JP6218942B2 - 変位検出装置 - Google Patents
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
- G01D5/147—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the movement of a third element, the position of Hall device and the source of magnetic field being fixed in respect to each other
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Description
前記軟磁性体の可動域である空間に一方向の一様な磁場を形成する磁石と、
前記磁石が磁場を形成する前記空間に配置され、前記軟磁性体の変位に基づいた磁場の変化を検出するセンサとを有し、
前記軟磁性体は、当該軟磁性体を透過する磁束密度が変化しない範囲で変位し、前記センサが一の検出方向において検出する磁束密度が0となる変位位置を含む範囲で変位する変位検出装置。
[2]前記センサは、複数の検出方向においてそれぞれ磁場の変化を検出し、当該複数の検出結果から一の出力を得る前記[1]に記載の変位検出装置。
[3]前記軟磁性体は開口部を有し、
前記センサは前記軟磁性体の前記開口部の変位に基づいた磁場の変化を検出する前記[1]又は[2]に記載の変位検出装置。
請求項2に係る発明によれば、複数の検出方向における磁場の変化から変位を検出することができる。
請求項3に係る発明によれば、軟磁性体に生じるヒステレシスの影響を抑制することができる。
(変位検出装置の構成)
図1は、第1の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す一部断面図である。
次に、第1の実施の形態の作用を、図1−図3を用いて説明する。
上記した第1の実施の形態によれば、センサ2において検出される磁束密度が0となる軟磁性体3の位置が存在するため、軟磁性体3の変位とセンサ2の検出する磁束密度とがリニアな特性となる。
図4は、第2の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第2の実施の形態の作用を、図4、図5及び図2A−図2Cを用いて説明する。なお、図2A−図2Cにおいてセンサ2をセンサ20に置き換えるものとする。
上記した第2の実施の形態によれば、第1の実施の形態の効果に加えて、それぞれ異なる磁気検出素子で検出される磁束密度Bx及びBzの比を用いた演算により角度αを求めているため、磁気検出素子の温度依存特性の影響を打ち消すことができ、温度依存特性の影響がある場合に比べてセンサ20全体として検出精度が向上する。
図6は、第3の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第3の実施の形態の作用を、図6及び図7を用いて説明する。
上記した第3の実施の形態によれば、第2の実施の形態の効果に加え、x方向及びy方向の変位を検出することができる。
図8は、第4の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第4の実施の形態の作用を、図8及び図9を用いて説明する。
上記した第4の実施の形態によれば、第1の実施の形態の効果に加えて、回転方向の変位角を検出することができる。
図10は、第5の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第5の実施の形態の作用を、図10及び図12を用いて説明する。
上記した第5の実施の形態によれば、第3の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
図11は、第6の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第6の実施の形態の作用を、図11及び図12を用いて説明する。
上記した第6の実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
図13は、第7の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第7の実施の形態の作用を、図13及び図15を用いて説明する。
上記した第7の実施の形態によれば、第1の実施の形態の効果に加えて、検出した変位に基づいて変位を抑制又は増幅する等の制御ができる。
図14は、第8の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第8の実施の形態の作用を、図14及び図15を用いて説明する。
上記した第8の実施の形態によれば、第7の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
図16Aは、第9の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す正面図である。図16Bは、第9の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。
次に、第9の実施の形態の作用を、図16を用いて説明する。
上記した第9の実施の形態によれば、第1の実施の形態の効果に加えて、検出した磁束密度から測定対象52の変位及び気流Fの流量を測定することができる。
図18Aは、第10の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す斜視図である。図18Bは、第10の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す正面図である。図18Cは、第10の実施の形態に係る変位検出装置の構成例を示す一部断面図である。
次に、第10の実施の形態の作用を、図18を用いて説明する。
上記した第10の実施の形態によれば、第1の実施の形態と同様の効果を奏することができる。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々な変形が可能である。
2 センサ
3 軟磁性体
4 磁石
5 測定対象
6 バネ
7 コイル
10−16 変位検出装置
20−27 センサ
30−33 軟磁性体
34 支持体
34a 柱部
35 軟磁性体
36 支持体
36a 柱部
37 軟磁性体
38a−38c 軟磁性体
40、41a、41b、42a、42b、43 磁石
50 ラバーメンブレン
51 接続部材
52 測定対象
53 接続部材
Claims (3)
- 測定対象に接続されて変位する軟磁性体と、
前記軟磁性体の可動域である空間に一方向の一様な磁場を形成する磁石と、
前記磁石が磁場を形成する前記空間に配置され、前記軟磁性体の変位に基づいた磁場の変化を検出するセンサとを有し、
前記軟磁性体は、当該軟磁性体を透過する磁束密度が変化しない範囲で変位し、前記センサが一の検出方向において検出する磁束密度が0となる変位位置を含む範囲で変位する変位検出装置。 - 前記センサは、複数の検出方向においてそれぞれ磁場の変化を検出し、当該複数の検出結果から一の出力を得る請求項1に記載の変位検出装置。
- 前記軟磁性体は開口部を有し、
前記センサは前記軟磁性体の前記開口部の変位に基づいた磁場の変化を検出する請求項1又は2に記載の変位検出装置。
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---|---|
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