９に示されるように、熱可塑性樹脂シート８０の表面８０Ａの側に、予め決められた領域に複数の凹部８２を形成し終えると、熱可塑性樹脂シート８０からパターンアレイシート８４が製造される。

＜複製型製造工程（ステップＳ２２）＞
複製型製造工程では、パターンアレイシートを用いてパターンアレイシート成形用型の複製である複製型を製造する。複製型を製造する一例として、電鋳処理を例に説明する。図２０、図２１は、電鋳金型の製造工程の手順を示す工程図である。

図２０に示されるように、表面８０Ａの複数の領域に、複数の凹部８２がアレイ状に配列されたパターンアレイシート８４を準備し、パターンアレイシート８４に電鋳処理を行う。電鋳処理においては、まず、パターンアレイシート８４に導電化処理を行う。パターンアレイシート８４に金属（例えば、ニッケル）をスパッタリングし、パターンアレイシート８４の表面８０Ａ、及び複数の凹部８２に金属を付着する。導電化処理を経たパターンアレイシート８４を陰極に保持する。金属ペレットを金属製のケースに保持し陽極とする。パターンアレイシート８４を保持する陰極と金属ペレットを保持する陽極とを電鋳液中に浸漬し、通電する。電鋳処理により、パターンアレイシート８４の複数の凹部８２に金属が埋め込まれ、金属体９０が形成される。電鋳処理とは、電気めっき法により型（パターンアレイシート８４）の表面に金属を析出させる方法をいう。

図２１に示されるように、金属体９０がパターンアレイシート８４から離型されて、複数の針状突起９４を有する電鋳金型９２が製造される。複数の針状突起９４は複数の凹部８２の反転形状を有している。複数の針状突起９４は、パターン状に配列される。電鋳金型９２の針状突起９４は、パターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２と、ほぼ同一の形状となる。本実施形態では、電鋳金型９２が複製型となる。

本実施形態では、パターンアレイシート成形用型１０を用いてパターンアレイシート８４を製造し、パターンアレイシート８４から電鋳金型９２を製造する。したがって、パターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２と電鋳金型９２の針状突起９４とはほぼ同一の形状であり、かつ、電鋳金型９２はパターンアレイシート成形用型１０と比較して大面積の有している。すなわち、小型のパターンアレイシート成形用型１０から、その複製型である大型の電鋳金型９２を得ることができるので、機械加工に伴うコストを削減できる。

複製型は、電鋳処理に限定されず、パターンアレイシート８４を用いて樹脂製の複製型を作製することもできる。

＜樹脂製モールド製造工程（ステップＳ２３）＞
樹脂製モールド製造工程では、複製型を用いて複数の凹部を有する樹脂製モールドを製造する。図２２、図２３は、樹脂製モールドの製造工程の手順を示す工程図である。なお、複製型として電鋳金型９２を用いる例で説明する。複製型は電鋳金型９２に限定されない。

図２２は、電鋳金型９２を用いて樹脂製モールド１００を製造する工程を示し、図２３は電鋳金型９２から樹脂製モールド１００を離型する工程を示している。以下の第１から第３の方法により、アレイ状に配列された複数の凹部１０２を有する樹脂製モールド１００を製造することができる。

まず、第１の方法について説明する。紫外線を照射することにより硬化する紫外線硬化樹脂を準備する。電鋳金型９２の複数の針状突起９４を紫外線硬化樹脂に押圧する。紫外線硬化樹脂に電鋳金型９２を押圧した状態で、紫外線硬化樹脂に紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂を硬化させる。硬化させた紫外線硬化樹脂を電鋳金型９２から離型する。電鋳金型９２の複数の針状突起９４の反転形状である複数の凹部１０２を有する樹脂製モールド１００を製造することができる。

第２の方法について説明する。樹脂製モールド１００の材料となる熱可塑性樹脂シートを準備する。複数の針状突起９４を有する電鋳金型９２を加熱する。加熱された電鋳金型９２複数の針状突起９４を熱可塑性樹脂シートの表面に押圧する。熱可塑性樹脂の表面は軟化されているので、複数の針状突起９４の反転形状が熱可塑性樹脂シートに転写される。

熱可塑性樹脂シートに電鋳金型９２を押圧した状態で、熱可塑性樹脂シートと電鋳金型９２とを冷却する。電鋳金型９２を冷却することにより熱可塑性樹脂シートを硬化させる。その後、熱可塑性樹脂シートを電鋳金型９２から離型する。電鋳金型９２の複数の針状突起９４の反転形状である複数の凹部１０２を有する樹脂製モールド１００を製造することができる。

次に、第３の方法について説明する。ＰＤＭＳ（polydimethylsiloxane：ポリジメチルシロキサン、例えば、ダウコーニング社製シルガード１８４）に硬化剤を添加したシリコーン樹脂を準備する。電鋳金型９２の複数の針状突起９４をシリコーン樹脂に押圧する。シリコーン樹脂に電鋳金型９２を押圧した状態で、シリコーン樹脂を１００℃で加熱処理し硬化させる。硬化させたシリコーン樹脂を電鋳金型９２から離型する。電鋳金型９２の複数の針状突起９４の反転形状である複数の凹部１０２を有する樹脂製モールド１００を製造することができる。

複数の凹部１０２は複数の針状突起９４の反転形状であるので、複数の凹部１０２の各凹部の大きさは、複数の針状突起９４の大きさと、ほぼ同じとなる。但し、樹脂製モールド１００を製造する方法、第１〜第３の方法に限定されない。

＜ポリマー溶解液供給工程（ステップＳ２４）＞
ポリマー溶解液供給工程では、図２４に示されるように、樹脂製モールド１００の複数の凹部１０２にポリマー溶解液１１２が供給される。

マイクロニードルアレイ１１０（図２６参照）を形成するポリマー溶解液１１２の材料としては、水溶性材料を用いることが好ましい。マイクロニードルアレイ１１０の製造に用いられるポリマー溶解液１１２の樹脂ポリマーの素材としては、生体適合性のある樹脂を用いることが好ましい。このような樹脂としては、グルコース、マルトース、プルラン、コンドロイチン硫酸ナトリウム、ヒアルロン酸ナトリウム、ヒドロキシエチルデンプンなどの糖類、ゼラチンなどのタンパク質、ポリ乳酸、乳酸・グリコール酸共重合体などの生分解性ポリマーを使用することが好ましい。これらの中でもゼラチン系の素材は多くの基材と密着性をもち、ゲル化する材料としても強固なゲル強度を持つため、基材と密着させることができる。マイクロニードルアレイ１１０を樹脂製モールド１００から離型する際、基材（不図示）を用いてマイクロニードルアレイ１１０を離型することができるので、好適に利用することができる。濃度は材料によっても異なるが、薬剤を含まないポリマー溶解液１１２の中に樹脂ポリマーが１０〜５０質量％含まれる濃度とすることが好ましい。また、ポリマー溶解液１１２に用いる溶媒は、温水以外であっても揮発性を有するものであればよく、エタノールなどのアルコールなどを用いることができる。そして、ポリマー溶解液１１２の中には、用途に応じて体内に供給するための薬剤を共に溶解させることが可能である。薬剤を含むポリマー溶解液１１２のポリマー濃度（薬剤自体がポリマーである場合は薬剤を除いたポリマーの濃度）としては、０〜３０質量％含まれることが好ましい。

ポリマー溶解液１１２の調製方法としては、水溶性の高分子（ゼラチンなど）を用いる場合は、水溶性粉体を水に溶解し、溶解後に薬剤を添加してもよいし、薬剤が溶解した液体に水溶性高分子の粉体を入れて溶かしてもよい。水に溶解しにくい場合、加温して溶解してもよい。温度は高分子材料の種類により、適宜選択可能であるが、必要に応じて、約２０〜４０℃の温度で加温することが好ましい。ポリマー溶解液１１２の粘度は、薬剤を含む溶解液では２００ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましく、より好ましくは５０ｍＰａ・ｓ以下とすることが好ましい。薬剤を含まない溶解液では２０００ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましく、より好ましくは５００ｍＰａ・ｓ以下とすることが好ましい。ポリマー溶解液１１２の粘度を適切に調整することにより、樹脂製モールド１００の凹部１０２に容易にポリマー溶解液１１２を注入することができる。例えば、ポリマー溶解液１１２の粘度は、細管式粘度計、落球式粘度計、回転式粘度計、又は振動式粘度計で測定することができる。

ポリマー溶解液１１２に含有させる薬剤は、薬剤としての機能を有するものであれば限定されない。特に、ペプチド、タンパク質、核酸、多糖類、ワクチン、水溶性低分子化合物に属する医薬化合物、又は化粧品成分から選択することが好ましい。

ポリマー溶解液１１２を樹脂製モールド１００に注入する方法としては、例えば、ノズル、スピンコーター、スキージ等を用いた塗布を挙げることができる。

樹脂製モールド１００の凹部１０２の先端に、貫通孔を形成しても、形成しなくても良い。貫通孔を形成した場合、凹部１０２内のエアーを貫通孔から逃がすことができる。したがって、ポリマー溶解液１１２を樹脂製モールド１００の凹部１０２に入りやすくすることができる。また、この工程は、減圧状態で行うことが好ましい。

＜乾燥工程（ステップＳ２５）＞
乾燥工程では、図２５に示されるように、ポリマーシート１１４とするため、ポリマー溶解液１１２が乾燥される。例えば、樹脂製モールド１００に供給されたポリマー溶解液１１２に風を吹き付けることにより乾燥させることができる。ポリマーシート１１４とは、ポリマー溶解液１１２に所望の乾燥処理を施した後の状態を意味する。ポリマーシート１１４の水分量等は適宜設定される。なお、乾燥により、ポリマーの水分量が低くなりすぎると離型しにくくなるため、弾力性を維持している状態の水分量を残存させておくことが好ましい。

ポリマーシート１１４には複数の凹部１０２の反転形状である後述する針状突起１１６が形成される。

＜離型工程（ステップＳ２６）＞
離型工程では、図２６に示されるように、樹脂製モールド１００からポリマーシート１１４が離型され、マイクロニードルアレイ１１０が製造される。マイクロニードルアレイ１１０には、樹脂製モールド１００の凹部１０２の反転形状である複数の針状突起１１６が形成される。

例えば、ポリマーシート１１４の樹脂製モールド１００の反対側の面に、粘着層が形成されているシート状の基材（不図示）を付着させ、その基材を引き上げることにより、ポリマーシート１１４を樹脂製モールド１００から離型することができる。ポリマーシート１１４の両端部を把持し、両端部を徐々に引き上げることにより、ポリマーシート１１４を樹脂製モールド１００から離型することもできる。

＜切断工程＞
切断工程では、製造されたマイクロニードルアレイ１１０が、個別のマイクロニードルアレイ１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄに切断される。樹脂製モールド１００から離型されたマイクロニードルアレイ１１０は、切断装置（不図示）にセットされ、マイクロニードルアレイ１１０を切断する位置が決定される。基本的には、アレイ状に配列された複数の針状突起１１６の集合体を有する領域１１６Ａ、１１６Ｂ、１１６Ｃ、１１６Ｄごとに切断位置が決定される。図２７に示されるように、マイクロニードルアレイ１１０が切断され、複数の個別のマイクロニードルアレイ１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄが製造される。

なお、本実施形態では、ポリマー溶解液１１２を樹脂製モールド１００の凹部１０２に充填し、乾燥することによりポリマーシート１１４を形成する場合を説明したが、これに限定されない。

例えば、薬剤を含むポリマー溶解液１１２を樹脂製モールド１００の複数の凹部１０２に充填して乾燥し、その後、薬剤を含まないポリマー溶解液１１２を樹脂製モールド１００の複数の凹部１０２に充填し、乾燥することにより二層構造のポリマーシート１１４（マイクロニードルアレイ１１０）を製造することができる。

製造されるマイクロニードルアレイ１１０の複数の針状突起１１６（領域１１６Ａ，１１６Ｂ，１１６Ｃ、１１６Ｄ）とは、針状突起１１６とは、先端側に先細りの形状を意味し、錐体形状、及び多段の錐体形状を含む。多段の錐体形状は、底面から先端に向けて角度の異なる側面を有する錐体形状を意味する。

針状突起１１６の高さは、１００μｍ以上１５００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以上１０００μｍ以下である。

製造されるマイクロニードルアレイ１１０の複数の針状突起１１６を有するは、パターンアレイシート成形用型１０の複製となる。パターンアレイシート成形用型１０の針状突起１２の形状、及び配置を所望の形状とすることにより、製造されるマイクロニードルアレイ１１０の針状突起１１６を所望の形状とすることができる。特に、本実施形態では、パターンアレイシート成形用型の針状突起の形状が調整されているので、針状突起１１６の形状がほぼ等しくされ、薬剤量の制御を改善することが可能となる。

１０ パターンアレイシート成形用型
１０Ａ 第一面
１０Ｂ 第二面
１２ 針状突起
１２Ａ 第一部分
１２Ｂ 第二部分
１２Ｃ 第三部分
２０ 基材
３０ 第一切削刃
３２ 第二切削刃
３４ 無機膜
４０ 非接触測定機システム
４２ 非接触測定機
４４ 撮像装置
４６ 測定機本体
４８ 光源
５０ テーブル
６０ 制御装置
６２ キーボード
６４ ディスプレイ
６６ 制御部
８０ 熱可塑性樹脂シート
８０Ａ 表面
８２ 凹部
８４ パターンアレイシート
９０ 金属体
９２ 電鋳金型
９４ 針状突起
１００ 樹脂製モールド
１０２ 凹部
１１０、１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃ、１１０Ｄ マイクロニードルアレイ
１１２ ポリマー溶解液
１１４ ポリマーシート
１１６ 針状突起
１１６Ａ、１１６Ｂ、１１６Ｃ、１１６Ｄ 領域
Ａ１、Ａ２、Ａ３ 領域
Ｌ 間隔
Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ２１、Ｓ２２、Ｓ２３、Ｓ２４、Ｓ２５、Ｓ２６ ステップ
θ１、θ２ 角度

Claims (11)

1. 基材を機械加工することにより、アレイ状に配列され、１００μｍ以上１５００μｍ以下の高さを有し、かつ多段の形状を有する複数の針状突起を形成する工程と、
   非接触測定によって前記針状突起の体積を計測する工程と、
   前記針状突起の体積を調整するため、前記計測する工程における計測結果に基づいて、前記針状突起を追加工する工程と、
   を備えるパターンアレイシート成形用型の製造方法。
2. 前記追加工する工程は、前記針状突起を機械加工することを含む請求項１に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。
3. 前記追加工する工程は、前記針状突起を機械加工した後に、前記針状突起の上に無機膜を成膜することを含む請求項２に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。
4. 前記針状突起の先端部の前記無機膜の厚さより、前記針状突起の裾部の前記無機膜の厚さを厚く成膜する請求項３に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。
5. 前記無機膜の厚さが１００ｎｍ以上である請求項３又は４に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。
6. 前記追加工する工程は、前記無機膜を成膜後に薄膜化することを含む請求項３から５の何れか一項に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。
7. 前記針状突起の先端部に成膜された前記無機膜を薄膜化することにより前記針状突起の先端部の形状を調整することを含む請求項６に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。
8. 前記追加工する工程の後に、前記針状突起に離型膜を形成する工程を含む請求項１から７の何れか一項に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。
9. 前記離型膜がフッ素系材料、及び炭化水素系材料の少なくとも一方により構成される請求項８に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。
10. 前記離型膜の厚さが、２０ｎｍ以上５０ｎｍ以下である請求項８又は９に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法。
11. 請求項１から１０の何れか一項に記載のパターンアレイシート成形用型の製造方法により製造されたパターンアレイシート成形用型を用いてパターンアレイシートを製造する工程と、
    前記パターンアレイシートを用いて複製型を製造する工程と、
    前記複製型を用いて凹状パターンを有する樹脂製モールドを作製する工程と、
    前記樹脂製モールドの凹状パターンにポリマー溶解液を供給する工程と、
    前記ポリマー溶解液を乾燥させてポリマーシートとする乾燥する工程と、
    前記ポリマーシートを前記樹脂製モールドから離型する工程と、
    を含むマイクロニードルアレイの製造方法。

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