JP6449290B2 - 化合物半導体を洗浄する方法、化合物半導体の洗浄用の溶液、化合物半導体デバイスを作製する方法、窒化ガリウム基板を作製する方法、窒化ガリウム基板 - Google Patents
化合物半導体を洗浄する方法、化合物半導体の洗浄用の溶液、化合物半導体デバイスを作製する方法、窒化ガリウム基板を作製する方法、窒化ガリウム基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6449290B2 JP6449290B2 JP2016535807A JP2016535807A JP6449290B2 JP 6449290 B2 JP6449290 B2 JP 6449290B2 JP 2016535807 A JP2016535807 A JP 2016535807A JP 2016535807 A JP2016535807 A JP 2016535807A JP 6449290 B2 JP6449290 B2 JP 6449290B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- compound semiconductor
- cleaning
- gallium nitride
- solution
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 228
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 221
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title claims description 209
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 203
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 title claims description 169
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 154
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 154
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 56
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 268
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 107
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 74
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 72
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 70
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 61
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 51
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 51
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 43
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 42
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 41
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 39
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 34
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 31
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 28
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 23
- GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N hydron Chemical compound [H+] GPRLSGONYQIRFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 23
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 18
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 230000033116 oxidation-reduction process Effects 0.000 claims description 14
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 224
- 239000010408 film Substances 0.000 description 83
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 31
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 30
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 20
- IWZSHWBGHQBIML-ZGGLMWTQSA-N (3S,8S,10R,13S,14S,17S)-17-isoquinolin-7-yl-N,N,10,13-tetramethyl-2,3,4,7,8,9,11,12,14,15,16,17-dodecahydro-1H-cyclopenta[a]phenanthren-3-amine Chemical compound CN(C)[C@H]1CC[C@]2(C)C3CC[C@@]4(C)[C@@H](CC[C@@H]4c4ccc5ccncc5c4)[C@@H]3CC=C2C1 IWZSHWBGHQBIML-ZGGLMWTQSA-N 0.000 description 19
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 18
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 17
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 10
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 10
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 10
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 10
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 10
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 9
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 7
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 6
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 6
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 6
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 6
- 239000012085 test solution Substances 0.000 description 6
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 5
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 5
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- FWFGVMYFCODZRD-UHFFFAOYSA-N oxidanium;hydrogen sulfate Chemical compound O.OS(O)(=O)=O FWFGVMYFCODZRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 5
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000000624 total reflection X-ray fluorescence spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 238000004065 wastewater treatment Methods 0.000 description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004541 SiN Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 3
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000013081 microcrystal Substances 0.000 description 3
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 3
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005202 decontamination Methods 0.000 description 2
- 230000003588 decontaminative effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001784 detoxification Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006864 oxidative decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000011002 quantification Methods 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 InGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hcl hcl Chemical compound Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000010180 surface X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02052—Wet cleaning only
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B23/00—Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
- C30B23/02—Epitaxial-layer growth
- C30B23/025—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/18—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate
- C30B25/186—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate being specially pre-treated by, e.g. chemical or physical means
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/38—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02387—Group 13/15 materials
- H01L21/02389—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
- H01L21/308—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching using masks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31144—Etching the insulating layers by chemical or physical means using masks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/324—Thermal treatment for modifying the properties of semiconductor bodies, e.g. annealing, sintering
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B2203/00—Details of cleaning machines or methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B2203/007—Heating the liquid
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/102—Material of the semiconductor or solid state bodies
- H01L2924/1025—Semiconducting materials
- H01L2924/1026—Compound semiconductors
- H01L2924/1032—III-V
- H01L2924/1033—Gallium nitride [GaN]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
III族としてガリウム元素を含む化合物の一例としてGaNを用いて、いくつかの種類の洗浄液の水素イオン濃度及び酸化還元電位の点で、これらの洗浄液の洗浄能を調べた。この実験においては、洗浄能は、化合物半導体の表面上の金属不純物、例えば鉄(Fe)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、亜鉛(Zn)の低減量により規定される。洗浄液として、以下の溶液が用いられる。
超純水におけるフッ化水素酸(HF、1wt%)及び硝酸(HNO3、5wt%)を含む混合水溶液(「A溶液」として参照)。
オゾン(O3、18ppm)含有の超純水における塩酸(HCl、4.5wt%)を含む水溶液(「B溶液」として参照)。
オゾン(O3、18ppm)含有の超純水における塩酸(HCl、12.5wt%)を含む水溶液(「C溶液」として参照)。
超純水における塩酸(HCl、4.5wt%)及び過酸化水素水(H2O2、3.75wt%)を含むHPM水溶液(「D溶液」として参照)。
超純水における塩酸(HCl、4.5wt%)及び硝酸(HNO3、0.5wt%)を含む混合水溶液(「E溶液」として参照)。
超純水における塩酸(HCl、1.0wt%)及び硝酸(HNO3、0.5wt%)を含む混合水溶液(「F溶液」として参照)。
超純水における硫酸(H2SO4、1wt%、摂氏80度の温度)を含む水溶液(「G溶液」として参照)。
超純水におけるフッ化水素酸(HF、0.5wt%)及び過酸化水素水(H2O2、1wt%)を含むFPM水溶液(「H溶液」として参照)。
超純水におけるフッ化水素酸(HF、0.5wt%)を含む水溶液(「I溶液」として参照)。
オゾン含有の超純水における水素(H2、1.25ppm)を含む水溶液(「J溶液」として参照)。
・JIS B 0601:1982に基づく測定による。
・装置はエスアイアイ・ナノテクノロジー社製 小型プローブ顕微鏡ユニット(型式:SPA−300)を用い、Siプローブでのコンタクトモードで測定した。
・縦:5μm×横:5μmサイズを縦:256点×横:256点測定を行い、それを電子計算機(PCのソフト)にて演算して求めた。
濃度1wt%の硫酸溶液の不純物除去能と処理温度との関係を調べた。金属元素除去能を調べるために、以下の工程を行った。第1工程では、複数のGaN基板を準備する。第2工程では、金属不純物濃度を制御した試験液を準備すると共に、試験液の制御された量をGaN基板の表面に滴下する。第3工程では、GaN基板上の試験液を蒸発させて金属不純物によりGaN半導体の表面を強制汚染させる。本実施例では、実施例1と同様に1E13原子数cm−2の濃度のFe,Ni,Cu,Znで基板表面を汚染させた。第4工程では、全反射蛍光X線分析法を用いてGaN基板表面の汚染量を定量する。第5工程では、摂氏50度、70度、80度、90度の温度で濃度1wt%の硫酸溶液を用いて、定量された金属汚染を有するGaN基板の表面を洗浄する。第6工程では、全反射蛍光X線分析法を用いて、洗浄済みのGaN基板表面の汚染量を定量する。
処理温度、 Fe濃度、Ni濃度、Cu濃度、Zn濃度。
摂氏50度、1.1E10、 5.0E10、 2.6E10、 2.2E11。
摂氏70度、2.0E10、 9.7E9、 4.3E10、 6.3E10。
摂氏80度、6.3E9、 1.7E9、 2.5E10、 3.4E10。
摂氏91度、1.1E10、 1.3E9、 2.6E10、 6.3E9。
単位は原子数cm−2。初期汚染濃度は1E13原子数cm−2であり、測定に用いた装置定量下限は1E10原子数cm−2である。この実験では清浄な表面の基準として1E11原子数cm−2未満として判定する。
硫酸濃度、酸化還元電位。
0.1wt%、約0.6ボルト。
1.0wt%、約0.8ボルト。
20wt% 、約0.9ボルト。
60wt%、 約1.1ボルト。
80wt%、 約1.2ボルト。
硫酸濃度と水素イオン濃度との関係を示す。
硫酸濃度、水素イオン濃度。
0.1wt%、pH2。
1.0wt%、pH1。
50wt% 、pH約−0.7。
65wt% 、pH約−0.8。
溶液の酸化還元電位を0.6V以上、好ましく0.8V以上であること。
溶液の水素イオン濃度がpH2以下、好ましくはpH1以下であること。
酸化ガリウムのエッチングレートが0.2nm/分以上〜0・76nm/分以下であることができ、好ましくは0.27nm/分以上〜0.76nm/分以下であること。
このために、低濃度の硫酸水溶液を用いて摂氏80度以上の温度で上記の化合物を処理することが好ましい。
Data, Physics, Chemistry and Technology, vol. III National Research Council, McGraw-Hill, London, New York (1928) P303のデータベースよりプロットした。図16に示された最も低濃度の硫酸溶液の沸点は摂氏102度である。これ故に、洗浄時の洗浄液の温度は、摂氏100度以下であることが好ましい。
硫酸濃度: Fe濃度、Ni濃度、Cu濃度、Zn濃度。
0.1wt%:5.1E9、 1.7E9、 2.7E10、 2.6E10。
1.0wt%:1.4E10、3.4E10、 2.6E10、 6.3E9。
5wt%: 4.0E9、 5.9E9、 5.9E9、 9.5E9。
10wt%: 1.4E10、 7.7E9、 7.7E9、 1.1E10。
20wt%: 7.6E9、 7.2E9、 7.2E9、 6.8E9。
60wt%: 5.2E9、 4.1E9、 1.9E10、 1.0E10。
97wt%: 5.1E9、 8.2E9、 3.6E10、 1.7E10。
手順S1:プールベ図上で溶解領域内となるよう洗浄溶液のpHを制御する。
手順S2:洗浄溶液の酸化還元電位を化合物に対する酸化能を有するように調整する。
手順S3:ガリウム酸化膜のエッチングレート0.2nm/min以上又は0.27nm/min以上に洗浄溶液を調整する。
手順S4:以上3点を満たすように準備された薬液の例示は、硫酸濃度を65wt%未満、好ましくは50wt%以下の硫酸溶液である。
手順S5:洗浄溶液の温度を摂氏80度以上、好ましくは摂氏95℃以下の温度に制御する。
手順S6:その薬液を化合物の表面に適用する。
この結果、廃液処理、排気処理の点で環境負荷を低減できる。結果として、溶液及びその排水処理の費用的な負担も低減できる。
洗浄装置45のノズルから溶液17、純水及び窒素ガスを流して、2インチの窒化ガリウム基板に処理4を行う条件を示す。窒化ガリウム基板に対してノズルを揺動させながら処理4を行う。
溶液17の流量:0.5L/分。
ノズル内径:5mm。
GaNウエハの回転数:100rpm。
溶液17による処理4の時間:3分。
超純水の流量:1L/分。
超純水によるリンス時間:0.5分。
GaNウエハの回転数:100rpm。
窒素ガスブロー流量:20SLM。
窒素ブロー回転乾燥:2000rpm。
処理時間:0.5分。
処理時間は回転数が2000rpmに達して時点から計測される。
図25は、大気中に置かれた窒化ガリウム基板のX線回折測定データを示す図面である。図25のX線回折測定データは、X線回折撮像装置からの測定データと、測定データからバックグラウンドを差し引く加工を施した加工データとを含む。この測定には、全自動水平型のX線回折装置SmartLabが用いられ、測定に用いたX線波長はCu Kα線である。
測定条件を示す。
X線入射角(ω):0.35度に固定(X線薄膜法測定)。
管電圧-電流 45kV-200mA。
スキャンスピード:1度/min。
角度サンプリングステップ:0.15度。
このX線回折測定データを測定した窒化ガリウム基板は、図12に示される酸化ガリウムのエッチングに用いられるものと同様に作製された。図25によれば、図12のデータ取得のための実験に用いられた酸化ガリウム膜はβ-Ga2O3の結晶構造を有する。これ故に、GaN表面の自然酸化膜はβ-Ga2O3の微結晶である。図12における実験は、β-Ga2O3の結晶のガリウム酸化膜におけるエッチング能力を示している。
(0001)主面を有する窒化ガリウム基板を準備した。この窒化ガリウム基板に摂氏850度で酸素雰囲気(酸素ほぼ100%)で2時間のドライ酸化を行った。この結果、窒化ガリウム基板の表面には熱酸化膜が形成される。
ドライ熱酸化の条件は以下のものである。
アルゴンガス雰囲気において常温から摂氏850度まで17.5分かけて昇温する。
摂氏850度に保持して、酸素ガス雰囲気において2時間の処理を行う。
熱酸化の後、アルゴンガス雰囲気において摂氏850度から常温まで温度を下げる。
窒化ガリウム基板の熱酸化膜付き表面のX線回折カーブを測定する条件。
X線回折装置:Phillips X’pert。
測定条件:ω-2θ測定法。
X線源:Cu Kα線。
測定における管電圧−電流 45kV-40mA。
スキャンスピード:1度/min。
サンプリングステップ:0.05度。
断面SEM画像の撮像条件。
SEM測定装置:日立ハイテクノロジーズ、SU8000。
照射電圧:10kV、10k倍率。
エリプソメータ:HORIBA UVISEL。
この関係は、ほぼ直線により表されている。両方法による膜の計測厚さがほぼ一致するので、分光エリプソメータを用いてGaN上のガリウム酸化物の厚さを測定することが可能になった。図12に示される実験において、いくつかのエッチング溶液におけるエッチングレートの見積もりのための残存酸化物の膜厚は分光エリプソメータを用いて行われた。
Claims (17)
- 化合物半導体を洗浄する方法であって、
純水と65wt%未満の硫酸とを含みpH2以下の水素イオン濃度及び0.6ボルト以上の酸化還元電位を有する溶液を用いて、構成元素としてガリウムを備える化合物半導体に洗浄のための処理を摂氏70度以上の温度で施す工程を備える、化合物半導体を洗浄する方法。 - 前記溶液は、硫酸濃度50wt%以下の硫酸溶液であり、
前記処理は、摂氏80度以上の温度で行われる、請求項1に記載された化合物半導体を洗浄する方法。 - 前記化合物半導体は少なくとも表面の一部に窒化ガリウム(GaN)を備える、請求項1又は請求項2に記載された化合物半導体を洗浄する方法。
- 前記化合物半導体はGaN基板である、請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載された化合物半導体を洗浄する方法。
- 前記化合物半導体は酸化ガリウムを備える、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載された化合物半導体を洗浄する方法。
- 構成元素としてガリウムを備える化合物半導体の洗浄用の溶液であって、
純水と、前記純水において65wt%未満である硫酸とを含み、pH2以下の水素イオン濃度及び0.6ボルト以上の酸化還元電位を有し、
前記硫酸の濃度は、50wt%以下であり、
前記溶液の温度は摂氏80度以上である、構成元素としてガリウムを備える化合物半導体の洗浄用の溶液。 - 化合物半導体デバイスを作製する方法であって、
主面を有する基板を準備する工程と、
請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された化合物半導体を洗浄する方法における前記処理を前記基板の前記主面に適用する工程と、
前記化合物半導体を洗浄する方法を前記基板に適用した後に、前記基板の前記主面上に膜を成長する工程と、
を備え、
前記基板の主面は前記化合物半導体を備える、化合物半導体デバイスを作製する方法。 - 前記膜は、化合物半導体膜、絶縁膜及び金属膜の少なくともいずれか一つを備える、請求項7に記載された化合物半導体デバイスを作製する方法。
- 前記基板を準備する工程は、化合物半導体基板を準備する工程を含み、前記化合物半導体基板は前記化合物半導体を備える、請求項7又は請求項8に記載された化合物半導体デバイスを作製する方法。
- 前記基板を準備する工程は、前記化合物半導体を備える半導体層を支持体上に成長して、前記基板を作製する工程を含む、請求項7又は請求項8に記載された化合物半導体デバイスを作製する方法。
- 前記基板を準備する工程は、
前記化合物半導体を備える主面を有する支持体を準備する工程と、
前記支持体の前記主面上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上にマスクを形成する工程と、
前記マスクを用いて前記絶縁膜をエッチングして、前記支持体の前記主面に到達する開口を前記絶縁膜に形成する工程と、
前記マスクを除去する工程と、
を備え、
前記絶縁膜の前記開口には、前記化合物半導体が現れている、請求項7又は請求項8に記載された化合物半導体デバイスを作製する方法。 - 窒化ガリウム基板を作製する方法であって、
窒化ガリウム結晶体を成長する工程と、
前記窒化ガリウム結晶体を加工して、一又は複数の窒化ガリウムスライスを形成する工程と、
請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された化合物半導体を洗浄する方法における前記処理を前記窒化ガリウムスライスの主面に適用して、前記処理により処理された主面を有する窒化ガリウム基板を提供する工程と、
を備え、
前記化合物半導体は窒化ガリウムであり、
前記窒化ガリウムスライスの前記主面は前記化合物半導体を備える、窒化ガリウム基板を作製する方法。 - 前記処理された主面は、鉄、ニッケル、銅及び亜鉛の少なくともいずれかを含む残留不純物を備え、
前記残留不純物の濃度は、1×1011cm−3以下である、請求項12に記載された窒化ガリウム基板を作製する方法。 - 前記処理の前において前記窒化ガリウムスライスの前記主面は第1の表面粗さを有し、前記処理の後において前記窒化ガリウム基板の前記主面は第2の表面粗さを有し、前記第2の表面粗さは前記第1の表面粗さに等しいかまたはより小さい、請求項12又は請求項13に記載された窒化ガリウム基板を作製する方法。
- 請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された化合物半導体を洗浄する方法における洗浄後の主面を有する窒化ガリウム基板であって、
前記主面の表面粗さRaが0.06nm以下である、窒化ガリウム基板。 - 請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された化合物半導体を洗浄する方法における洗浄後の主面を有する窒化ガリウム基板であって、
前記主面の表面粗さRMSが0.08nmである、窒化ガリウム基板。 - 請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載された化合物半導体を洗浄する方法における洗浄後の主面を有する窒化ガリウム基板であって、
前記主面の表面粗さP−Vが0.84nm以下である、窒化ガリウム基板。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014149018 | 2014-07-22 | ||
JP2014149018 | 2014-07-22 | ||
PCT/JP2015/054471 WO2016013239A1 (ja) | 2014-07-22 | 2015-02-18 | 化合物半導体を洗浄する方法、化合物半導体の洗浄用の溶液 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016013239A1 JPWO2016013239A1 (ja) | 2017-07-13 |
JP6449290B2 true JP6449290B2 (ja) | 2019-01-09 |
Family
ID=55162778
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016535807A Active JP6449290B2 (ja) | 2014-07-22 | 2015-02-18 | 化合物半導体を洗浄する方法、化合物半導体の洗浄用の溶液、化合物半導体デバイスを作製する方法、窒化ガリウム基板を作製する方法、窒化ガリウム基板 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10043654B2 (ja) |
EP (1) | EP3174087A4 (ja) |
JP (1) | JP6449290B2 (ja) |
KR (1) | KR20170033317A (ja) |
CN (1) | CN106537562A (ja) |
TW (1) | TW201604948A (ja) |
WO (1) | WO2016013239A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102227003B1 (ko) * | 2017-04-27 | 2021-03-11 | 고려대학교 산학협력단 | 산화갈륨 식각방법 |
JP7085392B2 (ja) * | 2018-04-11 | 2022-06-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP7191322B2 (ja) * | 2018-12-26 | 2022-12-19 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 半導体基板の製造方法 |
CN111468462A (zh) * | 2019-01-23 | 2020-07-31 | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 | 一种led减薄贴片用陶瓷盘碳化层的去除方法 |
WO2021131832A1 (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
CN115739819B (zh) * | 2023-01-10 | 2023-05-12 | 帝京半导体科技(苏州)有限公司 | 一种半导体设备铝合金零部件超高洁净清洗工艺及应用 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4207976B2 (ja) * | 2006-05-17 | 2009-01-14 | 住友電気工業株式会社 | 化合物半導体基板の表面処理方法、および化合物半導体結晶の製造方法 |
JP3751324B2 (ja) * | 1993-12-10 | 2006-03-01 | 忠弘 大見 | 基体の表面洗浄方法及び表面洗浄剤 |
JP4151927B2 (ja) | 1998-12-14 | 2008-09-17 | 株式会社東芝 | 半導体基板の洗浄方法 |
JP2005057179A (ja) * | 2003-08-07 | 2005-03-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の洗浄方法 |
CN100552888C (zh) * | 2003-10-27 | 2009-10-21 | 住友电气工业株式会社 | 氮化镓半导体衬底及其制造方法 |
JP2006032736A (ja) | 2004-07-16 | 2006-02-02 | Koha Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
JP2007234952A (ja) | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 化合物半導体基板の表面処理方法、化合物半導体の製造方法、化合物半導体基板、および半導体ウエハ |
JP2008282943A (ja) | 2007-05-10 | 2008-11-20 | Nippon Light Metal Co Ltd | 酸化ガリウム単結晶のウェットエッチング方法 |
JP2010074109A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Kurita Water Ind Ltd | 洗浄システム |
-
2015
- 2015-02-18 WO PCT/JP2015/054471 patent/WO2016013239A1/ja active Application Filing
- 2015-02-18 JP JP2016535807A patent/JP6449290B2/ja active Active
- 2015-02-18 EP EP15824860.9A patent/EP3174087A4/en not_active Withdrawn
- 2015-02-18 US US15/327,480 patent/US10043654B2/en active Active
- 2015-02-18 CN CN201580039195.3A patent/CN106537562A/zh active Pending
- 2015-02-18 KR KR1020177002035A patent/KR20170033317A/ko unknown
- 2015-02-24 TW TW104105923A patent/TW201604948A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10043654B2 (en) | 2018-08-07 |
WO2016013239A1 (ja) | 2016-01-28 |
US20170178893A1 (en) | 2017-06-22 |
EP3174087A1 (en) | 2017-05-31 |
EP3174087A4 (en) | 2018-03-14 |
JPWO2016013239A1 (ja) | 2017-07-13 |
CN106537562A (zh) | 2017-03-22 |
KR20170033317A (ko) | 2017-03-24 |
TW201604948A (zh) | 2016-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6449290B2 (ja) | 化合物半導体を洗浄する方法、化合物半導体の洗浄用の溶液、化合物半導体デバイスを作製する方法、窒化ガリウム基板を作製する方法、窒化ガリウム基板 | |
Morinaga et al. | Mechanism of metallic particle growth and metal‐induced pitting on Si wafer surface in wet chemical processing | |
JP3662472B2 (ja) | 基板表面の処理方法 | |
US20040163681A1 (en) | Dilute sulfuric peroxide at point-of-use | |
Onsia et al. | A study of the influence of typical wet chemical treatments on the germanium wafer surface | |
Ohmi et al. | Native Oxide Growth and Organic Impurity Removal on Si Surface with Ozone‐Injected Ultrapure Water | |
TWI404134B (zh) | 半導體裝置之製造方法及半導體表面上之微型粗糙度之降低方法 | |
EP2629319B1 (en) | Process for cleaning compound semiconductor wafer | |
US8728944B2 (en) | Method of removing contaminants and native oxides from a substrate surface | |
CN111356759B (zh) | 剥离剂溶液和使用剥离剂溶液的方法 | |
JP2005244179A (ja) | 材料表面の湿式洗浄方法及びこれを用いた電子、光学、または光電子デバイスの作製プロセス | |
TW201203386A (en) | Method for manufacturing silicon carbide semiconductor device and apparatus for manufacturing silicon carbide semiconductor device | |
US6235645B1 (en) | Process for cleaning silicon semiconductor substrates | |
Onsia et al. | On the application of a thin ozone based wet chemical oxide as an interface for ALD high-k deposition | |
JP2008244434A (ja) | Iii−v族半導体基板からのバルク金属汚染の除去方法 | |
JP4857738B2 (ja) | 半導体ウエーハの洗浄方法および製造方法 | |
JP2006228963A (ja) | 半導体ウエハの製造方法 | |
Ruzyllo et al. | Evolution of silicon cleaning technology over the last twenty years | |
JP4947393B2 (ja) | 半導体基板の製造方法 | |
Douglass et al. | Surface cleaning procedures for thin films of indium gallium nitride grown on sapphire | |
Hojo et al. | Effect of SiO2 fence on atomic step flow in chemical etching of Si surface | |
Kirby et al. | Interactions of sapphire surfaces with standard cleaning solutions | |
JP2002367949A (ja) | シリコンウェハの洗浄方法 | |
Claeys et al. | Source of Metals in Si and Ge Crystal Growth and Processing | |
Kim et al. | Prevention of metal contamination in sub 50 nm SC1 cleaning process |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
AA64 | Notification of invalidation of claim of internal priority (with term) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A241764 Effective date: 20170328 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170330 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180828 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181022 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181205 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6449290 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |