KR20160081144A - 광학식 판재 표면검사장치 및 판재 표면검사방법 - Google Patents

광학식 판재 표면검사장치 및 판재 표면검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 판재에 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하여 상기 판재에서 제1검사영역에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제1검사부, 상기 판재에 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하여 상기 제1검사영역에 대한 제2검사이미지를 획득하는 제2검사부, 상기 판재 및 상기 제1검사부 사이에 위치하여 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 제1필터부, 및 상기 판재 및 상기 제2검사부 사이에 위치하여 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 제2필터부를 포함하는 광학식 판재 표면검사장치 및 판재 표면검사방법에 관한 것이다.

Description

광학식 판재 표면검사장치 및 판재 표면검사방법{Apparatus and Method for Optically Inspecting Surface of Plate Member}
본 발명은 강판 등과 같은 판재의 표면을 검사하는 광학식 판재 표면검사장치 및 판재 표면검사방법에 관한 것이다.
표면 검사장치는 강판 등과 같은 판재의 표면에 색차 결함, 깊이 결함 등이 존재하는지 여부를 검사하는 것이다. 색차 결함은 얼룩 등과 같이 색상 차이로 인해 발생하는 결함이다. 깊이 결함은 스크레치, 크랙 등과 같은 물리적 손상으로 인해 발생하는 결함이다.
도 1은 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치의 개략적인 구성도이다.
도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)는 판재(10)에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사부(110), 및 상기 판재(10)에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사부(120)를 포함한다.
상기 제1검사부(110)는 상기 판재(10)에 백색의 검사광을 조사하는 제1조명기구(111), 및 상기 제1조명기구(111)가 방출한 검사광을 이용하여 상기 판재(10)의 표면을 촬영하는 제1비젼기구(112)를 포함한다. 상기 제1검사부(110)는 상기 제1비젼기구(112)가 획득한 검사영상을 이용하여 상기 판재(10)에 대한 색차 결함을 검출한다. 이를 위해, 상기 제1조명기구(111)가 방출한 검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도, 및 상기 제1비젼기구(112)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도는 동일하게 구성된다.
상기 제2검사부(120)는 상기 판재(10)에 백색의 검사광을 조사하는 제2조명기구(121), 및 상기 제2조명기구(121)가 방출한 검사광을 이용하여 상기 판재(10)의 표면을 촬영하는 제2비젼기구(122)를 포함한다. 상기 제2검사부(120)는 상기 제2비젼기구(122)가 획득한 검사영상을 이용하여 상기 판재(10)에 대한 깊이 결함을 검출한다. 이를 위해, 상기 제2조명기구(121)가 방출한 검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도, 및 상기 제2비젼기구(122)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도는 서로 다르게 구성된다. 이 경우, 상기 제2조명기구(121) 및 상기 제1조명기구(111) 각각이 방출한 검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도가 서로 다르게 구성된다.
여기서, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)는 상기 제1조명기구(111) 및 상기 제2조명기구(121)가 동시에 상기 판재(10)에 대해 동일한 검사영역에 검사광을 방출하면, 검사광이 서로 간섭됨에 따라 표면검사에 대한 정확성이 저하된다. 이를 해결하기 위해, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)는 상기 제1검사부(110) 및 상기 제2검사부(120)가 서로 소정 거리 이격된 위치에 설치되도록 구현된다.
따라서, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)는 상기 제1검사부(110) 및 상기 제2검사부(120)가 서로 소정 거리 이격된 위치에 설치되므로, 설치공간이 증대됨에 따라 공간 활용도가 저하되는 문제가 있다. 또한, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)에 있어서, 상기 제1비젼기구(112)가 상기 판재(10)에 대한 소정의 검사영역을 촬영한 후에, 상기 제2비젼기구(122)가 상기 제1비젼기구(112)가 촬영한 검사영역을 촬영하여야 한다. 그러나, 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치(100)는 설치 환경에 따라 상기 제1검사부(110) 및 상기 제2검사부(120)가 서로 이격된 거리가 증대되는 경우, 상기 제2비젼기구(122)가 상기 제1비젼기구(112)가 촬영한 검사영역과 동일한 검사영역을 촬영하도록 구현하기 어렵고, 상기 제1비젼기구(112)가 촬영한 검사영역을 추적 및 관리해야 하는 부담이 있는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 협소한 설치공간에서도 판재에 대한 색차 결함, 깊이 결함 등과 같은 이종(異種)의 검사를 수행할 수 있는 광학식 판재 표면검사장치 및 판재 표면검사방법을 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치는 판재에 가시광선을 조사하기 위한 제1조명기구; 상기 판재에서 상기 제1조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 제1검사영역에 적외선을 조사하기 위한 제2조명기구; 상기 제1검사영역을 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득하는 제1비젼기구; 상기 제1검사영역을 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득하는 제2비젼기구; 상기 판재와 상기 제1비젼기구 사이에 위치하여 가시광선을 통과시킴과 동시에 적외선을 차단하는 제1필터부; 및 상기 판재와 상기 제2비젼기구 사이에 위치하여 적외선을 통과시킴과 동시에 가시광선을 차단하는 제2필터부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치는 판재의 일면에 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하여 상기 판재의 일면에서 제1검사영역에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제1검사부; 상기 판재의 일면에 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하여 상기 제1검사영역에 대한 제2검사이미지를 획득하는 제2검사부; 상기 판재의 일면 및 상기 제1검사부 사이에 위치하여 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 제1필터부; 및 상기 판재의 일면 및 상기 제2검사부 사이에 위치하여 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 제2필터부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치는 판재의 상측에 위치하고 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 이용하여 상기 판재의 일면에서 제1검사영역에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제1비젼기구; 상기 제1비젼기구의 양측에 위치하고, 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 이용하여 상기 판재의 일면에서 상기 제1검사영역에 대한 제2검사이미지를 획득하는 N개(N은 1보다 큰 정수)의 제2비젼기구; 상기 판재의 일면 및 상기 제1비젼기구 사이에 위치하여 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 제1필터부; 및 상기 판재의 일면 및 상기 복수개의 제2비젼기구 사이에 위치하여 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 제2필터부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 판재에 제1검사영역에 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하고, 상기 판재에 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하는 단계; 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 판재에 대해 상기 판재에 반사된 제1검사광만을 이용하여 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득하는 단계; 및 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 판재에 대해 상기 판재에 반사된 제2검사광만을 이용하여 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 제1검사이미지를 획득하는 단계 및 상기 제2검사이미지를 획득하는 단계는 병행하여 이루어질 수 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 전체적인 크기를 감소시켜서 공간활용도를 향상시킬 수 있도록 구현됨으로써, 협소한 설치공간에서도 판재에 대한 이종(異種)의 검사를 수행할 수 있고, 판재에 대한 이종의 검사를 수행하는 작업의 용이성을 향상시킬 수 있다.
본 발명은 판재에 대한 이종의 검사를 수행하는 과정에서 검사광에 대해 충반한 노출시간이 확보되도록 구현됨으로써, 구축비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 영상 처리 부하를 감소시킬 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 판재 표면검사장치의 개략적인 구성도
도 2는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 측면 구성도
도 3은 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치를 도 2에 도시된 것과 반대되는 방향에서 바라본 모습을 나타낸 개략적인 측면 구성도
도 4는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 정면 구성도
도 5 및 도 6은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 측면 구성도
도 7은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치를 도 6에 도시된 것과 반대되는 방향에서 바라본 모습을 나타낸 개략적인 측면 구성도
도 8은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 정면 구성도
도 9는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법의 개략적인 순서도
이하에서는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 측면 구성도, 도 3은 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치를 도 2에 도시된 것과 반대되는 방향에서 바라본 모습을 나타낸 개략적인 측면 구성도, 도 4는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 정면 구성도, 도 5 및 도 6은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 측면 구성도, 도 7은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치를 도 6에 도시된 것과 반대되는 방향에서 바라본 모습을 나타낸 개략적인 측면 구성도, 도 8은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치의 개략적인 정면 구성도이다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 강판 등과 같은 판재(10)를 검사하는 것이다.
본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 판재(10)에 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하여 제1검사영역(IA1)에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제1검사부(2), 상기 판재(10)에 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하여 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제2검사이미지를 획득하는 제2검사부(3), 상기 판재(10)와 상기 제1검사부(2) 사이에 위치하는 제1필터부(4), 및 상기 판재(10)와 상기 제2검사부(3) 사이에 위치하는 제2필터부(5)를 포함한다.
상기 제1필터부(4)는 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제1필터부(4)는 상기 제1검사부(2)에 상기 제1검사광만 입사되도록 한다. 상기 제2필터부(5)는 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제2필터부(5)는 상기 제2검사부(3)에 상기 제2검사광만 입사되도록 한다.
따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1검사영역(IA1)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사되더라도, 상기 제1검사부(2)가 상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하고, 상기 제2검사부(3)가 상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하도록 구현된다.
이에 따라, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1검사부(2) 및 상기 제2검사부(3)가 동일한 제1검사영역(IA1)에 대해 검사이미지를 획득하는 작업을 병행하여 수행하도록 구현됨으로써, 상기 제1검사부(2) 및 상기 제2검사부(3)가 서로 이격된 거리를 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 전체적인 크기를 감소시켜서 공간활용도를 향상시킬 수 있으므로, 협소한 설치공간에서도 상기 판재(10)에 대한 이종(異種)의 검사를 수행할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1검사부(2) 또는 상기 제2검사부(3)가 촬영한 검사영역을 추적 및 관리하지 않고도, 상기 제1검사부(2) 및 상기 제2검사부(3)가 동일한 제1검사영역(IA1)에 대해 검사이미지를 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 판재(10)에 대한 이종의 검사를 수행하는 작업의 용이성을 향상시킬 수 있다.
이하에서는 상기 제1검사부(2), 상기 제2검사부(3), 상기 제1필터부(4), 및 상기 제2필터부(5)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제1검사부(2)는 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제1검사이미지를 획득한다. 상기 제1검사영역(IA1)은 상기 판재(10)의 일면(11)으로, 상기 일면(11)의 일부 또는 전부일 수 있다. 상기 제1검사부(2)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제1검사광을 조사하고, 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제1검사광을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 제1검사광은 제1파장대역에 속하는 것으로, 예컨대 가시광선(Visible Light)일 수 있다.
상기 제1검사부(2)는 획득한 제1검사이미지로부터 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 색차 결함을 검사할 수 있다. 색차 결함은 얼룩 등과 같이 색상 차이로 인해 발생하는 결함이다. 상기 제1검사부(2)는 획득한 제1검사이미지 및 제1기준이미지를 비교함으로써, 상기 판재(10)에서 상기 제1검사영역(IA1)에 속하는 부분에 색차 결함이 있는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제1기준이미지는 색차 결함이 없는 판재(10)에 대한 이미지이다. 상기 제1검사부(2)에는 상기 제1기준이미지가 미리 저장되어 있다.
상기 제1검사부(2)는 제1조명기구(21), 및 제1비젼기구(22)를 포함할 수 있다.
상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)에 상기 제1검사광을 조사한다. 상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제1검사광을 조사할 수 있다. 이 경우, 상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제1조명기구(21)는 상기 제1검사영역(IA1)에 상기 제1검사광을 조사한다. 상기 제1조명기구(21)는 상기 제1검사영역(IA1) 및 상기 제1검사영역(IA1)의 주변에 위치한 부분을 포함한 영역에 상기 제1검사광을 조사할 수도 있다. 상기 제1조명기구(21)는 상기 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사할 수 있다. 상기 제1검사광은 가시광선일 수 있다.
상기 제1비젼기구(22)는 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영하여 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득한다. 상기 제1비젼기구(22)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제1검사광을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영할 수 있다. 상기 제1비젼기구(22)는 CCD 카메라를 포함할 수 있다. 상기 제1비젼기구(22)는 카메라 및 판재 사이에 위치하는 복수의 렌즈군을 더 포함할 수도 있다.
상기 제1비젼기구(22)는 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제1비젼기구(22)는 상기 판재(10)에 대해 소정 각도(22a)로 기울어지게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1조명기구(21)는 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도(22a)와 동일한 각도(21a)로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된다. 이에 따라, 상기 제1조명기구(21)가 방출한 제1검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도(21a), 및 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도(22a)는 서로 동일하게 구성된다. 즉, 상기 제1검사부(2)는 색차 결함을 검사하는데 효과적인 전반사 광학계로 구현된다.
상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)의 일면(11) 측에서 상기 제1검사영역(IA1)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제1조명기구(21)는 제1검사본체(미도시)에 설치될 수 있다. 상기 제1검사본체는 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제1조명기구(21)가 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 위치되도록 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제1조명기구(21)를 지지할 수 있다.
상기 제1비젼기구(22)는 상기 판재(10)의 상측에 위치하고, 상기 검사광을 이용하여 상기 판재(10)의 일면에서 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제1검사이미지를 획득할 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제2검사부(3)는 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제2검사이미지를 획득한다. 상기 제2검사부(3)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제2검사광을 조사하고, 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제2검사광을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 제2검사광은 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 것으로, 예컨대 적외선(IR, Infrared Ray)일 수 있다.
상기 제2검사부(3)는 획득한 제2검사이미지로부터 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 깊이 결함을 검사할 수 있다. 깊이 결함은 스크레치, 크랙 등과 같은 물리적 손상으로 인해 발생하는 결함이다. 상기 제2검사부(3)는 획득한 제2검사이미지 및 제2기준이미지를 비교함으로써, 상기 판재(10)에서 상기 제1검사영역(IA1)에 속하는 부분에 깊이 결함이 있는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제2기준이미지는 깊이 결함이 없는 판재(10)에 대한 이미지이다. 상기 제2검사부(3)에는 상기 제2기준이미지가 미리 저장되어 있다.
상기 제2검사부(3)는 제2조명기구(31), 및 제2비젼기구(32)를 포함할 수 있다.
상기 제2조명기구(31)는 상기 판재(10)에 상기 제2검사광을 조사한다. 상기 제2조명기구(31)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제2검사광을 조사할 수 있다. 이 경우, 상기 제2조명기구(31)는 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제2조명기구(31)는 상기 제1검사영역(IA1)에 상기 제2검사광을 조사한다. 상기 제2조명기구(31)는 상기 제1검사영역(IA1) 및 상기 제1검사영역(IA1)의 주변에 위치한 부분을 포함한 영역에 상기 제2검사광을 조사할 수도 있다. 상기 제2조명기구(31)는 상기 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사할 수 있다. 상기 제2검사광은 적외선일 수 있다.
상기 제2비젼기구(32)는 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영하여 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득한다. 상기 제2비젼기구(32)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제2검사광을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영할 수 있다. 상기 제2비젼기구(32)는 CCD 카메라를 포함할 수 있다. 상기 제2비젼기구(32)는 카메라 및 판재 사이에 위치하는 복수의 렌즈군을 더 포함할 수도 있다.
상기 제2비젼기구(32)는 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제2비젼기구(32)는 상기 판재(10)에 대해 소정 각도(32a)로 기울어지게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2조명기구(31)는 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도(32a)와 다른 각도(31a)로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된다. 이에 따라, 상기 제2조명기구(31)가 방출한 제2검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도(31a), 및 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도(32a)는 서로 다르게 구성된다. 즉, 상기 제2검사부(3)는 깊이 결함을 검사하는데 효과적인 다크필드 광학계로 구현된다. 상기 제2조명기구(31)는 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도(32a)에 비해 더 작은 각도(31a)로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치될 수 있다.
상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제2조명기구(31)는 상기 판재(10)의 일면(11) 측에서 상기 제1검사영역(IA1)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제2조명기구(31)는 제2검사본체(미도시)에 설치될 수 있다. 상기 제2검사본체는 상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제2조명기구(31)가 상기 판재(10)의 일면(11)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 위치되도록 상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제2조명기구(31)를 지지할 수 있다.
상기 제2검사부(3)는 상기 제2비젼기구(32)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제2비젼기구(32)들 사이에 위치되게 설치된다. 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제2비젼기구(32)들 각각에 비해 더 큰 시야각(FOV: Field of View)을 갖도록 구현된다. 이에 따라, 상기 제1검사부(2)는 하나의 제1비젼기구(22)로 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영하고, 상기 제2검사부(3)는 복수개의 제2비젼기구(32)로 상기 제1검사영역(IA1)을 나누어 촬영할 수 있다. 이 경우, 상기 제2검사부(3)는 상기 제1검사부(2)에 비해 더 높은 해상도로 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1비젼기구(22)가 상기 제2비젼기구(32)에 비해 더 큰 시야각을 가지면서 상기 제2비젼기구(32)에 비해 더 낮은 해상도로 제1검사이미지를 획득하도록 구현된다. 색차 결함은 깊이 결함에 비해 상대적으로 더 크고, 낮은 해상도에서도 검출이 용이하게 때문이다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 시야각 확대를 통해 색차 결함을 검사하기 위한 제1비젼기구(22)의 개수를 줄일 수 있고, 해상도 조절을 통해 색차 결함을 검사하기 위한 제1비젼기구(22)가 불필요하게 높은 해상도로 제1검사이미지를 획득하지 않도록 구현됨으로써, 구축 비용을 절감할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 제2비젼기구(32)가 상기 제1비젼기구(22)에 비해 더 작은 시야각을 가지면서 상기 제1비젼기구(22)에 비해 더 높은 해상도로 제2검사이미지를 획득하도록 구현된다. 깊이 결함은 색차 결함에 비해 미세하여 낮은 해상도에서 검출이 어렵기 때문이다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 시야각 축소를 통해 깊이 결함을 검사하기 위한 제2비젼기구(32)의 해상도를 높임과 동시에 분할 촬영을 통해 제1검사영역(IA1) 전체에 대한 제2검사이미지를 획득하도록 구현됨으로써, 깊이 결함에 대한 검사의 정확성을 향상시킬 수 있다.
예컨대, 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제2비젼기구(32)는 시야각 및 해상도가 2배 차이가 나도록 구현될 수 있다. 상기 제1비젼기구(22)의 시야각이 상기 제2비젼기구(32)의 시야각에 비해 2배 크고, 상기 제2비젼기구(32)의 해상도가 상기 제1비젼기구(22)의 해상도에 비해 2배 높게 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 제1비젼기구(22)는 2개의 제2비젼기구(32)들 사이에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제2비젼기구(32)들에 비해 상기 판재(10)로부터 더 먼 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제2비젼기구(32)들은 각각의 시야각이 일부 중첩되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2비젼기구(32)들이 상기 제1검사영역(IA1)을 분할 촬영하는 과정에서 상기 판재(10)에서 촬영되지 않는 부분이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 4에는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)가 2개의 제2비젼기구(32) 및 1개의 제1비젼기구(22)를 포함하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제1비젼기구(22)의 개수를 줄이면서 상기 제2비젼기구(32)가 충분한 해상도를 갖는 제2검사이미지를 획득할 수 있으면 상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제1비젼기구(22) 각각의 개수는 다양하게 조합될 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1검사영역(IA1)을 나누어 촬영하도록 N개(N은 1보다 큰 정수)의 제2비젼기구(32)를 포함하고, 상기 제2비젼기구(32)에 비해 시야각이 더 큰 M개(M은 0보다 크고 N보다 작은 정수)의 제1비젼기구(22)를 포함할 수 있다.
상기 제2비젼기구(32)들은 상기 제1비젼기구(22)의 양측에 위치하고, 상기 제2검사광을 이용하여 상기 판재(10)의 일면에서 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제2검사이미지를 획득할 수 있다.
상기 제2비젼기구(32) 및 상기 제1비젼기구(22)는 동일한 분해능을 가질 수 있다. 이 경우, 상기 제2비젼기구(32)가 N개이고, 상기 제1비젼기구(22)가 하나이면, 상기 제2비젼기구(32)는 상기 제1비젼기구(22)의 시야각(FOV) 보다 1/N의 시야각을 가질 수 있다. 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제2비젼기구(22) 보다 상기 판재(10)로부터 더 높은 상측에 위치할 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제1필터부(4)는 상기 판재(10)와 상기 제1검사부(2) 사이에 위치한다. 상기 제1필터부(4)는 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제1필터부(4)는 상기 제1검사영역(IA1)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사되더라도, 상기 제1검사부(2)가 상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하도록 한다. 상기 제1검사광이 가시광선이고 상기 제2검사광이 적외선인 경우, 상기 제1필터부(4)는 가시광선을 통과시킴과 동시에 적외선을 차단할 수 있다.
상기 제1필터부(4)는 상기 판재(10)의 일면(11) 및 상기 제1비젼기구(22) 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1필터부(4)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제1검사광과 제2검사광 중에서 상기 제1검사광만을 통과시킴으로써, 상기 제1비젼기구(22)에 상기 제1검사광만이 입사되도록 한다. 상기 제1필터부(4)는 상기 제1검사본체에 설치될 수 있다. 상기 제1검사부(2)가 상기 제1비젼기구(22)를 복수개 포함하는 경우, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1필터부(4)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1비젼기구(22)와 동일한 개수의 제1필터부(4)를 포함할 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참고하면, 상기 제2필터부(5)는 상기 판재(10)와 상기 제2검사부(3) 사이에 위치한다. 상기 제2필터부(5)는 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제2필터부(5)는 상기 제1검사영역(IA1)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사되더라도, 상기 제2검사부(3)가 상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하도록 한다. 상기 제1검사광이 가시광선이고 상기 제2검사광이 적외선인 경우, 상기 제2필터부(5)는 적외선을 통과시킴과 동시에 가시광선을 차단할 수 있다.
상기 제2필터부(5)는 상기 판재(10)의 일면(11) 및 상기 제2비젼기구(32) 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2필터부(5)는 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제1검사광과 제2검사광 중에서 상기 제2검사광만을 통과시킴으로써, 상기 제2비젼기구(32)에 상기 제2검사광만이 입사되도록 한다. 상기 제2필터부(5)는 상기 제2검사본체에 설치될 수 있다. 상기 제2검사부(3)가 상기 제2비젼기구(32)를 복수개 포함하는 경우, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제2필터부(5)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제2비젼기구(32)와 동일한 개수의 제2필터부(5)를 포함할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1검사영역(IA1)에 제1검사광 및 제2검사광이 동시에 조사되고 있는 상태에서, 상기 제1검사부(2) 및 상기 제2검사부(3)가 각각 상기 제1필터부(4) 및 상기 제2필터부(5)를 통해 선택적으로 입사된 검사광만을 이용하여 제1검사이미지 및 제2검사이미지를 병행하여 획득할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 시간 분할 타입으로 구현되는 비교예와 대비할 때, 다음과 같은 장점을 갖는다.
우선, 시간 분할 타입으로 구현되는 실시예는 하나의 카메라 및 2개의 조명을 이용하여 판재(10)에 대한 색차 결함 및 깊이 결함을 검사하는 것이다. 비교예에 있어서, 2개의 조명 중에서 어느 하나인 제1조명은 상기 카메라가 판재를 촬영하는 촬영각도와 동일한 투사각도로 백색의 검사광을 조사하여 상기 카메라와 전반사 광학계를 구성하고, 2개의 조명 중에서 다른 하나인 제2조명은 상기 카메라가 판재를 촬영하는 촬영각도와 다른 투사각도로 백색의 검사광을 조사하여 상기 카메라와 다크필드 광학계를 구성한다.
이와 같이 구성되는 비교예는 상기 카메라가 판재를 촬영하는 시야각에, 상기 제1조명이 일부 시간 동안 판재에 백색의 검사광을 조사한 후에 제2조명이 남은 시간 동안 판재에 백색의 검사광을 조사한다. 그 후, 비교예는 상기 카메라가 획득한 검사이미지를 영상처리작업을 통해 2개의 검사이미지로 분리함으로써, 각 검사이미지를 통해 색차 결함 및 깊이 결함을 검사한다.
이러한 비교예는 첫째로, 카메라가 판재를 촬영하는 시간을 분할하여 제1조명과 제2조명이 번갈아서 판재에 백색의 검사광을 조사하므로, 광량 확보가 어려운 문제가 있다. 제1조명과 제2조명이 카메라가 판재를 촬영하는 시간을 분할하여 백색의 검사광을 조사하므로, 제1조명과 제2조명 각각에 대한 노출시간이 짧아지기 때문이다. 이를 해결하기 위해서 비교예는, 짧은 노출시간에도 충분한 광량을 확보하기 위해 강한 세기의 검사광을 조사할 수 있는 고가의 조명을 사용하거나, 카메라가 판재를 촬영하는 시간을 늘려야 한다.
이와 달리, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1조명기구(21) 및 상기 제2조명기구(22)가 상기 제1검사영역(IA1)에 제1검사광 및 제2검사광을 동시에 조사하고, 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제2비젼기구(23)가 상기 제1검사이미지 및 상기 제2검사이미지를 병행하여 획득하도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 비교예와 대비할 때 저가의 제1조명기구(21) 및 제2조명기구(22)를 이용하더라도, 충분한 노출시간을 확보할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 비교예와 대비할 때 구축비용을 절감할 수 있고, 상기 제1검사이미지와 상기 제2검사이미지를 획득하는데 걸리는 시간을 단축할 수 있다.
둘째, 비교예는 하나의 카메라를 이용하므로, 깊이 결함을 검사하기 위해 분해능이 높은 카메라를 이용하여야 한다. 이에 따라, 비교예는 높은 분해능이 요구되지 않는 색차 결함을 검사함에 있어서도 분해능이 높은 카메라를 이용하게 된다. 따라서, 비교예는 색차 결함을 검사하기 위한 검사이미지 또한 큰 용량을 갖게 되므로, 영상처리작업을 통해 2개의 검사이미지로 분리함에 있어서 영상 처리 부하가 증대되는 문제가 있다.
이와 달리, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 색차 결함을 검사하기 위한 제1비젼기구(22) 및 깊이 결함을 검사하기 위한 제2비젼기구(32)가 별도로 구비되므로, 상기 제1비젼기구(22)가 상기 제2비젼기구(32)에 비해 낮은 분해능을 갖도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1비젼기구(22)가 불필요하게 높은 해상도로 제1검사이미지를 획득하지 않도록 구현됨으로써, 구축 비용을 절감할 수 있을 뿐만 아니라 영상 처리 부하를 감소시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제1비젼기구(22) 및 상기 제2비젼기구(32)가 별도로 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지 및 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이지미를 획득하므로, 비교예와 같이 획득한 검사이미지를 2개의 검사이미지로 분리하는 작업이 요구되지 않는다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 영상 처리 부하를 더 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 검사이미지를 분리하는 작업을 생략함으로써 검사 시간을 더 단축시킬 수 있는 장점을 갖는다.
도 5를 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 제3검사부(6)를 포함할 수 있다.
상기 제3검사부(6)는 상기 판재(10)에 상기 제1검사광을 조사하는 제3조명기구(61)를 포함한다.
상기 제3조명기구(61)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제1검사광을 조사한다. 상기 판재(10)의 타면(12)은 상기 일면(11)에 대해 반대되는 면이다. 예컨대, 상기 판재(10)의 일면(11)이 윗면인 경우, 상기 판재(10)의 타면(12)은 밑면일 수 있다. 상기 제3조명기구(61)는 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제3조명기구(61) 및 상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)에 서로 동일한 파장대역에 속하는 제1검사광을 조사할 수 있다. 상기 제3조명기구(61) 및 상기 제1조명기구(21)는 상기 판재(10)에 가시광선을 조사할 수 있다.
여기서, 상기 제1검사부(2)는 상기 제3검사부(6)가 방출한 제1검사광을 이용하여 상기 판재(10)에 대한 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득할 수 있다. 홀 결함은 판재(10)에 구멍이 뚫림에 따라 발생하는 결함이다. 이에 따라, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 판재(10)에 대한 색차 결함 및 깊이 결함뿐만 아니라 홀 결함도 검사할 수 있도록 구현된다.
이 경우, 상기 제1검사부(2)의 제1비젼기구(22)는, 상기 제3검사부(6)의 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광을 이용하여 상기 제3검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 판재(10)에 홀 결함이 있는 경우, 상기 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광은 상기 판재(10)를 통과하여 상기 제1검사부(2)에 입사하게 된다. 반면, 상기 판재(10)에 홀 결함이 없는 경우, 상기 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광은 상기 판재(10)를 통과하지 못하므로 상기 제1검사부(2)에 입사하지 못한다. 이러한 차이를 이용하여, 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광을 이용하여 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 제1검사부(2)는 획득한 제3검사이미지 및 제3기준이미지를 비교함으로써, 상기 판재(10)에서 상기 제1검사영역(IA1)에 속하는 부분에 홀 결함이 있는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제3기준이미지는 홀 결함이 없는 판재(10)에 대한 이미지이다. 상기 제1검사부(2)에는 상기 제3기준이미지가 미리 저장되어 있다.
상기 제3조명기구(61)는 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도(22a)와 동일한 각도(61a)로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제3조명기구(61) 및 상기 제1비젼기구(22)는 서로 마주보게 설치된다. 이에 따라, 상기 제3조명기구(61) 및 상기 제1비젼기구(22)는 동일선 상에 위치하도록 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 판재(10)에 미세한 홀 결합이 있는 경우에도 상기 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광이 상기 제1비젼기구(22)에 입사되도록 구현됨으로써, 상기 판재(10)에 대한 홀 결함 검사의 정확성을 향상시킬 수 있다. 상기 제3조명기구(61)는 제3검사본체(미도시)에 설치될 수 있다. 상기 제3검사본체는 상기 제3조명기구(61)가 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 위치하도록 상기 제3조명기구(61)를 지지할 수 있다.
도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 제3검사부(6)는 상기 판재(10)의 타면(12)을 검사할 수 있도록 구현될 수 있다.
이 경우, 상기 제3검사부(6)는 제2검사영역(IA2)에 대한 제1검사이미지를 획득한다. 상기 제2검사영역(IA2)은 상기 판재(10)의 타면(12)으로, 상기 타면(12)의 일부 또는 전부일 수 있다. 상기 제3검사부(6)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제1검사광을 조사하고, 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제1검사광을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 제1검사광은 제1파장대역에 속하는 것으로, 예컨대 가시광선(Visible Light)일 수 있다.
여기서, 상기 제1검사이미지는, 상기 제3검사부(6) 및 상기 제1검사부(2)가 각각 상기 판재(10)에 대해 소정의 검사를 수행하기 위해 상기 판재(10)를 촬영하여 획득한 검사이미지를 의미한다. 상기 제3검사부(6) 및 상기 제1검사부(2)가 상기 판재(10)에 대해 동일한 종류의 검사를 수행하도록 구현되므로, 동일하게 제1검사이미지를 획득하는 것으로 기재한 것이며, 상기 제3검사부(6) 및 상기 제1검사부(2)는 각각 개별적으로 제1검사이미지를 획득한다. 한편, 상기 제2검사영역(IA2)은 상기 제1검사영역(IA1)에 대해 대칭되는 위치일 수 있다.
상기 제3검사부(6)는 획득한 제1검사이미지로부터 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 색차 결함을 검사할 수 있다. 상기 제3검사부(6)는 획득한 제1검사이미지 및 상기 제1기준이미지를 비교함으로써, 상기 판재(10)에서 상기 제2검사영역(IA2)에 속하는 부분에 색차 결함이 있는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제3검사부(6)에는 상기 제1기준이미지가 미리 저장되어 있다.
상기 제3검사부(6)는 제3비젼기구(62)를 더 포함할 수 있다.
상기 제3비젼기구(62)는 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영하여 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득한다. 상기 제3비젼기구(62)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제1검사광을 이용하여 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영할 수 있다. 상기 제3비젼기구(62)는 CCD 카메라일 수 있다.
상기 제3비젼기구(62)는 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제3비젼기구(62)는 상기 판재(10)에 대해 소정 각도로 기울어지게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제3조명기구(61)는 상기 제3비젼기구(62)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도와 동일한 각도(61a)로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된다. 이에 따라, 상기 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도(61a), 및 상기 제3비젼기구(62)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도는 서로 동일하게 구성된다. 즉, 상기 제3검사부(6)는 색차 결함을 검사하는데 효과적인 전반사 광학계로 구현된다.
상기 제3비젼기구(62) 및 상기 제3조명기구(61)는 상기 판재(10)의 타면(12) 측에서 상기 제2검사영역(IA2)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제3비젼기구(62) 및 상기 제3조명기구(61)는 상기 제3검사본체에 설치될 수 있다. 상기 제3검사본체는 상기 제3비젼기구(62) 및 상기 제3조명기구(61)가 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 위치되도록 상기 제3비젼기구(62) 및 상기 제3조명기구(61)를 지지할 수 있다.
도 5 내지 도 8을 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 다른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 제4검사부(7, 도 7에 도시됨), 제3필터부(8, 도 6에 도시됨), 및 제4필터부(9, 도 7에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제4검사부(7)는 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 제2검사이미지를 획득한다. 상기 제4검사부(7)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제2검사광을 조사하고, 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제2검사광을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득할 수 있다. 상기 제2검사광은 상기 제2파장대역에 속하는 것으로, 예컨대 적외선(IR, Infrared Ray)일 수 있다.
여기서, 상기 제2검사이미지는, 상기 제4검사부(7) 및 상기 제2검사부(3)가 각각 상기 판재(10)에 대해 소정의 검사를 수행하기 위해 상기 판재(10)를 촬영하여 획득한 검사이미지를 의미한다. 상기 제4검사부(7) 및 상기 제2검사부(3)가 상기 판재(10)에 대해 동일한 종류의 검사를 수행하도록 구현되므로, 동일하게 제2검사이미지를 획득하는 것으로 기재한 것이며, 상기 제4검사부(7) 및 상기 제2검사부(3)는 각각 개별적으로 제2검사이미지를 획득한다.
상기 제4검사부(7)는 획득한 제2검사이미지로부터 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 깊이 결함을 검사할 수 있다. 상기 제4검사부(7)는 획득한 제2검사이미지 및 제2기준이미지를 비교함으로써, 상기 판재(10)에서 상기 제2검사영역(IA2)에 속하는 부분에 깊이 결함이 있는지 여부를 검사할 수 있다. 상기 제4검사부(7)에는 상기 제2기준이미지가 미리 저장되어 있다.
상기 제4검사부(7)는 제4조명기구(71), 및 제4비젼기구(72)를 포함할 수 있다.
상기 제4조명기구(71)는 상기 판재(10)에 상기 제2검사광을 조사한다. 상기 제4조명기구(71)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제2검사광을 조사할 수 있다. 이 경우, 상기 제4조명기구(71)는 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제4조명기구(71)는 상기 제2검사영역(IA2)에 상기 제2검사광을 조사한다. 상기 제4조명기구(71)는 상기 제2검사영역(IA2) 및 상기 제2검사영역(IA2)의 주변에 위치한 부분을 포함한 영역에 상기 제2검사광을 조사할 수도 있다. 상기 제4조명기구(71)는 상기 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사할 수 있다. 상기 제2검사광은 적외선일 수 있다.
상기 제4비젼기구(72)는 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영하여 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득한다. 상기 제4비젼기구(72)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제2검사광을 이용하여 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영할 수 있다. 상기 제4비젼기구(72)는 CCD 카메라일 수 있다.
