JP6439716B2 - 基板加工装置 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、脆性材料基板に傷がつきにくい基板加工装置を提供することである。
〔4〕前記基板加工装置の一形態によれば、前記ベルトに孔または凹部が形成され、前記基板支持部が前記孔または前記凹部に配置される。
〔5〕前記基板加工装置の一形態によれば、前記前工程装置は、前記ベルトの幅方向における前記ベルトに対する前記脆性材料基板の位置を決める。
図2を参照して搬送装置10の構成について説明する。
図3および図4を参照して、駆動装置20の構成について説明する。
2枚のガイド連結板23は一対のガイド22のうちの一方のガイド22から他方のガイド22にまたがるように配置されている。
図3を参照してクランプ装置40の構成について説明する。
図4を参照してクランプ部50の構成について説明する。
基板支持部51の先端の支持面51Aとベルト11の上面との関係は面一である。
壁部53は、アーム配置部54と一体的に成形され、アーム連結ロッド80が挿入される孔53Aが形成されている。
図5および図6を参照して、クランプ駆動装置60の構成について説明する。
エアシリンダ70はチューブ71、チューブ71の内部に配置されるピストン72、および、ピストン72と連結されているピストンロッド73を備える。
図7〜図9を参照して、基板加工装置1の作用について説明する。
基板加工装置1によれば、以下の効果が得られる。
・上記実施の形態の変形例によれば、ベルト11とクランプ装置40とが直接的に連結されない。
・上記実施の形態の変形例によれば、クランプ装置40のクランプ部50とベルト11とが中間部材を介して間接的に連結されている。
・上記実施の形態の変形例によれば、クランプ装置40のクランプ部50がベルト11よりも脆性材料基板300の搬送方向の上流側に配置されている。
・上記実施の形態の変形例によれば、ベルト11に孔11Aが形成されず、基板支持部51がベルト11の下面に取り付けられている。
・上記実施の形態の変形例によれば、ベルト11に凹部が形成され、この凹部に基板支持部51が配置されている。
・上記実施の形態の変形例によれば、アーム57の開閉動作を駆動するモータを備える。
Claims (1)
- 脆性材料基板を搬送するベルトと、前記ベルト上に載せられた前記脆性材料基板をクランプするクランプ装置とを備え、
前記クランプ装置は、前記ベルトに対する位置が固定され、下方から前記脆性材料基板を支持する基板支持部と、前記基板支持部に対して回転または移動し、前記基板支持部との間に前記脆性材料基板を挟み込むアームとを備え、
前記基板支持部は、前記ベルトに形成された孔に配置され、
前記基板支持部の先端の支持面が、前記孔の脆性材料基板の搬送方向側端部におけるベルト上面と面一になるように構成されている基板加工装置。
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