JP6524968B2 - ワークの反り量測定方法及び反り量測定装置 - Google Patents
ワークの反り量測定方法及び反り量測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6524968B2 JP6524968B2 JP2016108669A JP2016108669A JP6524968B2 JP 6524968 B2 JP6524968 B2 JP 6524968B2 JP 2016108669 A JP2016108669 A JP 2016108669A JP 2016108669 A JP2016108669 A JP 2016108669A JP 6524968 B2 JP6524968 B2 JP 6524968B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- detection surface
- work
- warpage
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 129
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 70
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 35
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
即ち、この第1の測定方法は、ワーク上面の三次元形状を上方から検出するものであって、反り量に直接的に関与するワーク下面の位置を検出するものではないため、ワークの反り量を精度良く測定することができない。また、ワーク上面に別の要素が積層された構造において、下側に位置するワークの反り量を測定したい場合には、別の要素が邪魔になってワーク上面の三次元形状を計測すること自体が難しい。更に、レーザフォーカス法において使用するレーザ測定器は高価である。
板状のワークの反り量を測定する、ワークの反り量測定装置であって、
定盤と、照明光を照射する照明装置と、上記定盤の上面に置かれた上記ワークの角部を上記定盤の側面とともに側方視点から撮影するカメラと、を備え、
上記定盤の上記側面が、上記上面に連接し且つ上記ワークの上記角部の下方に位置する第1検出面と、上記上面に連接し且つ水平方向について上記第1検出面に隣り合う第2検出面と、に区画されるとともに、上記照明装置の照射状態で上記ワーク及び上記定盤の双方を上記側方視点からみたときの輝度について上記角部が上記ワークの中で最も高く且つ上記第1検出面よりも高くなり上記第2検出面が上記第1検出面よりも高くなるように構成されている、ワークの反り量測定装置にある。
板状のワークの反り量を測定する、ワークの反り量測定方法であって、
定盤と、照明光を照射する照明装置と、上記定盤の上面に置かれた上記ワークの角部を上記定盤の側面とともに側方視点から撮影するカメラと、を準備し、上記定盤の上記側面を、上記上面に連接し且つ上記ワークの上記角部の下方に位置する第1検出面と、上記上面に連接し且つ水平方向について上記第1検出面に隣り合う第2検出面と、に区画するとともに、上記照明装置の照射状態で上記ワーク及び上記定盤の双方を上記側方視点からみたときの輝度について上記角部が上記ワークの中で最も高く且つ上記第1検出面よりも高くなり上記第2検出面が上記第1検出面よりも高くなるように設定する設定ステップと、
上記照明装置の上記照射状態で上記カメラによる撮影を行う撮影ステップと、
を有する、ワークの反り量測定方法にある。
なお、ここでいう白黒2値化は公知の処理であり、この処理についての更なる詳細な説明は省略する。
図8に示される第1変更例において、定盤10は、第1検出面13及び2つの第2検出面14,14がいずれも、上面11に連接し且つ第3方向Zの高さが側面12を下回るように構成されている。
図9に示される第2変更例において、定盤10は、第1検出面13及び第2検出面14のそれぞれの数が1つであり、第1検出面13及び第2検出面14のいずれも、上面11に連接し且つ第3方向Zの高さが側面12と一致するように構成されている。
図10に示される第3変更例において、定盤10は、第1検出面13及び第2検出面14のいずれも、上面11に連接し且つ第3方向Zの高さが側面12を下回るように構成されている。
態を実施することもできる。
10 定盤
11 上面
12 側面
13 第1検出面
14 第2検出面
14a 上辺
20 照明装置
30 カメラ
31 側方視点
40 処理装置
d 反り量
Q1 第1位置
Q2 第2位置
W ワーク
Wa 角部
S101 設定ステップ
S102 撮影ステップ
S103 処理ステップ
Claims (6)
- 板状のワークの反り量を測定する、ワークの反り量測定装置であって、
定盤と、照明光を照射する照明装置と、上記定盤の上面に置かれた上記ワークの角部を上記定盤の側面とともに側方視点から撮影するカメラと、を備え、
上記定盤の上記側面が、上記上面に連接し且つ上記ワークの上記角部の下方に位置する第1検出面と、上記上面に連接し且つ水平方向について上記第1検出面に隣り合う第2検出面と、に区画されるとともに、上記照明装置の照射状態で上記ワーク及び上記定盤の双方を上記側方視点からみたときの輝度について上記角部が上記ワークの中で最も高く且つ上記第1検出面よりも高くなり上記第2検出面が上記第1検出面よりも高くなるように構成されている、ワークの反り量測定装置。 - 上記照明装置は、上記ワークの上記角部のR面の法線方向に照明光を照射するように構成され、上記定盤は、上記第2検出面が上記第1検出面の素材よりも上記輝度が高い素材によって構成されている、請求項1に記載の、ワークの反り量測定装置。
- 上記カメラで撮影された撮影画像から上記ワークの反り量を演算する処理装置を備え、上記処理装置は、上記撮影画像の明暗差に基づいて、上記ワークの上記角部が位置する第1位置と、上記定盤の上記第2検出面のうち上記上面に連接する上辺が位置する第2位置と、を検出し、上記第2位置から上記第1位置までの垂直方向の距離を用いて上記反り量を演算する、請求項1または2に記載の、ワークの反り量測定装置。
- 板状のワークの反り量を測定する、ワークの反り量測定方法であって、
定盤と、照明光を照射する照明装置と、上記定盤の上面に置かれた上記ワークの角部を上記定盤の側面とともに側方視点から撮影するカメラと、を準備し、上記定盤の上記側面を、上記上面に連接し且つ上記ワークの上記角部の下方に位置する第1検出面と、上記上面に連接し且つ水平方向について上記第1検出面に隣り合う第2検出面と、に区画するとともに、上記照明装置の照射状態で上記ワーク及び上記定盤の双方を上記側方視点からみたときの輝度について上記角部が上記ワークの中で最も高く且つ上記第1検出面よりも高くなり上記第2検出面が上記第1検出面よりも高くなるように設定する設定ステップと、
上記照明装置の上記照射状態で上記カメラによる撮影を行う撮影ステップと、
