JP6531078B2 - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ Download PDF

Info

Publication number
JP6531078B2
JP6531078B2 JP2016147962A JP2016147962A JP6531078B2 JP 6531078 B2 JP6531078 B2 JP 6531078B2 JP 2016147962 A JP2016147962 A JP 2016147962A JP 2016147962 A JP2016147962 A JP 2016147962A JP 6531078 B2 JP6531078 B2 JP 6531078B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure sensor
thermistor
pressure
head
temperature sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2016147962A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2018017602A (ja
Inventor
吉之 秋山
吉之 秋山
洋 小貫
洋 小貫
広道 海老根
広道 海老根
研司 中林
研司 中林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Astemo Ltd
Original Assignee
Hitachi Automotive Systems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Automotive Systems Ltd filed Critical Hitachi Automotive Systems Ltd
Priority to JP2016147962A priority Critical patent/JP6531078B2/ja
Publication of JP2018017602A publication Critical patent/JP2018017602A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6531078B2 publication Critical patent/JP6531078B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)

Description

本発明は圧力センサに係り、特に温度センサ一体型の圧力センサに関する。
従来、内燃機関の吸気管内の圧力と温度とを検出するための装置であって、1つの共通のケーシング内に温度センサと圧力センサとを備える形式のセンサがある。
たとえば、温度センサ一体型の圧力センサとして、特許文献1あるいは特許文献2に示されるものがある。特許文献1には、温度センサのリード線とサーミスタポート部の間に緩衝材を設け、これにより、内燃機関の振動に起因する温度センサの振動を抑制し、耐久性を高めることが示されている。また、特許文献2では、圧力導入管が筒状内部空間を二分する隔壁を備え、隔壁の下端部と温度センサのヘッドとが圧力導入口内部で接触することにより、温度センサの振動を抑制することが示されている。このような構成により、サーミスタなどの温度センサが内燃機関の振動に起因して振動する現象を抑え、温度センサへのダメージや断線を抑止しつつ精度良く温度と圧力を測定することができる。
特開2004−198394号公報 特開2011−202960号公報
しかしながら、特許文献1では、温度センサは温度を検出するヘッドと電気的接続を行なうリード線から構成されており、ヘッドは外部からの保護や絶縁の為、ガラスやエポキシ等で被覆されており、リード線も同様に樹脂材等で被覆されている構成となっている。このため、温度センサの振動によるヘッドまたはリード線の保護材の破損や磨耗を避ける事が必須となり、そのため、緩衝材を設けているが、温度センサの振動を抑止するための緩衝材が温度センサが設置されるサーミスタポート部に設けられているため、部材コストと設置工数が必要となりコスト増になる。
特許文献2では、隔壁突起の下端部と温度センサのヘッドが圧力導入管の内部で接触させることで温度センサの振動を抑制しているが、隔壁により温度センサが隔離されているため温度センサの応答性が遅くなるという課題がある。
本発明の目的は、温度センサのヘッドやリード線の振動による磨耗を抑えてヘッドやリード線の被覆剥れによる温度センサの破損あるいはショートあるいは腐食を抑制した圧力センサを提供することである。
上記課題を解決するために、本発明の圧力センサは、サーミスタを内部に有する圧力導入管と、前記圧力導入管内に設けられ前記サーミスタの一部が収容される凹部と、を備えた。
本発明によれば、温度センサのヘッドやリード線の振動による磨耗を抑えてヘッドやリード線の被覆剥れによる温度センサの破損あるいはショートあるいは腐食を抑制した圧力センサを提供することができる。
本発明の第一実施形態における温度センサ一体型の圧力センサの断面図である。 図1AのAで示した丸部の詳細図である。 図1AのB−Bで示した断面線の矢視方向から見た断面図である。 図1CのCで示した丸部の詳細図である。 本発明の第二実施形態における温度センサ一体型の圧力センサの図であり、図1Bと同様の詳細図である。 本発明の第三実施形態における温度センサ一体型の圧力センサの断面図である。 図3AのE−Eで示した断面線の矢視方向から見た断面図である。
以下、本発明の圧力センサの実施例について、図面を参照して詳細に説明する。本発明はその要旨を超えない限り、以下に説明する実施例の記載に限定されるものではない。
図1Aは本発明の実施例1にかかるゲージ圧力測定用の圧力センサと温度センサを一体化した温度センサ一体型の圧力センサの内部構造を示す断面図である。図1Bは前記図1AのAで示した丸部の詳細図、図1Cは、前記図1AのB−Bで示した断面線の矢視方向から見た断面図、図1Dは、前記図1CのCで示した丸部の詳細図である。