상기 제4비젼기구(72)는 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 설치된다. 상기 제4비젼기구(72)는 상기 판재(10)에 대해 소정 각도로 기울어지게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제4조명기구(71)는 상기 제4비젼기구(72)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도와 다른 각도로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된다. 이에 따라, 상기 제4조명기구(71)가 방출한 제2검사광이 상기 판재(10)에 조사되는 투사각도, 및 상기 제4비젼기구(72)가 상기 판재(10)를 촬영하는 촬영각도는 서로 다르게 구성된다. 즉, 상기 제4검사부(7)는 깊이 결함을 검사하는데 효과적인 다크필드 광학계로 구현된다. 상기 제4조명기구(71)는 상기 제4비젼기구(72)가 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치된 각도에 비해 더 작은 각도로 상기 판재(10)에 대해 기울어지게 설치될 수 있다.
상기 제4비젼기구(72) 및 상기 제4조명기구(71)는 상기 판재(10)의 타면(12) 측에서 상기 제2검사영역(IA2)을 기준으로 서로 반대편에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제4비젼기구(72) 및 상기 제4조명기구(71)는 제2검사본체(미도시)에 설치될 수 있다. 상기 제2검사본체는 상기 제4비젼기구(72) 및 상기 제4조명기구(71)가 상기 판재(10)의 타면(12)으로부터 소정 거리 이격된 위치에 위치되도록 상기 제4비젼기구(72) 및 상기 제4조명기구(71)를 지지할 수 있다.
상기 제4검사부(7)는 상기 제4비젼기구(72)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제3비젼기구(62)는 상기 제4비젼기구(72)들 사이에 위치되게 설치된다. 상기 제3비젼기구(62)는 상기 제4비젼기구(72)들 각각에 비해 더 큰 시야각(Field of View)을 갖도록 구현된다. 이에 따라, 상기 제3검사부(6)는 하나의 제3비젼기구(62)로 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영하고, 상기 제4검사부(7)는 복수개의 제4비젼기구(72)로 상기 제2검사영역(IA2)을 나누어 촬영할 수 있다. 이 경우, 상기 제4검사부(7)는 상기 제3검사부(6)에 비해 더 높은 해상도로 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영할 수 있다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제3비젼기구(62)가 상기 제4비젼기구(72)에 비해 더 큰 시야각을 가지면서 상기 제4비젼기구(72)에 비해 더 낮은 해상도로 제1검사이미지를 획득하도록 구현된다. 색차 결함은 깊이 결함에 비해 상대적으로 더 크고, 낮은 해상도에서도 검출이 용이하게 때문이다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 시야각 확대를 통해 색차 결함을 검사하기 위한 제3비젼기구(62)의 개수를 줄일 수 있고, 해상도 조절을 통해 색차 결함을 검사하기 위한 제3비젼기구(62)가 불필요하게 높은 해상도로 제1검사이미지를 획득하지 않도록 구현됨으로써, 구축 비용을 절감할 수 있다.
둘째, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 제4비젼기구(72)가 상기 제3비젼기구(62)에 비해 더 작은 시야각을 가지면서 상기 제3비젼기구(62)에 비해 더 높은 해상도로 제2검사이미지를 획득하도록 구현된다. 깊이 결함은 색차 결함에 비해 미세하여 낮은 해상도에서 검출이 어렵기 때문이다. 따라서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 시야각 축소를 통해 깊이 결함을 검사하기 위한 제4비젼기구(72)의 해상도를 높임과 동시에 분할 촬영을 통해 제2검사영역(IA2) 전체에 대한 제2검사이미지를 획득하도록 구현됨으로써, 깊이 결함에 대한 검사의 정확성을 향상시킬 수 있다.
예컨대, 상기 제3비젼기구(62) 및 상기 제4비젼기구(72)는 시야각 및 해상도가 2배 차이가 나도록 구현될 수 있다. 상기 제3비젼기구(62)의 시야각이 상기 제4비젼기구(72)의 시야각에 비해 2배 크고, 상기 제4비젼기구(72)의 해상도가 상기 제1비젼기구(22)의 해상도에 비해 2배 높게 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 제3비젼기구(62)는 2개의 제4비젼기구(72)들 사이에 위치되게 설치될 수 있다. 상기 제3비젼기구(62)는 상기 제4비젼기구(72)들에 비해 상기 판재(10)로부터 더 먼 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제4비젼기구(72)들은 각각의 시야각이 일부 중첩되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제4비젼기구(72)들이 상기 제2검사영역(IA2)을 분할 촬영하는 과정에서 상기 판재(10)에서 촬영되지 않는 부분이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 8에는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)가 2개의 제4비젼기구(72) 및 1개의 제3비젼기구(62)를 포함하는 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 제3비젼기구(62)의 개수를 줄이면서 상기 제4비젼기구(72)가 충분한 해상도를 갖는 제2검사이미지를 획득할 수 있으면 상기 제4비젼기구(72) 및 상기 제1비젼기구(22) 각각의 개수는 다양하게 조합될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제2검사영역(IA2)을 나누어 촬영하도록 N개의 제4비젼기구(72)를 포함하고, 상기 제4비젼기구(72)에 비해 시야각이 더 큰 M개의 제3비젼기구(62)를 포함할 수 있다.
도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 제3필터부(8)는 상기 판재(10)와 상기 제3검사부(6) 사이에 위치한다. 상기 제3필터부(8)는 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제3필터부(8)는 상기 제2검사영역(IA2)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사되더라도, 상기 제3검사부(6)가 상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하도록 한다. 상기 제1검사광이 가시광선이고 상기 제2검사광이 적외선인 경우, 상기 제3필터부(8)는 가시광선을 통과시킴과 동시에 적외선을 차단할 수 있다.
상기 제3필터부(8)는 상기 판재(10)의 타면(12) 및 상기 제3비젼기구(62) 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제3필터부(8)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제1검사광과 제2검사광 중에서 상기 제1검사광만을 통과시킴으로써, 상기 제3비젼기구(62)에 상기 제1검사광만이 입사되도록 한다. 상기 제3필터부(8)는 상기 제3검사본체에 설치될 수 있다. 상기 제3검사부(6)가 상기 제3비젼기구(62)를 복수개 포함하는 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제3필터부(8)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제3비젼기구(62)와 동일한 개수의 제3필터부(8)를 포함할 수 있다.
도 6 내지 도 8을 참고하면, 상기 제4필터부(9)는 상기 판재(10)와 상기 제4검사부(7) 사이에 위치한다. 상기 제4필터부(9)는 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단한다. 이에 따라, 상기 제4필터부(9)는 상기 제2검사영역(IA2)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사되더라도, 상기 제4검사부(7)가 상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하도록 한다. 상기 제1검사광이 가시광선이고 상기 제2검사광이 적외선인 경우, 상기 제4필터부(9)는 적외선을 통과시킴과 동시에 가시광선을 차단할 수 있다.
상기 제4필터부(9)는 상기 판재(10)의 타면(12) 및 상기 제4비젼기구(72) 사이에 위치하도록 설치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제4필터부(9)는 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제1검사광과 제2검사광 중에서 상기 제2검사광만을 통과시킴으로써, 상기 제4비젼기구(72)에 상기 제2검사광만이 입사되도록 한다. 상기 제4필터부(9)는 상기 제4검사본체에 설치될 수 있다. 상기 제4검사부(7)가 상기 제4비젼기구(72)를 복수개 포함하는 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제4필터부(9)를 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)는 상기 제4비젼기구(72)와 동일한 개수의 제4필터부(9)를 포함할 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 9는 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법의 개략적인 순서도이다.
도 2 내지 도 9를 참고하면, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 강판 등과 같은 판재(10)를 검사하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 상술한 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1)에 의해 수행될 수 있다. 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 다음과 같은 구성을 포함할 수 있다.
우선, 상기 판재(10)에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광을 조사한다(S100). 이러한 공정(S100)은, 상기 제1조명기구(21)가 상기 판재(10)에 상기 제1검사광을 조사하고, 상기 제2조명기구(31)가 상기 판재(10)에 상기 제2검사광을 조사함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 판재(10)에는 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사될 수 있다.
다음, 상기 제1검사이미지를 획득한다(S200). 이러한 공정(S200)은, 상기 제1비젼기구(22)가 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 제1검사영역(IA1)에 대해 상기 판재(10)에 반사된 제1검사광만을 이용하여 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득함으로써 이루어질 수 있다.
상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S200)은, 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 공정(S210), 및 상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S220)을 포함할 수 있다.
상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 공정(S210)은, 상기 판재(10)와 상기 제1비젼기구(22) 사이에 위치한 제1필터부(4)가, 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단함으로써 이루어질 수 있다.
상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S220)은, 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)에 반사되어 상기 제1필터부(4)를 통과한 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제1검사이미지를 획득할 수 있다.
다음, 상기 제2검사이미지를 획득한다(S300). 이러한 공정(S300)은, 상기 제2비젼기구(32)가 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 제1검사영역(IA1)에 대해 상기 판재(10)에 반사된 제2검사광만을 이용하여 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득함으로써 이루어질 수 있다.
상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S300)은, 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 공정(S310), 및 상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S320)을 포함할 수 있다.
상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 공정(S310)은, 상기 판재(10)와 상기 제2비젼기구(32) 사이에 위치한 제2필터부(5)가, 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단함으로써 이루어질 수 있다.
상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S320)은, 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)에 반사되어 상기 제2필터부(5)를 통과한 제2검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 제2비젼기구(32)는 상기 제2검사이미지를 획득할 수 있다.
상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S300) 및 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S200)은 병행하여 이루어질 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.
첫째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 상기 제2검사이미지를 획득하기 위한 구성 및 상기 제1검사이미지를 획득하기 위한 구성이 서로 이격된 거리를 감소시킬 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 협소한 설치공간에서도 상기 판재(10)에 대한 이종(異種)의 검사를 수행할 수 있다.
둘째, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 동일한 제1검사영역(IA1)에 대해 제1검사이미지 및 제2검사이미지를 획득할 수 있도록 구현됨으로써, 상기 판재(10)에 대한 이종의 검사를 수행하는 작업의 용이성을 향상시킬 수 있다.
도 2 내지 도 9를 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 표면검사방법은 제3검사이미지를 획득하는 공정(S400)을 더 포함할 수 있다.
상기 제3검사이미지를 획득하는 공정(S400)은 상기 판재(10)를 통과한 제1검사광을 이용하여 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득하는 것이다. 이러한 공정(S400)은, 상기 판재(10)의 일면(11) 쪽에 위치한 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)의 타면(12) 쪽에 위치한 제3조명기구(61)가 방출한 제1검사광을 이용하여 상기 제3검사이미지를 획득함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 상기 판재(10)에 대한 색차 결함 및 깊이 결함뿐만 아니라 홀 결함도 검사할 수 있도록 구현된다.
상기 제3검사이미지를 획득하는 공정(S400)이 수행되는 경우, 상기 제1조명기구(21) 및 상기 제2조명기구(31)는 각각 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광을 방출하지 않도록 제어될 수 있다. 상기 제3검사이미지를 획득하는 공정(S400)은 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S200)이 수행된 이후 또는 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S200)이 수행되기 이전에 수행될 수 있다.
여기서, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사방법은, 상기 판재(10)의 일면(11) 및 상기 판재(10)의 타면(12)에 대해 각각 상기 제1검사이미지 및 상기 제2검사이미지를 획득하도록 구현될 수 있다. 이 경우, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 광학식 판재 표면검사방법은 다음과 같이 구현될 수 있다.
우선, 상기 판재에 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광을 조사하는 공정(S100)은, 상기 제1조명기구(21)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제1검사광을 조사, 상기 제2조명기구(31)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 상기 제2검사광을 조사, 상기 제3조명기구(61)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제1검사광을 조사, 상기 제4조명기구(71)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 상기 제2검사광을 조사함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 판재(10)의 일면(11) 및 타면(12)에는 각각 상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 동시에 조사될 수 있다.
다음, 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S200)은, 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제1검사이미지를 획득하고, 상기 제3비젼기구(62)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제1검사광만을 이용하여 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 제1검사이미지를 획득함으로써 이루어질 수 있다.
이 경우, 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 공정(S210)은, 상기 판재(10)의 일면(11) 및 상기 제1비젼기구(22) 사이에 위치한 제1필터부(4)가 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하고, 상기 판재(10)의 타면(12) 및 상기 제3비젼기구(62) 사이에 위치한 제3필터부(8)가 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단함으로써 이루어질 수 있다.
상기 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사이미지를 획득하는 공정(S220)은, 상기 제1비젼기구(22)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사되어 상기 제1필터부(4)를 통과한 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영하고, 상기 제3비젼기구(62)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사되어 상기 제3필터부(8)를 통과한 제1검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 제1비젼기구(22)는 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제1검사이미지를 획득하고, 상기 제3비젼기구(62)는 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 제1검사이미지를 획득할 수 있다.
다음, 상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S300)은, 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사된 제2검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제2검사이미지를 획득하고, 상기 제4비젼기구(72)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사된 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 제2검사이미지를 획득함으로써 이루어질 수 있다.
이 경우, 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 공정(S310)은, 상기 판재(10)의 일면(11) 및 상기 제2비젼기구(32) 사이에 위치한 제2필터부(5)가 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하고, 상기 판재(10)의 타면(12) 및 상기 제4비젼기구(72) 사이에 위치한 제4필터부(9)가 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단함으로써 이루어질 수 있다.
상기 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사이미지를 획득하는 공정(S320)은, 상기 제2비젼기구(32)가 상기 판재(10)의 일면(11)에 반사되어 상기 제2필터부(5)를 통과한 제2검사광만을 이용하여 상기 제1검사영역(IA1)을 촬영하고, 상기 제4비젼기구(72)가 상기 판재(10)의 타면(12)에 반사되어 상기 제4필터부(9)를 통과한 제2검사광만을 이용하여 상기 제2검사영역(IA2)을 촬영함으로써 이루어질 수 있다. 이에 따라, 상기 제2비젼기구(32)는 상기 제1검사영역(IA1)에 대한 제2검사이미지를 획득하고, 상기 제4비젼기구(72)는 상기 제2검사영역(IA2)에 대한 제2검사이미지를 획득할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 예컨대, 본 발명에 따른 광학식 판재 표면검사장치(1) 및 광학식 판재 표면검사방법은 강판 외에 금속, 유리, 플라스틱 또는 종이 등으로 제조된 판재(10)에 대해서도 검사를 수행할 수 있다.
1 : 광학식 판재 표면검사장치 2 : 제1검사부
3 : 제2검사부 4 : 제1필터부
5 : 제2필터부 6 : 제3검사부
7 : 제4검사부 8 : 제3필터부
9 : 제4필터부 10 : 판재
21 : 제1조명기구 22 : 제1비젼기구
31 : 제2조명기구 32 : 제2비젼기구
61 : 제3조명기구 62 : 제3비젼기구
71 : 제4조명기구 72 : 제4비젼기구

Claims (14)

  1. 판재에 가시광선을 조사하기 위한 제1조명기구;
    상기 판재에서 상기 제1조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 제1검사영역에 적외선을 조사하기 위한 제2조명기구;
    상기 제1검사영역을 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득하는 제1비젼기구;
    상기 제1검사영역을 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득하는 제2비젼기구;
    상기 판재와 상기 제1비젼기구 사이에 위치하여 가시광선을 통과시킴과 동시에 적외선을 차단하는 제1필터부; 및
    상기 판재와 상기 제2비젼기구 사이에 위치하여 적외선을 통과시킴과 동시에 가시광선을 차단하는 제2필터부를 포함하는 광학식 판재 표면검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1검사영역을 나누어 촬영하도록 N개(N은 1보다 큰 정수)의 제2비젼기구가 구비되고,
    상기 제1비젼기구는 M개(M은 0보다 크고 N보다 작은 정수)가 구비되되, 상기 제2비젼기구에 비해 시야각(FOV: Field of View)이 더 큰 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 판재의 일면에 대해 반대되는 판재의 타면에 가시광선을 조사하기 위한 제3조명기구를 포함하고,
    상기 제1비젼기구는 상기 제3조명기구가 방출한 가시광선을 이용하여 상기 판재에 대한 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 판재의 일면에 대해 반대되는 판재의 타면에 가시광선을 조사하기 위한 제3조명기구를 포함하고,
    상기 제3조명기구는 상기 제1비젼기구가 상기 판재에 대해 기울어지게 설치된 각도와 동일한 각도로 상기 판재에 대해 기울어지게 설치되며,
    상기 제1비젼기구는 상기 제3조명기구와 마주보게 설치되는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 판재의 일면에 대해 반대되는 판재의 타면에 가시광선을 조사하기 위한 제3조명기구;
    상기 판재의 타면에서 상기 제3조명기구가 방출한 가시광선이 조사되는 제2검사영역에 적외선을 조사하기 위한 제4조명기구;
    상기 제2검사영역을 촬영하여 상기 제2검사영역에 대한 색차 결함을 검사하는 제3비젼기구;
    상기 제2검사영역을 촬영하여 상기 제2검사영역에 대한 깊이 결함을 검사하는 제4비젼기구;
    상기 판재와 상기 제3비젼기구 사이에 위치하여 가시광선을 통과시킴과 동시에 적외선을 차단하는 제3필터부; 및
    상기 판재와 상기 제4비젼기구 사이에 위치하여 적외선을 통과시킴과 동시에 가시광선을 차단하는 제4필터부를 포함하는 광학식 판재 표면검사장치.
  6. 판재의 일면에 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하여 상기 판재의 일면에서 제1검사영역에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제1검사부;
    상기 판재의 일면에 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하여 상기 제1검사영역에 대한 제2검사이미지를 획득하는 제2검사부;
    상기 판재의 일면 및 상기 제1검사부 사이에 위치하여 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 제1필터부; 및
    상기 판재의 일면 및 상기 제2검사부 사이에 위치하여 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 제2필터부를 포함하는 광학식 판재 표면검사장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 판재의 타면에 상기 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하여 상기 판재의 타면에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제3검사부;
    상기 판재의 타면에 상기 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하여 상기 판재의 타면에 대한 제2검사이미지를 획득하는 제4검사부;
    상기 판재의 타면 및 상기 제3검사부 사이에 위치하여 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 제3필터부; 및
    상기 판재의 타면 및 상기 제4검사부 사이에 위치하여 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 제4필터부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 판재의 타면에 상기 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하여 상기 판재의 타면에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제3검사부를 포함하고;
    상기 제1검사부는 상기 제3검사부가 방출한 제1검사광을 이용하여 상기 판재에 대한 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 제1검사부는 상기 제1검사영역을 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득하는 제1비젼기구를 포함하고;
    상기 제2검사부는 상기 제1검사영역을 나누어 촬영하여 상기 제1검사영역에 대한 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득하는 복수개의 제2비젼기구를 포함하며;
    상기 제1비젼기구는 상기 제2비젼기구들 사이에 위치하도록 설치되되, 상기 제2비젼기구들 각각에 비해 시야각(FOV)이 더 큰 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.
  10. 판재의 상측에 위치하고 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 이용하여 상기 판재의 일면에서 제1검사영역에 대한 제1검사이미지를 획득하는 제1비젼기구;
    상기 제1비젼기구의 양측에 위치하고, 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 이용하여 상기 판재의 일면에서 상기 제1검사영역에 대한 제2검사이미지를 획득하는 N개(N은 1보다 큰 정수)의 제2비젼기구;
    상기 판재의 일면 및 상기 제1비젼기구 사이에 위치하여 상기 제1검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제2검사광을 차단하는 제1필터부; 및
    상기 판재의 일면 및 상기 복수개의 제2비젼기구 사이에 위치하여 상기 제2검사광을 통과시킴과 동시에 상기 제1검사광을 차단하는 제2필터부를 포함하는 광학식 판재 표면검사장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1비젼기구와 상기 제2비젼기구는 동일한 분해능을 가지고,
    상기 제2비젼기구는 상기 제1비젼기구의 시약각(FOV) 보다 1/N의 시야각을 가지는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제1비젼기구는 상기 제2비젼기구 보다 상기 판재로부터 더 높은 상측에 위치하는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사장치.
  13. 판재에 제1검사영역에 제1파장대역에 속하는 제1검사광을 조사하고, 상기 판재에 상기 제1파장대역과 다른 제2파장대역에 속하는 제2검사광을 조사하는 단계;
    상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 판재의 상기 제1검사영역에 대해 상기 판재에 반사된 제1검사광만을 이용하여 색차 결함을 검사하기 위한 제1검사이미지를 획득하는 단계; 및
    상기 제1검사광 및 상기 제2검사광이 조사되는 판재의 상기 제1검사영역에 대해 상기 판재에 반사된 제2검사광만을 이용하여 깊이 결함을 검사하기 위한 제2검사이미지를 획득하는 단계를 포함하고,
    상기 제1검사이미지를 획득하는 단계 및 상기 제2검사이미지를 획득하는 단계는 병행하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 판재를 통과한 제1검사광을 이용하여 홀 결함을 검사하기 위한 제3검사이미지를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학식 판재 표면검사방법.
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