JP6422907B2 - 半導体製造装置 - Google Patents
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- 反応部からの排気ガスを搬送する第1配管と、
前記第1配管へクリーニングガスを供給する第1供給部と、
前記第1配管に設けられたヒータと、
前記第1配管または前記ヒータの温度を検知する温度センサと、
前記温度センサで検知された温度に基づいて前記ヒータへ供給する電力を制御するコントローラとを備え、
前記コントローラは、前記第1配管の温度をほぼ一定にするように前記ヒータへ供給する電力を制御する、半導体製造装置。 - 反応部からの排気ガスを搬送する第1配管と、
前記第1配管へクリーニングガスを供給する第1供給部と、
前記第1配管に設けられたヒータと、
前記第1配管または前記ヒータの温度を検知する温度センサと、
前記温度センサで検知された温度に基づいて前記ヒータへ供給する電力を制御するコントローラとを備え、
前記コントローラは、前記第1配管または前記ヒータの温度をほぼ一定にするように前記クリーニングガスに含まれる不活性ガスの含有率を制御する、半導体製造装置。 - 反応部からの排気ガスを搬送する第1配管と、
前記第1配管へクリーニングガスを供給する第1供給部と、
前記第1配管に設けられたヒータと、
前記第1配管または前記ヒータの温度を検知する温度センサと、
前記温度センサで検知された温度に基づいて前記ヒータへ供給する電力を制御するコントローラとを備え、
前記コントローラは、前記第1配管または前記ヒータの温度が第1温度以上になったときに、前記クリーニングガスの供給量を減少させあるいはその供給を停止させる、半導体製造装置。 - 反応部からの排気ガスを搬送する第1配管と、
前記第1配管へクリーニングガスを供給する第1供給部と、
前記第1配管に設けられたヒータと、
前記第1配管または前記ヒータの温度を検知する温度センサと、
前記温度センサで検知された温度に基づいて前記ヒータへ供給する電力を制御するコントローラとを備え、
前記コントローラは、前記第1配管または前記ヒータの温度が第1温度以上となったときに、前記クリーニングガスに含まれる不活性ガスの含有率を増大させる、半導体製造装置。 - 前記コントローラは、前記第1配管または前記ヒータの温度をほぼ一定にするように前記クリーニングガスに含まれる不活性ガスの含有率を制御する、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の半導体製造装置。
- 前記コントローラは、前記第1配管または前記ヒータの温度が第1温度以上になったときに、前記クリーニングガスの供給量を減少させあるいはその供給を停止させる、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の半導体製造装置。
- 前記コントローラは、前記第1配管または前記ヒータの温度が第1温度以上となったときに、前記クリーニングガスに含まれる不活性ガスの含有率を増大させる、請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の半導体製造装置。
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