JP6422624B1 - 免振装置 - Google Patents

Abstract

免振装置（１）は、駆動装置可動部（１２）の動作によって生じる振動を抑制するための免振装置可動部（３）と、駆動装置可動部（１２）の目標位置をもとに免振用指令速度を生成する免振用速度生成部（４）と、免振装置可動部（３）を原点位置に復帰させるための復帰用指令速度を生成する復帰用速度生成部（６）と、免振用速度生成部（４）によって生成された免振用指令速度と復帰用速度生成部（６）によって生成された復帰用指令速度とを加算して制御指令速度を生成する制御速度生成部（７）と、制御速度生成部（７）によって生成された制御指令速度をもとに免振装置可動部（３）を制御する免振制御部（８）とを有する。

Description

本発明は、例えば架台に配置された駆動装置の動作によって架台に生じる振動を抑制する免振装置に関する。

架台に駆動装置が配置された半導体露光装置が知られている。駆動装置は、位置決め制御対象の位置を変更する機能を持つ駆動装置可動部を有する。駆動装置可動部の例は、ＸＹステージである。床から架台に伝播する振動を吸収する振動吸収手段が架台に設けられている場合が多く、その場合、床から架台に伝播する振動は振動吸収手段によって抑制される。しかしながら、振動吸収手段は、駆動装置可動部の動作によって架台に生じる振動を適切に減衰することができない。特許文献１は、駆動装置可動部の動作によって架台に生じる振動を抑制する免振装置を開示している。

特開２０１２−５２６６６号公報

しかしながら、特許文献１が開示している免振装置では、免振装置が有する免振装置可動部が免振装置可動部のストロークエンドを超える可能性がある。免振装置可動部がストロークエンドを超えると、駆動装置可動部の動作によって架台に生じる振動を抑制することが困難になる。つまり、免振装置可動部がストロークエンドを超えると、振動が免振制御対象に生じる。免振制御対象の例は、架台である。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、駆動装置可動部の動作による免振制御対象の振動を抑制するための免振装置可動部が免振装置可動部のストロークエンドを超えることを防止する免振装置を得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、駆動装置可動部の動作によって生じる振動を抑制するための免振装置可動部と、前記駆動装置可動部の目標位置をもとに免振用指令速度を生成する免振用速度生成部と、前記免振装置可動部を原点位置に復帰させるための復帰用指令速度を生成する復帰用速度生成部とを有する。本発明は、前記免振用速度生成部によって生成された前記免振用指令速度と前記復帰用速度生成部によって生成された前記復帰用指令速度とを加算して制御指令速度を生成する制御速度生成部と、前記制御速度生成部によって生成された前記制御指令速度をもとに前記免振装置可動部を制御する免振制御部とを更に有する。

本発明にかかる免振装置は、駆動装置可動部の動作による免振制御対象の振動を抑制するための免振装置可動部が免振装置可動部のストロークエンドを超えることを防止することができるという効果を奏する。

実施の形態にかかる免振装置の構成を示す図 実施の形態にかかる免振装置が有する復帰用速度生成部の動作の手順を示すフローチャート 実施の形態にかかる免振装置が有する復帰用速度生成部が実行する第一加減速量加算処理の手順を示すフローチャート 実施の形態にかかる免振装置が有する復帰用速度生成部が実行する第二加減速量加算処理の手順を示すフローチャート 実施の形態にかかる免振装置が用いられた場合の免振装置及び駆動装置についての各データのひとつの例のタイミングチャート 実施の形態にかかる免振装置が有する実行指令生成部、免振用速度生成部、判定部、復帰用速度生成部、制御速度生成部及び免振制御部の少なくとも一部の機能がプロセッサによって実現される場合のプロセッサを示す図 実施の形態にかかる免振装置が有する実行指令生成部、免振用速度生成部、判定部、復帰用速度生成部、制御速度生成部及び免振制御部を構成する少なくとも一部の構成要素が処理回路によって実現される場合の処理回路を示す図

以下に、本発明の実施の形態にかかる免振装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。

実施の形態．
図１は、実施の形態にかかる免振装置１の構成を示す図である。免振装置１は、駆動装置可動部１２の動作によって免振制御対象３０に生じる振動を抑制する装置である。駆動装置可動部１２は、駆動装置１１に含まれている。図１には、駆動装置１１及び免振制御対象３０も示されている。免振装置１及び駆動装置１１は、架台に配置されている。免振制御対象３０の例は、架台である。

駆動装置１１は、位置決め制御対象を移動させる機能を有する駆動装置可動部１２と、駆動装置可動部１２の目標位置を生成する目標位置生成部１３と、目標位置生成部１３によって生成された目標位置をもとに駆動装置可動部１２を制御する駆動装置制御部１４とを有する。図１には、位置決め制御対象は示されていない。駆動装置可動部１２が位置決め制御対象を移動させる際、振動が免振制御対象３０に生じる。上述の通り、免振装置１は、駆動装置可動部１２の動作によって免振制御対象３０に生じる振動を抑制する装置である。

免振装置１は、免振を実行させるための指令である免振実行指令を生成する実行指令生成部２と、駆動装置可動部１２の動作によって免振制御対象３０に生じる振動を抑制するための免振装置可動部３と、駆動装置１１の駆動装置可動部１２の目標位置をもとに免振用指令速度を生成する免振用速度生成部４とを有する。免振装置可動部３は、モータを有し、モータの動力によって動く。免振用速度生成部４によって生成される免振用指令速度は、駆動装置可動部１２の動作によって免振制御対象３０に生じる振動を抑制するための指令速度である。

例えば、免振用速度生成部４は、駆動装置１１の目標位置生成部１３から出力された前回の目標位置と目標位置生成部１３から出力された今回の目標位置との差と、あらかじめ決められた係数とを乗算し、乗算によって得られた値に補正値を加えることによって、免振用指令速度を生成する。例えば、上記の係数は、駆動装置可動部１２の質量と免振装置可動部３の質量との比である。例えば、上記の補正値は、駆動装置可動部１２の摩擦量に起因する外乱要素によって決められる値である。

免振装置可動部３の動作が不要な場合がある。そのため、免振用速度生成部４は、実行指令生成部２が免振実行指令を出力した場合に免振用指令速度を生成する。言い換えると、免振用速度生成部４は、実行指令生成部２が免振実行指令を出力しない場合、免振用指令速度の値を「０」に設定する。免振装置１は、免振用速度生成部４が０以外の免振用指令速度を出力したか否かを判定する判定部５を更に有する。

免振装置１は、免振装置可動部３を原点位置に復帰させるための復帰用指令速度を生成する復帰用速度生成部６を更に有する。原点位置は、免振装置可動部３があらかじめ設定されたストロークエンドを超えることを防止するためにあらかじめ設定された位置である。原点位置は、例えばパラメータを設定するための手段が用いられて設定される。復帰用速度生成部６は、免振用速度生成部４が０以外の免振用指令速度を出力したと判定部５によって判定された場合に復帰用指令速度を生成する。

免振装置１は、免振用速度生成部４によって生成された免振用指令速度と復帰用速度生成部６によって生成された復帰用指令速度とを加算して制御指令速度を生成する制御速度生成部７を更に有する。上述の通り、免振用速度生成部４は、実行指令生成部２が免振実行指令を出力した場合に免振用指令速度を生成する。復帰用速度生成部６は、免振用速度生成部４が０以外の免振用指令速度を出力したか否かを判定する判定部５をもとに復帰用指令速度を生成する。

免振装置１は、制御速度生成部７によって生成された制御指令速度をもとに免振装置可動部３を制御する免振制御部８を更に有する。例えば、免振制御部８は、制御指令速度をもとに、免振装置可動部３の目標位置を示す目標位置指令を生成し、目標位置指令をもとに免振装置可動部３を制御する。原点位置を示す原点位置指令と目標位置指令とが復帰用速度生成部６に入力され、復帰用速度生成部６は、原点位置と目標位置との差をもとに復帰用指令速度を生成する。