本実施例の温度センサ一体型圧力センサ100(以降、一体型圧力センサと略記する)は、大別して「インサートモールドされた圧力センサ端子14及び温度センサ端子15を有する樹脂パッケージ18」と、「樹脂接着剤8で樹脂パッケージ18に配置される圧力検知を目的とする半導体センサを内蔵する圧力センサセル9」と、「温度センサ端子15にサーミスタヘッド1とリード線2よりなる温度センサ3」という三部品の組立体で構成されている。
ここで、樹脂パッケージ18はPPS樹脂(ポリファニレンサルファイド:Polyphenylene sulfide樹脂)で作られている。この樹脂は、樹脂接着剤8との接着性が良く、線膨張係数も近い特性である。更に、圧力センサセル9にもPPS樹脂が使用されており、圧力センサセル9と樹脂パッケージ18の材料が同一であることから、高温時または低温時における線膨張差による樹脂パッケージ18から圧力センサセル9への応力の影響が少なく、圧力センサセル9の出力への悪影響を防いでいる。
また、圧力センサセル9が直下の圧力導入管4の一端側に樹脂接着剤8で接着され、この圧力導入管4の他端側には圧力導入口5が設けられている。圧力導入管4はこの圧力導入管4の圧力センサセル9側から圧力導入口5側に向かって延びる隔壁7によって通気口6とサーミスタポート口16に二分されている。
このように圧力導入管4を二分することにより、ゴミなどによりサーミスタポート口16で目詰まりが生じても残りの通気口6により圧力センサによる圧力測定に必要な通気を確保することができる。
また、樹脂パッケージ18の圧力導入口5側には、サーミスタヘッド1の保護の為、ガイド20が配置されている。このガイド20を配置することにより、内燃機関の吸気管内に異物が流入して来た際サーミスタヘッド1への衝突を低減できる。また、一体型圧力センサ100を取り扱う際、落下などによる外力からサーミスタヘッド1を保護することができる。
ガイド20は、樹脂パッケージ18成形の際、型抜きが可能でかつ吸気管内を流れる気体の流入・流出を妨げない細い柱状構成となっており、強度を確保する為複数の細い柱の先端を連結部21の様に接続することにより強度を確保している。
さらに、隔壁7の下端部10(圧力導入口5のサーミスタポート口16側)に凹部10aを設けてサーミスタの振動抑制を目的としてリード線2が凹部10aに収納される様に接触させる。リード線2は金属からなる心線2aと心線を保護する被覆2bからなる。リード線2は前記隔壁7の凹部10aに接触させるために、サーミスタ端子15から延び、サーミスタヘッド1に接続されるリード線2を圧力導入管4に差し込む際に、折り曲げ角度を樹脂パッケージ18に収納させる角度よりより大きくすること、例えば樹脂パッケージに収納させる角度が85度の場合、85度より大きな95度にすることが好ましい。
この凹部10aについて、さらに説明する。凹部10aの角部はR形状11(全周)とし、さらに凹部10aとサーミスタポート口16の円周との接続部もR形状12(2ヵ所)とし、リード線2の凹部10aへの接触状態が振動周波数や振動強度により変化したり、製造における公差の為のすき間が生じても、リード線2の磨耗を最小限抑える構成としている。更には、樹脂パッケージ18を成形する際にR形状11、R形状12は型離れに効を奏する。樹脂パッケージ18にインサートモールドされた圧力センサ端子14及びサーミスタ端子15にはそれぞれ圧力センサセル9の出力端子及びサーミスタ端子15が溶接されており、その上から樹脂接着剤8にて封止されている。これは溶接部を封止することで腐食性物質から溶接部を保護するためと、封止することで接合部自体の強度を高めることを目的としている。圧力センサセル9自体は樹脂パッケージ18に対して樹脂接着剤8を用いて接着されている。
このような構造にすることにより圧力導入口2より印加された圧力が樹脂パッケージ18内部に拡散することなく圧力センサセル9へ圧力を印加することができる。また、図1Aに示すように、圧力導入管4の一端側(上端側)に樹脂接着剤8で接着により配置されている圧力センサセル9の上側まで樹脂接着剤8により封止され、樹脂パッケージ18の蓋の役割を担って気密に覆っている。これは蓋である樹脂カバーを必要とせず、気密を保つことが可能で樹脂パッケージ18外部に圧力が漏れてしまうのを防ぐことができる。
次に、図2を参照して、サーミスタヘッド下部1aが凹部10aに収納される実施例1の変形例を説明する。図2は、前記図1Bと同様の断面で見た詳細図である。本実施例ではサーミスタヘッド下部1aは前記隔壁7の凹部10aに接触させた。ここで、接触部分はサーミスタヘッド下部1aのために、サーミスタヘッド1の大部分は空気中にある。このため温度センサの応答性を遅くする事なく、温度センサの振動を抑制し、サーミスタヘッド下部1aの磨耗を抑制した、一体型圧力センサ100を提供できる。
実施例1および実施例2では、隔壁7がある場合の一体型圧力センサ100を説明したが、隔壁7が無い場合の一体型圧力センサ100を図3A、図3Bにて説明する。本実施例では通気口6の空気の流れをよくするために隔壁7が設けられていない。このように隔壁7が設けられていない為、通気口6を広くすることが出来、ゴミなどによる目詰まりが生じにくくなり、通気口6のみで圧力センサによる圧力測定に必要な通気を確保することができる。また、隔壁7が設けられてないため応答性の向上も図れる。さらに、実施例1と同様に、リード線2が圧力導入口5に接触する部分には凹部10aを設けて、サーミスタの振動抑制を目的としてリード線2が凹部10aに収納される様に接触させる。この凹部10aにより、実施例1と同様に、リード線2の磨耗を最小限抑える構成としている。
1 サーミスタヘッド
1a サーミスタヘッド下部
2 リード線
2a 心線
2b 被覆
3 温度センサ
4 圧力導入管
5 圧力導入口
6 通気口
7 隔壁
8 樹脂接着剤
9 圧力センサセル
10 下端部
10a 凹部
11 R部
12 R部
14 圧力センサ端子
15 サーミスタ端子
16 サーミスタポート口
18 樹脂パッケージ
20 ガイド
21 連結部
100 温度センサ一体型圧力センサ(一体型圧力センサ)

Claims (4)

  1. ヘッドと前記ヘッドに接続するリード線を有するサーミスタと、
    前記サーミスタを内部に有する圧力導入管と、
    前記圧力導入管の上部に位置し、前記リード線と接続するサーミスタ端子と、
    前記サーミスタ端子とは反対側の壁にあり、前記圧力導入管内の下部に位置し、前記リード線もしくは前記ヘッドの一部を収容する凹部と、を備え、
    前記リード線は、前記サーミスタ端子から前記凹部へ前記リードもしくは前記ヘッドを向けるための所定の屈曲角度を有し、
    前記凹部は前記リード線の一部のみもしくは前記ヘッド部の下部のみと接触することを特徴とする圧力センサ。
  2. 請求項1に記載の圧力センサにおいて、
    前記圧力導入管の内部をサーミスタポート口と通気口とに分ける隔壁を有し、
    前記サーミスタは、前記サーミスタポート口内に設けられ、
    前記凹部は、前記サーミスタポート口側の隔壁に設けられていることを特徴とする圧力センサ。
  3. 請求項1または2に記載の圧力センサにおいて、
    前記凹部の角はR形状であることを特徴とする圧力センサ。
  4. 請求項2に記載の圧力センサであって、
    前記隔壁は前記リード線へ接近するよう所定の傾斜を設けることを特徴とする圧力センサ。
JP2016147962A 2016-07-28 2016-07-28 圧力センサ Active JP6531078B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016147962A JP6531078B2 (ja) 2016-07-28 2016-07-28 圧力センサ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016147962A JP6531078B2 (ja) 2016-07-28 2016-07-28 圧力センサ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018017602A JP2018017602A (ja) 2018-02-01
JP6531078B2 true JP6531078B2 (ja) 2019-06-12

Family

ID=61076724

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016147962A Active JP6531078B2 (ja) 2016-07-28 2016-07-28 圧力センサ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6531078B2 (ja)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1096241A1 (en) * 1999-11-01 2001-05-02 Delphi Technologies, Inc. Integrated pressure and temperature sensor for high pressure fluid
JP3870918B2 (ja) * 2002-10-23 2007-01-24 株式会社デンソー 温度センサ一体型圧力センサ装置
JP3870917B2 (ja) * 2003-03-19 2007-01-24 株式会社デンソー 温度センサ一体型圧力センサ装置及びその温度センサ固定方法
DE102006043324A1 (de) * 2006-09-15 2008-03-27 Robert Bosch Gmbh Steckfühler zur kombinierten Druck- und Temperaturmessung
JP5522129B2 (ja) * 2011-07-27 2014-06-18 株式会社デンソー 圧力温度複合センサ装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018017602A (ja) 2018-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10670440B2 (en) Thermal airflow measuring device
EP2813831B1 (en) Physical quantity sensor and method for manufacturing physical quantity sensor
JP5178806B2 (ja) 流量測定装置
US11402274B2 (en) Temperature sensor device
US8616067B2 (en) Pressure sensor assembly
WO2013042458A1 (ja) 空気物理量検出装置
JP2009192424A (ja) 温度センサおよび温度センサ一体型圧力センサ
JP6531078B2 (ja) 圧力センサ
JP4968179B2 (ja) 温度センサ一体型圧力センサ装置
JP6060208B2 (ja) 物理量測定装置
JP6387912B2 (ja) 圧力センサ
JP5699843B2 (ja) 圧力センサ
JP6231183B2 (ja) 物理量測定装置
JP2019143994A (ja) 圧力センサ
US20200399118A1 (en) Electronic device
JP6435389B2 (ja) 物理量測定装置
JP5273076B2 (ja) 温度センサ一体型半導体圧力センサ
JP2019168303A (ja) 温度センサ
JP6418069B2 (ja) 温度センサ装置
JP2008111787A (ja) 圧力センサ
JP2021067493A (ja) 温度センサ一体型圧力センサ装置
JP4983329B2 (ja) センサ装置
JP2018155670A (ja) 圧力センサ
JP2021196169A (ja) 温度センサ一体型圧力センサ装置
JP2020180944A (ja) 温度センサ一体型圧力センサ装置及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180628

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180629

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190205

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190405

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190423

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190520

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6531078

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250