JPH0640530U - 真空ゲート弁 - Google Patents
真空ゲート弁Info
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- JPH0640530U JPH0640530U JP7666792U JP7666792U JPH0640530U JP H0640530 U JPH0640530 U JP H0640530U JP 7666792 U JP7666792 U JP 7666792U JP 7666792 U JP7666792 U JP 7666792U JP H0640530 U JPH0640530 U JP H0640530U
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 シール部材4a,4bが取り付けられている
2つの弁体3a,3bを弁箱2内に移動自在に設け、そ
れら弁体の一方により管路1を閉じるとともに管路内と
弁箱内とを真空保持可能に区画し、その状態で他方の弁
体を弁体収納部8a,8bのいずれか一方に収納する。
各弁体収納部には蓋体11a,11bにより開閉自在な
点検口9a,9bを設けておくとともに、弁箱内から真
空引きするための排気ポート14を備えておく。 【効果】 管路内に影響を及ぼすことなく弁箱内を大気
圧に復圧することができ、したがって、この真空ゲート
弁を管路から取り外すことなく、管路内を真空に維持し
たままで、弁体に取り付けられているシール部材の保守
作業を行うことが可能であり、その作業効率を格段に向
上させることができる。
2つの弁体3a,3bを弁箱2内に移動自在に設け、そ
れら弁体の一方により管路1を閉じるとともに管路内と
弁箱内とを真空保持可能に区画し、その状態で他方の弁
体を弁体収納部8a,8bのいずれか一方に収納する。
各弁体収納部には蓋体11a,11bにより開閉自在な
点検口9a,9bを設けておくとともに、弁箱内から真
空引きするための排気ポート14を備えておく。 【効果】 管路内に影響を及ぼすことなく弁箱内を大気
圧に復圧することができ、したがって、この真空ゲート
弁を管路から取り外すことなく、管路内を真空に維持し
たままで、弁体に取り付けられているシール部材の保守
作業を行うことが可能であり、その作業効率を格段に向
上させることができる。
Description
【0001】
本考案は、真空とされる管路の途中に設けられてその管路を必要に応じて開閉 するための真空ゲート弁に関する。
【0002】
周知のように、真空とされる管路の途中には必要に応じてその管路を開閉する ための真空ゲート弁が適宜位置に設けられる。従来一般に用いられている真空ゲ ート弁は、弁箱内に昇降自在に設けた弁体を下降させて弁座に押し当てることで 管路を閉じ、弁体を引き上げることで管路を開く構造のものであるが、閉塞時に おける真空シール性能を確保するべく、弁体には弁座に対して密着するシール部 材が取り付けられている。そのシール部材は開閉を繰り返しているうちには損傷 を受けてしまうことがあり、また、材質によっては経年変化により劣化してしま うこともあるので、定期的にあるいは随時に保守を行い、必要に応じて補修や交 換を行うようにしている。
【0003】
ところで、従来一般の真空ゲート弁は、シール部材の保守作業を行うためには その真空ゲート弁全体を管路から取り外さなければならないものである。このた め、そのような保守作業を行うに際しては管路内を大気圧に復圧しなければなら ないし、保守作業が終了して真空ゲート弁を管路に取り付けた後には管路を再び 所定の真空度に戻すためにあらためて真空引きを行わなければならず、それらの 準備作業や復旧作業に多大の手間と時間を要してしまうものであった。特に、超 高真空に保持するような管路、たとえば粒子加速器における蓄積リングを構成す るための真空ダクト等においては、一度大気圧に復圧してしまうと再度超高真空 に達するまでには長時間を要してしまうばかりでなく、管路内面を清浄化するべ く管路全体に対して大掛かりなベイキング処理を行う必要もあるので、そのよう な管路に対して真空ゲート弁の保守作業を行うことはきわめて非効率的なもので あった。
【0004】 本考案は上記事情に鑑みてなされたもので、管路から取り外すことなく、した がって管路の真空状態を維持したままで、シール部材の保守作業を行うことので きる真空ゲート弁を提供することを目的としている。
【0005】
本考案は、真空とされる管路の途中に設置されてその管路を開閉するための真 空ゲート弁であって、前記管路が接続される管路接続口が両側に対向して設けら れている弁箱内に、2つの弁体をそれぞれ前記管路に直交する方向に移動自在に 設け、前記弁箱内面の管路接続口の周囲には弁座を設ける一方、各弁体の両面に は、これら弁体が前記管路接続口の間に配置されたときに前記弁座に対して密着 して管路内と弁箱内とを真空保持可能に区画するシール部材を取り付け、かつ、 前記弁箱内には、管路接続口の間から退避した弁体をそれぞれ収納するための弁 体収納部を確保するとともに、弁箱の両側には蓋体により開閉可能な点検口を各 弁体収納部を臨む位置にそれぞれ設け、さらに、弁箱にはこの弁箱内から真空引 きを行うための排気ポートを設けてなることを特徴としている。この場合、前記 2つの弁体のいずれか一方には、管路接続口の間に配置されたときに、弁箱の両 側にそれぞれ接続されている双方の管路を連通させるための連通口を形成してお くことが考えられる。
【0006】
本考案の真空ゲート弁では、弁箱内を管路内と同等の真空状態に維持しておき 、弁箱内に設けた2つの弁体のいずれか一方を弁体収納部内に配置し、他方を管 路接続口の間に配置することにより、その他方の弁体のシール部材が弁座に密着 して管路が真空保持可能に閉じられるとともに、管路内と弁箱内とは真空保持可 能に区画されてしまう。したがって、その状態では弁箱内を大気圧に復圧しても 管路内には影響が及ばず、管路内の真空状態はそのまま維持されることになる。 そこで、点検口を開き、その点検口を通して弁体収納部内の弁体に対してシール 部材の保守作業を行い、作業終了後には点検口を閉じ、排気ポートにより弁箱内 から真空引きを行うことにより、元の状態に復旧させる。
【0007】
以下、本考案の実施例を図面を参照して説明する。図1は本考案の第1実施例 である真空ゲート弁Aを示すものである。この真空ゲート弁Aは、内部が真空と される管路1の途中に設けられてこの管路1を必要に応じて開閉するためのもの であって、図2に示すような縦長中空の弁箱2内に、図3に示すような弁体ユニ ット3を移動可能に組み込んだ構成とされている。
【0008】 まず、図3に示す弁体ユニット3は、それぞれ管路1を閉塞し得る大きさの円 形平板状の2つの弁体3a,3bが連結板3cにより一体に連結されたもので、 その上部にはこの弁体ユニット3を弁箱2内において上下方向つまり管路1に直 交する方向に移動させるための弁棒3dが接続されている。また、各弁体3a, 3bの両面には、管路1を閉塞した状態で後述の弁座7に密着して真空シール性 能を確保するための環状のシール部材4a,4bが取り付けられている。
【0009】 一方、上記弁箱2には、管路接続口5,5がその両側面に対向して設けられて いて、それら管路接続口5,5の周囲外面にそれぞれ上記管路1がフランジ6, 6を介して接続されるようになっている。それら管路接続口5,5の周囲内面は 弁座7,7となっていて、ここに弁体3a,3bのシール部材4a,4bが全周 にわたって密着するようになっている。また、弁箱2の内部には、管路接続口5 ,5の下方および上方に位置して弁体収納部8a,8bがそれぞれ確保されてお り、弁箱2の両側面にはそれらの弁体収納部8a,8bを臨む位置に合計4つの 点検口9a,9a,9b,9bが設けられている。それら点検口9a,9bの外 側にはフランジ10が設けられ、それらフランジ10に、点検口9a,9bの蓋 体である閉止フランジ11a,11bが真空保持可能かつ取り外し可能に装着さ れるようになっている。また、上側の弁体収納部8bの上方にはさらに他の弁体 収納部8cが設けられているが、この弁体収納部8cには点検口は設けられてい ない。さらに、弁箱2の上面には弁棒3dを貫通させるための貫通口12が設け られているとともにその周囲には貫通部の真空シールのためのベローズ13が設 けられ、弁箱2の底面にはこの弁箱2内を真空とするための排気ポート14が接 続されている。
【0010】 上記構成の真空ゲート弁Aでは、弁箱2内に組み込んだ弁体ユニット3を弁箱 2内において昇降させることにより、弁体3a,3bのいずれか一方を選択して 管路接続口5,5の間に配置することで管路1を閉塞することができるとともに 、弁体3a,3bの双方を管路接続口5,5の間から退避させることで管路1を 開くことができるものである。
