JP6517451B2 - 両面シリコーン粘着シートの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、両面シリコーン粘着シート及び両面シリコーン粘着シートの製造方法に関する。

シリコーン系粘着剤を用いた耐熱粘着シートは、電子デバイスの製造工程において広く使用されている。
例えば、特許文献１では、耐熱性基材であるポリイミドフィルムの片面に、付加反応型シリコーン粘着剤を白金触媒とともに塗布することによって、電子デバイス用粘着テープを作製している。
特許文献２では、シリコーン系粘着剤に、ジメチルシロキサン主鎖中にビニル基とヒドロシリル基を含む２液付加硬化型シリコーンゴムを添加して調製した粘着剤を、ポリイミド基材層に塗布して乾燥し、半導体パッケージ製造工程用耐熱性粘着テープを作製している。
特許文献３では、基材のポリイミドフィルムの片面に、付加反応型シリコーン系粘着剤、白金系触媒及びジメチルシリコーンオイルを含むトルエン溶液を塗布し、加熱することで、シリコーン系粘着層を形成している。さらに、シリコーン系粘着層にポリエチレンテレフタレートフィルムを貼り合わせ、表面保護用粘着テープを作製している。
特許文献１〜３の粘着テープにおいて、シリコーン系粘着剤を溶剤で希釈した溶剤系の塗工液を耐熱性基材であるポリイミドフィルムに塗布して、乾燥を行うことにより、シリコーン系粘着剤層は、基材の片面のみに形成されている。

特開２００４−２２４８５７号公報 特開２０１２−１５１３６０号公報 特開２０１３−１４７５４０号公報

近年では、片面シリコーン粘着シートのみならず、両面シリコーン粘着シートも求められている。
両面シリコーン粘着シートは、粘着剤組成物をロールコーターやダイコーター等を用い、直接、基材に塗布した後、乾燥工程を経て得られた粘着剤層に、剥離シートを貼り合わせる方法（以下、直塗り法という）や、剥離シート上に、一旦、粘着剤組成物をコーティングし、乾燥工程を経て得られた粘着剤層を、基材に転写する方法（以下、転写法という）により製造できる。直塗り法により製造した両面シリコーン粘着シートに比べ、転写法により製造した両面シリコーン粘着シートは、粘着剤層と基材との密着性が悪くなる傾向がある。そのため、両面シリコーン粘着シートは、直塗り法を用いて得ることが好ましい。具体的には、シリコーン系粘着剤の塗工液を基材の一方の面（第一の基材面）に塗布して第一の粘着剤層を形成することによって、片面シリコーン粘着シートを得る。その後、例えばロール状に巻き取られた片面シリコーン粘着シートを繰り出し、基材の他方の面（第二の基材面）にシリコーン系粘着剤の塗工液を塗布して第二の粘着剤層を形成することによって、両面シリコーン粘着シートを製造する。
しかしながら、上記の方法で両面シリコーン粘着シートの製造を行うと、片面シリコーン粘着シートの繰り出し時に、片面シリコーン粘着シートの帯電量が増加していることが確認された。シリコーン系粘着剤の塗工液を第二の基材面に塗布し、第二の粘着剤層を形成する工程において、片面シリコーン粘着シートの繰り出し時に発生した片面シリコーン粘着シートの静電気によって、シリコーン系粘着剤の塗工液の有機溶媒が発火し、火災の原因になる虞がある。

本発明の目的は、直塗り法で両面シリコーン粘着シートを製造する工程において、片面シリコーン粘着シートの繰り出し時に発生した片面シリコーン粘着シートの静電気により、シリコーン系粘着剤の塗工液の有機溶媒が発火する虞がなく、安全に製造できる両面シリコーン粘着シートの製造方法を提供することである。本発明の別の目的は、帯電量の増加が抑制された、安全性の高い、両面シリコーン粘着シートを提供することである。

本発明の一態様によれば、基材の第一の基材面に、シリコーン系粘着剤を含有する第一の塗工液を塗布して第一の粘着剤層を形成する工程と、前記第一の粘着剤層に第一の剥離フィルムを積層し、帯電防止性能を有する片面シリコーン粘着シートを得る工程と、前記片面シリコーン粘着シートをロール状に巻き取る工程と、ロール状に巻き取られた前記片面シリコーン粘着シートを繰り出す工程と、前記基材の前記第一の基材面とは反対側の第二の基材面に、シリコーン系粘着剤を含有する第二の塗工液を塗布して第二の粘着剤層を形成する工程と、前記第二の粘着剤層に第二の剥離フィルムを積層し、ロール状に巻き取る工程と、を有する、両面シリコーン粘着シートの製造方法が提供される。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートの製造方法において、前記第一の塗工液は、帯電防止剤を含有することが好ましい。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートの製造方法において、前記第一の塗工液が含有する前記帯電防止剤は、イオン導電性シリコーン系化合物であることが好ましい。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートの製造方法において、前記第一の塗工液が含有する前記帯電防止剤は、イオン性基含有シリコーンオリゴマー、あるいはアルカリ金属塩を溶解させたシリコーンオイルであることが好ましい。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートの製造方法において、前記第二の塗工液は、帯電防止剤を含有することが好ましい。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートの製造方法において、前記基材は、長尺状（帯状）であることが好ましい。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートの製造方法において、前記基材は、ポリイミドフィルムであることが好ましい。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートの製造方法において、ロール状の前記片面シリコーン粘着シートから、Ａ４サイズの試験片を、複数、作製し、複数の前記試験片を重ねて積層体を作製し、前記積層体の最表層から一枚の前記試験片を取り出し、前記積層体から一枚の前記試験片を取り出してから６０秒経過後の一枚の前記試験片の帯電量が１０ｋＶ以下であることが好ましい。

また、本発明の一態様によれば、第一の基材面と前記第一の基材面とは反対側の第二の基材面とを有する基材と、前記第一の基材面に設けられた第一の粘着剤層と、前記第一の粘着剤層に積層された第一の剥離フィルムと、前記第二の基材面に設けられた第二の粘着剤層と、前記第二の粘着剤層に積層された第二の剥離フィルムと、を備え、前記第一の粘着剤層及び前記第二の粘着剤層は、シリコーン系粘着剤を含有し、前記第一の粘着剤層は、帯電防止性能を有する、両面シリコーン粘着シートが提供される。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートにおいて、前記基材は、長尺状（帯状）であることが好ましい。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートにおいて、前記基材は、ポリイミドフィルムであることが好ましい。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートにおいて、前記第一の粘着剤層は、帯電防止剤を含有することが好ましい。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートにおいて、前記第一の粘着剤層が含有する前記帯電防止剤は、イオン導電性シリコーン系化合物であることが好ましい。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートにおいて、前記第一の粘着剤層が含有する前記帯電防止剤は、イオン性基含有シリコーンオリゴマー、あるいはアルカリ金属塩を溶解させたシリコーンオイルであることが好ましい。

本発明の一態様に係る両面シリコーン粘着シートにおいて、前記第二の粘着剤層は、帯電防止剤を含有することが好ましい。

本発明によれば、直塗り法で両面シリコーン粘着シートを製造する工程において、片面シリコーン粘着シートの繰り出し時に発生した片面シリコーン粘着シートの静電気により、シリコーン系粘着剤の塗工液の有機溶媒が発火する虞がなく、安全に製造できる両面シリコーン粘着シートの製造方法を提供できる。また、本発明によれば、帯電量の増加が抑制された、安全性の高い、両面シリコーン粘着シートを提供できる。

実施形態に係る両面シリコーン粘着シートの断面概略図である。 実施形態に係る両面シリコーン粘着シートの製造装置の一部を説明する図である。 実施形態に係る両面シリコーン粘着シートの製造工程の一部を説明する図である。 実施形態に係る両面シリコーン粘着シートの製造工程の一部を説明する図である。 実施形態に係る両面シリコーン粘着シートの製造工程の一部を説明する図である。 実施形態に係る両面シリコーン粘着シートの製造工程の一部を説明する図である。 実施形態に係る両面シリコーン粘着シートの製造工程の一部を説明する図である。 実施形態の変形に係る両面シリコーン粘着シートの断面概略図である。

［両面シリコーン粘着シート］
図１には、本実施形態の両面シリコーン粘着シート１の断面概略図が示されている。
両面シリコーン粘着シート１は、第一の基材面１１ａと第一の基材面１１ａとは反対側の第二の基材面１１ｂとを有する基材１１と、第一の基材面１１ａに設けられた第一の粘着剤層２１と、第一の粘着剤層２１に積層された第一の剥離フィルム３１と、第二の基材面１１ｂに設けられた第二の粘着剤層２２と、第二の粘着剤層２２に積層された第二の剥離フィルム３２と、を備えている。
第一の粘着剤層２１及び第二の粘着剤層２２は、シリコーン系粘着剤を含有している。
第一の粘着剤層２１は、帯電防止剤を含有することが好ましい。さらに、第二の粘着剤層２２も、帯電防止剤を含有することが可能である。
両面シリコーン粘着シート１の形状は、例えば、シート状、テープ状、ラベル状などあらゆる形状をとり得る。

（基材）
基材１１としては、例えば、合成樹脂フィルムなどのシート材料などを用いることができる。合成樹脂フィルムとしては、例えば、ポリイミドフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、及びポリカーボネートフィルム等が挙げられる。その他、基材１１としては、これらの合成樹脂フィルムの架橋フィルム及び積層フィルム等が挙げられる。基材１１は、帯電防止性を有してもよい。
耐熱性の観点からは、基材１１は、ポリイミドフィルムであることが好ましい。
基材１１は、長尺状（帯状）であることが好ましい。長尺状の基材１１を用いることにより、長尺状の両面シリコーン粘着シート１を製造でき、いわゆるロール・トゥ・ロール方式での生産が可能になり、両面シリコーン粘着シート１の生産性が向上する。
基材１１の厚みは、１０μｍ以上５００μｍ以下であることが好ましく、１５μｍ以上３００μｍ以下であることがより好ましく、２０μｍ以上２５０μｍ以下であることがさらに好ましい。

