JP6444945B2 - 光学検査システム - Google Patents
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Description
u−1+v−1=f−1
ここで、uは検査サンプルと薄いレンズの間の距離であり、vは光電素子130と薄いレンズの間の距離である。レンズのある厚さとレンズ群の厚さの考慮を伴う実際のアプリケーションにおいて、この薄いレンズの公式が本発明の様々な実施態様を限定するものではない。
u−1+v−1=f−1
ここで、uは光源324と薄いレンズの間の距離であり、vは物体400と薄いレンズの間の距離である。実際の応用では、レンズのある厚さとレンズ群の厚さが考慮され、薄いレンズの公式は本発明の様々な実施態様を制限するものではない。
112…第1のレンズ構成部分、 114…第2のレンズ構成部分、
120…光源モジュール、 122…光源モジュールの開口部、
124、124a、124b…光源、 126…キャリア、
126a…キャリアの開口、 126b…凹部、 126c…底面、
126d…側壁、 127…反射層、 128…光学フィルム、 129…反射鏡、
129a…反射鏡の開口、 129b…粗い反射面、 130…光電素子、
200…物体側、 300…光学結像システム、 310…レンズモジュール、
320…光源モジュール、 322…開口部、 324…光源、
326…反射鏡、 326a…反射鏡の開口、 328…光源レンズ構成部分、
400…物体、 500…光検出側、
LA…開口絞りと第1のレンズ構成部分の前側面の間の距離、
LB…開口絞りと第2のレンズ構成部分の後側面の間の距離、
O1、O2…光軸、 OL…物体光、 P1…第1の部分、 P2…第2の部分、
P3…第3の部分、 P4…第4の部分、 PL…光、
SL、SL1、SL2…光、 RA…滑らかな表面領域、
RB…滑らかでない表面領域。
Claims (5)
- 光学検査システムであって、
第1のレンズ構成部分と、第2のレンズ構成部分を備えており、前記第1のレンズ構成部分が、前記第2のレンズ構成部分と物体側の間に配置され、前記第1のレンズ構成部分と前記第2のレンズ構成部分が共通の光軸を有するレンズモジュールと、
前記第1のレンズ構成部分と前記第2のレンズ構成部分との間に配置されており、前記第1のレンズ構成部分を通って前記物体側に向かって光を放出するように構成された光源モジュールと、
前記レンズモジュールの前記物体側とは反対の側に配置されている光電素子とを、
有し、
前記第1のレンズ構成部分及び前記第2のレンズ構成部分は共焦点系であり、かつ、前記第1のレンズ構成部分及び前記第2のレンズ構成部分は共焦点システムを形成しており、
前記光源モジュールは、前記共焦点システムの開口絞りの位置に近接して配置されており、
該光源モジュールは、前記第1のレンズ構成部分を通って前記物体側に向かって光を放出する複数の光源と、該複数の光源を保持するように構成されたキャリアと、光学フィルムとを有し、
前記キャリアは、開口と、該キャリアの開口を取り囲む底面と、前記キャリアの開口に隣接する前記底面の一端から前記物体に向かって延びる第1の側壁と、前記キャリアの開口から離れている前記底面の他端から前記物体に向かって延びる第2の側壁とを有し、
前記第1の側壁と前記底面と前記第2の側壁は、前記キャリアの開口を取り囲む凹部を形成しており、前記複数の光源は少なくとも部分的に前記凹部内に配置されており、
前記複数の光源は、前記光学フィルムと前記キャリアとの間に在り、
前記光学フィルムは開口を有し、前記キャリアの開口と前記光学フィルムの開口は、前記共通の光軸により貫通されており、全体として前記光源モジュールの開口部を形成しており、
前記光電素子は、前記レンズモジュールと前記キャリアの開口を通して前記物体側から物体光を受光するように構成されていることを特徴とする光学検査システム。 - 前記複数の光源は、前記キャリアの開口を露出するように、前記キャリア上に環状に配列されることを特徴とする請求項1に記載の光学検査システム。
- 前記複数の光源の第1の部分と前記複数の光源の第2の部分は、異なる放出角度を有することを特徴とする請求項1に記載の光学検査システム。
- 前記複数の光源の第1の部分は、前記キャリアの開口の近くに環状に配列され、前記複数の光源の第2の部分は、前記キャリアの開口から離れて環状に配列されることを特徴とする請求項3に記載の光学検査システム。
- 前記光源モジュールは、前記キャリアと前記光源との間に配置された反射層を有することを特徴とする請求項1に記載の光学検査システム。
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