JP6444787B2 - 弾性波デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
12 金属膜
14 保護膜
16 シード層
22 めっき層
24 空隙
30、32、34 配線
40 固定部
42 突出部
70、72、74 弾性波素子
Claims (5)
- 基板と、
前記基板上に形成された弾性波素子と、
前記基板上に形成され前記弾性波素子に電気的に接続された第1配線と、
端部が前記第1配線に固定され、前記基板上に空隙を介し形成された第2配線と、
を具備し、
前記第1配線は、
前記第1配線の端部に形成され、上方に突出し前記第2配線が固定される固定部と、
前記第1配線の端部に形成され、前記固定部に接し、前記第2配線の延伸方向から見て前記固定部の外側に形成され、上方に突出した突出部と、
を備え、
前記第1配線の端部は前記延伸方向に交差する方向に延伸し、前記固定部の前記第2配線が固定された領域の下の前記空隙側の側面と前記突出部の前記空隙側の側面とは前記交差する方向に沿って設けられ、
前記突出部は、前記第1配線の端部の一部に形成され、前記端部の残部に形成されておらず、
前記第1配線および前記第2配線は、シード層と、前記シード層上に形成されためっき層とを含み、
前記突出部の前記空隙側の側面および前記固定部の前記第2配線が固定された領域の下の前記空隙側の側面に沿って前記シード層が上方に伸び、前記突出部の形成されていない前記第1配線の端部の前記空隙側の側面においては、前記シード層は上方に伸びていないことを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記基板上に形成された第3配線を具備し、
前記第2配線は前記第3配線の上方に空隙を介し形成されていることを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。 - 前記第1配線は、基板上に形成された金属膜と、前記金属膜上に形成されたシード層と、前記シード層上に形成されためっき層とを含み、
前記第2配線は、前記シード層および前記めっき層を含み、前記金属膜を含まず、
前記第3配線は、前記金属膜を含み、前記シード層および前記めっき層を含まないことを特徴とする請求項2記載の弾性波デバイス。 - 前記第2配線の上面は、前記固定部および前記突出部の上面と同じ高さを有し、前記第1配線のうち前記固定部および前記突出部以外の上面より高い請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 基板上に、弾性波素子および前記弾性波素子に電気的に接続する第1配線となる領域に金属膜を形成する工程と、
前記基板上に、前記第1配線となる領域内の前記金属膜上が第1開口となり、第2配線となる領域が前記第1開口とならない第1マスク層を形成する工程と、
前記第1開口内の前記金属膜に接触し、前記第1マスク層を覆うようにシード層を形成する工程と、
前記第2配線となる領域の前記第2配線の延伸方向からみて両側に位置し前記第1マスク層の側面に形成された前記シード層が第2開口に露出するように、前記シード層上の前記第1配線となる領域および前記第2配線となる領域が前記第2開口となる第2マスク層を形成する工程と、
前記シード層から給電することにより、前記第2開口内のシード層上にめっき層を形成する工程と、
前記第1マスク層および前記第2マスク層を除去することで前記第1開口以外のシード層をリフトオフすることにより、前記第1配線の端部に形成され、上方に突出し前記第2配線が固定される固定部と、前記第1配線の端部に形成され、前記固定部に接し、前記第2配線の延伸方向から見て前記固定部の外側に形成され、上方に突出した突出部と、を備える前記第1配線を、前記第1配線の端部が前記延伸方向に交差する方向に延伸し、前記固定部の前記第2配線が固定された領域の下の空隙側の側面と前記突出部の前記空隙側の側面とが前記交差する方向に沿って設けられるように形成する工程と、
を含み、
前記第2マスク層を形成する工程は、前記第1マスク層の側面に形成された前記シード層のうち前記突出部となる領域より外側が前記第2開口に露出しないように前記第2マスク層を形成する工程を含むことを特徴とする弾性波デバイスの製造方法。
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