を有する、ワークの反り量測定方法。 - 上記設定ステップにおいて、上記照明装置によって上記ワークの上記角部のR面の法線方向に照明光が照射されるように設定するとともに、上記第2検出面が上記第1検出面の素材よりも上記輝度が高い素材で構成された上記定盤を準備する、請求項4に記載の、ワークの反り量測定方法。
- 上記撮影ステップにおいて上記カメラで撮影された撮影画像の明暗差に基づいて、上記ワークの上記角部が位置する第1位置と、上記定盤の上記第2検出面のうち上記上面に連接する上辺が位置する第2位置と、を検出し、上記第2位置から上記第1位置までの垂直方向の距離を用いて上記反り量を演算する処理ステップを有する、請求項4または5に記載の、ワークの反り量測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016108669A JP6524968B2 (ja) | 2016-05-31 | 2016-05-31 | ワークの反り量測定方法及び反り量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016108669A JP6524968B2 (ja) | 2016-05-31 | 2016-05-31 | ワークの反り量測定方法及び反り量測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017215187A JP2017215187A (ja) | 2017-12-07 |
JP6524968B2 true JP6524968B2 (ja) | 2019-06-05 |
Family
ID=60576766
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016108669A Active JP6524968B2 (ja) | 2016-05-31 | 2016-05-31 | ワークの反り量測定方法及び反り量測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6524968B2 (ja) |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02194307A (ja) * | 1989-01-23 | 1990-07-31 | Kawasaki Steel Corp | 板状物体の反り形状測定装置 |
JPH08285550A (ja) * | 1995-04-10 | 1996-11-01 | Tokai Carbon Co Ltd | 鋼板の変位測定装置 |
JP3823794B2 (ja) * | 2000-10-03 | 2006-09-20 | Jfeスチール株式会社 | 薄板形状制御装置及び薄板形状制御方法 |
JP3724720B2 (ja) * | 2001-12-20 | 2005-12-07 | 住友金属工業株式会社 | 反り形状計測方法及び装置 |
JP5233372B2 (ja) * | 2008-04-03 | 2013-07-10 | 新日鐵住金株式会社 | 鋼板の反り検出システム及び方法 |
CN101750018A (zh) * | 2008-11-28 | 2010-06-23 | 北京航空航天大学 | 工件弯曲变形过程中的非接触实时位移测量方法和装置 |
-
2016
- 2016-05-31 JP JP2016108669A patent/JP6524968B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017215187A (ja) | 2017-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105783784B (zh) | 检查装置及检查装置的控制方法 | |
JP6322335B2 (ja) | 外観検査装置 | |
JP2007206797A (ja) | 画像処理方法および画像処理装置 | |
JP2021177186A (ja) | 三次元画像処理装置及び三次元画像処理方法 | |
JP6519265B2 (ja) | 画像処理方法 | |
JP5421763B2 (ja) | 検査装置および検査方法 | |
US20130342677A1 (en) | Vision testing device using multigrid pattern | |
JP5438475B2 (ja) | 隙間段差計測装置、隙間段差計測方法、及びそのプログラム | |
JP7135418B2 (ja) | 平坦度検出方法、平坦度検出装置及び平坦度検出プログラム | |
JP2013205071A (ja) | 外観検査装置及び外観検査方法 | |
EP3326366B1 (en) | Measuring rotational position of lenticular lens sheet | |
WO2019082584A1 (ja) | 情報処理装置 | |
JP2006023178A (ja) | 3次元計測方法及び装置 | |
JP2006227652A (ja) | フィルタ格子縞板、三次元計測装置及び照明手段 | |
JP2009036736A (ja) | 印刷半田検査方法及び装置 | |
KR20120068014A (ko) | 표면 검사용 조명·촬상 시스템 및 데이터 구조 | |
JP6781969B1 (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
JP6524968B2 (ja) | ワークの反り量測定方法及び反り量測定装置 | |
CN111566438B (zh) | 图像获取方法及*** | |
JP6648684B2 (ja) | ワークの反り量測定装置及び反り量測定方法 | |
JP2019045346A (ja) | 検査装置 | |
JP2007192598A (ja) | 被検査体の検査装置 | |
WO2018110089A1 (ja) | スジ状領域検出装置、スジ状領域検出方法、プログラム | |
TWI675350B (zh) | 影像處理裝置與方法 | |
JP2018197683A (ja) | 面形状歪測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180719 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190409 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190410 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190422 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6524968 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |