JP6443097B2 - Droplet discharge head, method for manufacturing droplet discharge head, and image forming apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置に関する。 The present invention relates to a droplet discharge head, a method for manufacturing a droplet discharge head, and an image forming apparatus.
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、これらの複合機等の画像形成装置として、例えば、液滴吐出ヘッドで構成した記録ヘッド（以下、ヘッドともいう）を含む装置を用いて、記録媒体（以下、記録紙ともいうが材質を限定するものではなく、印刷媒体、被記録媒体、記録用紙、転写材、用紙なども同義で使用する）を搬送しながら、液体としてのインク（記録液）を記録紙に付着させて画像形成（記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる）を行なう、いわゆるインクジェット方式の画像形成装置（インクジェット記録装置ともいう）が知られている。 As an image forming apparatus such as a printer, a facsimile machine, a copying machine, and a multifunction machine of these, for example, an apparatus including a recording head (hereinafter, also referred to as a head) constituted by a droplet discharge head is used. However, the material is not limited, and printing medium, recording medium, recording paper, transfer material, paper, etc. are also used synonymously, and ink (recording liquid) as a liquid adheres to the recording paper A so-called ink jet type image forming apparatus (also referred to as an ink jet recording apparatus) that performs image formation (recording, printing, printing, and printing are also used synonymously) is known.
このようなインクジェット記録装置に用いられる液滴吐出ヘッドは、一般に、複数のノズル列を有し、ノズル列に連通した複数の個別液室（圧力室）を有し、該複数の個別液室には比較的容積の大きな共通の共通液室が連通されている構成が一般的である。個別液室に選択的にエネルギーを印加することにより個別液室を変形させ、液滴を吐出させて任意の画像をオンデマンドで形成することができる。エネルギーの印加媒体（駆動手段、アクチュエータともいう）としては、例えば、圧電素子やヒーターチップなどが知られている。 A droplet discharge head used in such an ink jet recording apparatus generally has a plurality of nozzle rows, a plurality of individual liquid chambers (pressure chambers) communicating with the nozzle rows, and the plurality of individual liquid chambers. In general, a common liquid chamber having a relatively large volume is communicated. By selectively applying energy to the individual liquid chamber, the individual liquid chamber can be deformed, and droplets can be ejected to form an arbitrary image on demand. As energy application media (also referred to as drive means or actuators), for example, piezoelectric elements, heater chips, and the like are known.
近年、より高品位な画像を、より速い印刷速度で出力できること（印刷速度の高速化および高画質化）が求められている。画像の高画質化の要求に対しては、ノズルの数を増加して高密度化する傾向にある。それに伴い、各個別液室の間隔は狭まり、またエネルギー印加の周波数も高くなる傾向にある。 In recent years, it has been demanded that higher quality images can be output at a higher printing speed (higher printing speed and higher image quality). In response to the demand for higher image quality, the number of nozzles tends to increase to increase the density. Accordingly, the intervals between the individual liquid chambers are narrowed, and the frequency of energy application tends to increase.
エネルギーの印加媒体として数百から数千の圧電素子を搭載した態様においては、圧電素子を駆動させた際に、他の圧電素子、特に隣接する圧電素子への振動特性への影響を小さくするために、保持基板を設ける構成が知られている。
高密度に圧電素子が設けられたアクチュエータ基板において、チャネル間の変位特性や振動特性のばらつきを小さくするために、保持基板との位置関係は高精度化が要求される。
In an aspect in which hundreds to thousands of piezoelectric elements are mounted as an energy application medium, when the piezoelectric element is driven, in order to reduce the influence on vibration characteristics of other piezoelectric elements, particularly adjacent piezoelectric elements. In addition, a configuration in which a holding substrate is provided is known.
In an actuator substrate provided with high-density piezoelectric elements, the positional relationship with the holding substrate needs to be highly accurate in order to reduce variations in displacement characteristics and vibration characteristics between channels.
これに対し、保持基板とアクチュエータ基板との接合信頼性やアライメント精度を向上させるための技術が提案されている（例えば、特許文献１及び２参照）。 In contrast, techniques for improving the bonding reliability and alignment accuracy between the holding substrate and the actuator substrate have been proposed (see, for example, Patent Documents 1 and 2).
特許文献１には、基板の反りを抑制して基板との接合信頼性を高めるために、保持基板が駆動ＩＣを個別液室基板上に設置するための開口部を有し、該開口部を形成する側面が撥水性を有する液滴吐出ヘッドが開示されている。保持基板と個別液室基板とは、接着剤により接合されることが記載されている。
特許文献２には、複雑な構造にすることなく小型化を両立させ、圧力室の所定個数毎に液体を供給する開口形成された複数リザーバ間の隔壁の剛性を確保するために、リザーバと圧力室とを連通させる供給口がリザーバ基板の開口部の形成面に所定の深さの凹部により構成された液滴吐出ヘッドが開示されている。キャビティ基板とリザーバ基板とを接着剤を用いて直接接合する態様が記載されている。
In Patent Document 1, in order to suppress the warpage of the substrate and increase the bonding reliability with the substrate, the holding substrate has an opening for installing the drive IC on the individual liquid chamber substrate, and the opening is A droplet discharge head having a water repellent side surface to be formed is disclosed. It is described that the holding substrate and the individual liquid chamber substrate are bonded by an adhesive.
In Patent Document 2, in order to achieve both miniaturization without a complicated structure and to secure rigidity of a partition wall between a plurality of reservoirs formed with openings for supplying liquid for each predetermined number of pressure chambers, There is disclosed a droplet discharge head in which a supply port that communicates with a chamber is formed by a recess having a predetermined depth on a surface where an opening of a reservoir substrate is formed. An embodiment is described in which a cavity substrate and a reservoir substrate are directly bonded using an adhesive.
しかしながら、シリコンウエハのような比較的大きい部品における貼り合わせや、プレス部品等の凹凸が大きい部品の貼り合わせにおいては、均一な接着品質を得るために接合時に加圧が必要となるため、保持基板とアクチュエータ基板との位置ずれが生じやすい。 However, in bonding of relatively large parts such as silicon wafers and bonding of parts with large irregularities such as pressed parts, pressure is required at the time of bonding in order to obtain uniform adhesion quality. And the actuator substrate are likely to be displaced.
