JP6443097B2 - 液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置 - Google Patents

Description

本発明は、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置に関する。

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、これらの複合機等の画像形成装置として、例えば、液滴吐出ヘッドで構成した記録ヘッド（以下、ヘッドともいう）を含む装置を用いて、記録媒体（以下、記録紙ともいうが材質を限定するものではなく、印刷媒体、被記録媒体、記録用紙、転写材、用紙なども同義で使用する）を搬送しながら、液体としてのインク（記録液）を記録紙に付着させて画像形成（記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる）を行なう、いわゆるインクジェット方式の画像形成装置（インクジェット記録装置ともいう）が知られている。

このようなインクジェット記録装置に用いられる液滴吐出ヘッドは、一般に、複数のノズル列を有し、ノズル列に連通した複数の個別液室（圧力室）を有し、該複数の個別液室には比較的容積の大きな共通の共通液室が連通されている構成が一般的である。個別液室に選択的にエネルギーを印加することにより個別液室を変形させ、液滴を吐出させて任意の画像をオンデマンドで形成することができる。エネルギーの印加媒体（駆動手段、アクチュエータともいう）としては、例えば、圧電素子やヒーターチップなどが知られている。

近年、より高品位な画像を、より速い印刷速度で出力できること（印刷速度の高速化および高画質化）が求められている。画像の高画質化の要求に対しては、ノズルの数を増加して高密度化する傾向にある。それに伴い、各個別液室の間隔は狭まり、またエネルギー印加の周波数も高くなる傾向にある。

エネルギーの印加媒体として数百から数千の圧電素子を搭載した態様においては、圧電素子を駆動させた際に、他の圧電素子、特に隣接する圧電素子への振動特性への影響を小さくするために、保持基板を設ける構成が知られている。
高密度に圧電素子が設けられたアクチュエータ基板において、チャネル間の変位特性や振動特性のばらつきを小さくするために、保持基板との位置関係は高精度化が要求される。

これに対し、保持基板とアクチュエータ基板との接合信頼性やアライメント精度を向上させるための技術が提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。

特許文献１には、基板の反りを抑制して基板との接合信頼性を高めるために、保持基板が駆動ＩＣを個別液室基板上に設置するための開口部を有し、該開口部を形成する側面が撥水性を有する液滴吐出ヘッドが開示されている。保持基板と個別液室基板とは、接着剤により接合されることが記載されている。
特許文献２には、複雑な構造にすることなく小型化を両立させ、圧力室の所定個数毎に液体を供給する開口形成された複数リザーバ間の隔壁の剛性を確保するために、リザーバと圧力室とを連通させる供給口がリザーバ基板の開口部の形成面に所定の深さの凹部により構成された液滴吐出ヘッドが開示されている。キャビティ基板とリザーバ基板とを接着剤を用いて直接接合する態様が記載されている。

しかしながら、シリコンウエハのような比較的大きい部品における貼り合わせや、プレス部品等の凹凸が大きい部品の貼り合わせにおいては、均一な接着品質を得るために接合時に加圧が必要となるため、保持基板とアクチュエータ基板との位置ずれが生じやすい。

そこで本発明は、接着剤を介した保持基板とアクチュエータ基板との接合において、加圧による位置ずれの発生を防止可能な液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。

かかる目的を達成するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、液体を吐出する複数のノズルが設けられたノズル基板と、前記ノズル基板と接合され、隔壁により区切られた複数の液室が設けられた液室基板と、前記液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板と、前記振動板に接合され、前記液室内の液体を加圧する圧力を発生する駆動手段と、前記液室基板の前記ノズル基板とは反対側に接着剤を介して接合され、液体を前記液室に供給するための貫通口が設けられた保持基板と、を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記保持基板は、前記液室基板との接合面に開口パターンが形成された開口パターン領域を複数有し、前記開口パターン領域ごとに異なる方向に傾斜したアンカー部が前記接着剤により形成されてなることを特徴とする。

本発明によれば、接着剤を介した保持基板とアクチュエータ基板との接合において、加圧による位置ずれの発生を防止可能な液滴吐出ヘッドを提供することができる。

本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの一例を示す個別液室短手方向の断面図である。 保持基板とアクチュエータ基板との接合の流れの一例を模式的に示す説明図である。 保持基板とアクチュエータ基板との接合の流れの一例を示すフローチャートである。 保持基板のアクチュエータ基板との接合面を示す模式図であり、（Ａ）は全体図、（Ｂ）は（Ａ）の部分拡大図である。 接着剤が塗布された状態の保持基板のアクチュエータ基板との接合面の部分拡大図である。 保持基板とアクチュエータ基板との接合状態における断面の例を示す模式図である。 保持基板の開口パターンとアンカー部の傾斜を説明する模式図である。 保持基板の断面の一例を示す模式図である。 接着剤の塗布に用いられるフレキソ印刷装置の断面模式図である。 フレキソ印刷装置の凸版の拡大図である。 フレキソ印刷装置の凸版と保持基板の開口パターンとの関係を示す説明図である。 ディスペンサによる接着剤の塗布を説明する模式図である。 本実施形態に係る画像形成装置の構成の一例を示す側面図である。 本実施形態に係る画像形成装置の構成の一例を示す斜視図である。 本実施形態に係る画像形成装置の構成の一例を示す側面図である。

以下、本発明に係る液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置について、図面を参照して説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。

本実施形態に係る液滴吐出ヘッドは、液体を吐出する複数のノズルが設けられたノズル基板と、前記ノズル基板と接合され、隔壁により区切られた複数の液室が設けられた液室基板と、前記液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板と、前記振動板に接合され、前記液室内の液体を加圧する圧力を発生する駆動手段と、前記液室基板の前記ノズル基板とは反対側に接着剤を介して接合され、液体を前記液室に供給するための貫通口が設けられた保持基板と、を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記保持基板は、前記液室基板との接合面に開口パターンが形成された開口パターン領域を複数有し、前記開口パターン領域ごとに異なる方向に傾斜したアンカー部が前記接着剤により形成されてなる。

図１は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの一例を示す個別液室短手方向の断面図である。
図１に示すように、液滴吐出ヘッドは、ノズル１６が設けられたノズル基板１７と、隔壁１４により区切られた複数の液室（個別液室）１５が設けられた液室基板と、液室１５の少なくとも一部の壁面を形成する振動板１２と、振動板１２に接合され、上部電極、下部電極、圧電体からなり、液室１５内の液体を加圧する圧力を発生する駆動手段（以下、「圧電アクチュエータ」という）１１と、圧電アクチュエータ１１、振動板１２、及び液室１５を保持する保持基板１３から構成されている。
以下、圧電アクチュエータ１１と、振動板１２と、液室１５が形成された液室基板で構成される部材をアクチュエータ基板１９という。

ノズル基板１７の材料は、所望の剛性や加工性に応じて種々選択可能である。例えば、ＳＵＳ、ニッケル等の金属または合金や、シリコン、セラミックス等の無機材料、ポリイミド等の樹脂材料を用いることができる。

ノズル１６の加工方法は、ノズル基板１７の材料特性や要求される精度・加工性から最適な方法を選択すればよく、例えば、電鋳めっき法、エッチング法、プレス加工法、レーザ加工法、フォトリソグラフィ法等によればよい。また、ノズル１６の開口径、ノズル配列数、配列密度等についても、要求される仕様に合わせて所望の組み合わせを設定すればよい。

液室基板の材料は、所望の加工性・物性から種々選択可能であるが、例えば、フォトリソグラフィ法を利用できるシリコン基板を用いることが好ましい。液室１５の加工は任意のものを用いることができるが、前述のフォトリソグラフィ法を用いる場合は、ウェットエッチング法、ドライエッチング法のいずれかを用いることができる。

圧電アクチュエータ１１は、電極材料がＡｕ、Ｐｔ、Ｉｒ等により構成され、圧電体のＰＺＴとの密着力、振動板１２との密着力を向上させるために、ＴｉＯ_２やＳＲＯ等の酸化物を電極層として用いる。酸化物電極層は、圧電体の酸素欠損の補填等の効果もある。

保持基板１３は、液室１５に対向する領域に、圧電アクチュエータ１１を駆動し振動板１２が変位できる空間を確保するための凹部１３ａを有する。保持基板１３の凹部１３ａは、液室１５ごとに区画され、隔壁１４に対応する位置に接合される。これにより、板厚の薄い液室基板の剛性を高めることができ、圧電アクチュエータ１１を駆動した際の隣接する液室１５間の相互干渉を低減することが可能となる。
保持基板１３の材料としては、例えば、シリコンや樹脂などが挙げられる。

保持基板１３は、アクチュエータ基板１９を構成する液室基板との接合面（以下、「アクチュエータ基板１９との接合面」ともいう）に開口パターンが形成された開口パターン領域を複数有し、開口パターン領域ごとに異なる方向に傾斜したアンカー部が接着剤により形成されてなる。アンカー部は、接着剤量が局所的に多くなっているライン状の部分である。接着剤が局所的に多くなっている部分において、接着剤は保持基板１３の開口パターンに溜まることによってアンカー効果を発揮し、加圧による位置ずれ量を低減することができる。
そして、複数の開口パターンごとに異なる傾きのアンカー部が設けられることにより、複数の方向の位置ずれに対して耐性を確保することができる。

まず、保持基板１３とアクチュエータ基板１９の接着プロセスについて図２及び図３により説明する。図２は、保持基板１３とアクチュエータ基板１９の接着プロセスを模式的に示した図であり、図３はフローチャートである。

保持基板１３（図２の（Ａ））に、接着剤２０を塗布する（図２の（Ｂ）、図３のＳ０１）。
次いで、保持基板１３とアクチュエータ基板１９とをアライメントマーク等を用いて位置合わせを行い（図２の（Ｃ）、図３のＳ０２）、接触させる（図２の（Ｄ）、図３のＳ０３）。
弱圧状態で接着させた後、この時点で生じた位置ずれを修正するために再度アライメントを行い（図３のＳ０４）、その後加圧（本加圧）を行い（図３のＳ０５）、加圧状態を保持したまま接着剤２０が硬化する温度まで加熱し（図３のＳ０６）、接着剤を硬化させる。

図３のステップＳ０５の加圧工程において、シリコンウエハのような大きなサイズの基板や、局所的なうねりを有する基板の接合では、均一な接着状態を得るために、反りを矯正するのに必要な加圧が必要となる。比較的大きな加圧を行う場合、位置ずれの発生を防ぐ必要がある。
そこで、本実施形態の液滴吐出ヘッドの製造方法においては、図３のステップＳ０１の接着剤塗布工程において、保持基板１３の液室基板との接合面に開口パターン領域ごとに異なる傾斜のアンカー部が形成されるように接着剤を塗布した後、以降の保持基板１３と液室基板とを接合する工程を行う。

アンカー部の具体的な構成と位置ずれの発生を防止する機構について、図４〜図８に基づき説明する。
図４（Ａ）は、保持基板１３のアクチュエータ基板１９との接合面を示した模式図であり、図４（Ｂ）は（Ａ）の下部の四角形で囲んだ部分の拡大図である。
図４（Ｂ）に示すように、保持基板１３は、略四角形で形成された開口パターンが規則性をもって配列された開口パターン領域１８ａ、１８ｂ及び１８ｃを有する。
これらの開口パターンは、保持基板１３がシリコンからなる場合、ウェットエッチングやドライエッチングにより形成される。

図５は、接着剤が塗布された状態の保持基板１３のアクチュエータ基板１９との接合面の部分拡大図（写真）である。アンカー部２１は、明確にするために写真上に図示している。
それぞれの開口パターン領域ごとに異なる方向に傾斜したアンカー部２１（２１ａ、２１ｂ、２１ｃ）が接着剤２０により形成されている。

図６は、保持基板とアクチュエータ基板との接合状態における断面の例を示す模式図である。
接着剤量が局所的に多いアンカー部２１を設けることにより、図６（Ａ）に示すように、接着剤２０が開口パターン１８で形成された空隙（開口部）に侵入してアンカーとして作用し、位置ずれ（図の左右方向のずれ）を低減させることができる。
また、図６（Ｂ）に示すような状態でも開口部に侵入した接着剤２０によるアンカー効果が得られる。

図７は、保持基板１３の一つの開口パターン領域における開口パターン１８とアンカー部２１の傾斜との関係を説明する模式図である。
図７に示すように、開口パターン１８が配列されている方向（図中の矢印２２）は、ベタ領域が続くため滑りやすく、位置ずれが発生しやすい。そこで、開口パターン１８の配列方向（図中の矢印２２）とは異なる方向にアンカー部２１を設けることが好ましい。
図７に示した例では、開口パターン１８の開口形状が四角形であり、アンカー部２１は四角形の各辺の方向に対して傾斜している。本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、開口パターンの開口形状が略四角形であり、アンカー部２１は略四角形の各辺の方向に対して傾斜していることが好ましい。

また、複数の開口パターン領域において、各領域の開口パターン１８は、開口形状が略同一で配設方向が異なるように設けられることが好ましい。
略同一の開口パターンを設けることで、開口部へ侵入する接着剤量を均一にすることができ、接合面におけるアンカー効果の均一化を達成することができる。すなわち、接合面の均一な接合品質を得ることができる。

さらに、開口パターン１８は、開口深さが均一であることが好ましい。
図８は、保持基板の断面の一例を示す模式図である。
図８に示すように、開口パターン１８の開口幅や開口深さ（加工深さ）を均一にすることによって、開口パターン１８に溜まる接着剤２０の量が多い箇所や少ない箇所が生じるのを抑制し、アンカー効果を均一化でき、位置ずれ量を小さくすることができる。

次に、接着剤の塗布方法について説明する。
保持基板１３の液室基板との接合面に、開口パターン領域ごとに異なる傾斜のアンカー部２１が形成されるように接着剤２０を塗布する工程において、接着剤２０を塗布する方法としては、フレキソ印刷による方法、ディスペンサ装置による方法などが挙げられる。

図９に、接着剤をフレキソ印刷により塗布する方法を模式的に示す。
図９に示すフレキソ印刷装置は、回転するアニロックスロール４３上に接着剤２０を滴下し、ドクターブレード４４を用いて薄層にのばし、アニロックスロール４３上の薄層化した接着剤２０を回転する塗布ロール４２上に設けた表面に微細な凹凸を持つ樹脂凸版４０に転写する。このとき、樹脂凸版４０上の凹凸に接着剤２０が保持される。
ステージ４５上に被塗布部材である保持基板１３を載置して矢印の方向に移動させ、塗布ロール４２を回転させて、樹脂凸版４０上に保持されている接着剤２０を保持基板１３上に転写する。

本実施形態の液滴吐出ヘッドの製造方法では、樹脂凸版４０のパターンと、保持基板１３の開口パターン１８とのモアレ現象を利用することにより、接着剤量が局所的に多くなったアンカー部２１を形成することができる。

図１０及び図１１は、樹脂凸版４０の拡大図（写真）である。
樹脂凸版４０には、円柱形状の凸状部４１が一定方向に配列されたパターンが形成されている。
図１１に示す枠１８ａは、保持基板１３の開口パターン１８に対応する領域を模式的に示したもので、白枠で囲んだ凸状部４１は、保持基板１３と当接したとき開口パターン１８に収容されるため、凸状部４１周囲の隙間に保持されている接着剤２０が流出しやすくなる。よって、白枠で囲んだ凸状部４１に沿って接着剤２０の転写量の多い領域（アンカー部２１）が形成される。

すなわち、樹脂凸版４０のパターンと、保持基板１３の開口パターン１８との組合せを適宜設定することにより、所望の位置にアンカー部２１を形成することができる。

一方、図１２に示すように、接着剤をディスペンサにより塗布することもできる。
この方法によれば、ディスペンサにより接着剤２０の量が局所的に多い領域を容易に形成することが可能となるため、接着剤供給方式および保持基板１３の開口パターン設計の自由度を確保することができる。

＜画像形成装置＞
本発明にかかる画像形成装置について図１３〜図１５に基づき説明する。

図１３は、本実施形態の液滴吐出ヘッド１を備える画像形成装置の一例としてのインクジェット記録装置５０である。
インクジェット記録装置５０はブラック（Ｂ）とシアン（Ｃ）とマゼンタ（Ｍ）とイエロー（Ｙ）の４色にそれぞれ対応した液滴吐出ヘッド１Ｂ，１Ｃ，１Ｍ，１Ｙを有する。

各液滴吐出ヘッド１には維持機構装置５１があり、パージ処理、ワイピング処理などの保全動作時には液滴吐出ヘッド１のノズル面に対向する位置に移動する。この液滴吐出ヘッド１は記録媒体の印字領域幅以上の長さのノズル列を有するライン型からなる。
給紙トレイ５２は圧板５３と、記録紙３０を給紙する給送回転体５４がベース５５に取り付けられている。圧板５３はベース５５に取り付けられた回転軸を中心に回転可能であり、圧板ばね５６により給送回転体５４に押圧される。
給送回転体５４と対向する圧板５３の部位には、記録紙３０の重送を防止するため、人工皮等の摩擦係数の大きい材質からなる分離パッドが設けられている。また、圧板５３と給送回転体５４の当接を解除するリリースカムが設けられている。

このインクジェット記録装置５０で、待機状態ではリリースカムが圧板５３を所定位置まで押し下げている。これにより圧板５３と給送回転体５４の当接は解除される。この状態で搬送ローラ５７の有する駆動力がギヤ等により給送回転体５４及びリリースカムに伝達されると、リリースカムが圧板５３から離れて圧板５３は上昇して記録紙３０が給送回転体５４に当接し、給送回転体５４の回転に伴い記録紙３０はピックアップされ給紙を開始し、分離爪によって１枚ずつ分離される。

給送回転体５４は記録紙３０をプラテン５８に送り込むべく回転する。記録紙３０はガイド６０の間を通過して搬送ローラ５７まで導かれプラテン５８まで搬送される。その後、再び記録紙３０と給送回転体５４との当接を解除した待機状態となって搬送ローラ５７からの駆動力が切られる。

また、手差しトレイ６１から供給された記録紙３０も給送回転体６２により搬送ローラ５７からプラテン５８まで搬送される。プラテン５８まで搬送された記録紙３０は液滴吐出ヘッド１Ｂ，１Ｃ，１Ｍ，１Ｙにより紙搬送速度と液滴吐出のタイミングを制御された信号に基づき所望の画像が形成される。

画像が記録された記録紙３０は排紙ローラ６３と拍車６４とにより搬送されて排紙トレイ６５に排出される。

このようにライン型の液滴吐出ヘッド１Ｂ，１Ｃ，１Ｍ，１Ｙを使用して記録紙３０に所望の画像を迅速に形成することができる。

図１４及び図１５は、本実施形態の液滴吐出ヘッド１を備える画像形成装置の他の一例としてのインクジェット記録装置５０である。
図１４は本実施形態の一例のインクジェット記録装置１００の斜視図であり、図１５は機構部の構成を示す側面図である。

記録装置１００は、装置本体の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ１０１とキャリッジ１０１に搭載した液滴吐出ヘッド１及び液滴吐出ヘッド１に対してインクを供給するインクカートリッジ１０２等で構成される印字機構部１０３等を収納し、装置本体の下方部には前方側から多数枚の記録紙３０を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい）１０４を抜き差し自在に装着されている。また、記録紙３０を手差しで給紙するために開かれる手差しトレイ１０５を有し、給紙カセット１０４あるいは手差しトレイ１０５から給送される記録紙３０を取り込み、印字機構部１０３によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１０６に排紙する。

印字機構部１０３は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１０７と従ガイドロッド１０８とでキャリッジ１０１を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ１０１にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する液滴吐出ヘッド１を複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ１０１には液滴吐出ヘッド１に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ１０２を交換可能に装着している。

インクカートリッジ１０２は上方に大気と連通する大気口、下方には液滴吐出ヘッド１へインクを供給する供給口が設けられ、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により液滴吐出ヘッド１へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、液滴吐出ヘッド１としては各色の液滴吐出ヘッド１を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個の液滴吐出ヘッドでもよい。

ここでキャリッジ１０１は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド１０７に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド１０８に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ１０１を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１０９で回転駆動される駆動プーリ１１０と従動プーリ１１１との間にタイミングベルト１１２を張装し、このタイミングベルト１１２をキャリッジ１０１に固定しており、主走査モータ１０９の正逆回転によりキャリッジ１０１が往復駆動される。

一方、給紙カセット１０４にセットした記録紙３０を液滴吐出ヘッド１の下方側に搬送するために、給紙カセット１０４から記録紙３０を分離給装する給紙ローラ１１３及びフリクションパッド１１４と、記録紙３０を案内するガイド部材１１５と、給紙された記録紙３０を反転させて搬送する搬送ローラ１１６と、この搬送ローラ１１６の周面に押し付けられる搬送コロ１１７及び搬送ローラ１１６からの記録紙３０の送り出し角度を規定する先端コロ１１８とを有する。搬送ローラ１１６は副走査モータによってギヤ列を介して回転駆動される。

そして、キャリッジ１０１の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１１６から送り出された記録紙３０を液滴吐出ヘッド１の下方側で案内するため用紙ガイド部材である印写受け部材１１９を設けている。この印写受け部材１１９の用紙搬送方向下流側には、記録紙３０を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１２０と拍車１２１を設け、さらに記録紙３０を排紙トレイ１０６に送り出す排紙ローラ１２３と拍車１２４と、排紙経路を形成するガイド部材１２５，１２６とを配設している。

この記録装置１００で記録時には、キャリッジ１０１を移動させながら画像信号に応じて液滴吐出ヘッド１を駆動することにより、停止している記録紙３０にインクを吐出して１行分を記録し、その後、記録紙３０を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または記録紙３０の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ記録紙３０を排紙する。

また、キャリッジ１０１の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、液滴吐出ヘッド１の吐出不良を回復するための回復装置１２７を配置している。回復装置１２７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ１０１は印字待機中にはこの回復装置１２７側に移動されてキャッピング手段で液滴吐出ヘッド１をキャッピングして吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。

また、吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で液滴吐出ヘッド１の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。

上述のインクジェット記録装置５０、１００においては、アクチュエータ基板と保持基板の位置ずれ量が小さく、液滴の吐出ばらつきが小さい液滴吐出ヘッド１を搭載しているので、安定したインク滴吐出特性が得られ、画像品質を向上することができる。

以上インクジェット記録装置５０、１００に本実施形態の液滴吐出ヘッド１を使用した場合について説明したが、インク以外の液滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する装置に本実施形態の液滴吐出ヘッド１を適用しても良い。

１ 液滴吐出ヘッド
１１ アクチュエータ（駆動手段）
１２ 振動板
１３ 保持基板
１４ 隔壁
１５ 液室（個別液室）
１６ ノズル
１７ ノズル板
１８ 開口パターン
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ 開口パターン領域
１９ アクチュエータ基板
２０ 接着剤
２１ アンカー部
３０ 記録紙
５０、１００ 画像形成装置

特開２０１４−１５１５３６号公報 特開２００９−２８５９３１号公報

Claims (8)

1. 液体を吐出する複数のノズルが設けられたノズル基板と、
   前記ノズル基板と接合され、隔壁により区切られた複数の液室が設けられた液室基板と、
   前記液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板と、
   前記振動板に接合され、前記液室内の液体を加圧する圧力を発生する駆動手段と、
   前記液室基板の前記ノズル基板とは反対側に接着剤を介して接合され、液体を前記液室に供給するための貫通口が設けられた保持基板と、を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記保持基板は、前記液室基板との接合面に開口パターンが形成された開口パターン領域を複数有し、前記開口パターン領域ごとに異なる方向に傾斜したアンカー部が前記接着剤により形成されてなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
2. 前記開口パターンの開口形状が略四角形であり、前記アンカー部は略四角形の各辺の方向に対して傾斜していることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
3. 複数の前記開口パターン領域において、各領域の前記開口パターンは、開口形状が略同一で配設方向が異なることを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッド。
4. 前記開口パターンの開口深さが均一であることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。
5. 請求項１から４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
   前記保持基板の前記液室基板との接合面に、前記開口パターン領域ごとに異なる傾斜のアンカー部が形成されるように前記接着剤を塗布した後、前記保持基板と前記液室基板とを接合する工程を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
6. 前記接着剤をフレキソ印刷により塗布することを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
7. 前記接着剤をディスペンサにより塗布することを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。
8. 請求項１から４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを備えることを特徴とする画像形成装置。