JP6412670B1 - ゲートバルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ゲートバルブは、真空チャンバの開口部を開閉するための弁体と、前記弁体に熱を均一に伝達させるヒーターと、前記弁体を可動保持すると共に前記ヒーターを収容する軸体と、を有し、前記軸体は、前記弁体が配置されている真空側に前記ヒーターを露出させることなく、大気圧側から前記ヒーターが着脱可能に取り付けられる、ことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
110:チャンバ
120:開口部
130:フランジ
200:枠体
210:弁座
220:駆動部
300:弁体
310:シール材
320:支持材
330:端部
340:中央部
400:軸体
410:挿通孔
500:ヒーター
510:熱電対
Claims (2)
- 枠体内に配置され真空チャンバの開口部を開閉するための弁体と、
前記弁体に熱を均一に伝達させるヒーターと、
前記弁体を可動保持すると共に前記ヒーターを収容する軸体と、を有し、
前記軸体は、前記弁体が配置されている前記枠体内の真空状態を解除しないように真空側に露出しない挿通孔であって、前記枠体の外側である大気圧側から前記ヒーターを着脱させるための挿通孔を有する、
ことを特徴とするゲートバルブ。 - 前記弁体は、前記軸体より熱伝導率の高い材質であり、
前記ヒーターは、棒状のカートリッジヒーターが前記軸体から前記弁体に到達する位置まで挿入される、
ことを特徴とする請求項1に記載のゲートバルブ。
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JP2018077282A JP6412670B1 (ja) | 2018-04-13 | 2018-04-13 | ゲートバルブ |
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JP2018077282A JP6412670B1 (ja) | 2018-04-13 | 2018-04-13 | ゲートバルブ |
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Family Applications (1)
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JP2018077282A Active JP6412670B1 (ja) | 2018-04-13 | 2018-04-13 | ゲートバルブ |
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2018
- 2018-04-13 JP JP2018077282A patent/JP6412670B1/ja active Active
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Also Published As
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JP2019183996A (ja) | 2019-10-24 |
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