JP6417691B2 - 寸法測定装置及び寸法測定方法 - Google Patents
寸法測定装置及び寸法測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6417691B2 JP6417691B2 JP2014065892A JP2014065892A JP6417691B2 JP 6417691 B2 JP6417691 B2 JP 6417691B2 JP 2014065892 A JP2014065892 A JP 2014065892A JP 2014065892 A JP2014065892 A JP 2014065892A JP 6417691 B2 JP6417691 B2 JP 6417691B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- distance
- dimension
- measuring
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/12—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring diameters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
そこで本発明は、長尺状の測定子を用いて大きな被測定物を寸法測定する場合であっても高精度に測定でき、しかも装置構成を複雑化することなく小型化に適した構造の寸法測定装置及び寸法測定方法を提供することを目的とする。
(1) 円筒状の被測定物が載置される載置台と、
前記載置台に向けて延出されるアーム部を有し、該アーム部の先端部に接触式の変位検出部が配置された測定子と、
前記測定子のアーム部の基端部を支持し、前記測定子を一軸方向に移動させて前記変位検出部を前記被測定物に接触させる直動機構と、
前記変位検出部とは別に設けられ、前記測定子のアーム部の延出方向と前記一軸方向の直交面とのなす傾斜角を検出する傾斜検出部と、
制御部と、
を備え、
前記傾斜検出部は、前記測定子の前記延出方向に沿った少なくとも2箇所における前記一軸方向の位置をそれぞれ検出し、該検出した一軸方向の位置と、前記少なくとも2箇所の前記延出方向の位置との関係から前記傾斜角を検出し、
前記制御部は、前記変位検出部を前記被測定物に接触させた状態で、前記変位検出部から出力される距離検出信号、及び前記傾斜検出部から出力される傾斜角検出信号がそれぞれ入力され、前記変位検出部の前記延出方向における配置位置で前記アーム部の傾斜によって生じる前記一軸方向の位置ずれ量を、入力された前記傾斜角検出信号の傾斜角を用いて求め、前記変位検出部から出力された前記距離検出信号の測定距離を前記位置ずれ量で補正した補正距離の情報とし、前記傾斜角検出信号における前記測定子の前記一軸方向の位置と前記補正距離の情報とから、前記被測定物の寸法測定結果の信号を出力し、
前記変位検出部は、電気マイクロメータであり、
前記測定子は、前記変位検出部の前記被測定物との接触側を対面させて前記一軸方向に並んで一対が配置されて、前記被測定物の外周面と内周面とを挟み込み、且つ、前記一対の測定子は、前記一軸方向に沿って2組が配置され、
前記直動機構は、前記一対の測定子をそれぞれ独立して前記一軸方向へ移動可能に支持し、
前記制御部は、一方の前記測定子の対により測定される周方向一箇所の測定位置と、該周方向一箇所から前記被測定物の中心を挟んだ反対側の対応位置で他方の前記測定子の対により測定される測定位置とにおいて、それぞれ同時に前記被測定物の内径と外径を測定する、
寸法測定装置。
(2) 前記傾斜検出部は、前記一軸方向に沿って配置されたリニアスケールと、前記測定子に設けられ前記リニアスケールから位置情報を検出する検出ヘッドと、を有する(1)に記載の寸法測定装置。
(3) (1)又は(2)に記載の寸法測定装置を用いて被測定物の寸法を測定する寸法測定方法であって、
既知の寸法のマスター体を被測定物として前記補正距離を求め、当該補正距離を第1の距離とする工程と、
寸法測定対象である被測定物を測定して前記補正距離を求め、当該補正距離を第2の距離とする工程と、
前記第1の距離に対する前記第2の距離の差分を前記マスター体の既知の寸法に加算して前記被測定物の寸法を求める工程と、
を含む寸法測定方法。
(4) 前記載置台を一定角度毎に回転させ、各回転位置で前記載置台に載置された被測定物の寸法を求める(3)に記載の寸法測定方法。
図1は本発明の実施形態を説明するための図で、寸法測定装置の全体構成図である。
寸法測定装置100は、架台11と、架台11上に設けられ被測定物であるワークWが載置される載置台13と、一対の測定子15A、15B、及び一対の測定子17A,17Bと、取付板19に設けたX方向直動機構21と、フレーム23に設けたZ方向直動機構25と、架台11上に設けたY方向直動機構27とを有する。また、寸法測定装置100は、詳細は後述するが、各測定子15A,15B,17A,17Bの傾斜角度を測定する傾斜検出部を備えている。
寸法測定装置100の全体制御を行う制御部71は、PC(パーソナルコンピュータ)やPLC(プログラマブルロジックコントローラ)等で構成される。
図5は測定子15Aに接触力が負荷されない中立状態における電気マイクロメータ49A、第1の検出ヘッド59、第2の検出ヘッド61の位置関係を示す説明図、図6は測定子15Aに接触力が負荷された状態における電気マイクロメータ49A、第1の検出ヘッド59、第2の検出ヘッド61の位置関係を示す説明図である。
θ = tan−1{(XS2−Xs1)/L1} ・・・(1)
δx = XS2 + L2・tanθ ・・・(2)
Xc = Xa − δx ・・・(3)
ここで、前述のS15で記憶部81に記憶させたマスターワークに対する測定結果である基準値を次の通り定義する。
測定子15Aの電気マイクロメータ49Aで検出される距離を基準距離DDa、
測定子15Aの第1の検出ヘッド59で検出される距離を傾斜基準距離XDa1、
測定子15Aの第2の検出ヘッド61で検出される距離を傾斜基準距離XDa2、
測定子15Bの電気マイクロメータ49Bで検出される距離を基準距離DDb、
測定子15Bの第1の検出ヘッド63で検出される距離を傾斜基準距離XDb1、
測定子15Bの第2の検出ヘッド65で検出される距離を傾斜基準距離XDb2とする。
測定子15Aの電気マイクロメータ49Aで検出される距離を検出距離DSa、
測定子15Aの第1の検出ヘッド59で検出される距離を傾斜検出距離XSa1、
測定子15Aの第2の検出ヘッド61で検出される距離を傾斜検出距離XSa2、
測定子15Bの電気マイクロメータ49Bで検出される距離を検出距離DSb、
測定子15Bの第1の検出ヘッド63で検出される距離を傾斜検出距離XSb1、
測定子15Bの第2の検出ヘッド65で検出される距離を傾斜検出距離XSb2とする。
θDa = tan−1{(XDa2−XDa1)/L1} ・・・(4)
θDb = tan−1{(XDb2−XDb1)/L1} ・・・(5)
θSa = tan−1{(XSa2−XSa1)/L1} ・・・(6)
θSb = tan−1{(XSb2−XSb1)/L1} ・・・(7)
CDSa = DSa −(XSa2 + L2・tanθSa) ・・・(9)
CDDb = DDb −(XDb2 + L2・tanθDb) ・・・(10)
CDSb = DSb −(XSb2 + L2・tanθSb) ・・・(11)
WL = WL0 + {(CDDa− CDSa) + (CDDb − CDSb)}
・・・(12)
15A,15B,17A,17B 測定子
21 X方向直動機構
31 ボールネジナット部(直動機構)
33 リニアガイド部
41 ガイドレール
43A,43B、45A,45B スライダ
47A,47B アーム部
49A,49B 電気マイクロメータ(変位検出部)
51 触子
53 電動アクチュエータ
55 第1のリニアスケール(傾斜検出部)
57 第2のリニアスケール(傾斜検出部)
59,63 第1の検出ヘッド(傾斜検出部)
61,65 第2の検出ヘッド(傾斜検出部)
71 制御部
100 寸法測定装置
W ワーク
Claims (4)
- 円筒状の被測定物が載置される載置台と、
前記載置台に向けて延出されるアーム部を有し、該アーム部の先端部に接触式の変位検出部が配置された測定子と、
前記測定子のアーム部の基端部を支持し、前記測定子を一軸方向に移動させて前記変位検出部を前記被測定物に接触させる直動機構と、
前記変位検出部とは別に設けられ、前記測定子のアーム部の延出方向と前記一軸方向の直交面とのなす傾斜角を検出する傾斜検出部と、
制御部と、
を備え、
前記傾斜検出部は、前記測定子の前記延出方向に沿った少なくとも2箇所における前記一軸方向の位置をそれぞれ検出し、該検出した一軸方向の位置と、前記少なくとも2箇所の前記延出方向の位置との関係から前記傾斜角を検出し、
前記制御部は、前記変位検出部を前記被測定物に接触させた状態で、前記変位検出部から出力される距離検出信号、及び前記傾斜検出部から出力される傾斜角検出信号がそれぞれ入力され、前記変位検出部の前記延出方向における配置位置で前記アーム部の傾斜によって生じる前記一軸方向の位置ずれ量を、入力された前記傾斜角検出信号の傾斜角を用いて求め、前記変位検出部から出力された前記距離検出信号の測定距離を前記位置ずれ量で補正した補正距離の情報とし、前記傾斜角検出信号における前記測定子の前記一軸方向の位置と前記補正距離の情報とから、前記被測定物の寸法測定結果の信号を出力し、
前記変位検出部は、電気マイクロメータであり、
前記測定子は、前記変位検出部の前記被測定物との接触側を対面させて前記一軸方向に並んで一対が配置されて、前記被測定物の外周面と内周面とを挟み込み、且つ、前記一対の測定子は、前記一軸方向に沿って2組が配置され、
前記直動機構は、前記一対の測定子をそれぞれ独立して前記一軸方向へ移動可能に支持し、
前記制御部は、一方の前記測定子の対により測定される周方向一箇所の測定位置と、該周方向一箇所から前記被測定物の中心を挟んだ反対側の対応位置で他方の前記測定子の対により測定される測定位置とにおいて、それぞれ同時に前記被測定物の内径と外径を測定する、
寸法測定装置。 - 前記傾斜検出部は、前記一軸方向に沿って配置されたリニアスケールと、前記測定子に設けられ前記リニアスケールから位置情報を検出する検出ヘッドと、を有する請求項1に記載の寸法測定装置。
- 請求項1又は請求項2に記載の寸法測定装置を用いて被測定物の寸法を測定する寸法測定方法であって、
既知の寸法のマスター体を被測定物として前記補正距離を求め、当該補正距離を第1の距離とする工程と、
寸法測定対象である被測定物を測定して前記補正距離を求め、当該補正距離を第2の距離とする工程と、
前記第1の距離に対する前記第2の距離の差分を前記マスター体の既知の寸法に加算して前記被測定物の寸法を求める工程と、
を含む寸法測定方法。 - 前記載置台を一定角度毎に回転させ、各回転位置で前記載置台に載置された被測定物の寸法を求める請求項3に記載の寸法測定方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014065892A JP6417691B2 (ja) | 2014-03-27 | 2014-03-27 | 寸法測定装置及び寸法測定方法 |
CN201590000323.9U CN206609370U (zh) | 2014-03-27 | 2015-03-25 | 尺寸测定装置 |
PCT/JP2015/059226 WO2015147095A1 (ja) | 2014-03-27 | 2015-03-25 | 寸法測定装置及び寸法測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014065892A JP6417691B2 (ja) | 2014-03-27 | 2014-03-27 | 寸法測定装置及び寸法測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015190769A JP2015190769A (ja) | 2015-11-02 |
JP6417691B2 true JP6417691B2 (ja) | 2018-11-07 |
Family
ID=54195605
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014065892A Active JP6417691B2 (ja) | 2014-03-27 | 2014-03-27 | 寸法測定装置及び寸法測定方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6417691B2 (ja) |
CN (1) | CN206609370U (ja) |
WO (1) | WO2015147095A1 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106403796A (zh) * | 2016-11-02 | 2017-02-15 | 孝感华工高理电子有限公司 | 一种齿轮与弹刷热铆后的弾刷高度检测装置 |
CN107246834B (zh) * | 2017-07-19 | 2023-05-26 | 苏州普费勒精密量仪有限公司 | 一种弹性体测量装置 |
CN107869949B (zh) * | 2017-10-26 | 2021-02-26 | 珠海格力节能环保制冷技术研究中心有限公司 | 轴向位移检测方法、装置和轴向位移传感器 |
CN109227554B (zh) * | 2018-08-31 | 2021-03-26 | 四川航天川南火工技术有限公司 | 一种航天火工装置用含能柱状材料自动加工及检测装置 |
JP7162503B2 (ja) * | 2018-11-14 | 2022-10-28 | 株式会社ダイフク | 物品情報取得システム |
CN109764839A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-05-17 | 株洲湘火炬火花塞有限责任公司 | 一种行星齿轮尺寸检测设备 |
JP2020159911A (ja) * | 2019-03-27 | 2020-10-01 | 三菱日立パワーシステムズ株式会社 | ゲージ、その製造方法、形状測定機の精度評価方法、及び測定データの補正方法 |
CN110174038B (zh) * | 2019-06-28 | 2020-03-10 | 温州顺创智能科技有限公司 | 一种环形块半径测量装置 |
JP7353831B2 (ja) * | 2019-07-02 | 2023-10-02 | 株式会社ミツトヨ | 内径測定装置および内径測定装置を用いた内径測定方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4958866A (ja) * | 1972-10-03 | 1974-06-07 | ||
JPH06249644A (ja) * | 1993-02-26 | 1994-09-09 | Ntn Corp | 円筒物の直径測定方法及びその装置 |
JP3160431B2 (ja) * | 1993-08-20 | 2001-04-25 | 株式会社ミツトヨ | 内外側測定器 |
EP0684448B1 (de) * | 1994-05-27 | 2004-03-24 | Carl Zeiss | Koordinatenmessung an Werkstücken mit Korrekturen von Beschleunigungen |
JP3465232B2 (ja) * | 1995-06-16 | 2003-11-10 | 株式会社エヌエステイー | 接触式測定装置 |
JP3598151B2 (ja) * | 1995-08-04 | 2004-12-08 | 株式会社ミツトヨ | 当接型測定器 |
JP3435016B2 (ja) * | 1997-05-07 | 2003-08-11 | 株式会社ミツトヨ | 内外側面測定機 |
JP2007240201A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Nsk Ltd | テーパ角度測定方法及びテーパ角度測定装置 |
JP2007240339A (ja) * | 2006-03-09 | 2007-09-20 | Space Creation:Kk | 直動式寸法計測装置 |
JP2009121964A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 移動軸傾斜検出機構および測定装置 |
JP5317549B2 (ja) * | 2008-06-23 | 2013-10-16 | 株式会社ミツトヨ | カムプロファイル測定装置 |
-
2014
- 2014-03-27 JP JP2014065892A patent/JP6417691B2/ja active Active
-
2015
- 2015-03-25 WO PCT/JP2015/059226 patent/WO2015147095A1/ja active Application Filing
- 2015-03-25 CN CN201590000323.9U patent/CN206609370U/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015190769A (ja) | 2015-11-02 |
WO2015147095A1 (ja) | 2015-10-01 |
CN206609370U (zh) | 2017-11-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6417691B2 (ja) | 寸法測定装置及び寸法測定方法 | |
JP6324588B2 (ja) | 輪郭形状表面粗さ測定装置および輪郭形状表面粗さ測定方法 | |
EP2954285B1 (en) | Method and apparatus for measuring a part | |
JP6149337B1 (ja) | 表面形状測定装置 | |
KR101819226B1 (ko) | 안경 프레임 형상 측정 장치 | |
CN108351203B (zh) | 提供精确坐标测量的方法、独立基准模块和坐标测量机 | |
JP4474443B2 (ja) | 形状測定装置および方法 | |
JP5816475B2 (ja) | 産業機械 | |
JP4246071B2 (ja) | 座標測定機械における案内誤差を求めかつ補正する方法 | |
CN107121060B (zh) | 内壁测量仪器和偏移量计算方法 | |
JP6657552B2 (ja) | 平面度測定方法 | |
JP3827549B2 (ja) | プローブの校正方法および校正プログラム | |
JP2005515457A (ja) | アナログプローブ | |
JP5705188B2 (ja) | 真円度測定装置 | |
JP2021120652A (ja) | 軸受用軌道輪の溝径寸法測定方法、及び転がり軸受の製造方法、並びに機械、車両の製造方法 | |
JP5297749B2 (ja) | 自動寸法測定装置 | |
JP2015068740A (ja) | 真円度測定装置 | |
JP4931867B2 (ja) | 可変端度器 | |
JP6743351B2 (ja) | 真円度測定機の心ずれ量算出方法及び真円度測定機 | |
JP2002107142A (ja) | 歯車測定機 | |
CN101133298A (zh) | 用于检测机械部件的位置和/或形状的设备和方法 | |
JP4980818B2 (ja) | 多点プローブの零点誤差の変動検出方法 | |
JP5752313B2 (ja) | 真円度測定装置 | |
JP6137544B2 (ja) | 真円度測定装置 | |
JP6254397B2 (ja) | 産業機械及びシフト量算出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171003 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171114 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180206 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180315 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180911 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180924 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6417691 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |