JP6485984B1 - コイル部品 - Google Patents
コイル部品 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6485984B1 JP6485984B1 JP2018098321A JP2018098321A JP6485984B1 JP 6485984 B1 JP6485984 B1 JP 6485984B1 JP 2018098321 A JP2018098321 A JP 2018098321A JP 2018098321 A JP2018098321 A JP 2018098321A JP 6485984 B1 JP6485984 B1 JP 6485984B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- conductor layer
- embedded
- coil component
- support member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 71
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 25
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 4
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/2804—Printed windings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
- H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/24—Magnetic cores
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/29—Terminals; Tapping arrangements for signal inductances
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/29—Terminals; Tapping arrangements for signal inductances
- H01F27/292—Surface mounted devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/32—Insulating of coils, windings, or parts thereof
- H01F27/324—Insulation between coil and core, between different winding sections, around the coil; Other insulation structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/32—Insulating of coils, windings, or parts thereof
- H01F27/327—Encapsulating or impregnating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/041—Printed circuit coils
- H01F41/042—Printed circuit coils by thin film techniques
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/04—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
- H01F41/12—Insulating of windings
- H01F41/127—Encapsulating or impregnating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/04—Fixed inductances of the signal type with magnetic core
- H01F2017/048—Fixed inductances of the signal type with magnetic core with encapsulating core, e.g. made of resin and magnetic powder
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F27/00—Details of transformers or inductances, in general
- H01F27/28—Coils; Windings; Conductive connections
- H01F27/2804—Printed windings
- H01F2027/2809—Printed windings on stacked layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
Abstract
Description
図1は本発明の第1実施形態によるコイル部品100の斜視図であり、図2は図1のI−I'線に沿って切断した断面図である。
次に、図4は第2実施形態によるコイル部品200の断面図である。第2実施形態によるコイル部品200は、第1実施形態によるコイル部品100と比較して、埋め込みコイルパターンの線幅の中央線C1が、その上に形成されためっき層の線幅の中央線C2と一致しないという点で異なる。説明の便宜のために、重複される構成についての説明は省略し、第1実施形態によるコイル部品100と異なる点を中心に説明する。
図5は第3実施形態によるコイル部品300の断面図である。第3実施形態によるコイル部品300は、埋め込みコイルパターンの線幅W1が、その上に配置される導体層の線幅W2より大きい。埋め込みコイルパターンの線幅が導体層の線幅に比べて相対的に大きいため、微細ピッチ(fine pitch)を有する導体層においてそのベースとなるシード層の線幅を広くすることで、絶縁体の露光及び現像によりアライメントを調節する際に工程誤差が発生しても、開口不良などのおそれを低減させることができる。また、埋め込みコイルパターンの線幅が導体層の線幅に比べて大きい場合、CO2レーザーを用いて絶縁体を除去する際に、埋め込みコイルパターンがCO2レーザーの出力を減衰させることにより、支持部材がレーザーによって損失されることを防止させることができる。その結果、コイルが支持部材から浮き上がるなどの不良を防止させることができる。
図6は第4実施形態によるコイル部品400の断面図である。第4実施形態によるコイル部品400は、埋め込みコイルパターンの線幅W3が、その上に配置される導体層の線幅W4より小さい。これは、埋め込みコイルパターンの線幅をより狭くすることができる程度に埋め込みコイルパターンの微細ピッチが実現可能であるため、結果として、全体的なコイルパターンのターン数の最大化に有利な構造である。埋め込みコイルパターンの線幅を狭くしてコイルパターンのターン数を増加させることができ、その上に配置される導体層の線幅は相対的に広くすることで、導体層の厚さを高くすることにより、導体層の破損などの副効果を低減させるのに有利な構造である。
