JP6430265B2 - 変位検出装置 - Google Patents
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Description
前記一対の磁石の間に配置され、測定対象に接続されて変位する軟磁性体と、
前記一対の磁石の一方と前記軟磁性体との間に配置され、前記軟磁性体の変位方向と直行する検出方向で前記軟磁性体の変位に伴い変化する磁束密度を検出して検出した磁束密度に応じた信号を出力する磁気検出素子を同一面上に予め定めた間隔を設けて対で有するセンサと、
前記センサの前記対の磁気検出素子の出力信号の差分を出力する差分回路とを有する変位検出装置。
[2]前記センサは、前記対の磁気検出素子をパッケージ化したICである前記[1]に記載の変位検出装置。
[3]前記軟磁性体は、透過する磁束密度が変化しない範囲で変位する前記[1]又は[2]に記載の変位検出装置。
請求項2に係る発明によれば、軟磁性体に生じるヒステレシスを抑制することができる。
(変位検出装置の構成)
図1は、第1の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す一部断面図である。
次に、第1の実施の形態の作用を、図1−図5を用いて説明する。
上記した第1の実施の形態によれば、センサ2において検出される磁束密度が0となる軟磁性体3の位置が存在するため、軟磁性体3の変位とセンサ2の検出する磁束密度とがおおよそリニアな特性となる。
図6(a)及び(b)は、第2の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第2の実施の形態の作用を、図6を用いて説明する。
上記した第2の実施の形態によれば、第1の実施の形態の効果に加え、x方向及びy方向の2方向の変位を検出することができる。
図7は、第3の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第3の実施の形態の作用を、図7を用いて説明する。
上記した第3の実施の形態によれば、第1の実施の形態の効果に加えて、回転方向の変位角を検出することができる。
図9は、第4の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第4の実施の形態の作用を、図9を用いて説明する。
上記した第4の実施の形態によれば、第2の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
図10は、第5の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第5の実施の形態の作用を、図10を用いて説明する。
上記した第5の実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
図11は、第6の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第6の実施の形態の作用を、図11を用いて説明する。
上記した第6の実施の形態によれば、第1の実施の形態の効果に加えて、検出した変位に基づいて変位を抑制又は増幅する等の制御ができる。
図12は、第7の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第7の実施の形態の作用を、図12を用いて説明する。
上記した第7の実施の形態によれば、第7の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々な変形が可能である。
2、2a センサ
3 軟磁性体
4 磁石
5 測定対象
6 バネ
7 コイル
11−15 変位検出装置
20a−20d ホール素子
21 差動増幅回路
22 センサ
30−33 軟磁性体
34 支持体
34a 柱部
35 軟磁性体
36 支持体
36a 柱部
37 軟磁性体
38a−38c 軟磁性体
40、41a、41b、42a、42b 磁石
50 ラバーメンブレン
51 接続部材
Claims (3)
- 間隔を設けて配置され、当該間隔に磁場を形成する一対の磁石と、
前記一対の磁石の間に配置され、測定対象に接続されて変位する軟磁性体と、
前記一対の磁石の一方と前記軟磁性体との間に配置され、前記軟磁性体の変位方向と直行する検出方向で前記軟磁性体の変位に伴い変化する磁束密度を検出して検出した磁束密度に応じた信号を出力する磁気検出素子を同一面上に予め定めた間隔を設けて対で有するセンサと、
前記センサの前記対の磁気検出素子の出力信号の差分を出力する差分回路とを有する変位検出装置。 - 前記センサは、前記対の磁気検出素子をパッケージ化したICである請求項1に記載の変位検出装置。
- 前記軟磁性体は、透過する磁束密度が変化しない範囲で変位する請求項1又は2に記載の変位検出装置。
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