JP6473652B2 - ペリクルのデマウント方法 - Google Patents
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
図1は、本発明の一実施形態に係るペリクル101のデマウント方法を示す模式図(断面図)である。図1(a)に、ペリクル101が配置されたフォトマスク105を示す。ペリクル101は、ペリクル膜102とペリクル枠103を有する。
図2は、本発明の一実施形態に係るペリクル201のデマウント方法を示す模式図(断面図)である。図2(a)、ペリクル201が配置されたフォトマスク205を示す。ペリクル201は、ペリクル膜202と、ペリクル枠203を有する。
図3は、本発明の一実施形態に係るペリクル301のデマウント方法を示す模式図(断面図)である。図3(a)に、ペリクル301が配置されたフォトマスク305を示す。実施形態3は、実施形態1および実施形態2と、ペリクル枠の構造が異なる場合である。
実施形態4は、実施形態3とペリクルの構造は同じである。
本発明に係るシートは、実施形態1に説明したものに限定されず、様々な態様が可能である。例えば、シートに孔を開けてもよい。フィルム張り合わせ時に、気体がペリクル膜とフィルムとの間に入り込み、貼りあわせ時のペリクル膜の破裂などが生じうる。しかし、本実施形態においては、孔が通気口の役割を果たすため、ペリクル膜の破裂を防ぐことができる。
本発明に係るシートは、実施形態1に説明したものに限定されず、様々な態様が可能である。例えば、シート500の隅部にジグ穴509を設け、この部分に剥離ジグを接続し、荷重をかけてペリクル501ないしペリクル膜502をフォトマスク505からデマウントしてもよい。
本発明に係るシートは、実施形態1に説明したものに限定されず、様々な態様が可能である。例えば、シート700にジグ穴709を設け、この部分に剥離ジグを接続し、荷重をかけてペリクル701ないしペリクル膜702をフォトマスク705からデマウントしてもよい。
本発明に係るシートは、実施形態1に説明したものに限定されず、様々な態様が可能である。たとえば、シートを密着させる前に硬化性樹脂でペリクル膜を含浸し、樹脂を硬化させることで、ペリクル膜を補強する方法をさらに含んでもよい。
本発明に係るシートは、実施形態1に説明したものに限定されず、様々な態様が可能である。たとえば、硬化性樹脂をシート上及びペリクル膜上に滴下し、シートとペリクル膜を近接させ、液の表面張力によりシートとペリクル膜を密着させ、熱や光で樹脂を硬化させ、シートにペリクル膜を接着する方法であってもよい。
101、201、301、401、501、601、701、801:ペリクル
102、202、302、402、502、602、702、802:ペリクル膜
103、203、303、403、503、603、703、803:ペリクル枠
105、205、305、405、505、605、705、805:フォトマスク
509、609、709、809:ジグ穴
Claims (11)
- フォトマスクに配置されたペリクルの少なくともペリクル膜をシートと密着させ、
前記ペリクルを前記フォトマスクからデマウントする、
ことを特徴とするペリクルのデマウント方法。 - 前記ペリクルはペリクル枠を備え、
前記シートを前記ペリクル膜と前記ペリクル枠とに密着させる、
ことを特徴とする請求項1に記載のペリクルのデマウント方法。 - 前記シートは、フィルム層と、粘着層または接着層と、を含む、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクルのデマウント方法。
- 前記フィルム層は、厚さ50μm以上500μm以下である、ことを特徴とする請求項3に記載のペリクルのデマウント方法。
- 前記粘着層または前記接着層は、厚さ1μm以上500μm以下であることを特徴とする請求項3又は4に記載のペリクルのデマウント方法。
- 前記フィルム層は、ポリエチレンテレフタラートフィルム又はポリプロピレンフィルムからなる請求項3乃至5の何れか一に記載のペリクルのデマウント方法。
- 前記シートは、前記粘着層または前記接着層に格子構造を有する、ことを特徴とする請求項3乃至6の何れか一に記載のペリクルのデマウント方法。
- 前記シートは、
前記フィルム層と、前記粘着層または前記接着層と、に孔を有する、ことを特徴とする請求項3乃至7の何れか一に記載のペリクルのデマウント方法。 - 前記シートは、ジグ穴を有することを特徴とする請求項1乃至8の何れか一に記載のペリクルのデマウント方法。
- 前記シートを密着させる前に、硬化性樹脂で前記ペリクル膜を含浸することをさらに含む、請求項1乃至9の何れか一に記載のペリクルのデマウント方法。
- 前記シートを密着させる前に、硬化性樹脂で前記シートと前記ペリクル膜とを固定させることをさらに含む、請求項1乃至9の何れか一に記載のペリクルのデマウント方法。
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