JP6462187B2 - カテーテルセンサの製造 - Google Patents
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Description
本出願は、参照により本明細書に組み込まれる、2016年8月3日に出願された米国特許出願第15/227,370号および2015年9月24日に出願された米国仮出願第62/232,394号の優先権を主張する。
これまでのように、圧力センサ300は、デバイス識別子114を保護するために、ここでは遮断構造116として示されている1つ以上の遮断構造を含むことができる。
Claims (28)
- 圧力センサのハンドル部分の上面に形成された膜と、
前記ハンドル部分に対向し、前記ハンドル部分よりも厚いベース部分と、
前記ベース部分の上面に形成された複数のボンドパッドと、
前記圧力センサの上面のデバイス識別子と、
前記複数のボンドパッドと前記デバイス識別子との間の前記圧力センサの上面にある遮断構造と、
を備える圧力センサであって、
前記遮断構造は、前記複数のボンドパッドに塗布された封入材料が前記デバイス識別子に到達することを阻止する、圧力センサ。 - 前記ベース部分は、前記圧力センサの前記ハンドル部分から離れた底端を有し、前記複数のボンドパッドのうちの少なくとも1つは、前記複数のボンドパッドのうちの少なくとももう1つとは異なる距離で前記底端から離間している、請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記圧力センサの本体の上面から離れて第1方向に側方に延在する第1タブと、
前記圧力センサの本体の上面から離れて第2方向に側方に延在し、前記第2方向は前記第1方向とは逆である、第2タブと、
をさらに備える、請求項2に記載の圧力センサ。 - 前記遮断構造は、前記圧力センサの上面内にエッチングされたトレンチである、請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記遮断構造は、前記デバイス識別子がエッチングされるときに前記圧力センサの上面内にエッチングされる、請求項4に記載の圧力センサ。
- 前記トレンチおよびデバイス識別子は、KOHエッチングを用いてエッチングされる、請求項5に記載の圧力センサ。
- 前記トレンチおよびデバイス識別子は、深反応性イオンエッチング(DRIE)を用いてエッチングされる、請求項5に記載の圧力センサ。
- 前記遮断構造は、前記圧力センサの上面に堆積された***バーである、請求項2に記載
の圧力センサ。 - 前記***バー遮断構造は、前記複数のボンドパッドが堆積されるときに前記圧力センサの上面に堆積される、請求項8に記載の圧力センサ。
- 前記遮断構造は、前記圧力センサの上面にはんだバンプされた***バーである、請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記遮断構造は、前記複数のボンドパッドがはんだバンプされるときに、前記圧力センサの上面にはんだバンプされる、請求項10に記載の圧力センサ。
- 前記遮断構造は、トレンチおよび***バーを備える、請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記第1タブは、前記第1タブの上面から前記第1タブの底面までの第1の複数の孔を含み、前記第1の複数の孔は、少なくとも前記ベース部分の近くに位置し、
前記第2タブは、前記第2タブの上面から第2タブの底面までの第2の複数の孔を含み、前記第2の複数の孔は、少なくとも前記ベース部分の近くに位置する、
請求項3に記載の圧力センサ。 - 前記第1および第2の複数の孔は、KOHエッチングを用いてエッチングされる、請求項13に記載の圧力センサ。
- 前記第1および第2の複数の孔は、前記ベース部分に隣接している、請求項14に記載の圧力センサ。
- 前記圧力センサは、前記複数のボンドパッドが前記第1タブと前記第2タブとの間に配置されている、請求項15に記載の圧力センサ。
- 前記第1および第2の複数の孔は、DRIEエッチングを用いてエッチングされる、請求項13に記載の圧力センサ。
- 前記第1および第2の複数の孔は、前記ベース部分に隣接している、請求項17に記載の圧力センサ。
- 前記複数のボンドパッドは、前記第1タブと前記第2タブとの間に配置されている、請求項18に記載の圧力センサ。
- 前記ベース部分の下側に取り付けられたハウジングであって、前記ハウジングは前記ハンドル部分の下側に取り付けられていない、ハウジング
をさらに備える、請求項2に記載の圧力センサ。 - 前記ハンドル部分は、前記ハンドル部分の下側のエッチングにより、前記ベース部分よりも薄い、請求項20に記載の圧力センサ。
- 前記ベース部分は、エポキシを用いて前記ハウジングに取り付けられている、請求項20に記載の圧力センサ。
- 前記圧力センサの本体の上面から離れて第1方向に側方に延在する第1タブと、
前記圧力センサの本体の上面から離れて第2方向に側方に延在し、前記第2方向は前記第1方向とは逆である、第2タブと、
をさらに備える、請求項1に記載の圧力センサ。 - 前記第1タブは、前記第1タブの上面から前記第1タブの底面までの第1の複数の孔を含み、前記第1の複数の孔は、少なくとも前記ベース部分の近くに位置し、
前記第2タブは、前記第2タブの上面から前記第2タブの底面までの第2の複数の孔を含み、前記第2の複数の孔は、少なくとも前記ベース部分の近くに位置する、
請求項23に記載の圧力センサ。 - 前記遮断構造は、前記圧力センサの上面内にエッチングされたトレンチである、請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記圧力センサの本体の上面から離れて第1方向に側方に延在する第1タブと、
前記圧力センサの本体の上面から離れて第2方向に側方に延在し、前記第2方向は前記第1方向とは逆である、第2タブと、
をさらに備える、請求項25に記載の圧力センサ。 - 前記第1タブは、前記第1タブの上面から前記第1タブの底面までの第1の複数の孔を含み、前記第1の複数の孔は、少なくとも前記ベース部分の近くに位置し、
前記第2タブは、前記第2タブの上面から第2タブの底面までの第2の複数の孔を含み、前記第2の複数の孔は、少なくとも前記ベース部分の近くに位置する、
請求項26に記載の圧力センサ。 - 前記遮断構造は、前記圧力センサの上面内にエッチングされたトレンチである、請求項3に記載の圧力センサ。
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