そこで本発明は、接着剤を介した保持基板とアクチュエータ基板との接合において、加圧による位置ずれの発生を防止可能な液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a droplet discharge head that can prevent the occurrence of misalignment due to pressurization when a holding substrate and an actuator substrate are bonded via an adhesive.
かかる目的を達成するため、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、液体を吐出する複数のノズルが設けられたノズル基板と、前記ノズル基板と接合され、隔壁により区切られた複数の液室が設けられた液室基板と、前記液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板と、前記振動板に接合され、前記液室内の液体を加圧する圧力を発生する駆動手段と、前記液室基板の前記ノズル基板とは反対側に接着剤を介して接合され、液体を前記液室に供給するための貫通口が設けられた保持基板と、を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記保持基板は、前記液室基板との接合面に開口パターンが形成された開口パターン領域を複数有し、前記開口パターン領域ごとに異なる方向に傾斜したアンカー部が前記接着剤により形成されてなることを特徴とする。 In order to achieve such an object, a droplet discharge head according to the present invention includes a nozzle substrate provided with a plurality of nozzles for discharging a liquid, and a plurality of liquid chambers bonded to the nozzle substrate and separated by a partition wall. A liquid chamber substrate formed, a vibration plate forming at least a part of the wall surface of the liquid chamber, a driving unit joined to the vibration plate to generate pressure for pressurizing the liquid in the liquid chamber, and the liquid chamber substrate A holding substrate provided with a through-hole for supplying a liquid to the liquid chamber, and the holding substrate is bonded to the opposite side of the nozzle substrate via an adhesive. A plurality of opening pattern regions having an opening pattern formed on a joint surface with the liquid chamber substrate, and an anchor portion inclined in a different direction for each opening pattern region is formed by the adhesive. To do.
本発明によれば、接着剤を介した保持基板とアクチュエータ基板との接合において、加圧による位置ずれの発生を防止可能な液滴吐出ヘッドを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a liquid droplet ejection head capable of preventing the occurrence of displacement due to pressurization when the holding substrate and the actuator substrate are bonded via an adhesive.
以下、本発明に係る液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法及び画像形成装置について、図面を参照して説明する。なお、本発明は以下に示す実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、修正、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。 Hereinafter, a droplet discharge head, a method for manufacturing a droplet discharge head, and an image forming apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. The present invention is not limited to the embodiments described below, and other embodiments, additions, modifications, deletions, and the like can be changed within a range that can be conceived by those skilled in the art, and any aspect is possible. As long as the functions and effects of the present invention are exhibited, the scope of the present invention is included.
本実施形態に係る液滴吐出ヘッドは、液体を吐出する複数のノズルが設けられたノズル基板と、前記ノズル基板と接合され、隔壁により区切られた複数の液室が設けられた液室基板と、前記液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板と、前記振動板に接合され、前記液室内の液体を加圧する圧力を発生する駆動手段と、前記液室基板の前記ノズル基板とは反対側に接着剤を介して接合され、液体を前記液室に供給するための貫通口が設けられた保持基板と、を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記保持基板は、前記液室基板との接合面に開口パターンが形成された開口パターン領域を複数有し、前記開口パターン領域ごとに異なる方向に傾斜したアンカー部が前記接着剤により形成されてなる。 The droplet discharge head according to the present embodiment includes a nozzle substrate provided with a plurality of nozzles for discharging liquid, a liquid chamber substrate provided with a plurality of liquid chambers bonded to the nozzle substrate and separated by partition walls. A vibration plate that forms at least a part of the wall surface of the liquid chamber, a drive unit that is joined to the vibration plate and generates pressure to pressurize the liquid in the liquid chamber, and the nozzle substrate of the liquid chamber substrate A holding substrate that is bonded to the opposite side via an adhesive and provided with a through-hole for supplying a liquid to the liquid chamber, wherein the holding substrate is the same as the liquid chamber substrate. There are a plurality of opening pattern regions each having an opening pattern formed on the joint surface, and an anchor portion inclined in a different direction for each opening pattern region is formed by the adhesive.
図１は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの一例を示す個別液室短手方向の断面図である。
図１に示すように、液滴吐出ヘッドは、ノズル１６が設けられたノズル基板１７と、隔壁１４により区切られた複数の液室（個別液室）１５が設けられた液室基板と、液室１５の少なくとも一部の壁面を形成する振動板１２と、振動板１２に接合され、上部電極、下部電極、圧電体からなり、液室１５内の液体を加圧する圧力を発生する駆動手段（以下、「圧電アクチュエータ」という）１１と、圧電アクチュエータ１１、振動板１２、及び液室１５を保持する保持基板１３から構成されている。
以下、圧電アクチュエータ１１と、振動板１２と、液室１５が形成された液室基板で構成される部材をアクチュエータ基板１９という。
FIG. 1 is a cross-sectional view in the short direction of an individual liquid chamber showing an example of a droplet discharge head according to the present embodiment.
As shown in FIG. 1, the droplet discharge head includes a nozzle substrate 17 provided with nozzles 16, a liquid chamber substrate provided with a plurality of liquid chambers (individual liquid chambers) 15 separated by partition walls 14, and a liquid A diaphragm 12 that forms at least a part of the wall surface of the chamber 15, and a driving unit that is joined to the diaphragm 12 and includes an upper electrode, a lower electrode, and a piezoelectric body, and generates pressure to pressurize the liquid in the liquid chamber 15. (Hereinafter referred to as “piezoelectric actuator”) 11, the piezoelectric actuator 11, the diaphragm 12, and the holding substrate 13 that holds the liquid chamber 15.
Hereinafter, a member composed of the piezoelectric actuator 11, the vibration plate 12, and the liquid chamber substrate on which the liquid chamber 15 is formed is referred to as an actuator substrate 19.
ノズル基板１７の材料は、所望の剛性や加工性に応じて種々選択可能である。例えば、ＳＵＳ、ニッケル等の金属または合金や、シリコン、セラミックス等の無機材料、ポリイミド等の樹脂材料を用いることができる。 The material of the nozzle substrate 17 can be variously selected according to desired rigidity and workability. For example, a metal or alloy such as SUS or nickel, an inorganic material such as silicon or ceramics, or a resin material such as polyimide can be used.
ノズル１６の加工方法は、ノズル基板１７の材料特性や要求される精度・加工性から最適な方法を選択すればよく、例えば、電鋳めっき法、エッチング法、プレス加工法、レーザ加工法、フォトリソグラフィ法等によればよい。また、ノズル１６の開口径、ノズル配列数、配列密度等についても、要求される仕様に合わせて所望の組み合わせを設定すればよい。 As a processing method of the nozzle 16, an optimum method may be selected from the material characteristics of the nozzle substrate 17 and the required accuracy and workability. For example, electroforming plating method, etching method, press processing method, laser processing method, photo processing A lithography method or the like may be used. Moreover, what is necessary is just to set a desired combination also about the aperture diameter of the nozzle 16, the number of nozzle arrangement | sequences, arrangement | sequence density, etc. according to the specification requested | required.
液室基板の材料は、所望の加工性・物性から種々選択可能であるが、例えば、フォトリソグラフィ法を利用できるシリコン基板を用いることが好ましい。液室１５の加工は任意のものを用いることができるが、前述のフォトリソグラフィ法を用いる場合は、ウェットエッチング法、ドライエッチング法のいずれかを用いることができる。 The material of the liquid chamber substrate can be variously selected from desired processability and physical properties. For example, it is preferable to use a silicon substrate that can use a photolithography method. Any processing of the liquid chamber 15 can be used, but when the above-described photolithography method is used, either a wet etching method or a dry etching method can be used.
圧電アクチュエータ１１は、電極材料がＡｕ、Ｐｔ、Ｉｒ等により構成され、圧電体のＰＺＴとの密着力、振動板１２との密着力を向上させるために、ＴｉＯ２やＳＲＯ等の酸化物を電極層として用いる。酸化物電極層は、圧電体の酸素欠損の補填等の効果もある。 The piezoelectric actuator 11 is made of Au, Pt, Ir, or the like, and an electrode such as TiO 2 or SRO is used as an electrode to improve the adhesion of the piezoelectric body with PZT and the adhesion with the diaphragm 12. Used as a layer. The oxide electrode layer also has an effect of compensating for oxygen vacancies in the piezoelectric body.
保持基板１３は、液室１５に対向する領域に、圧電アクチュエータ１１を駆動し振動板１２が変位できる空間を確保するための凹部１３ａを有する。保持基板１３の凹部１３ａは、液室１５ごとに区画され、隔壁１４に対応する位置に接合される。これにより、板厚の薄い液室基板の剛性を高めることができ、圧電アクチュエータ１１を駆動した際の隣接する液室１５間の相互干渉を低減することが可能となる。
保持基板１３の材料としては、例えば、シリコンや樹脂などが挙げられる。
The holding substrate 13 has a recess 13 a in a region facing the liquid chamber 15 to secure a space where the piezoelectric actuator 11 can be driven and the diaphragm 12 can be displaced. The recess 13 a of the holding substrate 13 is partitioned for each liquid chamber 15 and joined to a position corresponding to the partition wall 14. As a result, the rigidity of the thin liquid chamber substrate can be increased, and the mutual interference between the adjacent liquid chambers 15 when the piezoelectric actuator 11 is driven can be reduced.
Examples of the material of the holding substrate 13 include silicon and resin.
保持基板１３は、アクチュエータ基板１９を構成する液室基板との接合面（以下、「アクチュエータ基板１９との接合面」ともいう）に開口パターンが形成された開口パターン領域を複数有し、開口パターン領域ごとに異なる方向に傾斜したアンカー部が接着剤により形成されてなる。アンカー部は、接着剤量が局所的に多くなっているライン状の部分である。接着剤が局所的に多くなっている部分において、接着剤は保持基板１３の開口パターンに溜まることによってアンカー効果を発揮し、加圧による位置ずれ量を低減することができる。
そして、複数の開口パターンごとに異なる傾きのアンカー部が設けられることにより、複数の方向の位置ずれに対して耐性を確保することができる。
The holding substrate 13 has a plurality of opening pattern regions in which opening patterns are formed on the bonding surface with the liquid chamber substrate constituting the actuator substrate 19 (hereinafter also referred to as “bonding surface with the actuator substrate 19”). An anchor portion inclined in a different direction for each region is formed by an adhesive. The anchor portion is a line-shaped portion where the amount of adhesive is locally increased. In a portion where the adhesive is locally increased, the adhesive exhibits an anchor effect by accumulating in the opening pattern of the holding substrate 13, and the amount of displacement due to pressurization can be reduced.
In addition, by providing anchor portions with different inclinations for each of the plurality of opening patterns, it is possible to ensure resistance to misalignment in a plurality of directions.
まず、保持基板１３とアクチュエータ基板１９の接着プロセスについて図２及び図３により説明する。図２は、保持基板１３とアクチュエータ基板１９の接着プロセスを模式的に示した図であり、図３はフローチャートである。 First, an adhesion process between the holding substrate 13 and the actuator substrate 19 will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a diagram schematically showing an adhesion process between the holding substrate 13 and the actuator substrate 19, and FIG. 3 is a flowchart.
保持基板１３（図２の（Ａ））に、接着剤２０を塗布する（図２の（Ｂ）、図３のＳ０１）。
次いで、保持基板１３とアクチュエータ基板１９とをアライメントマーク等を用いて位置合わせを行い（図２の（Ｃ）、図３のＳ０２）、接触させる（図２の（Ｄ）、図３のＳ０３）。
弱圧状態で接着させた後、この時点で生じた位置ずれを修正するために再度アライメントを行い（図３のＳ０４）、その後加圧（本加圧）を行い（図３のＳ０５）、加圧状態を保持したまま接着剤２０が硬化する温度まで加熱し（図３のＳ０６）、接着剤を硬化させる。
The adhesive 20 is applied to the holding substrate 13 ((A) of FIG. 2) ((B) of FIG. 2, S01 of FIG. 3).
Next, the holding substrate 13 and the actuator substrate 19 are aligned using an alignment mark or the like ((C) in FIG. 2, S02 in FIG. 3) and brought into contact ((D) in FIG. 2, S03 in FIG. 3). .
After bonding in a low pressure state, alignment is performed again to correct the misalignment that occurred at this point (S04 in FIG. 3), and then pressurization (main pressurization) is performed (S05 in FIG. 3). While maintaining the pressure state, the adhesive 20 is heated to a temperature at which it is cured (S06 in FIG. 3), and the adhesive is cured.
図３のステップＳ０５の加圧工程において、シリコンウエハのような大きなサイズの基板や、局所的なうねりを有する基板の接合では、均一な接着状態を得るために、反りを矯正するのに必要な加圧が必要となる。比較的大きな加圧を行う場合、位置ずれの発生を防ぐ必要がある。
そこで、本実施形態の液滴吐出ヘッドの製造方法においては、図３のステップＳ０１の接着剤塗布工程において、保持基板１３の液室基板との接合面に開口パターン領域ごとに異なる傾斜のアンカー部が形成されるように接着剤を塗布した後、以降の保持基板１３と液室基板とを接合する工程を行う。
In the pressurizing process of step S05 in FIG. 3, in joining a large-sized substrate such as a silicon wafer or a substrate having local undulations, it is necessary to correct the warp in order to obtain a uniform adhesion state. Pressurization is required. When a relatively large pressure is applied, it is necessary to prevent the occurrence of displacement.
Therefore, in the manufacturing method of the liquid droplet ejection head of the present embodiment, in the adhesive application process of step S01 in FIG. 3, the anchor portion having a different slope for each opening pattern region on the bonding surface of the holding substrate 13 with the liquid chamber substrate. After the adhesive is applied so that is formed, a subsequent step of bonding the holding substrate 13 and the liquid chamber substrate is performed.
アンカー部の具体的な構成と位置ずれの発生を防止する機構について、図４〜図８に基づき説明する。
図４（Ａ）は、保持基板１３のアクチュエータ基板１９との接合面を示した模式図であり、図４（Ｂ）は（Ａ）の下部の四角形で囲んだ部分の拡大図である。
図４（Ｂ）に示すように、保持基板１３は、略四角形で形成された開口パターンが規則性をもって配列された開口パターン領域１８ａ、１８ｂ及び１８ｃを有する。
これらの開口パターンは、保持基板１３がシリコンからなる場合、ウェットエッチングやドライエッチングにより形成される。
A specific configuration of the anchor portion and a mechanism for preventing the occurrence of displacement will be described with reference to FIGS.
FIG. 4A is a schematic view showing a bonding surface of the holding substrate 13 to the actuator substrate 19, and FIG. 4B is an enlarged view of a portion surrounded by a square at the bottom of FIG.
As shown in FIG. 4B, the holding substrate 13 has opening pattern regions 18a, 18b, and 18c in which opening patterns formed in a substantially square shape are regularly arranged.
These opening patterns are formed by wet etching or dry etching when the holding substrate 13 is made of silicon.
図５は、接着剤が塗布された状態の保持基板１３のアクチュエータ基板１９との接合面の部分拡大図（写真）である。アンカー部２１は、明確にするために写真上に図示している。
それぞれの開口パターン領域ごとに異なる方向に傾斜したアンカー部２１（２１ａ、２１ｂ、２１ｃ）が接着剤２０により形成されている。
FIG. 5 is a partially enlarged view (photograph) of a joint surface between the holding substrate 13 and the actuator substrate 19 in a state where the adhesive is applied. The anchor portion 21 is illustrated on the photograph for clarity.
Anchor portions 21 (21a, 21b, 21c) inclined in different directions for each opening pattern region are formed by the adhesive 20.
図６は、保持基板とアクチュエータ基板との接合状態における断面の例を示す模式図である。
接着剤量が局所的に多いアンカー部２１を設けることにより、図６（Ａ）に示すように、接着剤２０が開口パターン１８で形成された空隙（開口部）に侵入してアンカーとして作用し、位置ずれ（図の左右方向のずれ）を低減させることができる。
また、図６（Ｂ）に示すような状態でも開口部に侵入した接着剤２０によるアンカー効果が得られる。
FIG. 6 is a schematic diagram illustrating an example of a cross section in a bonded state between the holding substrate and the actuator substrate.
By providing the anchor portion 21 with a locally large amount of adhesive, the adhesive 20 enters the gap (opening) formed by the opening pattern 18 and acts as an anchor, as shown in FIG. , Misalignment (shift in the horizontal direction in the figure) can be reduced.
Moreover, the anchor effect by the adhesive 20 which penetrate | invaded into the opening part is acquired also in a state as shown in FIG. 6 (B).
図７は、保持基板１３の一つの開口パターン領域における開口パターン１８とアンカー部２１の傾斜との関係を説明する模式図である。
図７に示すように、開口パターン１８が配列されている方向（図中の矢印２２）は、ベタ領域が続くため滑りやすく、位置ずれが発生しやすい。そこで、開口パターン１８の配列方向（図中の矢印２２）とは異なる方向にアンカー部２１を設けることが好ましい。
図７に示した例では、開口パターン１８の開口形状が四角形であり、アンカー部２１は四角形の各辺の方向に対して傾斜している。本実施形態の液滴吐出ヘッドにおいては、開口パターンの開口形状が略四角形であり、アンカー部２１は略四角形の各辺の方向に対して傾斜していることが好ましい。
FIG. 7 is a schematic diagram for explaining the relationship between the opening pattern 18 and the inclination of the anchor portion 21 in one opening pattern region of the holding substrate 13.
As shown in FIG. 7, the direction in which the opening patterns 18 are arranged (arrow 22 in the figure) is easy to slip because of the continuous solid region, and misalignment tends to occur. Therefore, it is preferable to provide the anchor portion 21 in a direction different from the arrangement direction of the opening patterns 18 (arrow 22 in the figure).
In the example shown in FIG. 7, the opening shape of the opening pattern 18 is a square, and the anchor portion 21 is inclined with respect to the direction of each side of the square. In the droplet discharge head of this embodiment, it is preferable that the opening shape of the opening pattern is a substantially square, and the anchor portion 21 is inclined with respect to the direction of each side of the substantially square.