図7は第5実施形態によるコイル部品500の断面図である。第5実施形態によるコイル部品500は、第1実施形態によるコイル部品100と比較して、埋め込みコイルパターンと導体層との間に薄膜導体層5133が介在されるという点で異なる。上記薄膜導体層5133の厚さはナノスケールであることが好ましく、50nm以上1μm以下であることがより好ましい。上記薄膜導体層を形成する具体的な方式は制限されないが、薄い厚さを均一に形成するためには、金属スパッタリング方式を活用することが好適である。これにより、上記薄膜導体層を構成する材料には、化学銅めっきなどではやや制限的に用いられ得る材料も含まれることができるため、材料選択の自由度が相対的に高くなることができる。例えば、薄膜導体層は、Mo、Ti、Ni、Al、及びWのうち1つ以上を含むことができるが、これに制限されるものではない。上記薄膜導体層は、図3a〜図3iにおいて説明した製造方法のうち、絶縁体をラミネートする段階の前に追加されることができる。上記薄膜導体層は、支持部材の上面及び下面だけでなく、予め準備された埋め込みコイルパターンの上面までを一体的に形成し、導体層を全て形成した後、レーザーを用いて絶縁体を除去する段階で、導体層の下面と接する薄膜導体層以外の薄膜導体層を除去する方式によりパターニングして形成することができる。上記薄膜導体層は、コイル部品の製造工程で絶縁体と支持部材との密着力を増加させる役割を果たす。上記絶縁体をパターニングすると、パターニングされた絶縁体のアスペクト比は実質的に略20程度のレベルまで増加するため、パターニングされた絶縁体の倒れや浮き上がり現象が発生することがある。そのため、絶縁体をラミネートする前に薄膜導体層を予め形成することで、絶縁体と支持部材との密着力を増加させて、絶縁体の浮き上がりやそれによるコイルショートの発生可能性を除去することができる。また、CO2レーザーが絶縁体を貫通して支持部材に直ちに照射されるのではなく薄膜導体層に先に到達するため、CO2レーザーの出力が減衰して支持部材の損傷を防止させることができる。
図8は第6実施形態によるコイル部品600の断面図である。第6実施形態によるコイル部品600は、第2実施形態によるコイル部品200と比較して、埋め込みコイルパターンと導体層との間に薄膜導体層6133が介在されるという点で異なる。上記コイル部品600は、第2実施形態によるコイル部品200についての説明がそのまま適用可能であるため、薄膜導体層を介在することで発揮される効果、例えば、絶縁体の浮き上がり防止などの効果についての説明もそのまま適用可能である。薄膜導体層は絶縁体との密着力に優れるため、レーザーを用いて絶縁体を除去する際に、上記絶縁体の下に接合された薄膜導体層もともに容易に除去される。
図9は第7実施形態によるコイル部品700の断面図である。第7実施形態によるコイル部品700は、第3実施形態によるコイル部品300と比較して、埋め込みコイルパターンと導体層との間に薄膜導体層7133が介在されるという点でのみ異なり、その他に含まれる具体的な構成は重複されるため、それについての具体的な説明は省略する。
図10は第8実施形態によるコイル部品800の断面図である。第8実施形態によるコイル部品800は、第4実施形態によるコイル部品400と比較して、埋め込みコイルパターンと導体層との間に薄膜導体層8133が介在されるという点でのみ異なり、その他に含まれる具体的な構成は重複されるため、それについての具体的な説明は省略する。
1 本体
21、22 第1及び第2外部電極
11 磁性物質
12 支持部材
13 コイル
14 絶縁層
Claims (13)
- 貫通孔及びビアホールを含む支持部材、前記支持部材の一面または他面上に形成され、且つ複数のコイルパターンを含むコイル、及び前記支持部材及び前記コイルを封止する磁性物質を含む本体と、
前記本体の外部面上に配置される外部電極と、を含むコイル部品であって、
前記支持部材の前記一面または他面の1つ以上には、前記コイルの形状に応じて前記支持部材の中心に向かってエッチングされた複数の溝部が含まれ、前記複数の溝部内には埋め込みコイルパターンが充填されており、前記埋め込みコイルパターン上に導体層が積層され、
前記埋め込みコイルパターンと前記導体層との間には薄膜導体層が介在され、
前記薄膜導体層の側面は、前記導体層を囲む絶縁層と直接接する、コイル部品。 - 前記複数の溝部のそれぞれの深さは、支持部材の全厚さの1/3以下である、請求項1に記載のコイル部品。
- 前記埋め込みコイルパターンの中央線は、前記導体層の中央線と一致する、請求項1または2に記載のコイル部品。
- 前記埋め込みコイルパターンの中央線は、前記導体層の中央線から所定間隔だけ離隔している、請求項1または2に記載のコイル部品。
- 前記埋め込みコイルパターンの線幅は、その上に配置されるめっき層の線幅より大きい、請求項1から3のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記埋め込みコイルパターンの線幅は、その上に配置されるめっき層の線幅より小さい、請求項1から3のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記導体層の表面上には絶縁層が配置される、請求項1から6のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記貫通孔は前記磁性物質で充填される、請求項1から7のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記ビアホールは前記導体層で充填される、請求項1から8のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記薄膜導体層の厚さは50nm以上1μm以下である、請求項1から9のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記薄膜導体層は、Mo、Ti、Al、Ni、及びWのうち1つ以上を含む、請求項1から10のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記薄膜導体層の材料は、前記埋め込みコイルパターンの材料と異なる、請求項1から11のいずれか一項に記載のコイル部品。
- 前記ビアホールの側面は前記薄膜導体層により囲まれ、前記ビアホールの中央は導体層で充填される、請求項1から12のいずれか一項に記載のコイル部品。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170167532A KR102029548B1 (ko) | 2017-12-07 | 2017-12-07 | 코일 부품 |
KR10-2017-0167532 | 2017-12-07 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6485984B1 true JP6485984B1 (ja) | 2019-03-20 |
JP2019102783A JP2019102783A (ja) | 2019-06-24 |
Family
ID=65802321
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018098321A Active JP6485984B1 (ja) | 2017-12-07 | 2018-05-22 | コイル部品 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11037718B2 (ja) |
JP (1) | JP6485984B1 (ja) |
KR (1) | KR102029548B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112002515A (zh) * | 2019-05-27 | 2020-11-27 | 三星电机株式会社 | 线圈组件 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102333079B1 (ko) * | 2019-12-09 | 2021-12-01 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61124117A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリントコイルの製造方法 |
JP2006332147A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | コイル導電体およびその製造方法並びにそれを用いたコイル部品の製造方法 |
JP2009010268A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 平面コイルおよびその製造方法 |
US20160005527A1 (en) * | 2014-07-02 | 2016-01-07 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Coil unit for thin film inductor, manufacturing method of coil unit for thin film inductor, thin film inductor and manufacturing method of thin film inductor |
JP2017204629A (ja) * | 2016-05-13 | 2017-11-16 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コイル部品及びその製造方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5516463A (en) | 1993-07-21 | 1996-05-14 | Research Frontiers Incorporated | Method of making light-polarizing particles |
KR19990066108A (ko) | 1998-01-21 | 1999-08-16 | 구자홍 | 박막 인덕터 및 그 제조방법 |
JP2004111597A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Canon Inc | マイクロ構造体、及びその作製方法 |
US6903644B2 (en) * | 2003-07-28 | 2005-06-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Inductor device having improved quality factor |
JP2009152347A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | Panasonic Corp | コイル部品およびその製造方法 |
CN103430256B (zh) | 2011-01-04 | 2016-06-01 | Aac微技术有限公司 | 包括平面线圈的线圈组件 |
KR20130017598A (ko) * | 2011-08-11 | 2013-02-20 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 및 그 제조 방법 |
KR102145314B1 (ko) | 2015-07-31 | 2020-08-18 | 삼성전기주식회사 | 코일 부품 및 그 제조 방법 |
KR101900880B1 (ko) * | 2015-11-24 | 2018-09-21 | 주식회사 모다이노칩 | 파워 인덕터 |
KR20170107270A (ko) | 2016-03-15 | 2017-09-25 | 에스케이씨 주식회사 | 박형 회로 기판, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 안테나 모듈 |
KR102450603B1 (ko) * | 2016-06-24 | 2022-10-07 | 삼성전기주식회사 | 박막 인덕터 및 그 제조방법 |
-
2017
- 2017-12-07 KR KR1020170167532A patent/KR102029548B1/ko active IP Right Grant
-
2018
- 2018-05-22 US US15/986,255 patent/US11037718B2/en active Active
- 2018-05-22 JP JP2018098321A patent/JP6485984B1/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61124117A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プリントコイルの製造方法 |
JP2006332147A (ja) * | 2005-05-24 | 2006-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | コイル導電体およびその製造方法並びにそれを用いたコイル部品の製造方法 |
JP2009010268A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 平面コイルおよびその製造方法 |
US20160005527A1 (en) * | 2014-07-02 | 2016-01-07 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Coil unit for thin film inductor, manufacturing method of coil unit for thin film inductor, thin film inductor and manufacturing method of thin film inductor |
JP2017204629A (ja) * | 2016-05-13 | 2017-11-16 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | コイル部品及びその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112002515A (zh) * | 2019-05-27 | 2020-11-27 | 三星电机株式会社 | 线圈组件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190067514A (ko) | 2019-06-17 |
US11037718B2 (en) | 2021-06-15 |
JP2019102783A (ja) | 2019-06-24 |
KR102029548B1 (ko) | 2019-10-07 |
US20190180914A1 (en) | 2019-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1914699B (zh) | 电子元件的制造方法、母板和电子元件 | |
KR101952872B1 (ko) | 코일 부품 및 그의 제조방법 | |
KR101963287B1 (ko) | 코일 부품 및 그의 제조방법 | |
US11205538B2 (en) | Inductor and method of manufacturing the same | |
KR102029586B1 (ko) | 코일 전자부품 | |
KR20180068203A (ko) | 인덕터 | |
KR101983190B1 (ko) | 박막 인덕터 | |
KR20190106243A (ko) | 코일 부품 | |
KR102505429B1 (ko) | 코일 부품 | |
KR20190030971A (ko) | 코일 전자부품 | |
JP6485984B1 (ja) | コイル部品 | |
KR101892822B1 (ko) | 코일 부품 및 그 제조방법 | |
KR102609136B1 (ko) | 코일 전자부품 | |
KR102464311B1 (ko) | 인덕터 및 그 제조방법 | |
CN110277230B (zh) | 线圈组件 | |
KR102053745B1 (ko) | 코일 부품 | |
KR20190069040A (ko) | 코일 부품 | |
KR101973449B1 (ko) | 인덕터 | |
US11488762B2 (en) | Chip inductor and method of manufacturing the same | |
CN109961940B (zh) | 电感器及其制造方法 | |
KR102102710B1 (ko) | 코일 부품 및 그 제조방법 | |
JP6521549B1 (ja) | コイル部品 | |
KR102061510B1 (ko) | 인덕터 | |
KR20190108456A (ko) | 코일 부품 | |
KR20200010150A (ko) | 코일 부품 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181009 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190218 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6485984 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |