JP6462802B2 - 多孔質積層体、吸着緩衝材、及び吸着方法 - Google Patents
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Description
〔1〕
樹脂多孔体(a)を有し、
該樹脂多孔体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されている、
多孔質積層体。
〔2〕
前記樹脂多孔体(a)が、ポリオレフィン系樹脂を含む、前項〔1〕に記載の多孔質積層体。
〔3〕
前記ポリオレフィン系樹脂が、ポリエチレンを含む、前項〔2〕に記載の多孔質積層体。
〔4〕
前記ポリエチレンの密度が、890〜970kg/m3である、前項〔3〕に記載の多孔質積層体。
〔5〕
前記樹脂多孔体(a)が、樹脂粉末の焼結成形体を含む、前項〔1〕〜〔4〕のいずれか1項に記載の多孔質積層体。
〔6〕
前記シート(b)が、織布、不織布、又は細孔シートのいずれかである、前項〔1〕〜〔5〕のいずれか1項に記載の多孔質積層体。
〔7〕
前記シート(b)の表面粗さ(Ra)が、0.1〜10μmである、前項〔1〕〜〔6〕のいずれか1項に記載の多孔質積層体。
〔8〕
厚さが0.06〜15mmである、前項〔1〕〜〔7〕のいずれか1項に記載の多孔質積層体。
〔9〕
曲げ弾性率が30〜3000MPaであり、
通気量が0.3〜30cm3/cm2/sである、前項〔1〕〜〔8〕のいずれか1項に記載の多孔質積層体。
〔10〕
前項〔1〕〜〔9〕のいずれか1項に記載の多孔質積層体を含む、吸着緩衝材。
〔11〕
前項〔10〕に記載の吸着緩衝材を用いて薄膜を吸着する、吸着方法。
〔12〕
薄膜がセラミックグリーンシートである、前項〔11〕に記載の吸着方法。
本実施形態に係る多孔質積層体は、
樹脂多孔体(a)を有し、
該樹脂多孔体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されている。
樹脂多孔体(a)を構成する樹脂としては、特に限定されないが、例えば、熱可塑性樹脂、又は熱硬化性樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂としては、特に限定されないが、具体的には、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアリレート、液晶ポリエステル、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアルコール、エチレン酢酸ビニル、ポリスチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体樹脂、ポリメチルメタクリレート、ポリアミド系樹脂、ポリアセタール、ポリカーボネート、フッ素系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサルファイド等が挙げられる。
Mv=5.34×104×[η]1.49
本実施形態に係る多孔質積層体は、上記樹脂多孔体(a)の少なくとも片面に、通気性を有し、表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されたものである。このようなシート(b)を用いることにより、表面平滑性の部分的なバラつきが少なく、優れた表面平滑性を有し、樹脂多孔体(a)からの原料粒子の脱落をより抑制することができる。
樹脂多孔体(a)とシート(b)を積層させるには、接着剤等を用いて接着してもよいし、熱によって融着させてもよい。
本実施形態に係る吸着緩衝材は、上記多孔質積層体を含む。本実施形態に係る多孔質積層体は、優れた表面平滑性、その表面平滑性に部分的なバラつきが少ないこと、原料粒子の脱落がないことから、吸着緩衝材として好適に用いることができる。吸着緩衝材とは、液晶用ガラス板や積層セラミックコンデンサ用のシート等の、薄膜状、板状、又はフィルム状の物を固定又は搬送するための手段のひとつに、減圧吸引での吸着ステージで吸着固定又は吸着搬送する方法があるが、その吸着ステージの吸着面に装着するものである。
本実施形態に係る吸着方法は、吸着緩衝材を用いて薄膜を吸着する工程を有する。より具体的には、吸着緩衝材を吸着ステージの吸着面に装着し、吸着緩衝材上に薄膜状、板状、又はフィルム状の物を固定し、搬送することができる。吸着緩衝材の装着は減圧吸引などにより行なうことができる。
[表面粗さ(Ra)平均及び表面粗さ(Ra)バラつきの測定方法]
表面粗さ(Ra)の測定は、触針式表面粗さ計(株式会社東京精密社製「ハンディサーフE−35B」)を用い、先端径R:5μm、速度:0.6mm/s、測定長:12.5mm、カットオフ値λc:2.5mmの条件にて測定した。測定位置は、被測定物の面の中心1箇所と、面をできるだけ同じ形状になるように4等分した際、その4等分された面の中心1箇所ずつ、合計5箇所を測定した。
表面粗さ(Ra)平均は、上記5箇所の測定の平均値として求めた。
表面粗さ(Ra)バラつきは、上記5箇所の測定の最大値と最小値の差であり、以下の判定基準に基づき、評価した。
○:最大値と最小値の差が、平均値の10%以下のもの。
×:最大値と最小値の差が、平均値の10%を超えるもの。
粉落ち性の測定は、原料粒子の色と反対色の紙の上で、200mm×200mmサイズの1枚のシートをバイブレータ(神鋼電機株式会社製「バイブレートリパッカVP−15D」)を用いて2分間振動を加えた後、反対色の紙の上に原料粒子があるか否かを目視で確認し、以下の判定基準に基づき、評価した。
◎:原料樹脂の脱落が殆どなかった。
○:原料樹脂の脱落が極少量であった。
×:原料樹脂の脱落が多数あった。
曲げ弾性率の測定は、JIS K 7171:1994に従い、試験速度5mm/min、支持点間30mmの条件にて測定した。
通気量の測定は、通気度測定機(TEXTEST社製「FX3360PORTAIR」)を用い、測定範囲20cm2、測定差圧125Paの条件にて測定した。
本実施形態における多孔質積層体の厚さは、1/1000mm読みのマイクロメータ(株式会社ミツトヨ社製「MDC−SB」)を用いて測定した。なお、測定数値は、小数点以下第3位まで測定し、小数点以下第3位の値を四捨五入した。
高密度ポリエチレン粉末サンファイン(商標)SH801(旭化成ケミカルズ株式会社製、密度955kg/m3)を金属の平板上に厚さ2.1mm以上堆積させ、金属の平板上から2.1mmのクリアランスを設けた擦切り部を通過させることで、2.1mmの厚さで均一に堆積させたものを180℃にセットされた加熱炉に投入し、10分間静置させた後、加熱炉から取り出し、室温で冷却することで厚み2.0mmの焼結成形体を樹脂多孔体(a)として得た。該樹脂多孔体にポリオレフィン系ホットメルト接着剤を160℃に設定したホットメルトアプリケーターを用い20g/m2で繊維状にスプレー塗布した。シート(b)として、織物(経糸/緯糸:ポリエチレンテレフタレートモノフィラメント)L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)を用い、これを樹脂多孔体(a)上に積層させることで多孔質積層体を得た。多孔質積層体の特性を表1に示す。
シート(b)として、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)の代わりに、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)にカレンダー加工を施した織物を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で多孔質積層体を得た。実施例1と同様の評価を行い、その測定結果を表1に示す。
シート(b)として、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)の代わりに、織物(経糸/緯糸:ポリアミド系モノフィラメント)NY10−HC(Sefar社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で多孔質積層体を得た。実施例1と同様の評価を行い、その測定結果を表1に示す。
シート(b)として、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)の代わりに、織物(経糸/緯糸:ステンレス材)BS−400/25(アサダメッシュ株式会社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で多孔質積層体を得た。実施例1と同様の評価を行い、その測定結果を表1に示す。
シート(b)として、L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)の代わりに、織物(経糸/緯糸:ステンレス材)BS−200/40(アサダメッシュ株式会社製)を用いたこと以外は、実施例1と同様の方法で多孔質積層体を得た。実施例1と同様の評価を行い、その測定結果を表1に示す。
高密度ポリエチレン粉末サンファイン(商標)SH801(旭化成ケミカルズ株式会社製)を用い、実施例1と同様に厚み2mmの焼結成形体を樹脂多孔体として得た。該樹脂多孔体にシート(b)を積層させずにそのまま用いて、実施例1と同様の特性を評価した。結果を表1に示す。
樹脂多孔体(a)として、超高分子量ポリエチレン粉末XM−220(三井化学株式会社製)を用いたこと以外は比較例1と同様の操作、評価を行った。結果を表1に示す。
シート(b)として、織物(経糸/緯糸:ポリエチレンテレフタレートモノフィラメント)L−screen165−027/420PW(株式会社NBCメッシュテック社製)を用い、樹脂多孔体(a)を積層させずに、実施例1と同様の特性の評価を行った。結果を表1に示す。
Claims (11)
- 薄膜状、板状、又はフィルム状の物を吸着するための吸着緩衝材であって、
樹脂多孔体(a)(ただし、機械的または化学的な孔開け加工によって複数の貫通孔が設けられた樹脂多孔体を除く。)を有し、
該樹脂多孔体(a)の片面に、通気性を有し、前記物との吸着面の表面粗さ(Ra)が0.1〜20μmであるシート(b)が積層されており、
前記シート(b)が、織布、不織布、又は細孔シートのいずれかである、多孔質積層体を含む、吸着緩衝材。 - 前記樹脂多孔体(a)が、ポリオレフィン系樹脂を含む、請求項1に記載の吸着緩衝材。
- 前記ポリオレフィン系樹脂が、ポリエチレンを含む、請求項2に記載の吸着緩衝材。
- 前記ポリエチレンの密度が、890〜970kg/m3である、請求項3に記載の吸着緩衝材。
- 前記樹脂多孔体(a)が、樹脂粉末の焼結成形体を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の吸着緩衝材。
- 前記シート(b)の表面粗さ(Ra)が、0.1〜10μmである、請求項1〜5のいずれか1項に記載の吸着緩衝材。
- 前記シート(b)の表面粗さ(Ra)が、2.0〜12.9μmである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の吸着緩衝材。
- 前記多孔質積層体の厚さが0.06〜15mmである、請求項1〜7のいずれか1項に記載の吸着緩衝材。
- 前記多孔質積層体の曲げ弾性率が30〜3000MPaであり、
前記多孔質積層体の通気量が0.3〜30cm3/cm2/sである、請求項1〜8のいずれか1項に記載の吸着緩衝材。 - 請求項1〜9のいずれか1項に記載の吸着緩衝材を用いて薄膜を吸着する、吸着方法。
- 薄膜がセラミックグリーンシートである、請求項10に記載の吸着方法。
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