JP6463382B2 - 検査装置及び検査システム - Google Patents

Description

本発明は、被検体の傷や汚れ等の欠陥を検査する検査装置及び検査システムの技術分野に関するものである。

従来、容器の検査等を行う装置として、異なる検査内容を１つの検査ロータで検査できるものが開示されている（特許文献１参照）。

特開２０１２−２０２７６７号公報

しかしながら、異なる検査内容に応じて検査装置はそれぞれ異なるものを用いていたので、複数の検査装置を必要とし、且つ、複数の検査装置を配置するスペースが必要となり、高コストな装置となっていた。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、簡単な構造で明暗の異なる部分の検査を一度に行うことが可能な検査装置及び検査システムを提供することである。

本発明にかかる検査装置は、明部と前記明部より暗い暗部を有する被検体を照明する照明部と、前記照明部によって照明された前記被検体からの物体光がそれぞれ異なる光路を通過する第１の光と第２の光に分割される光路分割部と、前記光路分割部を通過した前記第１の光の光量を低下させるフィルタと、前記フィルタを通過した前記第１の光が結像する第１撮像部と、前記光路分割部を通過した前記第２の光が結像する第２撮像部と、前記第１撮像部で撮像した明部の情報と前記第２撮像部で撮像した暗部の情報から前記被検体の欠陥の有無を検査する検査部と、を備える。

また、本発明にかかる検査装置は、前記被検体を回転可能に載置する保持部を備え、前記第１撮像部及び前記第２撮像部は、それぞれ複数の光電変換素子がライン状に配列している。

また、本発明にかかる検査装置の前記光路分割部は、ビームスプリッターを含むプリズムを有する。

また、本発明にかかる検査装置の前記光路分割部は、それぞれ異なる角度で傾斜した隣り合う第１反射面と第２反射面を含む反射部材を有する。

また、本発明にかかる検査装置は、前記第１撮像部で撮像した明部の画像と前記第２撮像部で撮像した暗部の画像を合成する画像処理部と、前記画像処理部で処理された画像を表示する表示部と、を備える。

また、本発明にかかる検査システムは、軸を中心に回転可能な概略円盤状のロータ本体と、前記ロータ本体の外周縁で前記被検体を回転可能に支持するテーブルと、前記被検体を上方から押さえるキャップと、前記テーブルに載せられる前記被検体を検査する前記検査装置と、を備える。

本発明にかかる検査装置は、明部と前記明部より暗い暗部を有する被検体を照明する照明部と、前記照明部によって照明された前記被検体からの物体光がそれぞれ異なる光路を通過する第１の光と第２の光に分割される光路分割部と、前記光路分割部を通過した前記第１の光の光量を低下させるフィルタと、前記フィルタを通過した前記第１の光が結像する第１撮像部と、前記光路分割部を通過した前記第２の光が結像する第２撮像部と、前記第１撮像部で撮像した明部の情報と前記第２撮像部で撮像した暗部の情報から前記被検体の欠陥の有無を検査する検査部と、を備える。そのため、簡単な構造で明暗の異なる部分の検査を一度に行うことが可能となる。

また、本発明にかかる検査装置は、前記被検体を回転可能に載置する保持部を備え、前記第１撮像部及び前記第２撮像部は、それぞれ複数の光電変換素子がライン状に配列している。そのため、高解像度の画像を表示することが可能となる。

また、本発明にかかる検査装置の前記光路分割部は、ビームスプリッターを含むプリズムを有する。そのため、簡単な構造で光路を分割することが可能となる。

また、本発明にかかる検査装置の前記光路分割部は、それぞれ異なる角度で傾斜した隣り合う第１反射面と第２反射面を含む反射部材を有する。そのため、簡単な構造で光路を分割することが可能となる。

また、本発明にかかる検査装置は、前記第１撮像部で撮像した明部の画像と前記第２撮像部で撮像した暗部の画像を合成する画像処理部と、前記画像処理部で処理された画像を表示する表示部と、を備える。そのため、１つの画面で明部の欠陥及び暗部の欠陥を表示部においてそれぞれ観察することが可能となる。

また、本発明にかかる検査システムは、軸を中心に回転可能な概略円盤状のロータ本体と、前記ロータ本体の外周縁で前記被検体を回転可能に支持するテーブルと、前記被検体を上方から押さえるキャップと、前記テーブルに載せられる前記被検体を検査する前記検査装置と、を備える。そのため、簡単な構造で明暗の異なる部分の検査を一度に行うことが可能となる。

本発明にかかる検査装置の、概念図を示す。 本発明の第１実施形態にかかる検査装置を示す。 本発明の第１実施形態にかかる検査装置の、撮像部を示す。 本発明の第１実施形態にかかる検査装置の、撮像部のスキャンの方法を示す。 本発明の第１実施形態にかかる検査装置の、検査部が読み取る欠陥のない場合の光の強度を示す。 本発明の第１実施形態にかかる検査装置の、撮像部が被検体の欠陥部分をスキャンする状態を示す。 本発明の第１実施形態にかかる検査装置の、検査部が被検体に欠陥がある場合に読み取る光の強度を示す。 本発明の第２実施形態にかかる検査装置を示す。 本発明の第２実施形態にかかる検査装置の、反射部材の斜視図を示す。 本発明にかかる検査システムの、概念図を示す。 本発明にかかる検査システムで検査される被検体の、概念図を示す。

以下、図面を用いて本発明の実施の形態について説明する。

図１は、本実施形態の検査装置１の概念図を示す。

本実施形態の検査装置１は、明部Ｔ１と暗部Ｔ２を有する被検体Ｔを照明する照明部２と、照明部２によって照明された被検体Ｔからの物体光の光路が分割される光路分割部３と、光路分割部３を通過した第１の光Ｌ１の光量を低下させるフィルタ４と、フィルタ４を通過した光が結像する第１撮像部５ａと、光路分割部３を通過した第２の光Ｌ２が結像する第２撮像部５ｂと、第１撮像部５ａで撮像した明部の情報と第２撮像部５ｂで撮像した暗部の情報から欠陥の有無を検査する検査部７と、第１撮像部５ａで撮像した明部の画像と第２撮像部５ｂで撮像した暗部の画像を合成する画像処理部８と、画像処理部８で処理された画像を表示する表示部９と、を備える。

照明部２は、被検体Ｔに高輝度の光を照射する。本実施形態の被検体Ｔは、金属等の明部Ｔ１とゴム等の暗部Ｔ２を有する。そして、照明部２から被検体Ｔに照射された光は、物体光として光路分割部３に入射する。

光路分割部３は、ビームスプリッター等で物体光の光路を分割する。分割された光の一方は、第１の光Ｌ１としてフィルタ４を通過する。フィルタ４は、ＮＤ(Neutral Density)フィルタ等を用いて色彩に影響を与えることなく光量を低下させる。フィルタ４を通過した光量が低下した第１の光Ｌ１は、ライン状の撮像素子（ＣＣＤ等）５上の第１撮像部５ａに結像する。分割された光の他方は、第２の光Ｌ２として前記撮像素子５の別な部位である第２撮像部５ｂに結像する。第２の光Ｌ２は、フィルタ４等を通過していないので、光量が低下することがない。なお、第２の光Ｌ２は、第１の光Ｌ１が通過したフィルタ４よりも光量の低下が少ない図示しないフィルタを通過させてもよい。

図１に示すように、第１撮像部５ａに結像した画像は光量が低下しているため、被検体Ｔの明部Ｔ１の画像は検査可能となるが、暗部Ｔ２の画像は暗すぎて検査不可能となる。また、第２撮像部５ｂに結像した画像はフィルタ等による光量の変化がないため、被検体Ｔの明部Ｔ１の画像は明るすぎて検査不可能となるが、暗部Ｔ２の画像は検査可能となる。

検査部７は、第１撮像部５ａで撮像した明部Ｔ１の情報と、第２撮像部５ｂで撮像した暗部Ｔ２の情報から欠陥の有無を検査する。検査方法は後述する。

画像処理部８は、第１撮像部５ａで撮像した明部Ｔ１の画像Ｔ１’と、第２撮像部５ｂで撮像した暗部Ｔ２の画像Ｔ２’を合成する。表示部９は、画像処理部８が合成した画像Ｔ’を表示する。図１に示すように、合成した画像Ｔ’は、１つの画面で被検体Ｔの明部Ｔ１と暗部Ｔ２の観察を可能とする。例えば、図１に示すように、１つの画面で明部Ｔ１の欠陥Ｄ１及び暗部Ｔ２の欠陥Ｄ２を表示部９においてそれぞれＤ１’，Ｄ２’として観察することが可能となる。

このように、本実施形態の検査装置１によれば、簡単な構造で明暗の異なる部分の検査を一度に行うことが可能となる。

次に、第１実施形態について説明する。

図２は、第１実施形態の検査装置１を示す。

第１実施形態の検査装置１は、明部Ｔ１と暗部Ｔ２を有する被検体Ｔを照明する照明部２と、照明部２によって照明された被検体Ｔからの物体光の光路が分割される光路分割部３と、光路分割部３を通過した第１の光Ｌ１の光量を低下させるフィルタ４と、フィルタ４を通過した光が結像する第１撮像部５ａと、光路分割部３を通過した第２の光Ｌ２が結像する第２撮像部５ｂと、第１撮像部５ａで撮像した明部の情報と第２撮像部５ｂで撮像した暗部の情報から欠陥の有無を検査する検査部７と、第１撮像部５ａで撮像した明部の画像と第２撮像部５ｂで撮像した暗部の画像を合成する画像処理部８と、画像処理部８で処理された画像を表示する表示部９と、を備える。また、第１実施形態の検査装置１は、被検体Ｔを回転可能に載置する保持部２０を備える。

照明部２は、被検体Ｔに高輝度の光を照射する。本実施形態の被検体Ｔは、金属等の明部Ｔ１とゴム等の暗部Ｔ２を有する。そして、照明部２から被検体Ｔに照射された光は、物体光として光路分割部３に入射する。第１実施形態の被検体Ｔは、図示しない台に乗せられて回転する。

第１実施形態は、光路分割部３としてプリズム３１及び反射部材３２を用いて光を分割する。プリズム３１内にはビームスプリッター３１ａが設置され、光を分割する。ビームスプリッター３１ａは、透過側の光量と反射側の光量を調整することが可能である。例えば、ビームスプリッター３１ａを透過する光量を７０％、反射する光量を３０％等に設定してもよい。

ビームスプリッター３１ａを透過した第１の光Ｌ１は、プリズム３１内の第１反射面３１ｂでもう一度反射し、プリズム３１を射出する。第１の光Ｌ１は、反射部材３２でさらに反射した後、フィルタ４を通過して光量が低下され、カメラ６に内蔵されたレンズ６１で屈折し、第１撮像部５ａに結像する。

第１反射面３１ｂと反射部材３２は、第１の光Ｌ１と第２の光Ｌ２の光路長を同一にするために用いる。

ビームスプリッター３１ａで反射した第２の光Ｌ２は、プリズム内の第２反射面３１ｃでもう一度反射し、プリズム３１を射出する。第２の光Ｌ２は、カメラ６に内蔵されたレンズ６１で屈折し、第２撮像部５ｂに結像する。

図３は、第１実施形態の検査装置１の撮像部５ａ，５ｂを示す。図４は、第１実施形態の検査装置１の撮像部５ａ，５ｂのスキャンの方法を示す。

第１実施形態の検査装置１の第１撮像部５ａと第２撮像部５ｂは、光電変換素子がライン状に配列された一つの撮像素子５に構成される。第１撮像部５ａと第２撮像部５ｂには回転する被検体Ｔからの光がライン状に結像する。例えば、図４に示すように、上方から下方へ直線上にスキャンし、第１撮像部５ａと第２撮像部５ｂは、ライン状に読み取る。そして、１回転分の被検体Ｔを順に走査することによって１回転分の外周の明暗の情報を得ることができる。

図５は、第１実施形態の検査装置１の検査部７が読み取る欠陥のない場合の光の強度を示す。

検査部７は、第１撮像部５ａと第２撮像部５ｂから送信された情報を読み取り、被検体Ｔの欠陥の有無を検査する。図５において、横軸はスキャン位置、縦軸は光の強度を表す。例えば、図４に示すように、文字「Ｂ」と数字「２」に対応する位置を矢印のようにｓ→ｍ→ｅという方向にスキャンした場合、明部Ｔ１の文字「Ｂ」及び暗部Ｔ２の数字「２」の一部がライン状にスキャンされる。

第１撮像部５ａに入射する第１の光Ｌ１は、フィルタ４を通過して全体の光量が弱くなっている。したがって、暗部Ｔ２の数字「２」の部分と文字の無い部分のどちらも強度が弱く、差異を判断することが困難である。これに対して、明部Ｔ１は、文字「Ｂ」の黒い部分は光の強度が落ち、文字の無い部分は、強度が強い。したがって、スキャンした時の文字「Ｂ」の線を横切る際に光の強度が落ち、図５に示すように溝が形成される。

第２撮像部５ｂに入射する第２の光Ｌ２は、フィルタ４を通過しないので全体の光量が強い。したがって、明部Ｔ１の文字「Ｂ」の部分と文字の無い部分のどちらも強度が強く、差異を判断することが困難である。これに対して、暗部Ｔ２は、数字「２」の黒い部分は光の強度が落ち、文字の無い部分は、強度が強い。したがって、スキャンした時の数字「２」の線を横切る際に光の強度が落ち、図５に示すように溝が形成される。

このようなスキャンを１周することで、被検体Ｔの文字または数字を判別することができる。

図６は、第１実施形態の検査装置１の撮像部５ａ，５ｂが被検体Ｔの欠陥部分をスキャンする状態を示す。図７は、第１実施形態の検査装置１の検査部７が被検体Ｔに欠陥がある場合に読み取る光の強度を示す。

図６に示すように、被検体Ｔの明部Ｔ１の文字「Ｂ」の下方に第１の欠陥Ｄ１が存在し、暗部Ｔ２の数字「２」の上方に第２の欠陥Ｄ２が存在し、対応する位置を矢印のようにｓ→ｍ→ｅという方向にスキャンしたとする。

第１撮像部５ａに入射する第１の光Ｌ１は、フィルタ４を通過して全体の光量が弱くなっている。したがって、暗部Ｔ２の数字「２」の部分と文字の無い部分のどちらも強度が弱く、差異を判断することが困難である。これに対して、明部Ｔ１は、文字「Ｂ」の黒い部分は光の強度が落ち、文字の無い部分は、強度が強い。したがって、スキャンした時の文字「Ｂ」の線を横切る際に光の強度が落ち、図７に示すように溝が形成される。ここで、第１の欠陥Ｄ１が存在すると、文字「Ｂ」とは別の溝が形成される。

第２撮像部５ｂに入射する第２の光Ｌ２は、フィルタ４を通過しないので全体の光量が強い。したがって、明部Ｔ１の文字「Ｂ」の部分と文字の無い部分のどちらも強度が強く、差異を判断することが困難である。これに対して、暗部Ｔ２は、数字「２」の黒い部分は光の強度が落ち、文字の無い部分は、強度が強い。したがって、スキャンした時の数字「２」の線を横切る際に光の強度が落ち、図７に示すように溝が形成される。ここで、第２の欠陥Ｄ２が存在すると、数字「２」とは別の溝が形成される。

このようなスキャンを１周することで、被検体Ｔの明暗の異なる部分の検査を一度に行い、欠陥の有無を判別することが可能となる。

画像処理部８は、第１撮像部５ａで撮像した明部Ｔ１の画像Ｔ１’と、第２撮像部５ｂで撮像した暗部Ｔ２の画像Ｔ２’を合成する。表示部９は、画像処理部８が合成した画像を表示する。図２に示すように、合成した画像Ｔ’＝Ｔ１’＋Ｔ２’は、１つの画面で被検体Ｔの明部Ｔ１と暗部Ｔ２を検査可能とする。例えば、図２に示すように、１つの画面で明部Ｔ１の第１の欠陥Ｄ１及び暗部Ｔ２の第２の欠陥Ｄ２をそれぞれＤ１’，Ｄ２’として観察することが可能となる。

このように、第１実施形態の検査装置１によれば、簡単な構造で明暗の異なる部分の検査を一度に行うことが可能となる。

次に、第２実施形態について説明する。

図８は、第２実施形態の検査装置１を示す。

第２実施形態の検査装置１は、明部Ｔ１と暗部Ｔ２を有する被検体Ｔを照明する照明部２と、照明部２によって照明された被検体Ｔからの物体光の光路が分割される光路分割部３と、光路分割部３を通過した第１の光Ｌ１の光量を低下させるフィルタ４と、フィルタ４を通過した光が結像する第１撮像部５ａと、光路分割部３を通過した第２の光Ｌ２が結像する第２撮像部５ｂと、第１撮像部５ａで撮像した明部の情報と第２撮像部５ｂで撮像した暗部の情報から欠陥の有無を検査する検査部７と、第１撮像部５ａで撮像した明部の画像と第２撮像部５ｂで撮像した暗部の画像を合成する画像処理部８と、画像処理部８で処理された画像を表示する表示部９とを備える。

照明部２は、被検体Ｔに高輝度の光を照射する。本実施形態の被検体Ｔは、金属等の明部Ｔ１とゴム等の暗部Ｔ２を有する。そして、照明部２から被検体Ｔに照射された光は、物体光として光路分割部３に入射する。第２実施形態の被検体Ｔは、図示しない台に乗せられて回転する。

第２実施形態は、光路分割部３として反射ミラー３６及び反射部材３７を用いて光を分割する。反射ミラー３６は、物体光を反射部材３７へ反射させる。反射部材３７は、反射ミラー３６が反射した光を像面方向へ反射する。すなわち、反射ミラー３６及び反射部材３７でＺ字状の光路が形成される。

図９は、第２実施形態の検査装置１の反射部材３７の斜視図を示す。

反射部材３７は、第１反射面３７ａ及び第２反射面３７ｂを有する。第１反射面３７ａと第２反射面３７ｂは、それぞれ異なる角度で傾斜した隣り合う面である。

第１反射面３７ａで反射した第１の光Ｌ１は、図８に示すようにフィルタ４を通過して、図３に示したように第１撮像部５ａで結像する。第２反射面３７ｂで反射した第２の光Ｌ２は、図３に示したように第２撮像部５ｂで結像する。

スキャンの方法、検査部７、画像処理部８、及び表示部９の処理方法は、第１実施形態と同様である。

このように、第２実施形態の検査装置１によれば、簡単な構造で明暗の異なる部分の検査を一度に行うことが可能となる。

次に、本実施形態の検査装置１を検査システム１０に用いた例について説明する。この例の被検体Ｔは、バイアル瓶等の金属からなる明部Ｔ１としてのクリンプ部Ｔ１とゴムからなる暗部Ｔ２としてのゴム栓部Ｔ２を有する。そして、検査装置１は、クリンプ部Ｔ１とゴム栓部Ｔ２の傷や汚れ等の欠陥を検査する。

図１０は、検査システム１０の平面図を示す。図１１は、検査システム１０で検査される被検体Ｔを示す。

本実施形態の検査システム１０は、ロータ部１１と、保持部としてのパック１２と、キャップ１３と、を備える。本実施形態の検査システム１０では、パック１２とキャップ１３に支持された被検体Ｔが、ロータ部１１の外周縁に設置された図示しない回転機構によって回転可能な状態、図示しない昇降機構によって昇降可能な状態で搬送される。

ロータ部１１は、第１軸Ｏ１を中心に回転可能な概略円盤状のロータ本体１１ａと、ロータ本体１１ａの外周縁で回転機構を支持するテーブル１１ｂと、を有する。ロータ部１１は、パック１２、及びキャップ１３と一体に回転する。

パック１２は、図示しない回転機構によって第２軸Ｏ２を中心に回転可能である。キャップ１３は、上方から被検体Ｔを回転可能に押さえる。

次に、検査システム１０の作動について説明する。図１０に示す例では、検査装置１によって被検体Ｔを検査する場合について説明する。

まず、図１０に示すように、被検体Ｔは、パック１２に載置された状態で導入ロータＲ１からロータ部１１に搬送される。被検体Ｔは、パック１２に載置され、キャップ１３に上方から押さえられ、回転しながらテーブル１１ｂ上を進む。

検査装置１では、回転している被検体Ｔの明部Ｔ１としてのクリンプ部Ｔ１と、暗部Ｔ２としてのゴム栓部Ｔ２と、を撮影する。撮影する検査装置１については、図２及び図８に示した検査装置１を用いればよい。その後、検査装置１を通り過ぎた被検体Ｔは、図１０に示すように、排出ロータＲ２によって排出される。

このように、図１０に示す検査システム１０によれば、簡単な構造で明暗の異なる部分の検査を一度に行うことが可能となる。

以上、本実施形態の検査装置１は、明部Ｔ１と明部Ｔ１より暗い暗部Ｔ２を有する被検体Ｔを照明する照明部２と、照明部２によって照明された被検体Ｔからの物体光がそれぞれ異なる光路を通過する第１の光Ｌ１と第２の光Ｌ２に分割される光路分割部３と、光路分割部３を通過した第１の光Ｌ１の光量を低下させるフィルタ４と、フィルタ４を通過した第１の光Ｌ１が結像する第１撮像部５ａと、光路分割部３を通過した第２の光Ｌ２が結像する第２撮像部５ｂと、第１撮像部５ａで撮像した明部Ｔ１の情報と第２撮像部５ｂで撮像した暗部Ｔ２の情報から被検体Ｔの欠陥の有無を検査する検査部７と、を備えるので、簡単な構造で明暗の異なる部分の検査を一度に行うことが可能となる。

また、本実施形態の検査装置１は、被検体Ｔを回転可能に載置する保持部２０を備え、第１撮像部５ａ及び第２撮像部５ｂは、それぞれ複数の光電撮像素子がライン状に配列しているので、高解像度の画像を表示することが可能となる。

また、第１実施形態の検査装置１では、光路分割部３は、ビームスプリッター３１ａを含むプリズム３１を有するので、簡単な構造で光路を分割することが可能となる。

また、第２実施形態の検査装置１では、光路分割部３は、それぞれ異なる角度で傾斜した隣り合う第１反射面３７ａと第２反射面３７ｂを含む反射部材３７を有するので、簡単な構造で光路を分割することが可能となる。

また、本実施形態の検査装置１は、第１撮像部５ａで撮像した明部Ｔ１の画像と第２撮像部５ｂで撮像した暗部Ｔ２の画像を合成する画像処理部８と、画像処理部８で処理された画像を表示する表示部９と、を備えるので、１つの画面で明部Ｔ１の欠陥Ｄ１及び暗部Ｔ２の欠陥Ｄ２を表示部９においてそれぞれ観察することが可能となる。

また、本実施形態の検査システム１０は、軸を中心に回転可能な概略円盤状のロータ本体１１ａと、ロータ本体１１ａの外周縁で被検体Ｔを回転可能に支持するテーブル１１ｂと、被検体Ｔを上方から押さえるキャップ１３と、テーブル１１ｂに載せられる被検体Ｔを検査する検査装置１と、を備えるので、簡単な構造で明暗の異なる部分の検査を一度に行うことが可能となる。

以上、本発明の種々の実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態のみに限られるものではなく、発明の範囲を超えない限り、それぞれの実施形態の構成を適宜変更した構成及びそれぞれの実施形態の構成を適宜組み合わせた構成の実施形態も本発明の範疇となるものである。

１ 検査装置、２ 照明部、３ 光路分割部、４ フィルタ、５ 撮像素子、５ａ 第１撮像部、５ｂ 第２撮像部、６ カメラ、７ 検査部、８ 画像処理部、９ 表示部、２０ 保持部、１０ 搬送システム、１１ ロータ部、１１ａ ロータ本体、１１ｂ テーブル、１２ パック（保持部）、１３ キャップ。

Claims (6)

1. 明部と、該明部より暗い暗部と、を有する被検体を照明する照明部と、
   前記照明部によって照明された前記被検体からの光がそれぞれ異なる光路を通過する第１の光と第２の光に分割される光路分割部と、
   前記光路分割部を通過した前記第１の光の光量を低下させるフィルタと、
   前記フィルタを通過した前記第１の光が結像して前記明部の画像を撮像する第１撮像部と、前記光路分割部を通過した前記第２の光が結像して前記暗部の画像を撮像する第２撮像部と、を含み、前記明部の画像と前記暗部の画像とが合成された画像を撮像する光電変換素子群と、
   前記合成された画像の情報から前記被検体の前記明部及び前記暗部の欠陥の有無を検査する検査部と、
   を備える、
   検査装置。
2. 前記被検体を回転可能に載置する保持部を備え、
   前記第１撮像部及び前記第２撮像部は、それぞれ複数の光電変換素子がライン状に配列している、
   請求項１に記載の検査装置。
3. 前記光路分割部は、前記被検体からの光を反射及び透過して前記第１の光と前記第２の光に分割するビームスプリッターを含むプリズムを有する、
   請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
4. 前記光路分割部は、それぞれ異なる角度で傾斜した隣り合う、前記被検体からの光の一部を前記第１の光として反射する第１反射面と、前記被検体からの光の他の一部を前記第２の光として反射する第２反射面と、を含む反射部材を有する、
   請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
5. 前記合成された画像を表示する表示部を備える、
   請求項１乃至４のいずれか１つに記載の検査装置。
6. 軸を中心に回転可能な略円盤状のロータ本体と、
   前記ロータ本体の外周縁で前記被検体を回転可能に支持するテーブルと、
   前記被検体を上方から押さえるキャップと、
   前記テーブルに載せられる前記被検体を検査する請求項１乃至５のいずれか１つに記載の検査装置と、
   を備える、
   検査システム。
   

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