【0011】 すなわち、上記の真空ゲート弁Aでは、図1に実線で示しているように弁体ユ ニット3を押し下げて上側の弁体3bを管路接続口5,5の間に配置することに より、その弁体3bの両側のシール部材4b,4bが弁座7,7に密着すること で管路1は真空保持可能に閉じられる。この際、下側の弁体3aは自ずと弁体収 納部8a内に配置される。また、その状態から弁体ユニット3を引き上げて、下 側の弁体3aを管路接続口5,5の間に配置すると、今度はその弁体3aにより 管路1が真空保持可能に閉じられるとともに、その際には上側の弁体3bは自ず と弁体収納部8b内に配置される。その状態からさらに弁体ユニット3を引き上 げて各弁体3a,3bをそれぞれ弁体収納部8b,8c内に配置すれば、管路接 続口5,5は開放されて管路1は開かれる。なお、通常時には弁箱2の内部は管 路1内と同等の真空度に維持しておくものとし、そのためには管路1内の真空引 きを行う際に管路1内と弁箱2内を連通させておいて弁箱2内からも真空引きを 行うか、あるいは排気ポート14を通して弁箱2内から直接的に真空引きを行え ば良い。
【0012】 そして、上記構成の真空ゲート弁Aでは、弁体3a,3bに取り付けられてい るシール部材4a,4bに対する補修や交換等の保守作業を、この真空ゲート弁 Aを管路1から取り外すことなく、しかも、管路1内を真空に維持したままで行 うことができるものである。
【0013】 すなわち、たとえば下側の弁体3aに取り付けられているシール部材4aが損 傷を受けてそれを交換する必要が生じた場合には、図1に実線で示しているよう に上側の弁体3bにより管路1を閉じた状態となす。すると、既に述べたように 下側の弁体3aは自ずと弁体収納部8a内に配置されるとともに、弁箱2内部と 管路1内とは弁体3bの両側のシール部材4b,4bにより真空保持可能に区画 されてしまうことになる。そこで、排気ポート14を通して弁箱2内全体を大気 圧に復圧したうえで、閉止フランジ11aをフランジ10から取り外して開口部 9aを開き、その開口部9aを通してシール部材4aの交換を行った後、閉止フ ランジ11aを装着して開口部9aを再び閉じ、排気ポート14により弁箱2内 から真空引きを行って弁箱2内を当初の真空度に戻せば、管路1内を真空に維持 したままでシール部材4aの交換作業が完了する。また、上側の弁体3bのシー ル部材4bを交換する場合には、下側の弁体3aにより管路1を閉塞する状態と すれば、上側の弁体3bが弁体収納部8bに配置されるとともに、弁箱2内と管 路1内は弁体3aのシール部材4a,4aにより真空保持可能に区画されるから 、上記と同様にして弁体3bのシール部材4b,4bの交換を行うことができる 。
【0014】 このように、上記の真空ゲート弁Aによれば、作業前に弁箱2内を大気圧に復 圧し、作業後には弁箱2内から真空引きを行うことのみで、管路1内を真空に維 持したままでシール部材4a,4bの保守作業を行うことができるものであり、 したがって、作業前に管路1内全体を大気圧に復圧する準備作業や、作業後に管 路1内全体を当初の真空度に回復させるための復旧作業、あるいはそれに伴うベ イキング作業等が一切不要となり、従来に比して所要時間や手間を大幅に削減し 得て作業効率を大きく向上させることができるものである。
【0015】 図4は本考案の第2実施例を示すものである。この第2実施例の真空ゲート弁 Bは、上記第1実施例のものを基本とするものであるが、弁箱2の最上部の弁体 収納部8cが省略されているとともに、下側の弁体3aには、管路接続口5,5 に接続されている双方の管路1,1を連通させるための連通口3eが形成されて いる点で両者は相異している。この真空ゲート弁Bでは、弁体ユニット3を押し 下げて上側の弁体3bを管路接続口5,5の間に配置することで管路1が閉塞さ れるとともに、図4に実線で示しているように弁体ユニット3を引き上げて下側 の弁体3aを管路接続口5,5の間に配置することで管路1が開かれるものであ る。すなわち、連通口3eが形成されている下側の弁体3aは、管路1を開いた 状態のままで管路1内と弁箱2内とを区画し得るものである。そして、いずれの 状態においても、弁体3a,3bのいずれか一方は弁体収納部8a,8bのいず れかに自ずと配置され、かつ、弁箱2内と管路1内とはシール部材4a,4bに より真空保持可能に区画されるから、第1実施例の場合と同様に管路1の真空を 維持したままでシール部材4a,4bに対する保守作業を行うことができるもの である。
【0016】 このため、上述した第1実施例の真空ゲート弁Aでは管路1を開放するために 3つの弁体収納部8a,8b,8cが必要であったのに対して、この第2実施例 の真空ゲート弁Bでは一方の弁体3aに連通口3eを設けたことから弁体収納部 8cを省略でき、したがって第1実施例のものに比して弁箱2の小形化を図るこ とができるものとなっている。それのみならず、第1実施例の真空ゲート弁Aで は、管路1を開いた状態においては双方の管路接続口5,5の間に大きな間隙が 形成されてしまって管路1内面の連続性が損われてしまうものであるが、第2実 施例の真空ゲート弁Bでは、管路1を開いた状態(図4に示す状態)において管 路接続口5,5の間に弁体3aが介在するのでそれらの間に大きな間隙が生じて しまうことがなく、したがって、たとえば粒子加速器の蓄積リングを構成する真 空ダクトのように管路1内面の連続性が要求される場合に採用して特に好適であ る。
【0017】 ところで、上記第1、第2実施例では、いずれも、2つの弁体3a,3bを一 体に連結した弁体ユニット3を採用して双方の弁体3a,3bを同時に昇降させ るように構成したが、必ずしもそのようにすることはなく、たとえば図5に示す ように各弁体3a,3bを独立に操作するように構成しても良い。図5は本考案 の第3実施例である真空ゲート弁Cを示すものであって、この真空ゲート弁Cで は弁体3a,3bどうしが連結されておらず、それら弁体3a,3bをそれぞれ 弁棒3f,3gにより独立に移動させるように構成されている。この場合も弁体 3a,3bのいずれか一方により管路1を閉じ、他方を弁体収納部8a,8bの いずれかに配置することで、管路1を真空に維持したままでシール部材4a,4 bに対する保守作業を行うことができる。なお、この場合も弁箱2の大きさは第 2実施例の場合と同等で良い。また、この第3実施例においては、弁箱2の底面 を弁棒3fが貫通する関係上、そこには貫通口12、ベローズ13が設けられて いる。また、排気ポート14は閉止フランジ11aに設けているが、これは適宜 の位置で良い。さらに、この第3実施例の真空ゲート弁Cにおける2つの弁体3 a,3bのいずれか一方に、第2実施例のもののように連通口3eを形成してお いても勿論良い。
【0018】
以上で説明したように、本考案は、弁箱内に2つの弁体を移動自在に設け、そ れら弁体の一方により管路を閉じるとともに管路内と弁箱内とを区画し、その状 態で他方の弁体を弁体収納部に収納するようにし、かつ、各弁体収納部に蓋体に より開閉自在な点検口を設けるとともに、弁箱内から真空引きするための排気ポ ートを備えた構成であるから、管路内に影響を及ぼすことなく弁箱内を大気圧に 復圧することができるものであり、したがって、この真空ゲート弁は、弁箱内を 大気圧に復圧して点検口を開くことにより、管路内を真空に維持したままで、弁 体に取り付けられているシール部材の補修や交換のための保守作業を行うことが 可能であり、その作業効率を従来に比して格段に向上させることができるという 効果を奏する。そして、いずれか一方の弁体に双方の管路を連通させるための連 通口を形成しておけば、その弁体により管路を開いた状態のままで弁箱内と管路 内とを区画することができるので、弁体収納部が節約されて弁箱の小形化を図る ことができるという利点がある。
【図1】本考案の第1実施例である真空ゲート弁の断面
図である。
図である。
【図2】同真空ゲート弁における弁箱の外観を示す斜視
図である。
図である。
【図3】同真空ゲート弁における弁体の形状を示す斜視
図である。
図である。
【図4】本考案の第2実施例である真空ゲート弁の断面
図である。
図である。
【図5】本考案の第3実施例である真空ゲート弁の断面
図である。
図である。
A,B,C 真空ゲート弁 1 管路 2 弁箱 3 弁体ユニット 3a,3b 弁体 3e 連通口 4a,4b シール部材 5 管路接続口 7 弁座 8a,8b 弁体収納部 9a,9b 点検口 11a,11b 閉止フランジ(蓋体) 14 排気ポート。
Claims (2)
- 【請求項1】 真空とされる管路の途中に設置されてそ
の管路を開閉するための真空ゲート弁であって、前記管
路が接続される管路接続口が両側に対向して設けられて
いる弁箱内に、2つの弁体をそれぞれ前記管路に直交す
る方向に移動自在に設け、前記弁箱内面の管路接続口の
周囲には弁座を設ける一方、各弁体の両面には、これら
弁体が前記管路接続口の間に配置されたときに前記弁座
に対して密着して管路内と弁箱内とを真空保持可能に区
画するシール部材を取り付け、かつ、前記弁箱内には、
管路接続口の間から退避した弁体をそれぞれ収納するた
めの弁体収納部を確保するとともに、弁箱の両側には蓋
体により開閉可能な点検口を各弁体収納部を臨む位置に
それぞれ設け、さらに、弁箱にはこの弁箱内から真空引
きを行うための排気ポートを設けてなることを特徴とす
る真空ゲート弁。 - 【請求項2】 前記2つの弁体のいずれか一方には、管
路接続口の間に配置されたときに、弁箱の両側にそれぞ
れ接続されている双方の管路を連通させるための連通口
が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の真
空ゲート弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7666792U JPH0640530U (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 真空ゲート弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7666792U JPH0640530U (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 真空ゲート弁 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0640530U true JPH0640530U (ja) | 1994-05-31 |
Family
ID=13611771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7666792U Withdrawn JPH0640530U (ja) | 1992-11-06 | 1992-11-06 | 真空ゲート弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0640530U (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100322666B1 (ko) * | 1999-09-02 | 2002-02-07 | 정명식 | 쵸크형 도파관 밸브 |
WO2009130995A1 (ja) * | 2008-04-22 | 2009-10-29 | シャープ株式会社 | ゲートバルブ及びこのゲートバルブを用いた真空装置 |
JP2016526135A (ja) * | 2013-05-31 | 2016-09-01 | デイコ アイピー ホールディングス, エルエルシーDayco Ip Holdings, Llc | アクチュエータによって動作可能なバネ装填式ゲートバルブ |
JP2017062031A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | プレシス カンパニー リミテッド | 両方向ゲートバルブ |
JP6412670B1 (ja) * | 2018-04-13 | 2018-10-24 | 株式会社ブイテックス | ゲートバルブ |
-
1992
- 1992-11-06 JP JP7666792U patent/JPH0640530U/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100322666B1 (ko) * | 1999-09-02 | 2002-02-07 | 정명식 | 쵸크형 도파관 밸브 |
WO2009130995A1 (ja) * | 2008-04-22 | 2009-10-29 | シャープ株式会社 | ゲートバルブ及びこのゲートバルブを用いた真空装置 |
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JP6412670B1 (ja) * | 2018-04-13 | 2018-10-24 | 株式会社ブイテックス | ゲートバルブ |
JP2019183996A (ja) * | 2018-04-13 | 2019-10-24 | 株式会社ブイテックス | ゲートバルブ |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19970306 |