図２は、実施の形態にかかる免振装置１が有する復帰用速度生成部６の動作の手順を示すフローチャートである。復帰用速度生成部６は、判定部５によって行われた判定をもとに、カウンタ動作が停止中であるか否かを判断する（Ｓ１）。カウンタ動作は、免振用速度生成部４が免振用指令速度を生成する動作である。復帰用速度生成部６は、カウンタ動作が停止中でないと判断した場合（Ｓ１でＮｏ）、前回生成された復帰用指令速度を保持し（Ｓ２）、動作を終了する。図２のステップＳ２では、「前回生成された復帰用指令速度」は「前回値」と記載されている。

復帰用速度生成部６は、カウンタ動作が停止中であると判断した場合（Ｓ１でＹｅｓ）、下記の式（１）によって算出される指令速度差分値を算出する（Ｓ３）。つまり、復帰用速度生成部６は、ステップＳ３において、現在の復帰用指令速度と基準指令速度との差分値を算出する。
指令速度差分値＝現在の復帰用指令速度−基準指令速度 ・・・（１）

基準指令速度は、免振装置可動部３が現在の位置から原点位置に一定の加減速で戻る場合の速度である。基準指令速度は、復帰用速度生成部６によって算出される。加減速は、速さである。加減速の量は、任意に設定可能な第二原点復帰時推力の値と、免振装置可動部３のモータの特性と、免振装置可動部３に搭載されている負荷の質量とをもとに決定される。加減速の量は、第二加減速量と定義される。つまり、免振装置可動部３が原点位置に戻る場合の加減速量は第二加減速量であって、その際の推力は第二原点復帰時推力で制限される。

次に、復帰用速度生成部６は、指令速度差分値が「０」であるか否かを判断する（Ｓ４）。指令速度差分値が「０」である場合（Ｓ４でＹｅｓ）、復帰用速度生成部６は、第二加減速量加算処理を実行する（Ｓ５）。指令速度差分値が「０」でない場合（Ｓ４でＮｏ）、復帰用速度生成部６は、第一加減速量加算処理を実行する（Ｓ６）。第一加減速量加算処理及び第二加減速量加算処理については、以下に説明する。

図３は、実施の形態にかかる免振装置１が有する復帰用速度生成部６が実行する第一加減速量加算処理の手順を示すフローチャートである。復帰用速度生成部６は、現在が第一加減速量加算期間に含まれているか否かを判断する（Ｓ２１）。第一加減速量加算期間は、免振用速度生成部４が０という値の免振用指令速度を出力したと判定部５によって判定された時から始まるあらかじめ決められた一定の期間であって、任意に設定可能な期間である。

復帰用速度生成部６は、現在が第一加減速量加算期間に含まれていないと判断した場合（Ｓ２１でＮｏ）、前回生成された復帰用指令速度を保持し（Ｓ２２）、動作を終了する。図３では、「前回生成された復帰用指令速度」は「前回値」と記載されている。復帰用速度生成部６は、現在が第一加減速量加算期間に含まれていると判断した場合（Ｓ２１でＹｅｓ）、上記の指令速度差分値の絶対値が第一加減速量の絶対値以上であるか否かを判断する（Ｓ２３）。第一加減速量は、正の値である場合もあるし、負の値である場合もある。図３のステップ２３に記載されている「第一加減速量」は、第一加減速量の絶対値を意味する。

復帰用速度生成部６は、指令速度差分値の絶対値が第一加減速量の絶対値以上であると判断した場合（Ｓ２３でＹｅｓ）、制御指令速度が基準指令速度に近づくように、前回生成された復帰用指令速度に第一加減速量を加算して新たな復帰用指令速度を生成する（Ｓ２４）。第一加減速量は、任意に設定可能な第一原点復帰時推力の値と、免振装置可動部３のモータの特性と、免振装置可動部３に搭載されている負荷の質量とをもとに決定される。免振装置可動部３が原点位置に戻る場合の加減速量は第二加減速量であって、その際の推力は第二原点復帰時推力で制限される。第一原点復帰時推力は、第二原点復帰時推力と異なる。

復帰用速度生成部６は、指令速度差分値の絶対値が第一加減速量の絶対値より小さいと判断した場合（Ｓ２３でＮｏ）、制御指令速度が基準指令速度と同一となるように、前回生成された復帰用指令速度に加減速量を加算して新たな復帰用指令速度を生成する（Ｓ２５）。当該加減速量は、正の値である場合もあるし、負の値である場合もある。当該加減速量の絶対値は、第一加減速量の絶対値より小さい。

このように、復帰用速度生成部６は、あらかじめ設定された第一加減速量加算期間において、第一加減速量と第一加減速量の絶対値より小さい加減速量とのいずれかを前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成する。

図４は、実施の形態にかかる免振装置１が有する復帰用速度生成部６が実行する第二加減速量加算処理の手順を示すフローチャートである。復帰用速度生成部６は、現在が第二加減速量加算期間に含まれているか否かを判断する（Ｓ３１）。第二加減速量加算期間は、免振用速度生成部４が０という値の免振用指令速度を出力したと判定部５によって判定された時から始まる期間である。第二加減速量加算期間の終了時は、免振用速度生成部４が０以外の免振用指令速度を出力したと判定部５によって判定された時である。

復帰用速度生成部６は、現在が第二加減速量加算期間に含まれていないと判断した場合（Ｓ３１でＮｏ）、前回生成された復帰用指令速度を保持し（Ｓ３２）、動作を終了する。図４では、「前回生成された復帰用指令速度」は「前回値」と記載されている。復帰用速度生成部６は、現在が第二加減速量加算期間に含まれていると判断した場合（Ｓ３１でＹｅｓ）、前回生成された復帰用指令速度に第二加減速量を加算する（Ｓ３３）。

このように、復帰用速度生成部６は、現在の復帰用指令速度が基準指令速度と一致した場合、開始時があらかじめ設定されている第二加減速量加算期間において、第二加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成する。

上述の通り、復帰用速度生成部６は、免振装置可動部３が原点に復帰する場合の任意に設定可能な推力と、免振装置可動部３のモータの特性と、免振装置可動部３に搭載されている負荷の質量とをもとに、免振装置可動部３が原点に復帰する場合の推力に相当する加減速量を算出し、加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成する。

具体的には、復帰用速度生成部６は、免振装置可動部３が原点に復帰する場合の任意に設定可能な第一原点復帰時推力と、免振装置可動部３のモータの特性と、免振装置可動部３に搭載されている負荷の質量とをもとに、第一原点復帰時推力に相当する第一加減速量を算出し、第一加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成する。

復帰用速度生成部６は、免振装置可動部３が原点に復帰する場合の任意に設定可能な第二原点復帰時推力と、免振装置可動部３のモータの特性と、免振装置可動部３に搭載されている負荷の質量とをもとに、第二原点復帰時推力に相当する第二加減速量を算出し、第二加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成する。

以下では、第一加減速量は、第二加減速量より大きいことを想定する。加えて、第一加減速量加算処理における第一加減速量加算期間において、第一加減速量は、カウンタ動作が行われるタイミングと同じタイミングで加算されないことを想定する。さらに、第二加減速量加算処理における第二加減速量加算期間において、第二加減速量は、カウンタ動作が行われるタイミングと同じタイミングで加算されてもよいことを想定する。

一般的に、駆動装置が複数の運転を連続して行う際の各運転間のドウェルは固定値でない場合が多い。つまり、一般的に、ある一定期間のドウェルは確保されているが、駆動装置がひとつの運転を終了して次の運転を開始するまでの期間は変化する。そのため、ドウェルの量が確定している場合、復帰用速度生成部６は、免振装置可動部３がより早く原点位置に戻ることを可能とするために、前回生成された復帰用指令速度に第一加減速量を加算する。ドウェルの量が確定していない場合、復帰用速度生成部６は、カウンタ動作がいつ行われても免振装置可動部３を原点位置に戻すことができるように、前回生成された復帰用指令速度に第二加減速量を加算する。

なお、第二加減速量には、カウンタ動作による免振装置可動部３への推力が加算されることによって生じる免振装置可動部３への推力の変動が免振制御対象３０のあらかじめ許容される振動の範囲内に収まる値が設定される。

図５は、実施の形態にかかる免振装置１が用いられた場合の免振装置１及び駆動装置１１についての各データのひとつの例のタイミングチャートである。図５において、駆動装置１１という文字列の直下に記載されている移動量は、駆動装置１１が有する駆動装置可動部１２の移動量を示している。駆動装置１１という文字列の下であって免振装置１という文字列の上に記載されている指令速度は、駆動装置１１が有する駆動装置制御部１４に入力される指令速度を示している。駆動装置１１という文字列の下であって免振装置１という文字列の上に記載されている推力は、駆動装置可動部１２における推力を示している。

免振装置１という文字列の下に記載されている移動量は、免振装置１が有する免振装置可動部３の移動量を示している。免振装置１という文字列の下に記載されている指令速度は、免振制御部８に入力される制御指令速度を示している。免振装置１という文字列の下に記載されている推力は、免振装置可動部３において生じる推力を示している。図５には、第一加減速量加算期間及び第二加減速量加算期間も示されている。

図５における二つの第一加減速量加算期間のうちの後の第一加減速量加算期間に着目すると理解することができる通り、当該後の第一加減速量加算期間において第一加減速量が前回生成された復帰用指令速度に加算されることにより、制御指令速度が基準指令速度に到達する。その後の第二加減速量加算期間において、第一加減速量が前回生成された復帰用指令速度に加算されることにより、免振装置可動部３は原点位置に戻る。

上述の通り、実施の形態にかかる免振装置１は、免振用指令速度と復帰用指令速度とを加算して制御指令速度を生成し、制御指令速度をもとに免振装置可動部３を制御する。したがって、免振装置１は、駆動装置可動部１２の動作による免振制御対象３０の振動を抑制するための免振装置可動部３が免振装置可動部３のストロークエンドを超えることを防止することができる。

なお、上述した実施の形態では、第一加減速量と第二加減速量とが用いられているが、第一加減速量と第二加減速量とのうちの一方のみが用いられてもよい。第一加減速量及び第二加減速量の各々は、上述の例に限定されない。加減速量は、三つ以上用いられてもよい。

図６は、実施の形態にかかる免振装置１が有する実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８の少なくとも一部の機能がプロセッサ６１によって実現される場合のプロセッサ６１を示す図である。つまり、実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８の少なくとも一部の機能は、メモリ６２に格納されるプログラムを実行するプロセッサ６１によって実現されてもよい。

プロセッサ６１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、処理装置、演算装置、マイクロプロセッサ、マイクロコンピュータ、又はＤＳＰ（Digital Signal Processor）である。図６には、メモリ６２も示されている。

実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８の少なくとも一部の機能がプロセッサ６１によって実現される場合、当該一部の機能は、プロセッサ６１と、ソフトウェア、ファームウェア、又は、ソフトウェア及びファームウェアとの組み合わせにより実現される。ソフトウェア又はファームウェアは、プログラムとして記述され、メモリ６２に格納される。

プロセッサ６１は、メモリ６２に記憶されたプログラムを読み出して実行することにより、実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８の少なくとも一部の機能を実現する。

すなわち、実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８の少なくとも一部の機能がプロセッサ６１によって実現される場合、免振装置１は、実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８の少なくとも一部によって実行されるステップが結果的に実行されることになるプログラムを格納するためのメモリ６２を有する。

メモリ６２に格納されるプログラムは、実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８の少なくとも一部が実行する手順又は方法をコンピュータに実行させるものであるともいえる。

メモリ６２は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）、フラッシュメモリ、ＥＰＲＯＭ（Erasable Programmable Read Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（登録商標）（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）等の不揮発性もしくは揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク、フレキシブルディスク、光ディスク、コンパクトディスク、ミニディスク又はＤＶＤ（Digital Versatile Disk）等である。

図７は、実施の形態にかかる免振装置１が有する実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８を構成する少なくとも一部の構成要素が処理回路７１によって実現される場合の処理回路７１を示す図である。つまり、実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８の機能の少なくとも一部は、処理回路７１によって実現されてもよい。

処理回路７１は、専用のハードウェアである。処理回路７１は、例えば、単一回路、複合回路、プログラム化されたプロセッサ、並列プログラム化されたプロセッサ、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）、又はこれらを組み合わせたものである。実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８の一部は、残部とは別個の専用のハードウェアであってもよい。

実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８の複数の機能について、当該複数の機能の一部がソフトウェア又はファームウェアで実現され、当該複数の機能の残部が専用のハードウェアで実現されてもよい。このように、実行指令生成部２、免振用速度生成部４、判定部５、復帰用速度生成部６、制御速度生成部７及び免振制御部８の複数の機能は、ハードウェア、ソフトウェア、ファームウェア、又はこれらの組み合わせによって実現することができる。

以上の実施の形態に示した構成は、本発明の内容の一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略又は変更することも可能である。

１ 免振装置、２ 実行指令生成部、３ 免振装置可動部、４ 免振用速度生成部、５ 判定部、６ 復帰用速度生成部、７ 制御速度生成部、８ 免振制御部、１１ 駆動装置、１２ 駆動装置可動部、１３ 目標位置生成部、１４ 駆動装置制御部、３０ 免振制御対象、６１ プロセッサ、６２ メモリ、７１ 処理回路。

Claims (7)

1. 駆動装置可動部の動作によって生じる振動を抑制するための免振装置可動部と、
   前記駆動装置可動部の目標位置をもとに免振用指令速度を生成する免振用速度生成部と、
   前記免振装置可動部を原点位置に復帰させるための復帰用指令速度を生成する復帰用速度生成部と、
   前記免振用速度生成部によって生成された前記免振用指令速度と前記復帰用速度生成部によって生成された前記復帰用指令速度とを加算して制御指令速度を生成する制御速度生成部と、
   前記制御速度生成部によって生成された前記制御指令速度をもとに前記免振装置可動部を制御する免振制御部と
   を備えることを特徴とする免振装置。
2. 前記免振装置可動部は、モータを有しており、
   前記復帰用速度生成部は、前記免振装置可動部が原点に復帰する場合の任意に設定可能な推力と、前記免振装置可動部の前記モータの特性と、前記免振装置可動部に搭載されている負荷の質量とをもとに、前記免振装置可動部が原点に復帰する場合の推力に相当する加減速量を算出し、前記加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成する
   ことを特徴とする請求項１に記載の免振装置。
3. 前記免振装置可動部は、モータを有しており、
   前記復帰用速度生成部は、
   前記免振装置可動部が原点に復帰する場合の任意に設定可能な第一原点復帰時推力と、前記免振装置可動部の前記モータの特性と、前記免振装置可動部に搭載されている負荷の質量とをもとに、前記第一原点復帰時推力に相当する第一加減速量を算出し、前記第一加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成し、
   前記免振装置可動部が原点に復帰する場合の任意に設定可能な第二原点復帰時推力と、前記免振装置可動部の前記モータの特性と、前記免振装置可動部に搭載されている負荷の質量とをもとに、前記第二原点復帰時推力に相当する第二加減速量を算出し、前記第二加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成し、
   前記第一原点復帰時推力は、前記第二原点復帰時推力と異なる
   ことを特徴とする請求項１に記載の免振装置。
4. 前記復帰用速度生成部は、あらかじめ設定された第一加減速量加算期間において、
   現在の復帰用指令速度と基準指令速度との差分値を算出し、
   前記差分値の絶対値が前記第一加減速量の絶対値以上である場合、前記制御指令速度が基準指令速度に近づくように、前回生成された復帰用指令速度に前記第一加減速量を加算してあらたな復帰用指令速度を生成し、
   前記差分値の絶対値が前記第一加減速量の絶対値より小さい場合、前記制御指令速度が基準指令速度と同一となるように、前回生成された復帰用指令速度に加減速量を加算してあらたな復帰用指令速度を生成し、
   前記加減速量の絶対値は、前記第一加減速量の絶対値より小さい
   ことを特徴とする請求項３に記載の免振装置。
5. 前記復帰用速度生成部は、前記免振装置可動部が現在の位置から原点位置に一定の加減速で戻る場合の速度である基準指令速度を算出する
   ことを特徴とする請求項３に記載の免振装置。
6. 前記復帰用速度生成部は、現在の復帰用指令速度が前記基準指令速度と一致した場合、開始時があらかじめ設定されている第二加減速量加算期間において、前記第二加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成する
   ことを特徴とする請求項５に記載の免振装置。
7. 免振を実行させるための指令である免振実行指令を生成する実行指令生成部を更に備え、
   前記実行指令生成部が前記免振実行指令を出力した場合に免振用指令速度を生成する
   ことを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の免振装置。

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