（粘着剤層）
第一の粘着剤層２１及び第二の粘着剤層２２を構成する粘着剤組成物は、シリコーン系粘着剤を含有する。第一の粘着剤層２１の粘着剤組成物に含有されるシリコーン系粘着剤と、第二の粘着剤層２２の粘着剤組成物に含有されるシリコーン系粘着剤とは、互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。

第一の粘着剤層２１を構成する粘着剤組成物は、シリコーン系粘着剤、及び帯電防止剤を含有することが好ましい。帯電防止剤について、詳細は後述する。
第二の粘着剤層２２を構成する粘着剤組成物は、シリコーン系粘着剤を含有し、帯電防止剤をさらに含有してもよく、帯電防止剤を含有していなくてもよい。

第一の粘着剤層２１及び第二の粘着剤層２２の厚みは、それぞれ独立に、１μｍ以上１００μｍ以下であることが好ましく、２μｍ以上８０μｍ以下であることがより好ましく、５μｍ以上５０μｍ以下であることがさらに好ましい。第一の粘着剤層２１及び第二の粘着剤層２２の厚みが１μｍ未満の場合には、得られる粘着テープの接着力が十分ではない虞がある。一方、第一の粘着剤層２１及び第二の粘着剤層２２の厚みが１００μｍを超える場合には、粘着性能の向上が無く不経済である。また、第一の粘着剤層２１及び第二の粘着剤層２２の厚みが１００μｍを超える場合には、粘着シートの貼合時における粘着剤のはみ出しの原因となる虞、及び粘着シートを被着体から剥離する時の粘着剤層の凝集破壊の原因となる虞がある。

・シリコーン系粘着剤
シリコーン系粘着剤としては、例えば、オルガノポリシロキサンを含有する粘着剤が挙げられ、ジメチルポリシロキサンを含有する粘着剤が好ましい。シリコーン系粘着剤としては、より具体的には、ビニル基等の不飽和基を有するオルガノポリシロキサン、好ましくはビニル基等の不飽和基を有するジメチルポリシロキサン、ヒドロシリル基（ＳｉＨ基）含有の架橋剤、及び白金系触媒により硬化して得られる付加反応型シリコーン系粘着剤、又はＢＰＯ等の有機過酸化物により硬化して得られる過酸化物硬化型シリコーン系粘着剤を使用することができる。ＢＰＯは、Ｂｅｎｚｏｙｌｐｅｒｏｘｉｄｅの略称である。耐熱性の観点から付加反応型シリコーン系粘着剤が好ましい。この場合、得られる粘着力を考慮して該不飽和基の密度に応じて架橋密度を調整することが可能である。このシリコーン系粘着剤層の形成には付加重合させるために加熱等を行うことが必要である。

・帯電防止剤
帯電防止剤としては、特に限定されない。帯電防止剤としては、シリコーン系粘着剤組成物に混合して、シリコーン系粘着剤組成物中に一様に分散可能な化合物が好ましい。例えば、帯電防止剤としては、イオン導電性帯電防止剤、及び導電性微粒子等が挙げられる。また、他の帯電防止剤としては、イオン導電性シリコーン系化合物が挙げられる。帯電防止剤は、イオン導電性帯電防止剤またはイオン導電性シリコーン系化合物が好ましく、イオン導電性シリコーン系化合物がより好ましい。イオン導電性シリコーン系化合物としては、特に限定されない。イオン導電性シリコーン系化合物としては、例えば、イオン性基含有シリコーンオリゴマー、あるいはアルカリ金属塩を溶解させたシリコーンオイル、イオン性基含有シリコーンポリマー等が挙げられる。中でも、シリコーン系粘着剤組成物との分散性が良く、さらに耐熱性、帯電防止性にも優れるという点から、イオン性基含有シリコーンオリゴマー、あるいはアルカリ金属塩を溶解させたシリコーンオイルが好ましい。イオン性基含有シリコーンオリゴマーは、イオン液体をシリコーン変性したシリコーンオリゴマーであり、市販品としては、例えば、信越化学工業（株）製のＸ−４０−２７５０、Ｘ−４０−２４５０、Ｘ−４０−９３１０等が挙げられる。シリコーンオイルに溶解させるアルカリ金属塩としては、リチウム塩が好ましい。第二の粘着剤層２２の粘着剤組成物が、帯電防止剤を含有している場合、第一の粘着剤層２１の粘着剤組成物に含有される帯電防止剤（第一の帯電防止剤と称する場合もある。）と、第二の粘着剤層２２の粘着剤組成物に含有される帯電防止剤（第二の帯電防止剤と称する場合もある。）とは、互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。
帯電防止剤の含有量は、第一の粘着剤層２１及び第二の粘着剤層２２を構成する粘着剤組成物（粘着剤組成物を１００質量％とした場合）に対して０．１質量％以上５０質量％以下であることが好ましく、１．０質量％以上４０質量％以下であることがより好ましい。第一の粘着剤層２１の粘着剤組成物に含有される第一の帯電防止剤の含有量と、第二の粘着剤層２２の粘着剤組成物に含有される第二の帯電防止剤の含有量とは、互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。

・その他の成分
第一の粘着剤層２１及び第二の粘着剤層２２を構成する粘着剤組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で、その他の成分が含まれていてもよい。粘着剤組成物に含まれ得るその他の成分としては、例えば、難燃剤、粘着付与剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤、防腐剤、防黴剤、可塑剤、消泡剤、及び濡れ性調整剤などが挙げられる。

（剥離フィルム）
第一の剥離フィルム３１及び第二の剥離フィルム３２としては、特に限定されない。例えば、取り扱い易さの観点から、剥離フィルムは、剥離基材と、剥離基材の少なくとも一方の面上に剥離剤が塗布されて形成された剥離剤層とを備えることが好ましい。
第一の剥離フィルム３１及び第二の剥離フィルム３２が剥離基材を備える場合、第一の剥離フィルム３１の剥離基材と、第二の剥離フィルム３２の剥離基材とは、互いに同一であってもよく、異なっていてもよい。
第一の剥離フィルム３１及び第二の剥離フィルム３２が剥離剤層を備える場合、第一の剥離フィルム３１の剥離剤層と、第二の剥離フィルム３２の剥離剤層とは、互いに同一の剥離剤で形成されていてもよく、異なる剥離剤で形成されていてもよい。
剥離基材としては、例えば、紙基材、この紙基材にポリエチレン等の熱可塑性樹脂をラミネートしたラミネート紙、並びにプラスチックフィルム等が挙げられる。
紙基材としては、グラシン紙、コート紙、及びキャストコート紙等が挙げられる。プラスチックフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、及びポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、並びにポリプロピレン及びポリエチレン等のポリオレフィンフィルム等が挙げられる。
剥離剤としては、例えば、オレフィン系樹脂、ゴム系エラストマー（例えば、ブタジエン系樹脂、イソプレン系樹脂等）、長鎖アルキル系樹脂、アルキド系樹脂、フッ素系樹脂、及びシリコーン系樹脂が挙げられる。これらの中でも剥離剤としては、オレフィン系樹脂、ゴム系エラストマー（例えば、ブタジエン系樹脂、イソプレン系樹脂等）、長鎖アルキル系樹脂、アルキド系樹脂、及びフッ素系樹脂からなる群から選択されるいずれかの剥離剤であることが好ましく、フッ素系樹脂であることがより好ましい。一般的なシリコーン系樹脂を用いた剥離フィルムは、シリコーン系粘着剤を含有する粘着剤層と重剥離化しやすいという問題がある。したがって、第一の剥離フィルム３１及び第二の剥離フィルム３２の剥離剤層がフッ素系樹脂であれば、シリコーン系粘着剤を含有する第一の粘着剤層２１及び第二の粘着剤層２２との重剥離化を抑制でき、剥離性が良好な両面シリコーン粘着シート１を得ることができる。剥離剤層は、帯電防止剤をさらに含有してもよく、帯電防止剤を含有していなくてもよい。

第一の剥離フィルム３１及び第二の剥離フィルム３２の厚みは、特に限定されない。第一の剥離フィルム３１及び第二の剥離フィルム３２の厚みは、２０μｍ以上２００μｍ以下であることが好ましく、２５μｍ以上１５０μｍ以下であることがより好ましい。
剥離剤層の厚みは、特に限定されない。剥離剤を含む溶液を剥離基材の上に塗布して剥離剤層を形成する場合、剥離剤層の厚みは、０．０１μｍ以上２．０μｍ以下であることが好ましく、０．０３μｍ以上１．０μｍ以下であることがより好ましい。
剥離基材としてプラスチックフィルムを用いる場合、当該プラスチックフィルムの厚みは、３μｍ以上５０μｍ以下であることが好ましく、５μｍ以上４０μｍ以下であることがより好ましい。

・その他の層
両面シリコーン粘着シート１は、基材１１、第一の粘着剤層２１、第一の剥離フィルム３１、第二の粘着剤層２２、及び第二の剥離フィルム３２以外に、その他の層をさらに備えていてもよい。

［両面シリコーン粘着シートの製造方法］
本実施形態に係る両面シリコーン粘着シート１を製造する方法を説明する。
本実施形態に係る両面シリコーン粘着シート１の製造方法は、基材１１の第一の基材面１１ａに、シリコーン系粘着剤及び帯電防止剤を含有する第一の塗工液を塗布して第一の粘着剤層２１を形成する工程と、第一の粘着剤層２１に第一の剥離フィルム３１を積層する工程と、基材１１の第一の基材面１１ａとは反対側の第二の基材面１１ｂに、シリコーン系粘着剤を含有する第二の塗工液を塗布して第二の粘着剤層２２を形成する工程と、第二の粘着剤層２２に第二の剥離フィルム３２を積層し、ロール状に巻き取る工程とを有する。

第一の塗工液及び第二の塗工液は、シリコーン系粘着剤組成物を有機溶媒で希釈することにより調製できる。
有機溶媒としては、例えば、トルエン、酢酸エチル、及びメチルエチルケトン等が挙げられる。塗工液を塗布する方法は、特に限定されない。塗布方法としては、例えば、スプレーコート法、バーコート法、ナイフコート法、ロールナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、及びグラビアコート法等が挙げられる。
有機溶媒及び低沸点成分が第一の粘着剤層２１及び第二の粘着剤層２２に残留することを防ぐため、塗工液を基材１１に塗布した後、塗膜を加熱して乾燥させる。また、粘着剤組成物に架橋剤が配合されている場合には、架橋反応を進行させて凝集力を向上させるためにも、塗膜を加熱することが好ましい。

図２には、本実施形態に係る両面シリコーン粘着シート１の粘着シート製造装置１００Ａを説明する概略図が示されている。
粘着シート製造装置１００Ａは、第一ロール繰り出し部１００と、塗布部２００と、乾燥部３００と、第二ロール繰り出し部４００と、貼合部５００と、ロール巻き取り部６００とを有する。
第一ロール繰り出し部１００は、ロール状に巻き取られた基材１１及び片面シリコーン粘着シート１０（図３Ｃ参照）を繰り出す。
塗布部２００は、第一ロール繰り出し部１００にて繰り出された基材１１及び片面シリコーン粘着シート１０に塗工液を塗布して粘着剤層を形成する。
乾燥部３００は、粘着剤層を乾燥させて、塗工液に含まれていた有機溶媒等を除去する。
第二ロール繰り出し部４００は、ロール状に巻き取られた剥離フィルムを繰り出す。
貼合部５００は、乾燥部３００にて乾燥された粘着剤層に、第二ロール繰り出し部４００から繰り出された剥離フィルムを積層する。
ロール巻き取り部６００は、剥離フィルムを積層後のシート（片面シリコーン粘着シート１０及び両面シリコーン粘着シート１）をロール状に巻き取る。

図３Ａ〜図３Ｅには、本実施形態に係る両面シリコーン粘着シート１の製造方法を説明する概略図が示されている。本実施形態では、粘着シート製造装置１００Ａを用いて製造する方法を例に挙げて説明する。本実施形態に係る両面シリコーン粘着シート１は、具体的には、次のような工程を経て製造される。
図３Ａには、第一の基材面１１ａ及び第二の基材面１１ｂを有する基材１１の断面概略図が示されている。本実施形態では、まず、ロール状に巻き取られた長尺状の基材１１を、第一ロール繰り出し部１００に設置する。
次に、第一の基材面１１ａが上面になるように基材１１を第一ロール繰り出し部１００にて繰り出し、塗布部２００へ搬送する。塗布部２００にて基材１１の第一の基材面１１ａに、シリコーン系粘着剤及び帯電防止剤を含有する第一の塗工液を塗布して第一の粘着剤層２１を形成する（図３Ｂ参照）。その後、基材１１及び第一の粘着剤層２１を有する第一の積層体を塗布部２００から乾燥部３００へ搬送し、第一の粘着剤層２１を乾燥させる。
さらに、第一の積層体を乾燥部３００から貼合部５００へ搬送し、第一の粘着剤層２１に第一の剥離フィルム３１を積層する（図３Ｃ参照）。第一の剥離フィルム３１は、ロール状に巻き取られた長尺状のフィルムであり、第二ロール繰り出し部４００から繰り出されて貼合部５００へと搬送され、貼合部５００にて、第一の積層体と貼り合わされる。
このようにして、基材１１と第一の剥離フィルム３１との間に第一の粘着剤層２１を備えた第二の積層体（片面シリコーン粘着シート１０）を得る（図３Ｃ参照）。
本実施形態に係る製造方法は、第二の粘着剤層２２を形成する前に、片面シリコーン粘着シート１０を、ロール状に巻き取る工程を有する。
本実施形態に係る製造方法は、さらに、ロール状に巻き取られた片面シリコーン粘着シート１０を図２の第一ロール繰り出し部１００に設置し、第二の基材面１１ｂが上面になるように繰り出す工程を有する。繰り出された片面シリコーン粘着シート１０は、塗布部２００へ搬送される。
塗布部２００に搬送された片面シリコーン粘着シート１０の第二の基材面１１ｂに、シリコーン系粘着剤を含有する第二の塗工液を塗布して第二の粘着剤層２２を形成する（図３Ｄ参照）。その後、第三の積層体（基材１１、第一の粘着剤層２１、第一の剥離フィルム３１及び第二の粘着剤層２２を有する積層体）を塗布部２００から乾燥部３００へ搬送し、第二の粘着剤層２２を乾燥させる。
さらに、第三の積層体を乾燥部３００から貼合部５００へ搬送し、第二の粘着剤層２２に第二の剥離フィルム３２を積層する（図３Ｅ参照）。第二の剥離フィルム３２は、ロール状に巻き取られた長尺状のフィルムであり、第二ロール繰り出し部４００から繰り出されて貼合部５００へと搬送され、貼合部５００にて、第三の積層体と貼り合わされる。
このようにして、基材１１と第一の剥離フィルム３１との間に第一の粘着剤層２１を備え、基材１１と第二の剥離フィルム３２との間に第二の粘着剤層２２を備えた両面シリコーン粘着シート１を得る（図３Ｅ参照）。
このようにして製造した両面シリコーン粘着シート１は、例えば、図２のロール巻き取り部６００でロール状に巻き取られる。

本実施形態に係る両面シリコーン粘着シート１は、粘着シート製造装置１００Ａを用いて製造できる。本発明は、粘着シート製造装置１００Ａを用いて製造した両面シリコーン粘着シート１及び粘着シート製造装置１００Ａを使用して実施する両面シリコーン粘着シート１の製造方法に限定されない。

シリコーン系粘着剤と基材１１との密着性を得るための観点から、第一の塗工液及び第二の塗工液を、直接、基材１１に塗布して、第一の粘着剤層２１及び第二の粘着剤層２２を形成することが好ましい。

片面シリコーン粘着シート１０の帯電量は、１０ｋＶ以下であることが好ましい。なお、片面シリコーン粘着シート１０の帯電量は、後述の実施例の方法で測定した値である。片面シリコーン粘着シート１０の当該帯電量が１０ｋＶ以下であれば、発火の虞がなく第二の粘着剤組成物を直塗り法で塗布できる。

［実施形態の効果］
本実施形態に係る両面シリコーン粘着シートの製造方法によれば、直塗り法で両面シリコーン粘着シートを製造する工程において、片面シリコーン粘着シートの繰り出し時に、片面シリコーン粘着シートの静電気によりシリコーン系粘着剤の塗工液の有機溶媒が発火する虞がなく、両面シリコーン粘着シートを安全に製造できる。

本実施形態に係る両面シリコーン粘着シートは、帯電量の増加が抑制された、安全性の高い、両面シリコーン粘着シートとして利用できる。
また、本実施形態に係る両面シリコーン粘着シートは、耐熱性のシリコーン系粘着剤を含む両面シリコーン粘着シートとして利用できる。本実施形態に係る両面シリコーン粘着シートは、例えば、高温条件が必要になる電子デバイスの製造工程において好適に利用できる。さらに、本実施形態に係る両面シリコーン粘着シートにおいて、基材として耐熱性のポリイミドフィルムを用いることによって、上記の電子デバイスの製造工程においてより好適に利用できる。

［実施形態の変形］
本発明は、上記の実施形態に何ら限定されない。本発明は、本発明の目的を達成できる範囲で、上記の実施形態を変形した態様などを含む。

両面シリコーン粘着シートの別の態様としては、図４に示されるような、基材１１と、第一の基材面１１ａに設けられた第一の粘着剤層２１と、第一の粘着剤層２１に積層された両面剥離フィルム３３と、第二の基材面１１ｂに設けられた第二の粘着剤層２２と、を備え、第二の粘着剤層２２には第二の剥離フィルム３２が積層されていない、両面シリコーン粘着シート１Ａが挙げられる。両面剥離フィルム３３は、両面が剥離性を有する。両面剥離フィルム３３は、剥離基材と、剥離基材の両面に形成された剥離剤層とを備えることが好ましい。両面剥離フィルム３３の剥離基材及び剥離剤層は、第一の剥離フィルム３１及び第二の剥離フィルム３２と同様の剥離基材及び剥離剤層でもよい。
両面シリコーン粘着シート１Ａがシート片状である場合、複数の両面シリコーン粘着シート１Ａを積層させて、積層体としてもよい。この積層体においては、両面シリコーン粘着シート１Ａの両面剥離フィルム３３の外表面側に、別の両面シリコーン粘着シート１Ａの第二の粘着剤層２２を積層させることができる。このような積層状態とすることで、第二の粘着剤層２２を保護しつつ、シート片状の両面シリコーン粘着シート１Ａを積層体から１枚ずつ剥離して使用することができる。
また、両面シリコーン粘着シート１Ａが長尺状である場合、芯材に巻き取って、ロール状として保管することができる。

前記実施形態においては、帯電防止性能を有する片面シリコーン粘着シートを得る方法として、シリコーン系粘着剤及び帯電防止剤を含有する第一の塗工液を塗布して第一の粘着剤層を形成する方法を例に挙げて説明したが、本発明はこのような態様に限定されない。帯電防止性能を有する片面シリコーン粘着シートとしては、次のような態様が挙げられる。

第一の態様としては、基材が帯電防止性を有する基材（帯電防止性基材）である片面シリコーン粘着シートが挙げられる。この第一の態様の変形として、第一の粘着剤層は帯電防止剤を含有していない片面シリコーン粘着シート、又は第一の粘着剤層がさらに帯電防止剤を含有している片面シリコーン粘着シートが挙げられる。第一の態様及び第一の態様の変形において、第一の剥離フィルムは帯電防止性を有していてもよいし、帯電防止性を有していなくてもよい。
帯電防止剤を含有していない粘着剤層を形成する方法としては、例えば、帯電防止剤を含有していない塗工液を調製して、この塗工液を基材に塗布して乾燥させる方法が挙げられる。

第二の態様としては、基材の第一の基材面及び反対側の第二の基材面の少なくともいずれかの面に帯電防止層を有する片面シリコーン粘着シートが挙げられる。第一の基材面に帯電防止層が形成されている場合、第一の粘着剤層は、当該帯電防止層の上に形成される。第二の基材面に帯電防止層が形成されている場合、第一の粘着剤層は、第一の基材面に形成され、第二の粘着剤層が、当該帯電防止層の上に形成される。第二の態様の変形として、第一の粘着剤層は帯電防止剤を含有していない片面シリコーン粘着シート、又は第一の粘着剤層がさらに帯電防止剤を含有している片面シリコーン粘着シートが挙げられる。
第二の態様及び第二の態様の変形において、基材は、帯電防止性を有していてもよいし、帯電防止性を有していなくてもよい。また、第二の態様及び第二の態様の変形において、第一の剥離フィルムは帯電防止性を有していてもよいし、帯電防止性を有していなくてもよい。

第三の態様としては、第一の粘着剤層に、帯電防止性を有する第一の剥離フィルムが積層された片面シリコーン粘着シートが挙げられる。帯電防止性を有する第一の剥離フィルムとしては、前記実施形態で説明した剥離フィルムのように剥離基材と剥離剤層とを備える剥離フィルムであって、剥離基材及び剥離剤層の少なくともいずれかが帯電防止性を有する剥離フィルムであることが好ましい。剥離剤層が帯電防止性を有する場合としては、例えば、剥離剤層に帯電防止剤が添加されている場合が挙げられる。第三の態様の変形として、第一の粘着剤層が帯電防止剤を含有していない片面シリコーン粘着シート、又は第一の粘着剤層がさらに帯電防止剤を含有している片面シリコーン粘着シートが挙げられる。第三の態様及び第三の態様の変形において、基材は、帯電防止性を有していてもよいし、帯電防止性を有していなくてもよい。

第四の態様としては、第一の粘着剤層に含まれるシリコーン系粘着剤が帯電防止性を有する場合の片面シリコーン粘着シートが挙げられる。第四の態様の場合、第一の粘着剤層が帯電防止剤を含有していなくても、第一の粘着剤層が帯電防止性能を有する。帯電防止性を有するシリコーン系粘着剤としては、イオン性基を有する付加反応型シリコーン系粘着剤が挙げられる。第四の態様において、基材は、帯電防止性を有していてもよいし、帯電防止性を有していなくてもよい。第四の態様において、第一の剥離フィルムは帯電防止性を有していてもよいし、帯電防止性を有していなくてもよい。

〔粘着剤組成物の調製〕

（１）粘着剤組成物Ａ
付加反応型シリコーン系粘着剤（東レ・ダウコーニング（株）製、製品名：ＳＤ４５７０ＰＳＡ、固形分６０質量％、シリコーンレジン含有率６０質量％であり、架橋剤を含有する付加反応型シリコーン）１００質量部、白金触媒（東レ・ダウコーニング（株）製、製品名：ＳＲＸ−２１２、固形分１００質量％）０．９質量部、及び帯電防止剤であるリチウム（Ｌｉ）塩を溶解させたシリコーンオイル（丸菱油化工業（株）製、ＰＣ−３４６２、固形分６２質量％）２０質量部を加えて粘着剤組成物Ａを調製し、この粘着剤組成物Ａをトルエンで希釈して固形分濃度が２５質量％の塗工液ＡＬを調製した。

（２）粘着剤組成物Ｂ
粘着剤組成物Ａに含まれる帯電防止剤をイオン性基含有シリコーンオリゴマー（信越化学工業（株）製、Ｘ−４０−２７５０、固形分１００質量％）に変更し、添加量を６質量部になるように調製したこと以外は、粘着剤組成物Ａと同様にして粘着剤組成物Ｂを調製した。この粘着剤組成物Ｂをトルエンで希釈して固形分濃度が２５質量％の塗工液ＢＬを調製した。

（３）粘着剤組成物Ｃ
粘着剤組成物Ａに含まれる帯電防止剤を含まないこと以外は、粘着剤組成物Ａと同様にして粘着剤組成物Ｃを調製した。この粘着剤組成物Ｃをトルエンで希釈して固形分濃度が２５質量％の塗工液ＣＬを調製した。

〔両面シリコーン粘着シートの作製〕

（実施例１）
基材であるポリイミドフィルム（東レ・デュポン（株）製、カプトン１００Ｈ、厚み２５μｍ）の第一の基材面に対して、調製した塗工液ＡＬを、乾燥後の厚みが２０μｍとなるようにコンマコーター（登録商標）を用いて塗布し、乾燥炉に通じ、風速５ｍ／ｓｅｃ、乾燥温度１２０℃、乾燥時間６０秒間で乾燥し、さらに、フッ素系剥離層を設けた３８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる剥離フィルム〔リンテック（株）製；ＳＰ−ＰＥＴ３８ＹＳＤ〕の剥離層面側を積層し、基材／第一の粘着剤層／第一の剥離フィルムの構成の片面シリコーン粘着シートを作製した。この片面シリコーン粘着シートをロール状に巻き取った。また、この片面シリコーン粘着シートを用いて後述の帯電防止性能の評価を行った。
次いで、得られた片面シリコーン粘着シートの巻取体から片面シリコーン粘着シートを繰り出し、基材の第二の基材面に、調製した塗工液ＣＬを、コンマコーター（登録商標）を用いて乾燥後の厚みが２０μｍとなるように塗布し、乾燥炉に通じ、風速５ｍ／ｓｅｃ、乾燥温度１２０℃、乾燥時間６０秒間で乾燥し、さらに、フッ素系剥離層を設けた３８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムからなる剥離フィルム〔リンテック（株）製；ＳＰ−ＰＥＴ３８ＹＳＤ〕の剥離層面側を積層し、ロール状に巻き取り、第二の剥離フィルム／第二の粘着剤層／基材／第一の粘着剤層／第一の剥離フィルムの構成の両面シリコーン粘着シートを作製した。

（実施例２）
実施例２の片面シリコーン粘着シート及び両面シリコーン粘着シートは、実施例１における塗工液ＡＬを塗工液ＢＬに変更したこと以外は、実施例１と同様にして作製した。この片面シリコーン粘着シートを用いて後述の帯電防止性能の評価を行った。

（比較例１）
比較例１は、実施例１における塗工液ＡＬを塗工液ＣＬに変更したこと以外は、実施例１と同様にして片面シリコーン粘着シートを作製した。この片面シリコーン粘着シートの巻取体を繰り出す工程において静電気が発生したため、発火の虞があると判断し、その後の工程を中止した。後述の帯電防止性能の評価は、片面シリコーン粘着シートについて行った。

〔帯電防止性能の評価〕
片面シリコーン粘着シートの帯電量は、以下に示す方法によって測定した。
各実施例及び比較例において、得られたロール状の前記片面シリコーン粘着シートから、Ａ４サイズの試験片を、複数、作製した。複数の試験片を重ねて積層体を作製した。積層体を静置し、その後、積層体の最表層から一枚の試験片を取り出し、積層体から試験片を取り出してから６０秒経過後の一枚の試験片の帯電量を測定した。帯電量をデジタル静電電位測定器（春日電機（株）製、ＫＳＤ−０１０８）によって測定した。なお、Ａ４サイズとは、縦２１０ｍｍ、横２９７ｍｍの大きさであることをいう。

表１に、実施例１、実施例２、及び比較例１に係る試験片に関する前述の帯電防止性能の評価結果を示す。表１中の帯電防止剤の含有量は、粘着物組成物の全固形分中の含有量である。

第一の粘着剤層に帯電防止剤を含む実施例に係る片面シリコーン粘着シートは、帯電量が小さく、直塗り法で両面シリコーン粘着シートを製造する工程において、片面シリコーン粘着シートの繰り出し時に、片面シリコーン粘着シートの静電気によりシリコーン系粘着剤の塗工液の有機溶媒が発火する虞がなく、両面シリコーン粘着シートを安全に製造できる。

１…両面シリコーン粘着シート、１１…基材、１１ａ…第一の基材面、１１ｂ…第二の基材面、２１…第一の粘着剤層、２２…第二の粘着剤層、３１…第一の剥離フィルム、３２…第二の剥離フィルム、３３…両面剥離フィルム。

Claims (8)

1. 基材の第一の基材面に、シリコーン系粘着剤を含有する第一の塗工液を塗布して第一の粘着剤層を形成する工程と、
   前記第一の粘着剤層に第一の剥離フィルムを積層し、帯電防止性能を有する片面シリコーン粘着シートを得る工程と、
   前記片面シリコーン粘着シートをロール状に巻き取る工程と、
   ロール状に巻き取られた前記片面シリコーン粘着シートを繰り出す工程と、
   前記基材の前記第一の基材面とは反対側の第二の基材面に、シリコーン系粘着剤を含有する第二の塗工液を塗布して第二の粘着剤層を形成する工程と、
   前記第二の粘着剤層に第二の剥離フィルムを積層し、ロール状に巻き取る工程と、を有する、両面シリコーン粘着シートの製造方法。
2. 請求項１に記載の両面シリコーン粘着シートの製造方法において、
   前記第一の塗工液は、帯電防止剤を含有する、両面シリコーン粘着シートの製造方法。
3. 請求項２に記載の両面シリコーン粘着シートの製造方法において、
   前記第一の塗工液が含有する前記帯電防止剤は、イオン導電性シリコーン系化合物である、両面シリコーン粘着シートの製造方法。
4. 請求項２に記載の両面シリコーン粘着シートの製造方法において、
   前記第一の塗工液が含有する前記帯電防止剤は、イオン性基含有シリコーンオリゴマー、あるいはアルカリ金属塩を溶解させたシリコーンオイルである、両面シリコーン粘着シートの製造方法。
5. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の両面シリコーン粘着シートの製造方法において、
   前記第二の塗工液は、帯電防止剤を含有する、両面シリコーン粘着シートの製造方法。
6. 請求項１から請求項５のいずれか一項に記載の両面シリコーン粘着シートの製造方法において、
   前記基材は、長尺状である、両面シリコーン粘着シートの製造方法。
7. 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の両面シリコーン粘着シートの製造方法において、
   前記基材は、ポリイミドフィルムである、両面シリコーン粘着シートの製造方法。
8. 請求項１から請求項７のいずれか一項に記載の両面シリコーン粘着シートの製造方法において、
   ロール状の前記片面シリコーン粘着シートから、Ａ４サイズの試験片を、複数、作製し、複数の前記試験片を重ねて積層体を作製し、前記積層体の最表層から一枚の前記試験片を取り出し、前記積層体から一枚の前記試験片を取り出してから６０秒経過後の一枚の前記試験片の帯電量が１０ｋＶ以下である、両面シリコーン粘着シートの製造方法。

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