JP6421041B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
特許文献1に開示された技術においては、突き当て部材において試料ホルダの仮の位置を決めた後に、当該弾性体のバネ力で押し戻された位置を、最終的な試料ホルダの位置とすることにより、試料ドリフトを低減することができる。しかしながら、上述した試料ホルダの径方向への振動に関しては何ら考慮がなされていない。
<装置構成>
図1は、本実施の形態に係る荷電粒子線装置の一例であるTEMの基本構成図を示す。
次に、図2〜4を用いて本実施の形態に係る試料ステージ、試料ホルダの構成及び動作について説明する。
<変位振幅の低減>
次に、上述した試料ステージ、試料ホルダの構成による試料ホルダの径方向への変位振幅の低減について、図9を用いて説明する。
<試料ドリフトの低減>
試料ドリフトとは、荷電粒子線装置の部品の変形や温度変化等の種々の要因により、試料台211の位置や、試料106上の電子線102の照射位置が変化してしまう現象である。サイドエントリー型の試料ステージ104においては、試料ホルダ105の移動により弾性体212等の部品が変形すると、その変形を回復するため復元力が発生し、試料ドリフトが起こる。本実施の形態では、試料ホルダ105と円筒部材202とが一体となって移動可能であるため、弾性体212を変形させることがなく、上述した変位振幅の低減に加えて、試料ドリフトを低減することができる。
の変形によって発生する反力が小さいため、第2のホルダ軸方向支持部218は試料ホルダ105の動きに追従し、第3の段差部217に密着して移動する。
101・・・電子銃
102・・・電子線
103・・・照射レンズ
104・・・試料ステージ
105、905・・・試料ホルダ
105a、905a・・・ホルダ先端部
106・・・試料
107・・・対物レンズ
108・・・投射レンズ
109・・・検出器
110・・・制御部
111・・・試料室
112・・・カラム
201・・・外筒
202・・・円筒部材
203・・・ベローズ
204・・・ガイド部
205・・・アクチュエータ
206・・・球部材
207・・・アクチュエータ軸方向支持部
208・・・大径部
209・・・小径部
210・・・第1の段差部
211・・・試料台
212・・・弾性体
213・・・ホルダ軸方向支持部
214・・・ホルダ先端支持部
215・・・ホルダ根元支持部
216・・・第2の段差部
217・・・第3の段差部
218・・・第2の軸方向支持部
219・・・中径部
220・・・弾性部材
Claims (8)
- 試料を保持する試料ホルダと、
前記試料ホルダが導入される試料ステージと、を備える荷電粒子線装置あって、
前記試料ホルダは、
試料を載置する試料台を一方端部に保持する軸部と、
前記軸部の径方向に形成された段差部と、
前記段差部の近傍に配置された弾性体と、を有し、
前記試料ステージは、
前記軸部の一部を収容可能な円筒部と、
前記円筒部を収容する外筒部と、
前記円筒部と前記外筒部との間に配置され、前記軸部の軸方向に回転可能な球部材を備え前記円筒部を前記軸部の径方向に支持するガイド部と、を有し、
前記円筒部は、前記試料ホルダが挿入されているときに、前記段差部と接触される支持部を形成し、
当該段差部と支持部との接触により、前記試料ホルダに対して前記軸部の径方向に摩擦力を発生させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記段差部は、凹構造を有し、前記支持部は、凸構造を有することにより、互いに嵌合するように形成されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記段差部は、凸構造を有し、前記支持部は、凹構造を有することにより、互いに嵌合するように形成されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記試料ホルダは、
前記軸部の径方向に形成された段差部とは別に、前記段差部よりも前記試料台側であって、前記軸部の径方向に形成された第2の段差部を有し、
前記試料ステージは、
前記試料ホルダが挿入されているときに、前記第2の段差部と接触される第2の支持部を有することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記支持部は、サファイアにより形成されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
当該ガイド部が有する球部材は、前記試料ホルダの軸部の軸方向に対して並列に、2列以上配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記支持部と前記段差部との接触部よりも前記試料台側は真空状態に保持されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 試料を保持する試料ホルダが導入される荷電粒子線装置用の試料ステージにおいて、
前記試料ホルダは、
試料を載置する試料台を一方端部に保持する軸部と、
前記軸部の径方向に形成された段差部と、
前記段差部の近傍に配置された弾性体と、を有し、
前記試料ステージは、
前記軸部の一部を収容可能な円筒部と、
前記円筒部を収容する外筒部と、
前記円筒部と前記外筒部との間に配置され、前記軸部の軸方向に回転可能な球部材を備え前記円筒部を前記軸部の径方向に支持するガイド部と、を有し、
前記円筒部は、前記試料ホルダが挿入されているときに、前記段差部と接触される支持部を形成し、
当該段差部と支持部との接触により、前記試料ホルダに対して前記軸部の径方向に摩擦力を発生させることを特徴とする荷電粒子線装置用の試料ステージ。
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