JP5395369B2 - 基板検査装置 - Google Patents
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Description
11 基板
12 開口部
13 ロッドレンズ
14 ボールレンズ
15 第1のLED
16 第2のLED
20 撮像ヘッド
21 筐体
22 光学系
23 CCDラインセンサ
24 LED駆動部
30 制御部
35 移動手段
100 プリント配線基板
101 パターン
102 パターン
103 パターン
104 パターン
Claims (3)
- セミアディティブ法により作成されたプリント配線基板の表面を撮像する基板検査装置において、
CCDラインセンサと、
前記CCDラインセンサにおけるCCDの列設方向と平行な方向に延びる一対のシリンドリカルレンズと、前記シリンドリカルレンズに対してプリント配線基板とは逆側に前記シリンドリカルレンズの長手方向に沿って複数個列設された第1のLEDとから成り、前記CCDラインセンサの視野に指向性を持ったライン状の光を照射する第1照明手段と、
前記一対のシリンドリカルレンズの周囲を取り囲むように配設されたレンズと、前記レンズに対してプリント配線基板とは逆側に配設された第2のLEDとから成り、前記CCDラインセンサの視野に指向性を持った光を照射する第2照明手段と、
前記一対のシリンドリカルレンズの間に形成され、前記第1照明手段および前記第2照明手段により照射され前記プリント配線基板の表面で反射した光を通過させて、前記CCDラインセンサに入射させるための開口部と、
を備え、
前記第1のLEDおよび前記第2のLEDは、同一の平面状の基板に直接実装されたLEDのベアチップであるとともに、
前記一対のシリンドリカルレンズは、前記第1のLED素子から出射された光を前記CCDラインセンサの視野に照射するために、前記第1のLED素子と対向する位置よりも前記CCDラインセンサの視野側に偏位して配置され、
前記レンズは、前記第2のLED素子から出射された光を前記CCDラインセンサの視野に照射するために、前記第2のLED素子と対向する位置よりも前記CCDラインセンサの視野側に偏位して配置されることを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1に記載の基板検査装置において、
前記シリンドリカルレンズは、その断面が円形のロッドレンズである基板検査装置。 - 請求項2に記載の基板検査装置において、
前記レンズは、球形状を有する複数のボールレンズであり、
前記第2のLEDは、前記各ボールレンズに対応して配設されている基板検査装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008147557A JP5395369B2 (ja) | 2008-06-05 | 2008-06-05 | 基板検査装置 |
TW098106704A TW200951422A (en) | 2008-06-05 | 2009-03-02 | Substrate inspection device |
KR1020090017455A KR20090127041A (ko) | 2008-06-05 | 2009-03-02 | 기판 검사 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008147557A JP5395369B2 (ja) | 2008-06-05 | 2008-06-05 | 基板検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009294061A JP2009294061A (ja) | 2009-12-17 |
JP5395369B2 true JP5395369B2 (ja) | 2014-01-22 |
Family
ID=41542366
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008147557A Active JP5395369B2 (ja) | 2008-06-05 | 2008-06-05 | 基板検査装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5395369B2 (ja) |
KR (1) | KR20090127041A (ja) |
TW (1) | TW200951422A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101182822B1 (ko) * | 2011-03-29 | 2012-09-13 | 삼성전자주식회사 | 발광소자 검사장치 및 방법 |
TWI596318B (zh) * | 2016-01-13 | 2017-08-21 | 德律科技股份有限公司 | 光學測量系統以及光學成像系統 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62103545A (ja) * | 1985-10-30 | 1987-05-14 | Nissan Motor Co Ltd | 鮮映性測定方法 |
JP2562299Y2 (ja) * | 1992-06-05 | 1998-02-10 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 画像読取装置用の照明装置 |
JPH09236410A (ja) * | 1996-02-29 | 1997-09-09 | Idec Izumi Corp | 被検査対象検出装置 |
JP3570815B2 (ja) * | 1996-04-26 | 2004-09-29 | 松下電器産業株式会社 | 部品実装機用画像撮像装置 |
JPH11237850A (ja) * | 1998-02-23 | 1999-08-31 | Nokeg & G Opt Electronics Kk | Led表示装置 |
JP2000153601A (ja) * | 1998-11-19 | 2000-06-06 | Toshiba Mach Co Ltd | 印刷物監視装置 |
JP3634985B2 (ja) * | 1999-08-26 | 2005-03-30 | 住友大阪セメント株式会社 | 光学的表面検査機構及び光学的表面検査装置 |
JP2001242090A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-09-07 | Nkk Corp | 表面検査装置 |
JP3686329B2 (ja) * | 2000-08-22 | 2005-08-24 | シーシーエス株式会社 | 表面検査用照明装置及び表面検査装置 |
JP3769670B2 (ja) * | 2002-02-18 | 2006-04-26 | 日本電気株式会社 | 多層配線構造 |
JP4222764B2 (ja) * | 2002-02-18 | 2009-02-12 | シーシーエス株式会社 | 検査用照明装置 |
JP3927878B2 (ja) * | 2002-04-16 | 2007-06-13 | シーシーエス株式会社 | 検査等に用いる照明装置 |
JP2004101311A (ja) * | 2002-09-09 | 2004-04-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ラインセンサカメラ用の照明装置および照明方法 |
JP2005337957A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板検査装置 |
JP2006275836A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板検査装置 |
TW200702656A (en) * | 2005-05-25 | 2007-01-16 | Olympus Corp | Surface defect inspection apparatus |
JP2008096430A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-04-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥検査方法およびその装置 |
-
2008
- 2008-06-05 JP JP2008147557A patent/JP5395369B2/ja active Active
-
2009
- 2009-03-02 TW TW098106704A patent/TW200951422A/zh unknown
- 2009-03-02 KR KR1020090017455A patent/KR20090127041A/ko not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200951422A (en) | 2009-12-16 |
JP2009294061A (ja) | 2009-12-17 |
KR20090127041A (ko) | 2009-12-09 |
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