また、複数の開口パターン領域において、各領域の開口パターン１８は、開口形状が略同一で配設方向が異なるように設けられることが好ましい。
略同一の開口パターンを設けることで、開口部へ侵入する接着剤量を均一にすることができ、接合面におけるアンカー効果の均一化を達成することができる。すなわち、接合面の均一な接合品質を得ることができる。
In a plurality of opening pattern regions, it is preferable that the opening patterns 18 in each region are provided so that the opening shapes are substantially the same and the arrangement directions are different.
By providing substantially the same opening pattern, the amount of adhesive entering the opening can be made uniform, and the anchor effect at the joint surface can be made uniform. That is, uniform bonding quality of the bonding surface can be obtained.
さらに、開口パターン１８は、開口深さが均一であることが好ましい。
図８は、保持基板の断面の一例を示す模式図である。
図８に示すように、開口パターン１８の開口幅や開口深さ（加工深さ）を均一にすることによって、開口パターン１８に溜まる接着剤２０の量が多い箇所や少ない箇所が生じるのを抑制し、アンカー効果を均一化でき、位置ずれ量を小さくすることができる。
Furthermore, the opening pattern 18 preferably has a uniform opening depth.
FIG. 8 is a schematic diagram illustrating an example of a cross section of the holding substrate.
As shown in FIG. 8, by making the opening width and opening depth (processing depth) of the opening pattern 18 uniform, it is possible to suppress the occurrence of locations where the amount of the adhesive 20 accumulated in the opening pattern 18 is large or small. In addition, the anchor effect can be made uniform and the amount of displacement can be reduced.
次に、接着剤の塗布方法について説明する。
保持基板１３の液室基板との接合面に、開口パターン領域ごとに異なる傾斜のアンカー部２１が形成されるように接着剤２０を塗布する工程において、接着剤２０を塗布する方法としては、フレキソ印刷による方法、ディスペンサ装置による方法などが挙げられる。
Next, an adhesive application method will be described.
As a method of applying the adhesive 20 in the step of applying the adhesive 20 so that the anchor portions 21 having different inclinations are formed for each opening pattern region on the bonding surface of the holding substrate 13 with the liquid chamber substrate, as a method of applying the adhesive 20, Examples thereof include a printing method and a dispenser device.
図９に、接着剤をフレキソ印刷により塗布する方法を模式的に示す。
図９に示すフレキソ印刷装置は、回転するアニロックスロール４３上に接着剤２０を滴下し、ドクターブレード４４を用いて薄層にのばし、アニロックスロール４３上の薄層化した接着剤２０を回転する塗布ロール４２上に設けた表面に微細な凹凸を持つ樹脂凸版４０に転写する。このとき、樹脂凸版４０上の凹凸に接着剤２０が保持される。
ステージ４５上に被塗布部材である保持基板１３を載置して矢印の方向に移動させ、塗布ロール４２を回転させて、樹脂凸版４０上に保持されている接着剤２０を保持基板１３上に転写する。
FIG. 9 schematically shows a method for applying the adhesive by flexographic printing.
In the flexographic printing apparatus shown in FIG. 9, the adhesive 20 is dropped on a rotating anilox roll 43, spread to a thin layer using a doctor blade 44, and the thinned adhesive 20 on the anilox roll 43 is rotated. It is transferred to a resin relief 40 having fine irregularities on the surface provided on the roll 42. At this time, the adhesive 20 is held by the unevenness on the resin relief plate 40.
The holding substrate 13 which is a member to be coated is placed on the stage 45 and moved in the direction of the arrow, and the coating roll 42 is rotated, so that the adhesive 20 held on the resin relief plate 40 is placed on the holding substrate 13. Transcript.
本実施形態の液滴吐出ヘッドの製造方法では、樹脂凸版４０のパターンと、保持基板１３の開口パターン１８とのモアレ現象を利用することにより、接着剤量が局所的に多くなったアンカー部２１を形成することができる。 In the manufacturing method of the droplet discharge head of the present embodiment, the anchor portion 21 in which the amount of adhesive locally increases by utilizing the moire phenomenon between the pattern of the resin relief plate 40 and the opening pattern 18 of the holding substrate 13. Can be formed.
図１０及び図１１は、樹脂凸版４０の拡大図（写真）である。
樹脂凸版４０には、円柱形状の凸状部４１が一定方向に配列されたパターンが形成されている。
図１１に示す枠１８ａは、保持基板１３の開口パターン１８に対応する領域を模式的に示したもので、白枠で囲んだ凸状部４１は、保持基板１３と当接したとき開口パターン１８に収容されるため、凸状部４１周囲の隙間に保持されている接着剤２０が流出しやすくなる。よって、白枠で囲んだ凸状部４１に沿って接着剤２０の転写量の多い領域（アンカー部２１）が形成される。
10 and 11 are enlarged views (photos) of the resin relief plate 40. FIG.
The resin relief plate 40 is formed with a pattern in which cylindrical convex portions 41 are arranged in a certain direction.
A frame 18 a shown in FIG. 11 schematically shows a region corresponding to the opening pattern 18 of the holding substrate 13, and the convex portion 41 surrounded by a white frame is the opening pattern 18 when contacting the holding substrate 13. Therefore, the adhesive 20 held in the gap around the convex portion 41 is likely to flow out. Therefore, a region (anchor portion 21) where the transfer amount of the adhesive 20 is large is formed along the convex portion 41 surrounded by the white frame.
すなわち、樹脂凸版４０のパターンと、保持基板１３の開口パターン１８との組合せを適宜設定することにより、所望の位置にアンカー部２１を形成することができる。 That is, the anchor portion 21 can be formed at a desired position by appropriately setting a combination of the pattern of the resin relief plate 40 and the opening pattern 18 of the holding substrate 13.
一方、図１２に示すように、接着剤をディスペンサにより塗布することもできる。
この方法によれば、ディスペンサにより接着剤２０の量が局所的に多い領域を容易に形成することが可能となるため、接着剤供給方式および保持基板１３の開口パターン設計の自由度を確保することができる。
On the other hand, as shown in FIG. 12, the adhesive can be applied by a dispenser.
According to this method, since it is possible to easily form a region where the amount of the adhesive 20 is locally large by the dispenser, it is possible to ensure the flexibility of the adhesive supply method and the opening pattern design of the holding substrate 13. Can do.
＜画像形成装置＞
本発明にかかる画像形成装置について図１３〜図１５に基づき説明する。
<Image forming apparatus>
An image forming apparatus according to the present invention will be described with reference to FIGS.
図１３は、本実施形態の液滴吐出ヘッド１を備える画像形成装置の一例としてのインクジェット記録装置５０である。
インクジェット記録装置５０はブラック（Ｂ）とシアン（Ｃ）とマゼンタ（Ｍ）とイエロー（Ｙ）の４色にそれぞれ対応した液滴吐出ヘッド１Ｂ，１Ｃ，１Ｍ，１Ｙを有する。
FIG. 13 illustrates an inkjet recording apparatus 50 as an example of an image forming apparatus including the droplet discharge head 1 according to the present embodiment.
The ink jet recording apparatus 50 includes droplet discharge heads 1B, 1C, 1M, and 1Y corresponding to four colors of black (B), cyan (C), magenta (M), and yellow (Y), respectively.
各液滴吐出ヘッド１には維持機構装置５１があり、パージ処理、ワイピング処理などの保全動作時には液滴吐出ヘッド１のノズル面に対向する位置に移動する。この液滴吐出ヘッド１は記録媒体の印字領域幅以上の長さのノズル列を有するライン型からなる。
給紙トレイ５２は圧板５３と、記録紙３０を給紙する給送回転体５４がベース５５に取り付けられている。圧板５３はベース５５に取り付けられた回転軸を中心に回転可能であり、圧板ばね５６により給送回転体５４に押圧される。
給送回転体５４と対向する圧板５３の部位には、記録紙３０の重送を防止するため、人工皮等の摩擦係数の大きい材質からなる分離パッドが設けられている。また、圧板５３と給送回転体５４の当接を解除するリリースカムが設けられている。
Each droplet discharge head 1 has a maintenance mechanism device 51 that moves to a position facing the nozzle surface of the droplet discharge head 1 during maintenance operations such as purge processing and wiping processing. The droplet discharge head 1 is of a line type having a nozzle row having a length longer than the print area width of the recording medium.
In the paper feed tray 52, a pressure plate 53 and a feed rotating body 54 that feeds the recording paper 30 are attached to a base 55. The pressure plate 53 is rotatable about a rotation shaft attached to the base 55 and is pressed against the feeding rotating body 54 by a pressure plate spring 56.
In order to prevent double feeding of the recording paper 30, a separation pad made of a material having a large friction coefficient such as an artificial skin is provided at a portion of the pressure plate 53 that faces the feeding rotating body 54. Further, a release cam for releasing the contact between the pressure plate 53 and the feeding rotating body 54 is provided.
このインクジェット記録装置５０で、待機状態ではリリースカムが圧板５３を所定位置まで押し下げている。これにより圧板５３と給送回転体５４の当接は解除される。この状態で搬送ローラ５７の有する駆動力がギヤ等により給送回転体５４及びリリースカムに伝達されると、リリースカムが圧板５３から離れて圧板５３は上昇して記録紙３０が給送回転体５４に当接し、給送回転体５４の回転に伴い記録紙３０はピックアップされ給紙を開始し、分離爪によって１枚ずつ分離される。 In the inkjet recording apparatus 50, the release cam pushes the pressure plate 53 down to a predetermined position in the standby state. As a result, the contact between the pressure plate 53 and the feeding rotating body 54 is released. In this state, when the driving force of the conveyance roller 57 is transmitted to the feeding rotary body 54 and the release cam by a gear or the like, the release cam is separated from the pressure plate 53 and the pressure plate 53 is raised so that the recording paper 30 is fed to the feeding rotary body. 54, the recording paper 30 is picked up and started to be fed with the rotation of the feeding rotating body 54, and is separated one by one by the separation claw.
給送回転体５４は記録紙３０をプラテン５８に送り込むべく回転する。記録紙３０はガイド６０の間を通過して搬送ローラ５７まで導かれプラテン５８まで搬送される。その後、再び記録紙３０と給送回転体５４との当接を解除した待機状態となって搬送ローラ５７からの駆動力が切られる。 The feed rotating body 54 rotates to feed the recording paper 30 into the platen 58. The recording paper 30 passes between the guides 60, is guided to the conveyance roller 57, and is conveyed to the platen 58. Thereafter, the contact state between the recording paper 30 and the feeding rotating body 54 is released again, and the driving force from the conveying roller 57 is cut off.
また、手差しトレイ６１から供給された記録紙３０も給送回転体６２により搬送ローラ５７からプラテン５８まで搬送される。プラテン５８まで搬送された記録紙３０は液滴吐出ヘッド１Ｂ，１Ｃ，１Ｍ，１Ｙにより紙搬送速度と液滴吐出のタイミングを制御された信号に基づき所望の画像が形成される。 Further, the recording paper 30 supplied from the manual feed tray 61 is also transported from the transport roller 57 to the platen 58 by the feed rotating body 62. A desired image is formed on the recording paper 30 conveyed to the platen 58 based on a signal in which the paper conveyance speed and the timing of droplet ejection are controlled by the droplet ejection heads 1B, 1C, 1M, and 1Y.
画像が記録された記録紙３０は排紙ローラ６３と拍車６４とにより搬送されて排紙トレイ６５に排出される。 The recording paper 30 on which the image is recorded is conveyed by a paper discharge roller 63 and a spur 64 and discharged to a paper discharge tray 65.
このようにライン型の液滴吐出ヘッド１Ｂ，１Ｃ，１Ｍ，１Ｙを使用して記録紙３０に所望の画像を迅速に形成することができる。 In this way, a desired image can be rapidly formed on the recording paper 30 using the line-type droplet discharge heads 1B, 1C, 1M, and 1Y.
図１４及び図１５は、本実施形態の液滴吐出ヘッド１を備える画像形成装置の他の一例としてのインクジェット記録装置５０である。
図１４は本実施形態の一例のインクジェット記録装置１００の斜視図であり、図１５は機構部の構成を示す側面図である。
14 and 15 show an inkjet recording apparatus 50 as another example of an image forming apparatus including the droplet discharge head 1 according to the present embodiment.
FIG. 14 is a perspective view of an ink jet recording apparatus 100 as an example of the present embodiment, and FIG. 15 is a side view showing a configuration of a mechanism unit.
記録装置１００は、装置本体の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ１０１とキャリッジ１０１に搭載した液滴吐出ヘッド１及び液滴吐出ヘッド１に対してインクを供給するインクカートリッジ１０２等で構成される印字機構部１０３等を収納し、装置本体の下方部には前方側から多数枚の記録紙３０を積載可能な給紙カセット（或いは給紙トレイでもよい）１０４を抜き差し自在に装着されている。また、記録紙３０を手差しで給紙するために開かれる手差しトレイ１０５を有し、給紙カセット１０４あるいは手差しトレイ１０５から給送される記録紙３０を取り込み、印字機構部１０３によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１０６に排紙する。 The recording apparatus 100 includes a carriage 101 that can move in the main scanning direction inside the apparatus main body, a droplet discharge head 1 mounted on the carriage 101, an ink cartridge 102 that supplies ink to the droplet discharge head 1, and the like. A paper feed cassette (or a paper feed tray) 104 on which a large number of recording sheets 30 can be stacked from the front side is detachably mounted on the lower part of the apparatus main body. . Further, it has a manual feed tray 105 that is opened to manually feed the recording paper 30, takes in the recording paper 30 fed from the paper feed cassette 104 or the manual feed tray 105, and prints a required image by the printing mechanism unit 103. After recording, the paper is discharged to a paper discharge tray 106 mounted on the rear side.
印字機構部１０３は、図示しない左右の側板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１０７と従ガイドロッド１０８とでキャリッジ１０１を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ１０１にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する液滴吐出ヘッド１を複数のインク吐出口（ノズル）を主走査方向と交差する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ１０１には液滴吐出ヘッド１に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ１０２を交換可能に装着している。 The print mechanism 103 holds a carriage 101 slidably in the main scanning direction by a main guide rod 107 and a sub guide rod 108 which are guide members horizontally mounted on left and right side plates (not shown). A droplet discharge head 1 that discharges ink droplets of each color (Y), cyan (C), magenta (M), and black (Bk) is arranged in a direction intersecting the main scanning direction with a plurality of ink discharge ports (nozzles). However, it is mounted with the ink droplet ejection direction facing downward. Further, each ink cartridge 102 for supplying ink of each color to the droplet discharge head 1 is replaceably mounted on the carriage 101.
インクカートリッジ１０２は上方に大気と連通する大気口、下方には液滴吐出ヘッド１へインクを供給する供給口が設けられ、内部にはインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力により液滴吐出ヘッド１へ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、液滴吐出ヘッド１としては各色の液滴吐出ヘッド１を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する１個の液滴吐出ヘッドでもよい。 The ink cartridge 102 is provided with an air opening communicating with the atmosphere at the upper side, and a supply port for supplying ink to the droplet discharge head 1 at the lower side, and has a porous body filled with ink inside. The ink supplied to the droplet discharge head 1 is maintained at a slight negative pressure by the capillary force of the material. Further, although the droplet discharge head 1 of each color is used as the droplet discharge head 1, a single droplet discharge head having nozzles for discharging ink droplets of each color may be used.
ここでキャリッジ１０１は後方側（用紙搬送方向下流側）を主ガイドロッド１０７に摺動自在に嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド１０８に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ１０１を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１０９で回転駆動される駆動プーリ１１０と従動プーリ１１１との間にタイミングベルト１１２を張装し、このタイミングベルト１１２をキャリッジ１０１に固定しており、主走査モータ１０９の正逆回転によりキャリッジ１０１が往復駆動される。 Here, the carriage 101 is slidably fitted to the main guide rod 107 on the rear side (downstream side in the paper conveyance direction), and is slidably mounted on the sub guide rod 108 on the front side (upstream side in the paper conveyance direction). ing. In order to move and scan the carriage 101 in the main scanning direction, a timing belt 112 is stretched between a driving pulley 110 and a driven pulley 111 that are rotationally driven by a main scanning motor 109, and the timing belt 112 is attached to the carriage 101. The carriage 101 is reciprocally driven by forward and reverse rotations of the main scanning motor 109.
一方、給紙カセット１０４にセットした記録紙３０を液滴吐出ヘッド１の下方側に搬送するために、給紙カセット１０４から記録紙３０を分離給装する給紙ローラ１１３及びフリクションパッド１１４と、記録紙３０を案内するガイド部材１１５と、給紙された記録紙３０を反転させて搬送する搬送ローラ１１６と、この搬送ローラ１１６の周面に押し付けられる搬送コロ１１７及び搬送ローラ１１６からの記録紙３０の送り出し角度を規定する先端コロ１１８とを有する。搬送ローラ１１６は副走査モータによってギヤ列を介して回転駆動される。 On the other hand, in order to convey the recording paper 30 set in the paper feeding cassette 104 to the lower side of the droplet discharge head 1, a paper feeding roller 113 and a friction pad 114 for separating and feeding the recording paper 30 from the paper feeding cassette 104, A guide member 115 that guides the recording paper 30, a conveyance roller 116 that reverses and conveys the fed recording paper 30, a conveyance roller 117 that is pressed against the circumferential surface of the conveyance roller 116, and a recording sheet from the conveyance roller 116 And a tip roller 118 that defines 30 feed angles. The transport roller 116 is rotationally driven through a gear train by a sub-scanning motor.
そして、キャリッジ１０１の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ１１６から送り出された記録紙３０を液滴吐出ヘッド１の下方側で案内するため用紙ガイド部材である印写受け部材１１９を設けている。この印写受け部材１１９の用紙搬送方向下流側には、記録紙３０を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ１２０と拍車１２１を設け、さらに記録紙３０を排紙トレイ１０６に送り出す排紙ローラ１２３と拍車１２４と、排紙経路を形成するガイド部材１２５，１２６とを配設している。 In addition, a printing receiving member 119 that is a paper guide member is provided to guide the recording paper 30 fed from the transport roller 116 corresponding to the movement range of the carriage 101 in the main scanning direction on the lower side of the droplet discharge head 1. ing. A conveyance roller 120 and a spur 121 that are rotationally driven to send out the recording paper 30 in the paper discharge direction are provided on the downstream side of the printing receiving member 119 in the paper conveyance direction, and the recording paper 30 is sent out to the paper discharge tray 106. A paper discharge roller 123, a spur 124, and guide members 125 and 126 that form a paper discharge path are disposed.
この記録装置１００で記録時には、キャリッジ１０１を移動させながら画像信号に応じて液滴吐出ヘッド１を駆動することにより、停止している記録紙３０にインクを吐出して１行分を記録し、その後、記録紙３０を所定量搬送後次の行の記録を行う。記録終了信号または記録紙３０の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ記録紙３０を排紙する。 During recording by the recording apparatus 100, the droplet discharge head 1 is driven according to the image signal while moving the carriage 101, thereby discharging ink onto the stopped recording paper 30 to record one line, Thereafter, after the recording paper 30 is conveyed by a predetermined amount, the next line is recorded. Upon receiving a recording end signal or a signal that the trailing edge of the recording paper 30 reaches the recording area, the recording operation is terminated and the recording paper 30 is discharged.
また、キャリッジ１０１の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、液滴吐出ヘッド１の吐出不良を回復するための回復装置１２７を配置している。回復装置１２７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ１０１は印字待機中にはこの回復装置１２７側に移動されてキャッピング手段で液滴吐出ヘッド１をキャッピングして吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。 A recovery device 127 for recovering the ejection failure of the droplet ejection head 1 is disposed at a position outside the recording area on the right end side in the movement direction of the carriage 101. The recovery device 127 includes a cap unit, a suction unit, and a cleaning unit. During printing standby, the carriage 101 is moved to the recovery device 127 side, and the droplet discharge head 1 is capped by the capping unit to keep the discharge port portion in a wet state, thereby preventing discharge failure due to ink drying. Further, by ejecting ink that is not related to recording during recording or the like, the ink viscosity of all the ejection ports is made constant and stable ejection performance is maintained.
また、吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段で液滴吐出ヘッド１の吐出口（ノズル）を密封し、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去され吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。 In addition, when a discharge failure occurs, the discharge port (nozzle) of the droplet discharge head 1 is sealed with a capping unit, and bubbles and the like are sucked out from the discharge port with a suction unit through the tube, and adhere to the discharge port surface. The discharged ink, dust, etc. are removed by the cleaning means, and the ejection failure is recovered. Further, the sucked ink is discharged to a waste ink reservoir (not shown) installed at the lower part of the main body and absorbed and held by an ink absorber inside the waste ink reservoir.
上述のインクジェット記録装置５０、１００においては、アクチュエータ基板と保持基板の位置ずれ量が小さく、液滴の吐出ばらつきが小さい液滴吐出ヘッド１を搭載しているので、安定したインク滴吐出特性が得られ、画像品質を向上することができる。 In the above-described ink jet recording apparatuses 50 and 100, since the droplet ejection head 1 with a small displacement amount between the actuator substrate and the holding substrate and small droplet ejection variation is mounted, stable ink droplet ejection characteristics can be obtained. Image quality can be improved.
以上インクジェット記録装置５０、１００に本実施形態の液滴吐出ヘッド１を使用した場合について説明したが、インク以外の液滴、例えば、パターニング用の液体レジストを吐出する装置に本実施形態の液滴吐出ヘッド１を適用しても良い。 Although the case where the droplet discharge head 1 of the present embodiment is used in the ink jet recording apparatuses 50 and 100 has been described above, the droplet of the present embodiment is applied to a device that discharges droplets other than ink, for example, a liquid resist for patterning. The discharge head 1 may be applied.
１ 液滴吐出ヘッド
１１ アクチュエータ（駆動手段）
１２ 振動板
１３ 保持基板
１４ 隔壁
１５ 液室（個別液室）
１６ ノズル
１７ ノズル板
１８ 開口パターン
１８ａ、１８ｂ、１８ｃ 開口パターン領域
１９ アクチュエータ基板
２０ 接着剤
２１ アンカー部
３０ 記録紙
５０、１００ 画像形成装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Droplet discharge head 11 Actuator (drive means)
12 Diaphragm 13 Holding substrate 14 Partition 15 Liquid chamber (individual liquid chamber)
16 Nozzle 17 Nozzle plate 18 Opening pattern 18a, 18b, 18c Opening pattern area 19 Actuator substrate 20 Adhesive 21 Anchor part 30 Recording paper 50, 100 Image forming apparatus
Claims (8)
前記ノズル基板と接合され、隔壁により区切られた複数の液室が設けられた液室基板と、
前記液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板と、
前記振動板に接合され、前記液室内の液体を加圧する圧力を発生する駆動手段と、
前記液室基板の前記ノズル基板とは反対側に接着剤を介して接合され、液体を前記液室に供給するための貫通口が設けられた保持基板と、を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
前記保持基板は、前記液室基板との接合面に開口パターンが形成された開口パターン領域を複数有し、前記開口パターン領域ごとに異なる方向に傾斜したアンカー部が前記接着剤により形成されてなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 A nozzle substrate provided with a plurality of nozzles for discharging liquid;
A liquid chamber substrate provided with a plurality of liquid chambers bonded to the nozzle substrate and separated by a partition;
A diaphragm forming at least a part of the wall surface of the liquid chamber;
Drive means joined to the diaphragm and generating pressure to pressurize the liquid in the liquid chamber;
In a droplet discharge head comprising: a holding substrate that is bonded to an opposite side of the liquid chamber substrate to the nozzle substrate via an adhesive and provided with a through-hole for supplying liquid to the liquid chamber;
The holding substrate has a plurality of opening pattern regions in which an opening pattern is formed on a joint surface with the liquid chamber substrate, and an anchor portion inclined in a different direction for each opening pattern region is formed by the adhesive. A droplet discharge head characterized by that.
前記保持基板の前記液室基板との接合面に、前記開口パターン領域ごとに異なる傾斜のアンカー部が形成されるように前記接着剤を塗布した後、前記保持基板と前記液室基板とを接合する工程を含むことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 A method for manufacturing a droplet discharge head according to any one of claims 1 to 4,
After the adhesive is applied so that anchor portions having different slopes are formed for each opening pattern region on the bonding surface of the holding substrate with the liquid chamber substrate, the holding substrate and the liquid chamber substrate are bonded. A method of manufacturing a droplet discharge head, comprising the step of:
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