JP5450204B2 - 流量計 - Google Patents
流量計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5450204B2 JP5450204B2 JP2010078098A JP2010078098A JP5450204B2 JP 5450204 B2 JP5450204 B2 JP 5450204B2 JP 2010078098 A JP2010078098 A JP 2010078098A JP 2010078098 A JP2010078098 A JP 2010078098A JP 5450204 B2 JP5450204 B2 JP 5450204B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow
- flow rate
- gas
- correction
- measured
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
(α/α0)=1+(QB―QA)/(KAQA―KBQB)
とに基づいて所定の基準ガスの温度拡散率α0に対する被測定ガスの温度拡散率αの比である特定比(α/α0)を算出する補正係数算出手段を採用することができる。ここで、固定係数KBは固定係数KAと異なる値とする。
CFA=1−KA(1−α/α0)
とに基づいて第一の補正係数CFAを算出する補正係数算出手段を採用することができる。かかる場合において、第一の補正前流量QAに第一の補正係数CFAを乗じることにより被測定ガスの補正後流量Qを算出する流量補正手段を採用することができる。
CFB=1−KB(1−α/α0)
とに基づいて第二の補正係数CFBを算出する補正係数算出手段を採用することができる。かかる場合において、第二の補正前流量QBに第二の補正係数CFBを乗じることにより被測定ガスの補正後流量Qを算出する流量補正手段を採用することができる。
最初に、図1〜図7を用いて、本発明の第一実施形態に係る流量計1について説明する。本実施形態に係る流量計1は、図1に示すように、ガスが流通する図示していない配管の一部に取り付けられる流路保持体2と、流路保持体2に一体的に接続される計測ユニット3と、を備えており、流路保持体2の内部には、被測定ガスが矢印の方向に流通する流路2aが形成されている。計測ユニット3は、流路2a内を流通する被測定ガスの流量を算出するものである。なお、図1は、流路保持体2の断面図と、計測ユニット3の機能的構成を説明するためのブロック図と、を複合的に示した構成図である。
CFA=1−KA(1−α/α0)
従って、実流量に相当する補正後流量Qは、特定比(α/α0)を用いた以下の算出式(第一の補正後流量算出式)で表される。
Q=CFA×QA={1−KA(1−α/α0)}×QA
KA=(QA−Q)/{QA(1−α/α0)}
この式に、既知の値(基準流量計で測定したQ、熱式流れセンサ10Aを用いた流量計で測定したQA、基準ガス(メタン)の温度拡散率α0、被測定ガス(二酸化炭素)の温度拡散率α)を代入することにより、KAを算出することができる。
CFB=1−KB(1−α/α0)
従って、実流量に相当する補正後流量Qは、特定比(α/α0)を用いた以下の算出式(第二の補正後流量算出式)で表される。
Q=CFB×QB={1−KB(1−α/α0)}×QB
(α/α0)=1+(QB―QA)/(KAQA―KBQB)
続いて、図8及び図9を用いて、本発明の第二実施形態に係る流量計1Aについて説明する。本実施形態に係る流量計1Aは、第一実施形態に係る流量計1と共通の構成を多く有している。このため、本実施形態においては、第一実施形態と異なる構成を中心に説明することとし、第一実施形態と共通の構成については第一実施形態と同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
2a…流路・主流路
9…バイパス流路
10A・10B・10C…熱式流れセンサ
14…ヒータ(発熱素子)
15…上流側測温抵抗素子(抵抗素子)
16…下流側測温抵抗素子(抵抗素子)
20・20A…中央演算装置
21…流量演算部(流量算出手段)
22…補正係数演算部(補正係数算出手段)
23…出力補正部(流量補正手段)
Claims (10)
- 所定の流路内を流通する同一の被測定ガスの流量を検出するための複数の異なる熱式流れセンサを備えるとともに、
少なくとも1つの前記熱式流れセンサのセンサ出力に基づいて被測定ガスの補正前流量を算出する流量算出手段と、
少なくとも2つの前記熱式流れセンサのセンサ出力に基づいて算出した被測定ガスの補正前流量と前記少なくとも2つの熱式流れセンサ固有の固定係数とに基づいて、所定の基準ガスの温度拡散率に対する被測定ガスの温度拡散率の比と相関関係を有する補正係数を算出する補正係数算出手段と、
前記流量算出手段で算出した補正前流量と前記補正係数算出手段で算出した補正係数とに基づいて被測定ガスの補正後流量を算出する流量補正手段と、を備える、
流量計。 - 第一の発熱素子及び前記第一の発熱素子の近傍に配置された第一の抵抗素子を有し被測定ガスの運搬効果によって前記第一の抵抗素子の抵抗値が変化するように構成された第一の熱式流れセンサと、
第二の発熱素子及び前記第二の発熱素子の近傍に配置された第二の抵抗素子を有し被測定ガスの運搬効果によって前記第二の抵抗素子の抵抗値が変化するように構成された第二の熱式流れセンサと、を備える、
請求項1に記載の流量計。 - 前記流量算出手段は、
前記第一の抵抗素子の抵抗値に基づいて被測定ガスの第一の補正前流量QAを算出するとともに、前記第二の抵抗素子の抵抗値に基づいて被測定ガスの第二の補正前流量QBを算出するものであり、
前記補正係数算出手段は、
前記第一の補正前流量QAと前記第二の補正前流量QBと前記第一の熱式流れセンサ固有の固定係数KAと前記第二の熱式流れセンサ固有の固定係数KBと特定比算出式
(α/α0)=1+(QB―QA)/(KAQA―KBQB)
とに基づいて所定の基準ガスの温度拡散率α0に対する被測定ガスの温度拡散率αの比である特定比(α/α0)を算出するものである、
請求項2に記載の流量計。 - 前記補正係数算出手段は、
前記特定比(α/α0)と前記第一の熱式流れセンサ固有の固定係数KAと関係式
CFA=1−KA(1−α/α0)
とに基づいて第一の補正係数CFAを算出するものであり、
前記流量補正手段は、
前記第一の補正前流量QAに前記第一の補正係数CFAを乗じることにより被測定ガスの補正後流量Qを算出するものである、
請求項3に記載の流量計。 - 前記補正係数算出手段は、
前記特定比(α/α0)と前記第二の熱式流れセンサ固有の固定係数KBと関係式
CFB=1−KB(1−α/α0)
とに基づいて第二の補正係数CFBを算出するものであり、
前記流量補正手段は、
前記第二の補正前流量QBに前記第二の補正係数CFBを乗じることにより被測定ガスの補正後流量Qを算出するものである、
請求項3に記載の流量計。 - 前記第一の発熱素子と前記第一の抵抗素子の間の距離と、前記第二の発熱素子と前記第二の抵抗素子の間の距離と、が異なるように構成され、
前記固定係数KAは、前記第一の発熱素子と前記第一の抵抗素子の間の距離と相関関係を有し、
前記固定係数KBは、前記第二の発熱素子と前記第二の抵抗素子の間の距離と相関関係を有する、
請求項3から5の何れか一項に記載の流量計。 - 第三の発熱素子及び前記第三の発熱素子の近傍に配置された第三の抵抗素子を有し被測定ガスの運搬効果によって前記第三の抵抗素子の抵抗値が変化するように構成された第三の熱式流れセンサをさらに備える、
請求項1から6の何れか一項に記載の流量計。 - 前記第一の熱式流れセンサの測定可能流量域と前記第二の熱式流れセンサの測定可能流量域との重複流量域よりも、前記第三の熱式流れセンサの測定可能流領域と前記第一の熱式流れセンサの測定可能流量域との重複流量域が広くなるように設定される、
請求項7に記載の流量計。 - 前記第一の熱式流れセンサの測定可能流量域と前記第二の熱式流れセンサの測定可能流量域との重複流量域よりも、前記第三の熱式流れセンサの測定可能流領域と前記第二の熱式流れセンサの測定可能流量域との重複流量域が広くなるように設定される、
請求項7に記載の流量計。 - 主流路と、前記主流路をバイパスするバイパス流路と、前記主流路内を流通する被測定ガスの流量を検出するための主流路用熱式流れセンサと、前記バイパス流路内を流通する被測定ガスの流量を検出するための少なくとも2つの異なるバイパス流路用熱式流れセンサと、を備えるとともに、
前記主流路用熱式流れセンサのセンサ出力に基づいて前記主流路内を流通する被測定ガスの補正前流量を算出するとともに、前記少なくとも2つの異なるバイパス流路用熱式流れセンサのセンサ出力に基づいて前記バイパス流路内を流通する被測定ガスの補正前流量を算出する流量算出手段と、
前記少なくとも2つの異なるバイパス流路用熱式流れセンサのセンサ出力に基づいて算出した被測定ガスの補正前流量と、前記少なくとも2つの異なるバイパス流路用熱式流れセンサ固有の固定係数と、に基づいて、所定の基準ガスの温度拡散率に対する被測定ガスの温度拡散率の比と相関関係を有する補正係数を算出する補正係数算出手段と、
前記流量算出手段で算出した前記主流路内を流通する被測定ガスの補正前流量と、前記補正係数算出手段で算出した補正係数と、に基づいて被測定ガスの補正後流量を算出する流量補正手段と、を備える、
流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010078098A JP5450204B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010078098A JP5450204B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011209152A JP2011209152A (ja) | 2011-10-20 |
JP5450204B2 true JP5450204B2 (ja) | 2014-03-26 |
Family
ID=44940369
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010078098A Active JP5450204B2 (ja) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | 流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5450204B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104081169B (zh) * | 2012-01-10 | 2016-10-19 | 日立汽车***株式会社 | 流量计测装置 |
CN104067051A (zh) * | 2012-01-23 | 2014-09-24 | 吉坤日矿日石能源株式会社 | 燃料供应***、燃料电池***以及它们的运转方法 |
US20140377678A1 (en) * | 2012-01-23 | 2014-12-25 | Jx Nippon Oil & Energy Corporation | Fuel supply system, fuel cell system, and method for running each |
WO2015029890A1 (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-05 | 株式会社堀場エステック | 流体分析装置、熱式流量計、マスフローコントローラ、流体性質特定装置、及び、流体分析装置用プログラム |
JP7119690B2 (ja) * | 2018-07-19 | 2022-08-17 | 株式会社アイシン | 燃料電池システム、原燃料ガスの流量測定方法および原燃料ガスのガス種特定方法 |
JP7248455B2 (ja) * | 2019-03-04 | 2023-03-29 | アズビル株式会社 | 熱式流量計および流量補正方法 |
DE102019110876A1 (de) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | Endress+Hauser Flowtec Ag | Verfahren zum Betreiben einer Sonde eines thermischen Durchflussmessgeräts und ein thermisches Durchflussmessgerät mit einer solchen Sonde |
CN114993398B (zh) * | 2022-08-03 | 2022-10-18 | 四川中测流量科技有限公司 | 一种应用质量流量计的加氢机现场检定装置 |
-
2010
- 2010-03-30 JP JP2010078098A patent/JP5450204B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011209152A (ja) | 2011-10-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5450204B2 (ja) | 流量計 | |
KR100485944B1 (ko) | 열식 유체센서, 유체판별장치 및 그 방법, 플로센서, 및유량계측장치 및 그 방법 | |
JP4355792B2 (ja) | 熱式流量計 | |
WO2018230478A1 (ja) | 流量測定装置 | |
WO2003029759A1 (fr) | Instrument de mesure de debit | |
JP4150756B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP6460911B2 (ja) | 熱式マスフローコントローラ及びその傾斜誤差改善方法 | |
JP6475080B2 (ja) | 熱式流量計及びその傾斜誤差改善方法 | |
JP6475081B2 (ja) | 熱式流量計及びその傾斜誤差改善方法 | |
JP6200896B2 (ja) | 風速計 | |
JP5221182B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP2021135156A (ja) | 流量測定装置 | |
JP2788329B2 (ja) | 流体の流速及び流れ方向測定方法及び測定装置 | |
US20230236051A1 (en) | Thermal flow meter, flow rate control device, thermal flow rate measurement method, and program for thermal flow meter | |
JP4045549B2 (ja) | 水素濃度検出装置及び水素濃度検出方法 | |
JP6434238B2 (ja) | 流量計および補正値算出方法 | |
JP4648662B2 (ja) | フローセンサの駆動方法および駆動回路 | |
JP5062720B2 (ja) | 流れ検出装置 | |
JP4751259B2 (ja) | 流速測定方法、流量測定方法、流速計、及び、流量計 | |
JP5511120B2 (ja) | ガス濃度検出装置 | |
JP5522826B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP2019158763A (ja) | ガスメータ | |
JP5123231B2 (ja) | 流量計、流量計測方法、及び流量計測プログラム | |
WO2019156243A1 (ja) | 流量測定装置及び埋設型ガスメータ | |
JPH10104183A (ja) | 湿度検出装置及びそれを用いた空気流量測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131211 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5450204 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |