CN206609370U

CN206609370U - 尺寸测定装置

Info

Publication number: CN206609370U
Application number: CN201590000323.9U
Authority: CN
Inventors: 古川健太
Original assignee: NSK Ltd
Current assignee: NSK Ltd
Priority date: 2014-03-27
Filing date: 2015-03-25
Publication date: 2017-11-03
Anticipated expiration: 2025-03-25
Also published as: JP6417691B2; WO2015147095A1; JP2015190769A

Abstract

尺寸测定装置包括：被测定物的载放台；在臂部的末端部配置有位移检测部的测定件；使测定件在一个轴向移动的直线运动机构；检测测定件的臂部的延伸方向与一个轴向的正交面所成的倾斜角的倾斜检测部；以及控制部。控制部使用输入的倾斜角来求出由于臂部的倾斜而产生的一个轴向的位置偏离量，输出用位置偏离量将测定距离的信息校正后的校正后距离的信息。

Description

尺寸测定装置

技术领域

本实用新型涉及测定被测定物的尺寸的尺寸测定装置。

背景技术

一般而言，作为测定被测定物的尺寸的方法，广泛已知使被形成为长条状且互相平行的一对测定件在被测定物的两旁侧相对移动，使被测定物与测定件的末端接触，检测此时的测定件间的距离。在该方法中，在测定件与被测定物接触时，测定件会由于与被测定物的接触力而易于弯曲，有时会在测定件倾斜的状态下测定尺寸。例如，在对轴长较长的环状被测定物测定径向壁厚的情况下，由于将测定件***到被测定物的环内，因此需要使测定件加长至轴长以上。在该情况下，测定件的倾斜给距离的检测结果带来的影响大，特别是难以对大型的被测定物进行高精度测定。

因此，提出了如下尺寸测定装置：在被测定物的上方设置有测定件驱动单元，该测定件驱动单元具有沿着测定件的移动方向延伸的轨道、和被自由移动地支承在轨道上的滑动件，将测定件安装在滑动件的下方，从而使测定件长为最小限度(参照专利文献1)。根据该装置，能够缩短测定件的长度，抑制倾斜的影响。然而，在被测定物较大，需要将测定件***到被测定物的深的位置的情况下，必须加长测定件，测定件的倾斜所导致的误差会增大。

另外，为了利用使测定件直线运动的直线运动机构来测定被测定物的尺寸的绝对值，需要以比要求的精度高的精度来移动、定位测定件。然而，在这样的直线运动机构中，存在定位误差(直线导轨等直线运动导轨为笔直度误差、滚珠丝杠等进给机构为进给误差)，实际情况是没有充分考虑这些措施。

除了如上所述的使与导轨直接连接的测定件与被测定物接触的方法以外，还提出了如下尺寸测定装置：通过用能利用弹性体浮动的机构来支承测定件，从而抑制对于被测定物的测定压，减轻测定件的倾斜(参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-307018号公报

专利文献2：日本特开2007-240339号公报

实用新型内容

本实用新型欲解决的问题

然而，专利文献2的尺寸测定装置具有如下的缺点：是防止产生成为测定件倾斜原因的松动、并使测定件浮动地进行支承的构造，因此，测定件的支承构造复杂。因此，是难以提高设计自由度且难以小型化的构成。

因此，本实用新型的目的在于提供一种尺寸测定装置，即使在使用长条状的测定件来测定大的被测定物的尺寸的情况下也能够高精度测定，而且装置构成不会复杂化并适于小型化。

用于解决问题的方案

本实用新型包括下述构成。

(1)一种尺寸测定装置，其特征在于，

所述尺寸测定装置包括：

载放台，其载放被测定物；

测定件，其具有向所述载放台延伸的臂部，在该臂部的末端部配置有接触式的位移检测部；

直线运动机构，其支承所述测定件的所述臂部的基端部，使所述测定件在一个轴向移动并使所述位移检测部与所述被测定物接触；

倾斜检测部，其检测所述测定件的所述臂部的延伸方向与所述一个轴向的正交面所成的倾斜角；以及

控制部，其在使所述位移检测部与所述被测定物接触的状态下，分别输入从所述位移检测部输出的距离检测信号、和从所述倾斜检测部输出的倾斜角检测信号，使用输入的所述倾斜角检测信号的倾斜角，来求出在所述位移检测部的所述延伸方向的配置位置由于所述臂部的倾斜而产生的所述一个轴向的位置偏离量，输出用所述位置偏离量将从所述位移检测部输出的所述距离检测信号的测定距离校正后的校正距离的信息。

(2)如(1)所述的尺寸测定装置，其特征在于，

所述位移检测部是电测微器。

(3)如(1)或(2)所述的尺寸测定装置，其特征在于，

一对所述测定件在所述一个轴向被并列配置为使所述位移检测部的与所述被测定物的接触侧面对面，

所述直线运动机构将一对所述测定件支承为能分别独立地在所述一个轴向移动。

(4)如(3)所述的尺寸测定装置，其特征在于，

一对所述测定件沿着所述一个轴向配置有2组。

(5)如(1)至(4)的任一项所述的尺寸测定装置，其特征在于，

所述倾斜检测部分别检测所述测定件的沿着所述延伸方向的至少2个部位的所述一个轴向的位置，根据检测到的该一个轴向的位置、与所述至少2个部位的所述延伸方向的位置的关系，检测所述倾斜角。

(6)如(5)所述的尺寸测定装置，其特征在于，所述倾斜检测部具有：线性尺，其沿着所述一个轴向配置；以及检测头，其设在所述测定件上，并从所述线性尺检测位置信息。

实用新型效果

根据本实用新型，能够实现如下构造：即使在使用长条状的测定件来测定大的被测定物的尺寸的情况下，也能够高精度地测定，而且装置构成不会复杂化，适于小型化。

附图说明

图1是用于说明本实用新型的实施方式的图，是尺寸测定装置的整体构成图。

图2是示出使测定件移动的X方向直线运动机构、和倾斜检测部的构成的部分构成图。

图3是尺寸测定装置的控制框图。

图4是示出工件的尺寸测定步骤的流程图。

图5是示出接触力不作用在测定件上的中立状态的电测微器、第1检测头、第2检测头的位置关系的说明图。

图6是示出接触力作用在测定件上的状态的电测微器、第1检测头、第2检测头的位置关系的说明图。

附图标记的说明

13：载放台

15A、15B、17A、17B：测定件

21：X方向直线运动机构

31：滚珠丝杠螺母部(直线运动机构)

33：直线导轨部

41：导轨

43A、43B、45A、45B：滑动件

47A、47B：臂部

49A、49B：电测微器(位移检测部)

51：触头

53：电动执行器

55：第1线性尺(倾斜检测部)

57：第2线性尺(倾斜检测部)

59、63：第1检测头(倾斜检测部)

61、65：第2检测头(倾斜检测部)

71：控制部

100：尺寸测定装置

W：工件

具体实施方式

下面，参照附图来详细说明本实用新型的实施方式。

尺寸测定装置100具有：台座11；设在台座11上并载放被测定物即工件W的载放台13；一对测定件15A、15B；一对测定件17A、17B；设在安装板19上的X方向直线运动机构21；设在框架23上的Z方向直线运动机构25；以及设在台座11上的Y方向直线运动机构27。另外，详细后述，尺寸测定装置100包括测定各测定件15A、15B、17A、17B的倾斜角度的倾斜检测部。

载放台13与设置在台座11内部的未图示的旋转轴直接连接，能旋转地支承工件W。例如，如果工件W是圆筒状，那么能够将工件W旋转至以固定在载放台13上的工件W的圆筒中心为旋转中心的任意旋转角度。

一对测定件15A、15B和一对测定件17A、17B的各基端部与X方向直线运动机构21连接，各测定件分别独立地在X方向(一个轴向)自由移动地被支承。这2组测定件的对为互相相等的构造。

X方向直线运动机构21具有滚珠丝杠螺母部31、和直线导轨部33。滚珠丝杠螺母部31具有：沿着X方向配置在安装板19上的滚珠丝杠35；对滚珠丝杠35进行旋转驱动的伺服马达37；以及螺母部39A、39B。螺母部39A支承测定件15A，螺母部39B支承测定件17A。这些螺母部39A、39B都插通于滚珠丝杠35，由于滚珠丝杠35的旋转而在X方向移动。

直线导轨部33具有：导轨41；沿着导轨41在X方向移动的滑动件43A、43B、45A、45B。测定件15A固定在滑动件43A上，测定件15B固定在滑动件43B上。另外，测定件17A固定在滑动件45A上，测定件17B固定在滑动件45B上。

此处，由于测定件15A、15B的对、和测定件17A、17B的对分别是相同的构成，因此之后以测定件15A、15B的对为例进行说明。

图2是示出使测定件15A、15B移动的X方向直线运动机构21、和详细后述的倾斜检测部的部分构成图。在工件W是圆筒形的情况下，测定件15A为外径测定用的测定件，测定件15B为内径测定用的测定件，进行尺寸测定。

各测定件15A、15B具有从X方向直线运动机构21侧向工件W垂下并延伸设置的长条状的臂部47A、47B。在臂部47A、47B的工件W侧的末端部配置有测定与工件W的距离的作为位移检测部的电测微器(electric micrometer)49A、49B。各电测微器49A、49B的触头51、51配置在与臂部47A、47B互相面对的、与工件W的接触侧。

电测微器49A、49B具有接触式的触头51，是将触头51的微小位移转换为电量来测定的比较测长器。触头51沿着距离的检测方向从电测微器49A、49B的主体部突出设置，被向突出方向弹性施力地支承。该电测微器49A、49B将预定长的能检测行程内的触头51的位置作为距离信息进行输出。

另外，在测定件15A的螺母部39A与滑动件43A之间，连接有与测定件15B的基端部连接的电动执行器53的一端。电动执行器53设在测定件15B上，使测定件15B相对于测定件15A沿着X方向相对接近或者远离。

在安装板19上的导轨41的滚珠丝杠35侧配置有第1线性尺55，在工件W侧配置有第2线性尺57。而且，在测定件15A的与第1线性尺55面对的位置配置有第1检测头59，在与第2线性尺57面对的位置配置有第2检测头61。另外，在测定件15B的与第1线性尺55面对的位置配置有第1检测头63，在与第2线性尺57面对的位置配置有第2检测头65。

测定件15A的第1检测头59从所面对的第1线性尺55检测臂部47A的X方向位置，第2检测头61从所面对的第2线性尺57检测臂部47A的X方向位置。同样，测定件15B的第1检测头63从所面对的第1线性尺55检测臂部47B的X方向位置，第2检测头65从所面对的第2线性尺57检测臂部47B的X方向位置。

作为线性尺的位置检测方式，优选的是光学式或者磁式。另外，除了线性尺以外，也可以使用测定范围长的激光测距仪、电测微器来构成。这些第1线性尺55、第2线性尺57、第1检测头59、63、第2检测头61、63、65构成倾斜检测部。

另外，在测定件15B的与第1线性尺55面对的位置配置有第1 检测头63，在与第2线性尺57面对的位置配置有第2检测头65。这些第1检测头63、第2检测头65分别从所面对的第1、第2线性尺55、57检测臂部47B的X方向位置。

上述构成的尺寸测定装置100的测定件15A、15B的末端部将工件W的外周面73和内周面75夹入，在与工件W接触的状态下检测工件W的X方向位置。此时，在测定件15A、15B的末端部从工件W受到的接触力的作用下，有时臂部47A、47B会挠曲。臂部47A、47B弯曲时，在电测微器49A、49B的输出中会包含X方向位置的弯曲误差，不能检测工件W的准确的X方向位置。

因此，在测定件15A中，利用设在臂部47A的第1检测头59和第2检测头61，求出臂部47A的延伸方向相对于X方向的正交面的倾斜角。而且，基于该倾斜角测定值，求出在臂部47A的末端部的配置有电测微器49A的位置(Z轴方向的位置)产生的X方向的偏离量δ_XA。使用该偏离量δ_XA来校正来自电测微器49A的距离输出信号。

对于测定件15B也一样，求出臂部47B的挠曲所导致的X方向的偏离量δ_XB，使用该偏离量δ_XB来校正来自电测微器49B的距离输出信号。由此，不论与臂部47A、47B的倾斜如何，都能够以高精度检测工件W的X方向距离。此外，后述工件W的详细的尺寸测定步骤。

在本构成中，使用电测微器49A、49B作为距离检测器，在触头51与工件W接触时，触头51会沿着接触方向被压入到电测微器内。由于该压入力一般是微小的力，因此能够防止距离检测时的臂部47A、47B的大的挠曲。由此，能够将臂部47A、47B的挠曲限制在接触力与臂位移量的线性高的轻负荷区域内，能够高精度求出产生的X方向的偏离量。

图3是上述构成的尺寸测定装置100的控制框图。

进行尺寸测定装置100的整体控制的控制部71由PC(个人计算机)、PLC(可编程逻辑控制器)等构成。

控制部71接受输入至输入部77的测定开始信号，分别向X方向直线运动机构21的滚珠丝杠螺母部31、电动执行器53、Z方向直线运动机构25、Y方向直线运动机构27输出驱动信号，使测定件15A、15B移动至空间内的期望位置。

然后，控制部71使触头51成为与工件W接触的状态，取得测定件15A的电测微器49A输出的距离检测信号、以及第1检测头59和第2检测头61输出的倾斜角检测信号。另外，取得测定件15B的电测微器49B输出的距离检测信号、以及第1检测头63和第2检测头65输出的倾斜角检测信号。

控制部71从取得的倾斜角检测信号求出各测定件15A、15B的倾斜角，根据该倾斜角求出在各测定件51A、15B的末端部产生的X方向的偏离量。然后，控制部71使用该偏离量，对根据电测微器49A、49B输出的距离检测信号得到的测定距离进行校正。

校正后的校正距离的信息为用于进行工件W的尺寸测定的信息，实施预定的处理并作为尺寸测定结果的信号输出至输出部79。此外，说明省略，但对于测定件17A、17B也一样，取得所述各信号，将基于校正距离信息的尺寸测定结果的信号输出至输出部79。

此外，在进行多次测定来求出尺寸的平均值的情况下，控制部71将各次尺寸测定结果暂且储存在储存部81，对储存的各尺寸测定结果适当进行运算处理。

接下来，使用图4的流程图，详细说明上述构成的尺寸测定装置100所进行的工件W的具体的尺寸测定步骤。此处也说明测定件15A、15B所进行的工件W的尺寸测定。该尺寸测定装置100的尺寸测定是通过求出已知尺寸的主体(以后称作主工件)与工件W的尺寸相对差，即测定主工件的尺寸与工件W的尺寸并求出两者的差值来进行的。

主工件是指已利用精密的测定仪器测定为常规的尺寸的工件，具有与尺寸测定对象的被测定物即工件W相同的形状或与其接近的形状。主工件的尺寸信息预先注册在储存部81中，或者在尺寸测定前另行注册，处于控制部71能进行参照的状态。

首先，控制部71驱动图1所示的X方向直线运动机构21、Z方向直线运动机构25、Y方向直线运动机构27，使测定件15A、15B移动至从载放台13离开的等待位置(S11)。操作者在该状态下将主工件固定在载放台13上。

操作者完成将主工件向载放台13的固定后，将未图示的按钮的按下信号、来自外部设备的信号所带来的主工件测定开始信号输入至输入部77。控制部71接收该主工件测定开始信号从而判断主工件的固定完成(S2)，开始主工件的尺寸测定。

控制部71基于手动操作、或者预先注册的算法，根据主工件的形状来驱动X方向直线运动机构21、Z方向直线运动机构25、Y方向直线运动机构27，使各测定件15A、15B移动至期望的测定位置附近(S3)。测定位置是指从主工件的尺寸求出的、各测定件15A、15B的电测微器49A、49B与主工件接触的位置，能够通过计算来求出。

如图2所示，控制部71使测定件15A向主工件的尺寸测定部分的外侧面(相当于图示例的工件W的外周面73的面)的外侧移动。此时也使测定件15B同时向主工件的尺寸测定部分的内侧面(相当于内周面75的面)的内侧移动。

然后，控制部71驱动滚珠丝杠螺母部31，使测定件15A在X方向移动，直到电测微器49A的触头51与主工件接触。另外，控制部71驱动电动执行器53，使测定件15B向测定件15A侧移动，直到电测微器49B的触头51与主工件接触。这些各触头51、51与主工件的接触动作可以依次或者同时进行。

由此，主工件的外周面和内周面处于被电测微器49A、49B夹着的状态。在该测定位置夹着主工件的状态下，控制部71利用电测微器49A、49B来检测与主工件的距离(触头51被压入的量)。另外，利用第1检测头59、63来读取第1线性尺55的X方向绝对位置，利用第2检测头61、65来读取第2线性尺57的X方向绝对位置(S14)。

然后，控制部71将检测到的来自电测微器49A、49B的输出值、来自第1检测头59、63和第2检测头61、65的输出值作为基准值，储存在储存部81中(S15)。此时的各输出值为相当于测定工件W时的基准点(原点)的输出值。

完成基准值的设定后，控制部71驱动X方向直线运动机构21、Z方向直线运动机构25、Y方向直线运动机构27，使测定件15A、15B再次移动至退避位置(S16)。

接下来，操作者将主工件从载放台13取下，将被测定物即工件W固定在载放台13上。操作者完成将工件W向载放台13的固定后，与上述同样将工件测定开始信号输入至输入部77。控制部71接收到该工件测定开始信号时，判断为完成工件W的固定(S17)，开始工件W的尺寸测定。

与主工件的测定同样，控制部71驱动X方向直线运动机构21、Z方向直线运动机构25、Y方向直线运动机构27，使各测定件15A、15B 移动至期望的测定位置(S18)。然后，控制部71在测定件15A、15B移动至该测定位置的状态下，利用电测微器49A、49B检测与工件W的距离(触头51被压入的量)。另外，利用第1检测头59、63来读取第1线性尺55的X方向绝对位置，利用第2检测头61、65来读取第2线性尺57的X方向绝对位置(S19)。

控制部71将检测到的来自电测微器49A、49B的输出值、来自第1检测头59、63和第2检测头61、65的输出值储存在储存部81中(S20)。

接下来，控制部71使用检测到的各输出值，分别求出主工件测定时和工件W测定时的测定件15A、15B的臂部47A、47B的倾斜角，求出与该倾斜角相应的X方向的校正值(S21)。然后，控制部71使用求出的X方向的校正值，校正检测到的来自电测微器49A、49B的距离信息的输出值(S22)。

此处，说明X方向的校正值的求出方法、和距离信息的基本校正方法。

图5是示出接触力不作用在测定件15A上的中立状态的电测微器49A、第1检测头59、第2检测头61的位置关系的说明图；图6是示出接触力作用在测定件15A上的状态的电测微器49A、第1检测头59、第2检测头61的位置关系的说明图。

如图5所示，从与第1线性尺面对的第1检测头59到与第2线性尺面对的第2检测头61的Z方向距离为L₁，从第2检测头61到电测微器49A的触头51的中心轴的Z方向距离为L₂。

另外，设由第1检测头59检测的X方向距离(从线性尺原点到第1检测头59的X方向距离)为X_s1，设由第2检测头61检测的X方向距离(从线性尺原点到第2检测头61的X方向距离)为X_s2。臂轴Ax与测定件51A的移动方向即X方向垂直。

被测定物(示出为工件W)与电测微器49A接触时，如图6所示，来自工件W的接触力F会作用在臂部47A的末端部，臂部47以滑动件43A的中心位置O为中心进行倾斜。该臂部47A的中立状态的臂轴Ax、与倾斜的状态的臂轴Axi所成的角为倾斜角θ。

在图6所示的状态下，倾斜角θ由(1)式表示。

θ＝tan^-1{(X_S2-X_s1)/L₁}……(1)

而且，电测微器49A的Z方向的位置产生的、倾斜角θ所导致的X方向的偏离量δx由(2)式表示。

δx＝X_S2+L₂·tanθ……(2)

即，测定件15A倾斜，从而电测微器49A的输出从本来应该得到的检测值减小了δx。因此，进行校正，使得从电测微器49A的输出值Xa减去偏离量δx的后值作为来自电测微器49A的输出值。即，将电测微器49A所得到的输出值Xa校正后的校正输出值Xc由(3)式表示。

Xc＝Xa-δx……(3)

接下来，说明基于上述的X方向校正值的求出方法、距离信息的校正方法，求出测定件15A的倾斜所导致的偏离量的具体步骤(S21)。

此处，将上述S15中储存在储存部81中的对主工件的测定结果即基准值如下这样定义。

由测定件15A的电测微器49A检测的距离为基准距离D_Da，

由测定件15A的第1检测头59检测的距离为倾斜基准距离X_Da1，

由测定件15A的第2检测头61检测的距离为倾斜基准距离X_Da2，

由测定件15B的电测微器49B检测的距离为基准距离D_Db，

由测定件15B的第1检测头63检测的距离为倾斜基准距离X_Db1，

由测定件15B的第2检测头65检测的距离为倾斜基准距离X_Db2。

另外，将上述S20中储存在储存部81中的对工件W的测定结果如下这样定义。

由测定件15A的电测微器49A检测的距离为检测距离D_Sa，

由测定件15A的第1检测头59检测的距离为倾斜检测距离X_Sa1，

由测定件15A的第2检测头61检测的距离为倾斜检测距离X_Sa2，

由测定件15B的电测微器49B检测的距离为检测距离D_Sb，

由测定件15B的第1检测头63检测的距离为倾斜检测距离X_Sb1，

由测定件15B的第2检测头65检测的距离为倾斜检测距离X_Sb2。

设主工件测定时的测定件15A的倾斜角度为基准倾斜角θ_Da、测定件15B的倾斜角度为基准倾斜角θ_Db时，基准倾斜角θ_Da、θ_Db由(4)、(5)式表示。

θ_Da＝tan^-1{(X_Da2-X_Da1)/L₁}……(4)

θ_Db＝tan^-1{(X_Db2-X_Db1)/L₁}……(5)

设工件W测定时的测定件15A的倾斜角度为检测倾斜角θ_Sa、测定件15B的倾斜角度为检测倾斜角θ_Sb时，检测倾斜角θ_Sa、θ_Sb由(6)、(7)式表示。

θ_Sa＝tan^-1{(X_Sa2-X_Sa1)/L₁}……(6)

θ_Sb＝tan^-1{(X_Sb2-X_Sb1)/L₁}……(7)

如(2)式所示，在测定件15A的电测微器49A所检测到的基准距离D_Da、检测距离D_Sa、和测定件15B的电测微器49B所检测到的基准距离D_Db、检测距离D_Sb中包含与上述倾斜角度相应的X方向的偏离量。因此，对于基准距离D_Da、检测距离D_Sa、和基准距离D_Db、检测距离D_Sb，如(3)式所示分别求出校正了X方向的偏离量后的校正距离。设基准距离D_Da、检测距离D_Sa、和基准距离D_Db、检测距离D_Sb的各校正距离分别为校正基准距离CD_Da、校正检测距离CD_Sa、校正基准距离CD_Db、校正检测距离CD_Sb，由(8)～(11)式表示。

CD_Da＝D_Da-(X_Da2+L₂·tanθ_Da)……(8)

CD_Sa＝D_Sa-(X_Sa2+L₂·tanθ_Sa)……(9)

CD_Db＝D_Db-(X_Db2+L₂·tanθ_Db)……(10)

CD_Sb＝D_Sb-(X_Sb2+L₂·tanθ_Sb)……(11)

接下来，利用求出的校正基准距离CD_Da、校正检测距离CD_Sa、校正基准距离CD_Db、校正检测距离CD_Sb，求出工件W的外周面73与内周面75(参照图2)之间的径向距离WL(S23)。设主工件的外周面73与内周面75之间的距离所对应的已知距离为WL₀时，距离WL由(12)式求出。

WL＝WL₀+{(CD_Da-CD_Sa)+(CD_Db-CD_Sb)}……(12)

即，通过求出测定已知尺寸的主工件并求出的校正距离即第1距离CD_Da、CD_Db；与测定工件W并求出的校正距离即第2距离CD_Sa、CD_Sb的差值(CD_Da-CD_Sa)和(CD_Db-CD_Sb)，并将这些差值与主工件的已知尺寸WL₀相加，求出工件W的尺寸WL。

在工件W是圆筒形的情况下，仅在周向一个部位测定距离WL，有时精度不够。在该情况下，使用图1所示的测定件17A、17B，同时测定从测定件15A、15B的测定位置夹着工件W中心的相反侧的对应位置。通过将这2个部位的测定部位的测定结果求平均，从而能够提高测定精度。

另外，为了求出准确的尺寸，使载放台13每次以预定的一定角度旋转，分别测定工件W不同的周向位置，将各测定结果平均化。例如，测定互相垂直的周向2个部位并将测定值平均化。

并且，也可以在工件W的各旋转位置重复测定，将由此得到的工件W的转1圈的测定值平均化。

根据本构成的尺寸测定装置100，也能够一边使工件W旋转，一边连续测定工件W的直径。在该情况下，通过将1周例如以1°间距进行径向的尺寸测定，并求出得到的测定值的平均值，从而能够高精度求出工件W的直径。

如以上说明的那样，本构成的尺寸测定装置100即使在利用长条状的测定件对大被测定物进行尺寸测定的情况下，也能测定并求出测定件的弯曲所导致的倾斜角，并根据该倾斜角来校正尺寸测定结果。因此，即使测定件处于挠曲状态，也能够不使尺寸测定装置的构造复杂化，高精度地测定工件尺寸。

另外，在本构成中，通过在测定件的末端部直接配置电测微器，从而不需要另行设置将测定件弹性支承的机构，实现装置构造的简化。另外，通过使用小型的电测微器，从而尺寸测定时的测定压极小，能够将由于测定件的挠曲而产生的倾斜抑制在最小限度。并且，由于使用多个线性尺来检测测定件的位置、姿势，因此能够不在意线性尺的各部件与其他部件的干涉地进行配置。因此，尺寸测定装置容易小型化，能够提高设计自由度。

另外，本构成的尺寸测定装置100通过与主工件的比较来求出工件W的尺寸。因此，即使在被测定物受到环境温度所导致的热膨胀、收缩的影响的情况下，与测定绝对尺寸的方式相比，能够使尺寸误差更小。即，如果将主工件与工件W放置在相同环境温度下，那么如果主工件与工件W是相同材质、形状，那么应该产生相同程度的热膨胀、收缩，利用主工件与工件W的相对的尺寸比较，能够进行不受温度影响的高精度的测定。

这样，本实用新型不限于上述实施方式，本领域技术人员将实施方式的各构成相互组合；基于说明书的记载以及已知的技术来变更、应用也是本实用新型预期的，包含在要求保护的范围内。

例如，在本尺寸测定装置100的构成中，使用线性尺作为倾斜检测部，但不限于此，也可以是使用了MEMS元件的倾斜传感器等其他方式的角度传感器。另外，不限于测定件的延伸方向的2个部位，还可以检测多个部位的位置信息。在该情况下，能够进一步提高倾斜角的测定精度。

另外，测定件的延伸方向不限于铅垂方向，也可以是在水平方向、任意的倾斜角度延伸的构成。

另外，在本尺寸测定装置100中，利用一对测定件求出工件W的尺寸，但也可以是仅用单独的测定件来测定的构成。在该情况下，采用如下构成即可：使工件W的一端部与抵接部等抵接，利用测定件对另一端部进行距离检测。如果是该构成，那么能够用单独的测定件来测定主工件与工件W的尺寸差，能够更简单地进行尺寸测定。

本申请基于2014年3月27日申请的日本专利申请(日本特愿2014-65892)，其内容作为参照并入本文。

Claims

1.一种尺寸测定装置，其特征在于，

所述尺寸测定装置包括：

载放台，其载放被测定物；

2.如权利要求1所述的尺寸测定装置，其特征在于，

所述位移检测部是电测微器。

3.如权利要求1或2所述的尺寸测定装置，其特征在于，

4.如权利要求3所述的尺寸测定装置，其特征在于，

一对所述测定件沿着所述一个轴向配置有2组。

5.如权利要求3所述的尺寸测定装置，其特征在于，

6.如权利要求5所述的尺寸测定装置，其特征在于，

所述倾斜检测部具有：

线性尺，其沿着所述一个轴向配置；以及

检测头，其设在所述测定件上，并从所述线性尺检测位置信息。